JP2975792B2 - カバー付搬送ロボット - Google Patents
カバー付搬送ロボットInfo
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- JP2975792B2 JP2975792B2 JP36050092A JP36050092A JP2975792B2 JP 2975792 B2 JP2975792 B2 JP 2975792B2 JP 36050092 A JP36050092 A JP 36050092A JP 36050092 A JP36050092 A JP 36050092A JP 2975792 B2 JP2975792 B2 JP 2975792B2
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウエハ、磁気ディ
スク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造
等の工程で半導体ウエハ等を収納するカセット等のワー
ク（以下単に「ワーク」という。）をクリーンな環境の
下で搬送するのに適したカバー付搬送ロボットに関する
ものである。
スク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造
等の工程で半導体ウエハ等を収納するカセット等のワー
ク（以下単に「ワーク」という。）をクリーンな環境の
下で搬送するのに適したカバー付搬送ロボットに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、半導体工場において使用
されている半導体ウエハ搬送ロボットは、走行体と該走
行体に連設されたアーム部と半導体ウエハを収納したカ
セットを把持するチャック部からなり、複数の工程の各
製造装置に設けられた受渡口において半導体ウエハを収
納したカセットを把持及び開放する機能と、受渡口から
半導体ウエハを収納したカセットを他の工程の製造装置
等の所定位置まで搬送する機能を有している。また、半
導体ウエハ搬送ロボットが走行するいわゆるクリーンル
ームは、一般的には、天井から清浄空気が噴出、流下
し、床下から排気されるようになっているため、発塵し
た微細粒子は、この気流によって速やかに排出されるよ
うになっている。しかしながら、前記半導体ウエハ搬送
ロボットの走行中において、半導体ウエハ搬送ロボット
自体が複雑な形状をしていたり、高速で走行すると、半
導体ウエハ搬送ロボットの走行動作により、清浄空気の
流れに乱流を発生させることとなり、この乱流によっ
て、半導体ウエハ表面のほか、走行路付近の設備の表面
に塵埃が付着する不都合があった。
されている半導体ウエハ搬送ロボットは、走行体と該走
行体に連設されたアーム部と半導体ウエハを収納したカ
セットを把持するチャック部からなり、複数の工程の各
製造装置に設けられた受渡口において半導体ウエハを収
納したカセットを把持及び開放する機能と、受渡口から
半導体ウエハを収納したカセットを他の工程の製造装置
等の所定位置まで搬送する機能を有している。また、半
導体ウエハ搬送ロボットが走行するいわゆるクリーンル
ームは、一般的には、天井から清浄空気が噴出、流下
し、床下から排気されるようになっているため、発塵し
た微細粒子は、この気流によって速やかに排出されるよ
うになっている。しかしながら、前記半導体ウエハ搬送
ロボットの走行中において、半導体ウエハ搬送ロボット
自体が複雑な形状をしていたり、高速で走行すると、半
導体ウエハ搬送ロボットの走行動作により、清浄空気の
流れに乱流を発生させることとなり、この乱流によっ
て、半導体ウエハ表面のほか、走行路付近の設備の表面
に塵埃が付着する不都合があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の問
題点を解決し、清浄空気の流れに乱流を発生させること
とがなく、製品その他設備を清浄に保つとともに、ワー
クをクリーンな環境の下で搬送することができるカバー
付搬送ロボットを提供することを目的とする。
題点を解決し、清浄空気の流れに乱流を発生させること
とがなく、製品その他設備を清浄に保つとともに、ワー
クをクリーンな環境の下で搬送することができるカバー
付搬送ロボットを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１発明は、ワークをクリーンな環境の下で搬送
