JPH06204777A - 水晶振動子の調整方法 - Google Patents
水晶振動子の調整方法Info
- Publication number
- JPH06204777A JPH06204777A JP50A JP94193A JPH06204777A JP H06204777 A JPH06204777 A JP H06204777A JP 50 A JP50 A JP 50A JP 94193 A JP94193 A JP 94193A JP H06204777 A JPH06204777 A JP H06204777A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- adjusting
- frequency
- adjustment
- laser beam
- Prior art date
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ光照射による重りの放除量が任意に選
択でき、かつ調整工程，素子構造を簡略化する。 【構成】 照射レーザ光４のエネルギー密度（フルエン
ス）を調整し、重り２そのものの放除により粗調を、ま
た、重り２の表面に形成された酸化物層３の放除および
変質により微調を行うようにする。
択でき、かつ調整工程，素子構造を簡略化する。 【構成】 照射レーザ光４のエネルギー密度（フルエン
ス）を調整し、重り２そのものの放除により粗調を、ま
た、重り２の表面に形成された酸化物層３の放除および
変質により微調を行うようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、水晶振動子の発振周
波数を高精度に調整できるようにした水晶振動子の調整
方法に関するものである。
波数を高精度に調整できるようにした水晶振動子の調整
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、特公昭５３−２９５１９号公報
に示された従来の水晶振動子の構造を示す図である。図
３において、１は水晶振動子、２は粗調整用の重り、７
は微調整用の重り、８は極微調整用の重り、９，１０，
１１は各々の重りに照射されるレーザ光である。また、
図４において、曲線１２，１３，１４は各々極微調整後
のエージング特性を示す曲線である。
に示された従来の水晶振動子の構造を示す図である。図
３において、１は水晶振動子、２は粗調整用の重り、７
は微調整用の重り、８は極微調整用の重り、９，１０，
１１は各々の重りに照射されるレーザ光である。また、
図４において、曲線１２，１３，１４は各々極微調整後
のエージング特性を示す曲線である。
【０００３】次に動作について説明する。まず、水晶振
動子１上に設けられた粗調整用重り２にレーザ光９が照
射され、粗調整用重り２の厚みで制限される放除量分が
除去される。次に微調整用重り７にレーザ光１０が照射
され、微調整用重り７の厚みで制限される放除量分が除
去される。次にこれらレーザ光９，１０による放除にお
いて生じる熱影響を避けるためにエージングを行うと、
図４に示されるようなエージング曲線が得られる。そし
て、このエージングにより周波数特性が安定化した後、
極微調整用重り８にレーザ光１１が照射され、周波数の
極微調整を行う。
動子１上に設けられた粗調整用重り２にレーザ光９が照
射され、粗調整用重り２の厚みで制限される放除量分が
除去される。次に微調整用重り７にレーザ光１０が照射
され、微調整用重り７の厚みで制限される放除量分が除
去される。次にこれらレーザ光９，１０による放除にお
いて生じる熱影響を避けるためにエージングを行うと、
図４に示されるようなエージング曲線が得られる。そし
て、このエージングにより周波数特性が安定化した後、
極微調整用重り８にレーザ光１１が照射され、周波数の
極微調整を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
水晶振動子の調整方法では、レーザ光照射による重りの
放除量が各調整用の重りの厚さに依存し、また粗調工
程，微調工程および極微調工程が必要となり、その調整
工程および素子構造が複雑になるという問題があった。
水晶振動子の調整方法では、レーザ光照射による重りの
放除量が各調整用の重りの厚さに依存し、また粗調工
程，微調工程および極微調工程が必要となり、その調整
工程および素子構造が複雑になるという問題があった。
【０００５】したがってこの発明は、前述した従来の課
題を解消するためになされたものであり、その目的は、
レーザ光照射による重りの放除量が任意に選択でき、か
つ調整工程，素子構造を簡略化することができる水晶振
動子の調整方法を提供することにある。
題を解消するためになされたものであり、その目的は、
レーザ光照射による重りの放除量が任意に選択でき、か
つ調整工程，素子構造を簡略化することができる水晶振
動子の調整方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るためにこの発明に係る水晶振動子の調整方法は、照射
レーザ光のエネルギー密度（フルエンス）を調整し、重
りそのものの放除により粗調を、また、重りの表面に形
