JPH06198589A - カバー付搬送ロボット - Google Patents
カバー付搬送ロボットInfo
- Publication number
- JPH06198589A JPH06198589A JP36050092A JP36050092A JPH06198589A JP H06198589 A JPH06198589 A JP H06198589A JP 36050092 A JP36050092 A JP 36050092A JP 36050092 A JP36050092 A JP 36050092A JP H06198589 A JPH06198589 A JP H06198589A
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- JP
- Japan
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- cover
- work
- robot
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- transfer robot
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 清浄空気の流れに乱流を発生させることとが
なく、製品その他設備を清浄に保つとともに、ワークを
クリーンな環境の下で搬送することができる半導体ウエ
ハ等を収納するカセット等のワークを搬送するのに適し
たカバー付搬送ロボットを提供すること。 【構成】 カバー付搬送ロボットであって、走行体１
と、該走行体１の上部に設けた昇降部２と昇降部２に連
設したアーム部３とワーク４を把持するチャック部５か
らなるロボット部と、該ロボット部を覆うカバー６とか
らなり、該カバー６の上部にフィルター付ファン６１
ａ，６１ｂ，６１ｃを、下部に排気孔６２ａ，６２ｂ，
６２ｃを設け、カバー内部を空気がダウンフローするよ
うに構成する。
なく、製品その他設備を清浄に保つとともに、ワークを
クリーンな環境の下で搬送することができる半導体ウエ
ハ等を収納するカセット等のワークを搬送するのに適し
たカバー付搬送ロボットを提供すること。 【構成】 カバー付搬送ロボットであって、走行体１
と、該走行体１の上部に設けた昇降部２と昇降部２に連
設したアーム部３とワーク４を把持するチャック部５か
らなるロボット部と、該ロボット部を覆うカバー６とか
らなり、該カバー６の上部にフィルター付ファン６１
ａ，６１ｂ，６１ｃを、下部に排気孔６２ａ，６２ｂ，
６２ｃを設け、カバー内部を空気がダウンフローするよ
うに構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウエハ、磁気ディ
スク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造
等の工程で半導体ウエハ等を収納するカセット等のワー
ク（以下単に「ワーク」という。）をクリーンな環境の
下で搬送するのに適したカバー付搬送ロボットに関する
ものである。
スク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造
等の工程で半導体ウエハ等を収納するカセット等のワー
ク（以下単に「ワーク」という。）をクリーンな環境の
下で搬送するのに適したカバー付搬送ロボットに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、半導体工場において使用
されている半導体ウエハ搬送ロボットは、走行体と該走
行体に連設されたアーム部と半導体ウエハを収納したカ
セットを把持するチャック部からなり、複数の工程の各
製造装置に設けられた受渡口において半導体ウエハを収
納したカセットを把持及び開放する機能と、受渡口から
半導体ウエハを収納したカセットを他の工程の製造装置
等の所定位置まで搬送する機能を有している。また、半
導体ウエハ搬送ロボットが走行するいわゆるクリーンル
ームは、一般的には、天井から清浄空気が噴出、流下
し、床下から排気されるようになっているため、発塵し
た微細粒子は、この気流によって速やかに排出されるよ
うになっている。しかしながら、前記半導体ウエハ搬送
ロボットの走行中において、半導体ウエハ搬送ロボット
自体が複雑な形状をしていたり、高速で走行すると、半
導体ウエハ搬送ロボットの走行動作により、清浄空気の
流れに乱流を発生させることとなり、この乱流によっ
て、半導体ウエハ表面のほか、走行路付近の設備の表面
に塵埃が付着する不都合があった。