するカバー付搬送ロボットにおいて、該カバー付搬送ロ
ボットを、走行体と、該走行体の上部に設けたロボット
部と、該ロボット部全体を覆うカバーとで構成し、前記
カバーの横断面形状を略台形に形成し、略台形の平行面
をカバー付搬送ロボットの走行方向と平行になるように
し、さらに平行面の長辺側の側面をワークの搬入、搬出
側とするとともに、走行方向に対する前面及び後面に吸
気面を設け、その下部に排気孔を設けたことを特徴とす
る。
め、本第１発明は、ワークをクリーンな環境の下で搬送
するカバー付搬送ロボットにおいて、該カバー付搬送ロ
ボットを、走行体と、該走行体の上部に設けたロボット
部と、該ロボット部全体を覆うカバーとで構成し、前記
カバーの横断面形状を略台形に形成し、略台形の平行面
をカバー付搬送ロボットの走行方向と平行になるように
し、さらに平行面の長辺側の側面をワークの搬入、搬出
側とするとともに、走行方向に対する前面及び後面に吸
気面を設け、その下部に排気孔を設けたことを特徴とす
る。
【０００５】また、本第２発明は、本第１発明におい
て、前記ロボット部を、昇降部と、昇降部に連設したア
ーム部と、ワークを把持するチャック部とで構成すると
ともに、前記昇降部は走行方向に対して平行方向に動作
して前記チャック部に把持されたワークを昇降移送する
リンクからなり、前記アーム部は走行方向に対して直角
方向に動作して前記チャック部に把持されたワークを走
行方向に対して直角方向に移送するリンクからなること
を特徴とする。
て、前記ロボット部を、昇降部と、昇降部に連設したア
ーム部と、ワークを把持するチャック部とで構成すると
ともに、前記昇降部は走行方向に対して平行方向に動作
して前記チャック部に把持されたワークを昇降移送する
リンクからなり、前記アーム部は走行方向に対して直角
方向に動作して前記チャック部に把持されたワークを走
行方向に対して直角方向に移送するリンクからなること
を特徴とする。
【０００６】
【作用】本第１発明によれば、ロボット部全体をカバー
で覆い、カバーの横断面形状を略台形に形成し、略台形
の平行面をカバー付搬送ロボットの走行方向と平行にな
るようにし、さらに平行面の長辺側の側面をワークの搬
入、搬出側とするとともに、走行方向に対する前面及び
後面に吸気面を設け、その下部に排気孔を設けるように
したので、清浄空気の流れに乱流を発生させることとが
なく、ワークの主なる搬入、搬出側の清浄空気の流れに
対する乱流の発生を低減でき、ワークや設備を清浄に保
ちながら、ワークを搬送する。
で覆い、カバーの横断面形状を略台形に形成し、略台形
の平行面をカバー付搬送ロボットの走行方向と平行にな
るようにし、さらに平行面の長辺側の側面をワークの搬
入、搬出側とするとともに、走行方向に対する前面及び
後面に吸気面を設け、その下部に排気孔を設けるように
したので、清浄空気の流れに乱流を発生させることとが
なく、ワークの主なる搬入、搬出側の清浄空気の流れに
対する乱流の発生を低減でき、ワークや設備を清浄に保
ちながら、ワークを搬送する。
【０００７】さらに、本第２発明によれば、ロボット部
の縦軸方向に常に空間が確保され、ロボット部の構成部
材によりカバー内部の空気の流通が妨げられることがな
く、また、ロボット部、すなわちカバーの走行方向に対
する直角方向の幅を狭くすることにより、清浄空気の流
れに対する乱流の発生をより有効に防止する。
の縦軸方向に常に空間が確保され、ロボット部の構成部
材によりカバー内部の空気の流通が妨げられることがな
く、また、ロボット部、すなわちカバーの走行方向に対
する直角方向の幅を狭くすることにより、清浄空気の流
れに対する乱流の発生をより有効に防止する。
【０００８】
【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて説明す
る。
る。
【０００９】図１はカバー付搬送ロボットをワークの搬
入、搬出側、すなわち各種の製造装置（図示せず）側か
ら見た外観斜視図、図２はその逆側から見た外観斜視図
であり、図３はロボット部の外観斜視図である。
入、搬出側、すなわち各種の製造装置（図示せず）側か
ら見た外観斜視図、図２はその逆側から見た外観斜視図
であり、図３はロボット部の外観斜視図である。
【００１０】カバー付搬送ロボットは、走行体１と、走
行体１の上部に設けた昇降部２と昇降部２に連設したア
ーム部３とワーク４を把持するチャック部５からなるロ
ボット部１０と、ロボット部１０を覆うカバー６で構成
される。