成された酸化物層の放除および変質により微調を行うよ
うにするものである。
るためにこの発明に係る水晶振動子の調整方法は、照射
レーザ光のエネルギー密度（フルエンス）を調整し、重
りそのものの放除により粗調を、また、重りの表面に形
成された酸化物層の放除および変質により微調を行うよ
うにするものである。
【０００７】
【作用】この発明における水晶振動子の調整方法は、例
えば照射レーザ光にＵＶレーザ光を用い、フルエンスを
調整し、重りのアブレーション（ａｂｌａｔｉｏｎ）加
工のしきい値以上のフルエンスで重りそのものの放除に
より粗調が、また、重りのアブレーション加工のしきい
値以下でかつ重りの表面に形成された酸化物層の変質加
工しきい値以上のフルエンスで重りの表面に形成された
酸化物層の放除および表面変質により微調がそれぞれ行
われる。
えば照射レーザ光にＵＶレーザ光を用い、フルエンスを
調整し、重りのアブレーション（ａｂｌａｔｉｏｎ）加
工のしきい値以上のフルエンスで重りそのものの放除に
より粗調が、また、重りのアブレーション加工のしきい
値以下でかつ重りの表面に形成された酸化物層の変質加
工しきい値以上のフルエンスで重りの表面に形成された
酸化物層の放除および表面変質により微調がそれぞれ行
われる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を用いてこの発明の実施例を詳細
に説明する。図１および図２は、この発明による水晶振
動子の調整方法の一実施例を説明する水晶振動子の側面
図である。図１において、３は重り２の表面に形成され
た酸化物層、４は照射ＵＶレーザ光である。また、図２
において、５は重り２のアブレーション加工のしきい値
以上のフルエンスにおけるショット数（レーザ光の照射
回数）と変化量との関係を示す曲線、６は重り２のアブ
レーション加工のしきい値以下かつ重り２の表面に形成
された酸化物層３の変質加工しきい値以上のフルエンス
におけるショット数と変化量との関係を示す曲線であ
る。その他の構成については図３および図４に示された
従来例と同様であるので、相当するものに同一符号を付
してその説明を省略する。
に説明する。図１および図２は、この発明による水晶振
動子の調整方法の一実施例を説明する水晶振動子の側面
図である。図１において、３は重り２の表面に形成され
た酸化物層、４は照射ＵＶレーザ光である。また、図２
において、５は重り２のアブレーション加工のしきい値
以上のフルエンスにおけるショット数（レーザ光の照射
回数）と変化量との関係を示す曲線、６は重り２のアブ
レーション加工のしきい値以下かつ重り２の表面に形成
された酸化物層３の変質加工しきい値以上のフルエンス
におけるショット数と変化量との関係を示す曲線であ
る。その他の構成については図３および図４に示された
従来例と同様であるので、相当するものに同一符号を付
してその説明を省略する。
【０００９】次に動作について説明する。まず、水晶振
動子１上に設けられた重り２に、例えば図２の曲線５と
同じフルエンスに調整されたＵＶレーザ光４が照射さ
れ、これによって重り２が曲線５で示された関係にした
がった放除量分が除去されて粗調が行われる。このと
き、大気中での工程であるので、極く短時間中に重り２
のレーザ照射部に酸化物層３が再び形成される。酸化物
層３が再び形成された後、例えば図２の曲線６と同じフ
ルエンスに調整されたＵＶレーザ光４が重り２の酸化物
層３に照射され、これによって酸化物層３の曲線６で示
された関係にしたがった放除量分が低熱損傷により除去
および表面変質されて微調が行われて周波数の調整が行
われる。
動子１上に設けられた重り２に、例えば図２の曲線５と
同じフルエンスに調整されたＵＶレーザ光４が照射さ
れ、これによって重り２が曲線５で示された関係にした
がった放除量分が除去されて粗調が行われる。このと
き、大気中での工程であるので、極く短時間中に重り２
のレーザ照射部に酸化物層３が再び形成される。酸化物
層３が再び形成された後、例えば図２の曲線６と同じフ
ルエンスに調整されたＵＶレーザ光４が重り２の酸化物
層３に照射され、これによって酸化物層３の曲線６で示
された関係にしたがった放除量分が低熱損傷により除去
および表面変質されて微調が行われて周波数の調整が行
われる。
【００１０】このような調整方法によれば、１つの重り
２で重り２自体の放除量とこの重り２の表面の酸化物層
３の放除量とにより、それぞれ周波数の粗調と微調とを
連続して行うことができるとともに周波数を高精度に調
整でき、また、重り２自体の放除量についても任意の深
さの除去が可能となり、調整が容易となる。さらにＵＶ
レーザ光４を用いることにより、熱影響が小さく、エー
ジング時間を短縮することができる。なお、ＵＶレーザ
光を発生させるレーザ装置として、例えばエキシマレー
ザ，Ｈｅ−Ｃｄレーザ，Ａｒイオンレーザ，ＹＡＧレー
ザまたは高調波素子との組み合わせなどのレーザ装置を
用いることがきでる。
２で重り２自体の放除量とこの重り２の表面の酸化物層
３の放除量とにより、それぞれ周波数の粗調と微調とを
連続して行うことができるとともに周波数を高精度に調
整でき、また、重り２自体の放除量についても任意の深
さの除去が可能となり、調整が容易となる。さらにＵＶ