されている半導体ウエハ搬送ロボットは、走行体と該走
行体に連設されたアーム部と半導体ウエハを収納したカ
セットを把持するチャック部からなり、複数の工程の各
製造装置に設けられた受渡口において半導体ウエハを収
納したカセットを把持及び開放する機能と、受渡口から
半導体ウエハを収納したカセットを他の工程の製造装置
等の所定位置まで搬送する機能を有している。また、半
導体ウエハ搬送ロボットが走行するいわゆるクリーンル
ームは、一般的には、天井から清浄空気が噴出、流下
し、床下から排気されるようになっているため、発塵し
た微細粒子は、この気流によって速やかに排出されるよ
うになっている。しかしながら、前記半導体ウエハ搬送
ロボットの走行中において、半導体ウエハ搬送ロボット
自体が複雑な形状をしていたり、高速で走行すると、半
導体ウエハ搬送ロボットの走行動作により、清浄空気の
流れに乱流を発生させることとなり、この乱流によっ
て、半導体ウエハ表面のほか、走行路付近の設備の表面
に塵埃が付着する不都合があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の問
題点を解決し、清浄空気の流れに乱流を発生させること
とがなく、製品その他設備を清浄に保つとともに、ワー
クをクリーンな環境の下で搬送することができるカバー
付搬送ロボットを提供することを目的とする。
題点を解決し、清浄空気の流れに乱流を発生させること
とがなく、製品その他設備を清浄に保つとともに、ワー
クをクリーンな環境の下で搬送することができるカバー
付搬送ロボットを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１発明は、走行体と、該走行体の上部に設けた
昇降部と昇降部に連設したアーム部とワークを把持する
チャック部からなるロボット部と、該ロボット部を覆う
カバーとからなり、該カバーの上部にフィルター付ファ
ンを、下部に排気孔を設け、カバー内部を空気がダウン
フローするように構成したこと要旨とする。
め、本第１発明は、走行体と、該走行体の上部に設けた
昇降部と昇降部に連設したアーム部とワークを把持する
チャック部からなるロボット部と、該ロボット部を覆う
カバーとからなり、該カバーの上部にフィルター付ファ
ンを、下部に排気孔を設け、カバー内部を空気がダウン
フローするように構成したこと要旨とする。
【０００５】また、本第２発明は、本第１発明におい
て、カバーの走行方向に対して前面及び後面にフィルタ
ー付ファンを、下部に排気孔を設けたことを要旨とす
る。
て、カバーの走行方向に対して前面及び後面にフィルタ
ー付ファンを、下部に排気孔を設けたことを要旨とす
る。
【０００６】さらに、本第３発明は、本第１発明又は本
第２発明において、昇降部は走行方向に対して平行方向
に動作して前記チャック部に把持されたワークを昇降移
送するリンクからなり、アーム部は走行方向に対して直
角方向に動作して前記チャック部に把持されたワークを
走行方向に対して直角方向に移送するリンクからなるこ
とを要旨とする。
第２発明において、昇降部は走行方向に対して平行方向
に動作して前記チャック部に把持されたワークを昇降移
送するリンクからなり、アーム部は走行方向に対して直
角方向に動作して前記チャック部に把持されたワークを
走行方向に対して直角方向に移送するリンクからなるこ
とを要旨とする。
【０００７】
【作用】本発明によれば、昇降部と昇降部に連設したア
ーム部とワークを把持するチャック部からなるロボット
部全体をカバーで覆うとともに、カバー内部を空気がダ
ウンフローしカバー内部のワークの周囲を常に清浄な空
気が流通するようにしたので、清浄空気の流れに乱流を
発生させることとがなく、製品その他設備を清浄に保つ
とともに、ワークをクリーンな環境の下で搬送する。
ーム部とワークを把持するチャック部からなるロボット
部全体をカバーで覆うとともに、カバー内部を空気がダ
ウンフローしカバー内部のワークの周囲を常に清浄な空
気が流通するようにしたので、清浄空気の流れに乱流を
発生させることとがなく、製品その他設備を清浄に保つ
とともに、ワークをクリーンな環境の下で搬送する。
【０００８】また、本第２発明によれば、カバー付搬送
ロボットが走行する際、カバーの走行方向に対して前面
及び後面に設けたフィルター付ファンによりカバーの前
面及び後面の空気を吸引することにより、清浄空気の流
れに対する乱流の発生をより有効に防止する。
ロボットが走行する際、カバーの走行方向に対して前面
及び後面に設けたフィルター付ファンによりカバーの前
面及び後面の空気を吸引することにより、清浄空気の流
れに対する乱流の発生をより有効に防止する。