行体１の上部に設けた昇降部２と昇降部２に連設したア
ーム部３とワーク４を把持するチャック部５からなるロ
ボット部１０と、ロボット部１０を覆うカバー６で構成
される。
【００１１】走行体１は、複数の工程の各製造装置等の
設備を連絡するように施設されたレール７上をガイドさ
れ、走行駆動装置（図示せず）の牽引等によって走行す
るように構成されている。昇降部２は走行体１の上部に
設けられ、昇降部駆動モータ２１、タイミングベルト２
２、減速機２３、昇降部リンク２４，２５及び昇降枠２
６よりなり、この昇降部２は、走行体１の走行方向ｘに
対して平行方向に動作してチャック部５に把持されたワ
ーク４を昇降移送するように構成されている。アーム部
３は昇降部２の昇降枠２６に連設され、アーム部駆動モ
ータ３１、アーム部リンク３２，３３及び傾転用モータ
３４よりなり、このアーム部３は、走行体１の走行方向
ｘに対して直角方向ｚに動作してチャック部５に把持さ
れたワーク４を走行方向ｘに対して直角方向ｚに移送す
るように構成されている。ワーク４を把持するチャック
部５はアーム部３の先端に設けられ、チャック部材５１
及び係止爪５２よりなる。カバー６は昇降部２、アーム
部３及びチャック部５からなるロボット部１０全体をを
覆い、走行体１と一体化されている。カバー６の上面６
０ａ並びに前面６０ｂ及び後面６０ｃの上部には、上面
フィルター付ファン６１ａ、前面フィルター付ファン６
１ｂ、後面フィルター付ファン６１ｃをそれぞれ設け、
カバー６の前面６０ａ、後面６０ｂ及び平行面の短辺側
の側面６０ｄの下部には、排気孔６２ｂ，６２ｃ，６２
ｄを設けてなる。また、カバー６は、横断面形状を角部
にアールを形成した略台形に形成するとともに、平行面
がカバー付搬送ロボットの走行方向ｘと平行になるよう
にし、さらに平行面の長辺側の側面６０ｅをワーク４の
搬入、搬出側とすることによって、ワーク４の搬入、搬
出側をほぼ平坦面とするとともに、このワーク４の搬
入、搬出側には、スライド方式等により開閉可能とした
扉６３を設ける。なお、図１は、この扉６３を開放した
状態を示しているが、扉６３を開放した場合の開口の６
４の大きさは、ワーク４の大きさ等に応じて適宜変更す
ることができる。
設備を連絡するように施設されたレール７上をガイドさ
れ、走行駆動装置（図示せず）の牽引等によって走行す
るように構成されている。昇降部２は走行体１の上部に
設けられ、昇降部駆動モータ２１、タイミングベルト２
２、減速機２３、昇降部リンク２４，２５及び昇降枠２
６よりなり、この昇降部２は、走行体１の走行方向ｘに
対して平行方向に動作してチャック部５に把持されたワ
ーク４を昇降移送するように構成されている。アーム部
３は昇降部２の昇降枠２６に連設され、アーム部駆動モ
ータ３１、アーム部リンク３２，３３及び傾転用モータ
３４よりなり、このアーム部３は、走行体１の走行方向
ｘに対して直角方向ｚに動作してチャック部５に把持さ
れたワーク４を走行方向ｘに対して直角方向ｚに移送す
るように構成されている。ワーク４を把持するチャック
部５はアーム部３の先端に設けられ、チャック部材５１
及び係止爪５２よりなる。カバー６は昇降部２、アーム
部３及びチャック部５からなるロボット部１０全体をを
覆い、走行体１と一体化されている。カバー６の上面６
０ａ並びに前面６０ｂ及び後面６０ｃの上部には、上面
フィルター付ファン６１ａ、前面フィルター付ファン６
１ｂ、後面フィルター付ファン６１ｃをそれぞれ設け、
カバー６の前面６０ａ、後面６０ｂ及び平行面の短辺側
の側面６０ｄの下部には、排気孔６２ｂ，６２ｃ，６２
ｄを設けてなる。また、カバー６は、横断面形状を角部
にアールを形成した略台形に形成するとともに、平行面
がカバー付搬送ロボットの走行方向ｘと平行になるよう
にし、さらに平行面の長辺側の側面６０ｅをワーク４の
搬入、搬出側とすることによって、ワーク４の搬入、搬
出側をほぼ平坦面とするとともに、このワーク４の搬
入、搬出側には、スライド方式等により開閉可能とした
扉６３を設ける。なお、図１は、この扉６３を開放した
状態を示しているが、扉６３を開放した場合の開口の６
４の大きさは、ワーク４の大きさ等に応じて適宜変更す
ることができる。
【００１２】上記のように構成されたカバー付搬送ロボ
ットを半導体ウエハ搬送ロボットとして使用する場合に
ついて以下説明する。この場合、ワーク４として、半導
体ウエハ（図示せず）を直立して挿置するカセットを使
用する。ワーク４は、複数の工程の各製造装置に設けら