レーザ光４を用いることにより、熱影響が小さく、エー
ジング時間を短縮することができる。なお、ＵＶレーザ
光を発生させるレーザ装置として、例えばエキシマレー
ザ，Ｈｅ−Ｃｄレーザ，Ａｒイオンレーザ，ＹＡＧレー
ザまたは高調波素子との組み合わせなどのレーザ装置を
用いることがきでる。
【００１１】
【発明の効果】以上、説明したようにこの発明によれ
ば、レーザ光による重りのアブレーション現象と重り表
面の酸化物層の除去および変質とを用いて水晶振動子の
周波数調整を行うことにより、重りの粗調は重りの厚み
によらず、任意に放除量を変化させることができ、ま
た、微調は表面の酸化物層の放除および変質を利用する
ことにより、極微量の調整ができるので、単純な工程で
高精度な周波数調整ができ、かつ水晶振動子の構造を簡
略化できる効果がある。さらにレーザ光としてＵＶレー
ザ光を用いることにより、エージング時間が短縮できる
効果がある。
ば、レーザ光による重りのアブレーション現象と重り表
面の酸化物層の除去および変質とを用いて水晶振動子の
周波数調整を行うことにより、重りの粗調は重りの厚み
によらず、任意に放除量を変化させることができ、ま
た、微調は表面の酸化物層の放除および変質を利用する
ことにより、極微量の調整ができるので、単純な工程で
高精度な周波数調整ができ、かつ水晶振動子の構造を簡
略化できる効果がある。さらにレーザ光としてＵＶレー
ザ光を用いることにより、エージング時間が短縮できる
効果がある。
【図１】この発明による水晶振動子の調整方法の一実施
例を説明するための水晶振動子の側面図である。
例を説明するための水晶振動子の側面図である。
【図２】この発明の一実施例を説明するための照射ＵＶ
レーザ光のショット数と変化量との関係を示す図であ
る。
レーザ光のショット数と変化量との関係を示す図であ
る。
【図３】従来の水晶振動子の構成を示す側面図である。
【図４】従来の水晶振動子の周波数調整におけるエージ
ング時間と変化量との関係を示す図である。
ング時間と変化量との関係を示す図である。
１ 水晶振動子 ２ 粗調整用の重り ３ 重りの表面に形成された酸化物層 ４ 照射ＵＶレーザ光 ５ 重りのアブレーション加工のしきい値以上のフルエ
ンスにおけるショット数と変化量との関係を示す曲線 ６ 重りのアブレーション加工のしきい値以下かつ重り
の表面に形成された酸化物層の変質加工しきい値以上の
フルエンスにおけるショット数と変化量との関係を示す
曲線 ７ 微調整用の重り ８ 極微調整用の重り ９ 重りに照射されるレーザ光 １０ 重りに照射されるレーザ光 １１ 重りに照射されるレーザ光 １２ 極微調整後のエージング特性を示す曲線 １３ 極微調整後のエージング特性を示す曲線 １４ 極微調整後のエージング特性を示す曲線
ンスにおけるショット数と変化量との関係を示す曲線 ６ 重りのアブレーション加工のしきい値以下かつ重り
の表面に形成された酸化物層の変質加工しきい値以上の
フルエンスにおけるショット数と変化量との関係を示す
曲線 ７ 微調整用の重り ８ 極微調整用の重り ９ 重りに照射されるレーザ光 １０ 重りに照射されるレーザ光 １１ 重りに照射されるレーザ光 １２ 極微調整後のエージング特性を示す曲線 １３ 極微調整後のエージング特性を示す曲線 １４ 極微調整後のエージング特性を示す曲線
フロントページの続き (72)発明者 八木 俊憲 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社生産技術研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 水晶振動子に形成した周波数特性調整用
の重りの一部を大気中にてレーザ光の照射によって除去
し、発振周波数を調整する水晶振動子の調整方法におい
て、 前記重りの表面に形成された酸化物層の除去および変質
により重量変化を生じさせて前記発振周波数の調整を行
うことを特徴とする水晶振動子の調整方法。 - 【請求項２】 水晶振動子に形成した周波数特性調整用
の重りの一部を大気中にてレーザ光の照射によって除去
し、発振周波数を調整する水晶振動子の調整方法におい
て、 前記重りの加工しきい値より小さく、かつ前記酸化物層
の変質しきい値より大きいエネルギー密度のレーザ光の
照射により前記重りの重量変化を生じさせて前記発振周
波数の調整を行うことを特徴とする水晶振動子の調整方
法。 - 【請求項３】 水晶振動子に形成した周波数特性調整用
の重りの一部を大気中にてレーザ光の照射によって除去
し、発振周波数を調整する水晶振動子の調整方法におい
て、 前記重りの加工しきい値より大きいエネルギー密度のレ
ーザ光の照射により前記重りの重量変化を生じさせて周
波数の粗調を行った後、前記重りの加工しきい値より小
さく、かつ前記酸化物の変質しきい値より大きいエネル
ギー密度のレーザ光の照射により前記発振周波数の微調
を行うことを特徴とする水晶振動子の調整方法。 - 【請求項４】 請求項１，請求項２または請求項３にお
いて、前記レーザ光としてＵＶレーザ光を用いることを