【０００９】さらに、本第３発明によれば、ロボット部
の縦軸方向に常に空間が確保され、ロボット部の構成部
材によりカバー内部の空気の流通が妨げられることがな
く、また、ロボット部、すなわちカバーの走行方向に対
する直角方向の幅を狭くすることにより、清浄空気の流
れに対する乱流の発生をより有効に防止する。
の縦軸方向に常に空間が確保され、ロボット部の構成部
材によりカバー内部の空気の流通が妨げられることがな
く、また、ロボット部、すなわちカバーの走行方向に対
する直角方向の幅を狭くすることにより、清浄空気の流
れに対する乱流の発生をより有効に防止する。
【００１０】
【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて説明す
る。図１はカバー付搬送ロボットをワークの搬入、搬出
側、すなわち各種の製造装置（図示せず）側から見た外
観斜視図、図２はその逆側から見た外観斜視図であり、
図３はロボット部の外観斜視図である。カバー付搬送ロ
ボットは、走行体１と、走行体１の上部に設けた昇降部
２と昇降部２に連設したアーム部３とワーク４を把持す
るチャック部５からなるロボット部と、ロボット部を覆
うカバー６で構成される。
る。図１はカバー付搬送ロボットをワークの搬入、搬出
側、すなわち各種の製造装置（図示せず）側から見た外
観斜視図、図２はその逆側から見た外観斜視図であり、
図３はロボット部の外観斜視図である。カバー付搬送ロ
ボットは、走行体１と、走行体１の上部に設けた昇降部
２と昇降部２に連設したアーム部３とワーク４を把持す
るチャック部５からなるロボット部と、ロボット部を覆
うカバー６で構成される。
【００１１】走行部１は、複数の工程の各製造装置等の
設備を連絡するように施設されたレール７上をガイドさ
れ、走行駆動装置（図示せず）の牽引等によって矢印方
向に走行するように構成されている。昇降部２は走行体
１の上部に設けられ、昇降部駆動モータ２１、タイミン
グベルト２２、減速機２３、昇降部リンク２４，２５及
び昇降枠２６よりなる。アーム部３は昇降部２の昇降枠
２６に連設され、アーム部駆動モータ３１、アーム部リ
ンク３２，３３及び傾転用モータ３４よりなる。ワーク
４を把持するチャック部５はアーム部３の先端に設けら
れ、チャック部材５１及び係止爪５２よりなる。カバー
６は昇降部２、アーム部３及びチャック部５からなるロ
ボット部全体をを覆い、走行部１と一体化されている。
カバー６の上部には、上面フィルター付ファン６１ａ、
前面フィルター付ファン６１ｂ、後面フィルター付ファ
ン６１ｃをそれぞれ設け、下部には、排気孔６２ａ，６
２ｂ，６２ｃを設けてなる。また、カバー６は、横断面
形状を角部にアールを形成した略台形に形成するととも
に、平行面がカバー付搬送ロボットの走行方向と平行に
なるようにし、さらに平行面の長辺側をワークの搬入、
搬出側とすることによって、ワークの搬入、搬出側をほ
ぼ平坦面とするとともに、このワークの搬入、搬出側に
は、スライド方式等により開閉可能とした扉６３を設け
る。なお、図１は、この扉６３を開放した状態を示して
いるが、扉６３を開放した場合の開口の６４の大きさ
は、ワーク６の大きさ等に応じて適宜変更することがで
きる。
設備を連絡するように施設されたレール７上をガイドさ
れ、走行駆動装置（図示せず）の牽引等によって矢印方
向に走行するように構成されている。昇降部２は走行体
１の上部に設けられ、昇降部駆動モータ２１、タイミン
グベルト２２、減速機２３、昇降部リンク２４，２５及
び昇降枠２６よりなる。アーム部３は昇降部２の昇降枠
２６に連設され、アーム部駆動モータ３１、アーム部リ
ンク３２，３３及び傾転用モータ３４よりなる。ワーク
４を把持するチャック部５はアーム部３の先端に設けら
れ、チャック部材５１及び係止爪５２よりなる。カバー
６は昇降部２、アーム部３及びチャック部５からなるロ
ボット部全体をを覆い、走行部１と一体化されている。
カバー６の上部には、上面フィルター付ファン６１ａ、
前面フィルター付ファン６１ｂ、後面フィルター付ファ
ン６１ｃをそれぞれ設け、下部には、排気孔６２ａ，６
２ｂ，６２ｃを設けてなる。また、カバー６は、横断面
形状を角部にアールを形成した略台形に形成するととも
に、平行面がカバー付搬送ロボットの走行方向と平行に
なるようにし、さらに平行面の長辺側をワークの搬入、
搬出側とすることによって、ワークの搬入、搬出側をほ
ぼ平坦面とするとともに、このワークの搬入、搬出側に
は、スライド方式等により開閉可能とした扉６３を設け
る。なお、図１は、この扉６３を開放した状態を示して
いるが、扉６３を開放した場合の開口の６４の大きさ