れた受渡口に半導体ウエハを収納した状態で整列されて
いる。受渡口の前面に半導体ウエハ搬送ロボットを停止
させ、扉を開き、昇降部駆動モータ２１を駆動し、タイ
ミングベルト２２、減速機２３、昇降部リンク２４，２
５及び昇降枠２６を介してアーム部３の水準を調節し、
アーム部駆動モータ３１及び傾動用モータ３４を駆動
し、アーム部リンク３２，３３を介してチャック部５を
ワーク４の受渡口に移動し、チャック部材５１及び係止
爪５２によりワーク４を把持し、アーム部駆動モータ３
１及び傾動用モータ３４を駆動し、アーム部リンク３
２，３３を介してチャック部５、すなわちをワーク４を
カバー６内部に収容した後、扉を閉じる。その後、半導
体ウエハ搬送ロボットは、次の工程の製造装置までレー
ル７上をガイドされながら走行駆動装置に牽引されて走
行し、上記と同様の作業を繰り返す。なお、上記使用方
法は、製造装置に設けられた受渡口に整列されているワ
ーク４を半導体ウエハ搬送ロボット内部に収容する工程
についてのみ説明したが、半導体ウエハ搬送ロボット内
部に収容されているワーク４を製造装置に設けられた受
渡口に放出する場合も、昇降部２、アーム部３及びチャ
ック部５を順に作動させることにより行うが、この操作
は、ワーク４を収容する工程とほぼ同様であるので、説
明は省略する。
ットを半導体ウエハ搬送ロボットとして使用する場合に
ついて以下説明する。この場合、ワーク４として、半導
体ウエハ（図示せず）を直立して挿置するカセットを使
用する。ワーク４は、複数の工程の各製造装置に設けら
れた受渡口に半導体ウエハを収納した状態で整列されて
いる。受渡口の前面に半導体ウエハ搬送ロボットを停止
させ、扉を開き、昇降部駆動モータ２１を駆動し、タイ
ミングベルト２２、減速機２３、昇降部リンク２４，２
５及び昇降枠２６を介してアーム部３の水準を調節し、
アーム部駆動モータ３１及び傾動用モータ３４を駆動
し、アーム部リンク３２，３３を介してチャック部５を
ワーク４の受渡口に移動し、チャック部材５１及び係止
爪５２によりワーク４を把持し、アーム部駆動モータ３
１及び傾動用モータ３４を駆動し、アーム部リンク３
２，３３を介してチャック部５、すなわちをワーク４を
カバー６内部に収容した後、扉を閉じる。その後、半導
体ウエハ搬送ロボットは、次の工程の製造装置までレー
ル７上をガイドされながら走行駆動装置に牽引されて走
行し、上記と同様の作業を繰り返す。なお、上記使用方
法は、製造装置に設けられた受渡口に整列されているワ
ーク４を半導体ウエハ搬送ロボット内部に収容する工程
についてのみ説明したが、半導体ウエハ搬送ロボット内
部に収容されているワーク４を製造装置に設けられた受
渡口に放出する場合も、昇降部２、アーム部３及びチャ
ック部５を順に作動させることにより行うが、この操作
は、ワーク４を収容する工程とほぼ同様であるので、説
明は省略する。
【００１３】また、半導体ウエハ搬送ロボットが走行す
るいわゆるクリーンルームは、一般的には、天井から清
浄空気が噴出、流下し、床下から排気されるようになっ
ているため、発塵した微細粒子は、この気流によって速
やかに排出されるようになっているが、この半導体ウエ
ハ搬送ロボットが走行する際、カバー６により、また、
カバー６の走行方向ｘに対して前面６０ｂ及び後面６０
ｃに設けたフィルター付ファン６１ｂ，６１ｃによりカ
バー６の前面６０ｂ及び後面６０ｃの空気を吸引するこ
とにより、また、特に本実施例では、カバー６は、横断
面形状を角部にアールを形成した略台形に形成するとと
もに、平行面がカバー付搬送ロボットの走行方向ｘと平
行になるようにし、さらに平行面の長辺側の側面６０ｅ
をワーク４の搬入、搬出側とすることによって、カバー
６のワーク４の搬入、搬出側をほぼ平坦面としたことか
ら、半導体ウエハ搬送ロボット、特にワーク４の搬入、
搬出側周辺の気流はカバー６に沿ってほぼ層流状態とな
り、半導体ウエハ搬送ロボットの走行による清浄空気の
流れに対する乱流の発生を防止する。
るいわゆるクリーンルームは、一般的には、天井から清
浄空気が噴出、流下し、床下から排気されるようになっ
ているため、発塵した微細粒子は、この気流によって速
やかに排出されるようになっているが、この半導体ウエ
ハ搬送ロボットが走行する際、カバー６により、また、
カバー６の走行方向ｘに対して前面６０ｂ及び後面６０
ｃに設けたフィルター付ファン６１ｂ，６１ｃによりカ
バー６の前面６０ｂ及び後面６０ｃの空気を吸引するこ
とにより、また、特に本実施例では、カバー６は、横断