特徴とする水晶振動子の調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06204777A (ja) | 1993-01-07 | 1993-01-07 | 水晶振動子の調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06204777A (ja) | 1993-01-07 | 1993-01-07 | 水晶振動子の調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204777A true JPH06204777A (ja) | 1994-07-22 |
Family
ID=11487706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50A Pending JPH06204777A (ja) | 1993-01-07 | 1993-01-07 | 水晶振動子の調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06204777A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8365372B2 (en) | 2001-12-19 | 2013-02-05 | Contria San Limited Liability Company | Piezoelectric oscillating circuit, method for manufacturing the same and filter arrangement |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5329519B2 (ja) * | 1974-06-06 | 1978-08-21 | ||
| JPS53131792A (en) * | 1977-04-22 | 1978-11-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric vibrator |
| JPS5596711A (en) * | 1979-01-18 | 1980-07-23 | Ebauches Sa | Method of controlling frequency of resonator and resonator fabricated thereby |
| JPS562451B2 (ja) * | 1975-12-04 | 1981-01-20 | ||
| JPS60187116A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜振動共振子の共振周波数調整方法 |
| JPH02220508A (ja) * | 1989-02-21 | 1990-09-03 | Matsushima Kogyo Co Ltd | 圧電振動子の周波数調整方法 |
| JPH04324706A (ja) * | 1991-04-24 | 1992-11-13 | Seiko Epson Corp | 水晶振動子の製造方法 |
-
1993
- 1993-01-07 JP JP50A patent/JPH06204777A/ja active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5329519B2 (ja) * | 1974-06-06 | 1978-08-21 | ||
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| JPS53131792A (en) * | 1977-04-22 | 1978-11-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric vibrator |
| JPS5596711A (en) * | 1979-01-18 | 1980-07-23 | Ebauches Sa | Method of controlling frequency of resonator and resonator fabricated thereby |
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| JPH02220508A (ja) * | 1989-02-21 | 1990-09-03 | Matsushima Kogyo Co Ltd | 圧電振動子の周波数調整方法 |
| JPH04324706A (ja) * | 1991-04-24 | 1992-11-13 | Seiko Epson Corp | 水晶振動子の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8365372B2 (en) | 2001-12-19 | 2013-02-05 | Contria San Limited Liability Company | Piezoelectric oscillating circuit, method for manufacturing the same and filter arrangement |
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