は、ワーク６の大きさ等に応じて適宜変更することがで
きる。
【００１２】上記のように構成されたカバー付搬送ロボ
ットを半導体ウエハ搬送ロボットとして使用する場合に
ついて以下説明する。この場合、ワーク４として、半導
体ウエハ（図示せず）を直立して挿置するカセットを使
用する。ワーク４は、複数の工程の各製造装置に設けら
れた受渡口に半導体ウエハを収納した状態で整列されて
いる。受渡口の前面に半導体ウエハ搬送ロボットを停止
させ、扉を開き、昇降部駆動モータ２１を駆動し、タイ
ミングベルト２２、減速機２３、昇降部リンク２４，２
５及び昇降枠２６を介してアーム部３の水準を調節し、
アーム部駆動モータ３１及び傾動用モータ３４を駆動
し、アーム部リンク３２，３３を介してチャック部５を
ワーク４の受渡口に移動し、チャック部材５１及び係止
爪５２によりワーク４を把持し、アーム部駆動モータ３
１及び傾動用モータ３４を駆動し、アーム部リンク３
２，３３を介してチャック部５、すなわちをワーク４を
カバー６内部に収容した後、扉を閉じる。その後、半導
体ウエハ搬送ロボットは、次の工程の製造装置までレー
ル７上をガイドされながら走行駆動装置に牽引されて走
行し、上記と同様の作業を繰り返す。なお、上記使用方
法は、製造装置に設けられた受渡口に整列されているワ
ーク４を半導体ウエハ搬送ロボット内部に収容する工程
についてのみ説明したが、半導体ウエハ搬送ロボット内
部に収容されているワーク４を製造装置に設けられた受
渡口に放出する場合も、昇降部２、アーム部３及びチャ
ック部５を順に作動させることにより行うが、この操作
は、ワーク４を収容する工程とほぼ同様であるので、説
明は省略する。
ットを半導体ウエハ搬送ロボットとして使用する場合に
ついて以下説明する。この場合、ワーク４として、半導
体ウエハ（図示せず）を直立して挿置するカセットを使
用する。ワーク４は、複数の工程の各製造装置に設けら
れた受渡口に半導体ウエハを収納した状態で整列されて
いる。受渡口の前面に半導体ウエハ搬送ロボットを停止
させ、扉を開き、昇降部駆動モータ２１を駆動し、タイ
ミングベルト２２、減速機２３、昇降部リンク２４，２
５及び昇降枠２６を介してアーム部３の水準を調節し、
アーム部駆動モータ３１及び傾動用モータ３４を駆動
し、アーム部リンク３２，３３を介してチャック部５を
ワーク４の受渡口に移動し、チャック部材５１及び係止
爪５２によりワーク４を把持し、アーム部駆動モータ３
１及び傾動用モータ３４を駆動し、アーム部リンク３
２，３３を介してチャック部５、すなわちをワーク４を
カバー６内部に収容した後、扉を閉じる。その後、半導
体ウエハ搬送ロボットは、次の工程の製造装置までレー
ル７上をガイドされながら走行駆動装置に牽引されて走
行し、上記と同様の作業を繰り返す。なお、上記使用方
法は、製造装置に設けられた受渡口に整列されているワ
ーク４を半導体ウエハ搬送ロボット内部に収容する工程
についてのみ説明したが、半導体ウエハ搬送ロボット内
部に収容されているワーク４を製造装置に設けられた受
渡口に放出する場合も、昇降部２、アーム部３及びチャ
ック部５を順に作動させることにより行うが、この操作
は、ワーク４を収容する工程とほぼ同様であるので、説
明は省略する。
【００１３】また、半導体ウエハ搬送ロボットが走行す
るいわゆるクリーンルームは、一般的には、天井から清
浄空気が噴出、流下し、床下から排気されるようになっ
ているため、発塵した微細粒子は、この気流によって速
やかに排出されるようになっているが、この半導体ウエ
ハ搬送ロボットが走行する際、カバー６により、また、
カバーの走行方向に対して前面及び後面に設けたフィル
ター付ファン６１ｂ，６１ｃによりカバーの前面及び後
面の空気を吸引することにより、また、特に本実施例で
は、カバー６は、横断面形状を角部にアールを形成した
略台形に形成するとともに、平行面がカバー付搬送ロボ
ットの走行方向と平行になるようにし、さらに平行面の
長辺側をワークの搬入、搬出側とすることによって、カ
バー６のワークの搬入、搬出側をほぼ平坦面としたこと
から、半導体ウエハ搬送ロボット、特にワークの搬入、
搬出側周辺の気流はカバー６に沿ってほぼ層流状態とな
り、半導体ウエハ搬送ロボットの走行による清浄空気の
流れに対する乱流の発生を防止する。
るいわゆるクリーンルームは、一般的には、天井から清
浄空気が噴出、流下し、床下から排気されるようになっ
ているため、発塵した微細粒子は、この気流によって速
やかに排出されるようになっているが、この半導体ウエ
ハ搬送ロボットが走行する際、カバー６により、また、
カバーの走行方向に対して前面及び後面に設けたフィル