面形状を角部にアールを形成した略台形に形成するとと
もに、平行面がカバー付搬送ロボットの走行方向ｘと平
行になるようにし、さらに平行面の長辺側の側面６０ｅ
をワーク４の搬入、搬出側とすることによって、カバー
６のワーク４の搬入、搬出側をほぼ平坦面としたことか
ら、半導体ウエハ搬送ロボット、特にワーク４の搬入、
搬出側周辺の気流はカバー６に沿ってほぼ層流状態とな
り、半導体ウエハ搬送ロボットの走行による清浄空気の
流れに対する乱流の発生を防止する。
【００１４】なお、ここでは、本発明のカバー付搬送ロ
ボットを半導体ウエハ搬送ロボットとして使用する場合
について説明したが、本発明の対象は、半導体ウエハの
ほか、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディス
ク、液晶等の製造等の工程で対象製品を収納するカセッ
ト等のワークをクリーンな環境の下で搬送するために広
範囲に使用できるものである。
ボットを半導体ウエハ搬送ロボットとして使用する場合
について説明したが、本発明の対象は、半導体ウエハの
ほか、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディス
ク、液晶等の製造等の工程で対象製品を収納するカセッ
ト等のワークをクリーンな環境の下で搬送するために広
範囲に使用できるものである。
【００１５】
【発明の効果】本第１発明によれば、ロボット部全体を
カバーで覆い、カバーの横断面形状を略台形に形成し、
略台形の平行面をカバー付搬送ロボットの走行方向と平
行になるようにし、さらに平行面の長辺側の側面をワー
クの搬入、搬出側とするとともに、走行方向に対する前
面及び後面に吸気面を設け、その下部に排気孔を設ける
ようにしたので、清浄空気の流れに乱流を発生させるこ
ととがなく、このため、従来のように乱流が生じて塵埃
が舞い上がりワークや設備の表面に塵埃が付着するよう
なことがなく、ワークの主なる搬入、搬出側の清浄空気
の流れに対する乱流の発生を低減でき、ワークや設備を
清浄に保ちながら、ワークをクリーンな環境の下で搬送
することができる。
カバーで覆い、カバーの横断面形状を略台形に形成し、
略台形の平行面をカバー付搬送ロボットの走行方向と平
行になるようにし、さらに平行面の長辺側の側面をワー
クの搬入、搬出側とするとともに、走行方向に対する前
面及び後面に吸気面を設け、その下部に排気孔を設ける
ようにしたので、清浄空気の流れに乱流を発生させるこ
ととがなく、このため、従来のように乱流が生じて塵埃
が舞い上がりワークや設備の表面に塵埃が付着するよう
なことがなく、ワークの主なる搬入、搬出側の清浄空気
の流れに対する乱流の発生を低減でき、ワークや設備を
清浄に保ちながら、ワークをクリーンな環境の下で搬送
することができる。
【００１６】さらに、本第２発明によれば、ロボット部
の縦軸方向に常に空間が確保され、ロボット部の構成部
材によりカバー内部の空気の流通が妨げられることがな
く、カバー内部のワークの周囲の空気の流通がきわめて
円滑に行うことができ、また、ロボット部、すなわちカ
バーの走行方向に対する直角方向の幅を狭くすることに
より、清浄空気の流れに対する乱流の発生をより有効に
防止することができる。
の縦軸方向に常に空間が確保され、ロボット部の構成部
材によりカバー内部の空気の流通が妨げられることがな
く、カバー内部のワークの周囲の空気の流通がきわめて
円滑に行うことができ、また、ロボット部、すなわちカ
バーの走行方向に対する直角方向の幅を狭くすることに
より、清浄空気の流れに対する乱流の発生をより有効に
防止することができる。
【図１】本発明のカバー付搬送ロボットの外観斜視図。
【図２】本発明のカバー付搬送ロボットの他方向から見
た外観斜視図。
た外観斜視図。
【図３】本発明のロボット部の外観斜視図。
１ 走行体 １０ ロボット部 ２ 昇降部 ３ アーム部 ４ ワーク ５ チャック部 ６ カバー ６０ａ 上面 ６０ｂ 前面 ６０ｃ 後面 ６０ｄ 側面（短辺側） ６０ｅ 側面（長辺側） ６１ａ 上面フィルター付ファン ６１ｂ 前面フィルター付ファン ６１ｃ 後面フィルター付ファン ６２ｂ 排気孔 ６２ｃ 排気孔 ６２ｄ 排気孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東 人士 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292 株式 会社日立製作所 生産技術研究所内 (72)発明者 伊東 徹雄 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292 株式 会社日立画像情報システム内 (72)発明者 福渡 一郎 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日 立機電工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−250790（ＪＰ，Ａ) 実開 平６−14144（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B25J 19/00 B65G 49/07 H01L 21/68
Claims (2)
- 【請求項１】 ワーク（４）をクリーンな環境の下で搬
送するカバー付搬送ロボットにおいて、該カバー付搬送
ロボットを、走行体（１）と、該走行体（１）の上部に
設けたロボット部（１０）と、該ロボット部（１０）全
体を覆うカバー（６）とで構成し、前記カバー（６）の
横断面形状を略台形に形成し、略台形の平行面をカバー
付搬送ロボットの走行方向（ｘ）と平行になるように
し、さらに平行面の長辺側の側面（６０ｅ）をワークの
搬入、搬出側とするとともに、走行方向（ｘ）に対する
前面（６０ｂ）及び後面（６０ｃ）に吸気面（６１ｂ，
６１ｃ）を設け、その下部に排気孔（６２ｂ，６２ｃ）
を設けたことを特徴とするカバー付搬送ロボット。 - 【請求項２】 前記ロボット部（１０）を、昇降部
（２）と、昇降部（２）に連設したアーム部（３）と、
ワーク（４）を把持するチャック部（５）とで構成する
とともに、前記昇降部（２）は走行方向（ｘ）に対して
平行方向に動作して前記チャック部（５）に把持された
ワーク（４）を昇降移送するリンク（２４，２５）から
なり、前記アーム部（３）は走行方向（ｘ）に対して直
角方向（ｚ）に動作して前記チャック部（５）に把持さ
れたワーク（４）を走行方向（ｘ）に対して直角方向
（ｚ）に移送するリンク（３２，３３）からなることを
特徴とする請求項１記載のカバー付搬送ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36050092A JP2975792B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | カバー付搬送ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36050092A JP2975792B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | カバー付搬送ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06198589A JPH06198589A (ja) | 1994-07-19 |
| JP2975792B2 true JP2975792B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=18469669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36050092A Expired - Fee Related JP2975792B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | カバー付搬送ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2975792B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101541538B1 (ko) * | 2008-12-19 | 2015-08-04 | 세메스 주식회사 | 웨이퍼 이송 유닛 및 이를 포함하는 프로브 스테이션 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP36050092A patent/JP2975792B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH06198589A (ja) | 1994-07-19 |
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