ター付ファン６１ｂ，６１ｃによりカバーの前面及び後
面の空気を吸引することにより、また、特に本実施例で
は、カバー６は、横断面形状を角部にアールを形成した
略台形に形成するとともに、平行面がカバー付搬送ロボ
ットの走行方向と平行になるようにし、さらに平行面の
長辺側をワークの搬入、搬出側とすることによって、カ
バー６のワークの搬入、搬出側をほぼ平坦面としたこと
から、半導体ウエハ搬送ロボット、特にワークの搬入、
搬出側周辺の気流はカバー６に沿ってほぼ層流状態とな
り、半導体ウエハ搬送ロボットの走行による清浄空気の
流れに対する乱流の発生を防止する。
【００１４】なお、ここでは、本発明のカバー付搬送ロ
ボットを半導体ウエハ搬送ロボットとして使用する場合
について説明したが、本発明の対象は、半導体ウエハの
ほか、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディス
ク、液晶等の製造等の工程で対象製品を収納するカセッ
ト等のワークをクリーンな環境の下で搬送するために広
範囲に使用できるものである。
ボットを半導体ウエハ搬送ロボットとして使用する場合
について説明したが、本発明の対象は、半導体ウエハの
ほか、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディス
ク、液晶等の製造等の工程で対象製品を収納するカセッ
ト等のワークをクリーンな環境の下で搬送するために広
範囲に使用できるものである。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、昇降部と昇降部に連設
したアーム部とワークを把持するチャック部からなるロ
ボット部全体をカバーで覆うとともに、カバー内部を空
気がダウンフローしカバー内部のワークの周囲を常に清
浄な空気が流通するようにしたので、清浄空気の流れに
乱流を発生させることとがなく、従来のように乱流が生
じて塵埃が舞い上がり製品その他設備の表面に塵埃が付
着するようなことがなく、製品その他設備を清浄に保つ
とともに、ワークをクリーンな環境の下で搬送すること
ができる。
したアーム部とワークを把持するチャック部からなるロ
ボット部全体をカバーで覆うとともに、カバー内部を空
気がダウンフローしカバー内部のワークの周囲を常に清
浄な空気が流通するようにしたので、清浄空気の流れに
乱流を発生させることとがなく、従来のように乱流が生
じて塵埃が舞い上がり製品その他設備の表面に塵埃が付
着するようなことがなく、製品その他設備を清浄に保つ
とともに、ワークをクリーンな環境の下で搬送すること
ができる。
【００１６】また、本第２発明によれば、カバー付搬送
ロボットが走行する際、カバーの走行方向に対して前面
及び後面に設けたフィルター付ファンによりカバーの前
面及び後面の空気を吸引することにより、カバー付搬送
ロボット周辺の気流はカバー６に沿ってほぼ層流状態と
なり、清浄空気の流れに対する乱流の発生をより有効に
防止でき、クリーンな環境を保持することができる。
ロボットが走行する際、カバーの走行方向に対して前面
及び後面に設けたフィルター付ファンによりカバーの前
面及び後面の空気を吸引することにより、カバー付搬送
ロボット周辺の気流はカバー６に沿ってほぼ層流状態と
なり、清浄空気の流れに対する乱流の発生をより有効に
防止でき、クリーンな環境を保持することができる。
【００１７】さらに、本第３発明によれば、ロボット部
の縦軸方向に常に空間が確保され、ロボット部の構成部
材によりカバー内部の空気の流通が妨げられることがな
く、カバー内部のワークの周囲の空気の流通がきわめて
円滑に行うことができ、また、ロボット部、すなわちカ
バーの走行方向に対する直角方向の幅を狭くすることに
より、清浄空気の流れに対する乱流の発生をより有効に
防止することができる。
の縦軸方向に常に空間が確保され、ロボット部の構成部
材によりカバー内部の空気の流通が妨げられることがな
く、カバー内部のワークの周囲の空気の流通がきわめて
円滑に行うことができ、また、ロボット部、すなわちカ
バーの走行方向に対する直角方向の幅を狭くすることに
より、清浄空気の流れに対する乱流の発生をより有効に
防止することができる。
【図１】本発明のカバー付搬送ロボットの外観斜視図。
【図２】本発明のカバー付搬送ロボットの他方向から見
た外観斜視図。
た外観斜視図。
【図３】本発明のロボット部の外観斜視図。
【符号の説明】 １ 走行体 ２ 昇降部 ３ アーム部 ４ ワーク ５ チャック部 ６ カバー ６１ａ 上面フィルター付ファン ６１ｂ 前面フィルター付ファン ６１ｃ 後面フィルター付ファン ６２ａ 排気孔 ６２ｂ 排気孔 ６２ｃ 排気孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東 人士 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292 株式会 社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 伊東 徹雄 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292 株式会 社日立画像情報システム内 (72)発明者 福渡 一郎 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 走行体と、該走行体の上部に設けた昇降
部と昇降部に連設したアーム部とワークを把持するチャ
ック部からなるロボット部と、該ロボット部を覆うカバ
ーとからなり、該カバーの上部にフィルター付ファン
を、下部に排気孔を設け、カバー内部を空気がダウンフ
ローするように構成したことを特徴とするカバー付搬送
ロボット。 - 【請求項２】 前記カバーの走行方向に対して前面及び
後面にフィルター付ファンを、下部に排気孔を設けたこ
とを特徴とする請求項１記載のカバー付搬送ロボット。 - 【請求項３】 前記昇降部は走行方向に対して平行方向
に動作して前記チャック部に把持されたワークを昇降移
送するリンクからなり、前記アーム部は走行方向に対し
て直角方向に動作して前記チャック部に把持されたワー
クを走行方向に対して直角方向に移送するリンクからな
ることを特徴とする請求項１又は２記載のカバー付搬送
ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36050092A JP2975792B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | カバー付搬送ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36050092A JP2975792B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | カバー付搬送ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06198589A true JPH06198589A (ja) | 1994-07-19 |
| JP2975792B2 JP2975792B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=18469669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36050092A Expired - Fee Related JP2975792B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | カバー付搬送ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2975792B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010071278A1 (en) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | Secron Co., Ltd. | Wafer transfer unit and probe station including the same |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP36050092A patent/JP2975792B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010071278A1 (en) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | Secron Co., Ltd. | Wafer transfer unit and probe station including the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2975792B2 (ja) | 1999-11-10 |
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