JPH0619559A - 液体温度制御装置 - Google Patents
液体温度制御装置Info
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- JPH0619559A JPH0619559A JP1892091A JP1892091A JPH0619559A JP H0619559 A JPH0619559 A JP H0619559A JP 1892091 A JP1892091 A JP 1892091A JP 1892091 A JP1892091 A JP 1892091A JP H0619559 A JPH0619559 A JP H0619559A
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- heat exchanger
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 58
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 3
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 abstract description 18
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 abstract description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、高精度の温度制御を行うことのでき
る温度制御装置を提供することを目的とする。 【構成】本発明では、超純水等等の液体を供給する液体
供給手段と、液体供給手段から供給用配管を介して供給
されて出水用配管を介して出力される液体を所望の温度
に制御する熱交換器とを具備し、熱交換器が温水タンク
から流出されてくる温水管と熱的に接触せしめられ熱交
換を行うように構成された液体温度制御装置において、
温水管中に、前記温水タンクから前記熱交換器への温水
の供給量を制御する３方弁を配設し、出水用配管の温度
に応じて３方弁の開閉度を調整し、温水タンクから温水
管への温水供給量を制御するようにしている。
る温度制御装置を提供することを目的とする。 【構成】本発明では、超純水等等の液体を供給する液体
供給手段と、液体供給手段から供給用配管を介して供給
されて出水用配管を介して出力される液体を所望の温度
に制御する熱交換器とを具備し、熱交換器が温水タンク
から流出されてくる温水管と熱的に接触せしめられ熱交
換を行うように構成された液体温度制御装置において、
温水管中に、前記温水タンクから前記熱交換器への温水
の供給量を制御する３方弁を配設し、出水用配管の温度
に応じて３方弁の開閉度を調整し、温水タンクから温水
管への温水供給量を制御するようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液体温度制御装置に係
り、特に、超純水等の液体の温度を高精度に制御するこ
とのできる装置に関する。
り、特に、超純水等の液体の温度を高精度に制御するこ
とのできる装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体技術の進歩に従い、半導体装置の
微細化高集積化は進む一方であり、超純水の使用頻度は
大幅に増大しており、温度についても高精度に制御する
必要性が高まっている。
微細化高集積化は進む一方であり、超純水の使用頻度は
大幅に増大しており、温度についても高精度に制御する
必要性が高まっている。
【０００３】そこで、液温の制御を行うためにいろいろ
な温度制御装置が開発されている。その１つに図２に示
すように、温水タンク１０を用い、この温水タンクから
熱交換器１１への供給をオンオフすることによって超純
水供給手段から入り口管１２を介して送られてくる超純
水の温度制御を行うようにした温水方式のものがある。
この温度制御装置は、通常、温水の充填された温水タン
ク１０から、配管１３を介して、ポンプ１４によって温
水を循環せしめ、熱交換器１１で熱交換を行い、超純水
の温度制御を行うように構成されている。
な温度制御装置が開発されている。その１つに図２に示
すように、温水タンク１０を用い、この温水タンクから
熱交換器１１への供給をオンオフすることによって超純
水供給手段から入り口管１２を介して送られてくる超純
水の温度制御を行うようにした温水方式のものがある。
この温度制御装置は、通常、温水の充填された温水タン
ク１０から、配管１３を介して、ポンプ１４によって温
水を循環せしめ、熱交換器１１で熱交換を行い、超純水
の温度制御を行うように構成されている。
【０００４】このような装置においては、熱交換器から
熱交換を終えた超純水が出ていく出口管１５に設けられ
た温度センサ１６によって超純水の温度を測定しこの温
度に応じてコントローラ１７が配管１３に設けられた弁
１８の開閉を行い、温水タンク１０から、配管１３を介
して熱交換器１１に送出される温水をオンオフし、セン
サ出力が高すぎる場合はバイパス１９を介して温水を温
水タンク１０に戻すことによって超純水の温度制御を行
うようにしている。
熱交換を終えた超純水が出ていく出口管１５に設けられ
た温度センサ１６によって超純水の温度を測定しこの温
度に応じてコントローラ１７が配管１３に設けられた弁
１８の開閉を行い、温水タンク１０から、配管１３を介
して熱交換器１１に送出される温水をオンオフし、セン
サ出力が高すぎる場合はバイパス１９を介して温水を温
水タンク１０に戻すことによって超純水の温度制御を行
うようにしている。
【０００５】しかしながら、このような方式では、弁の
オンオフのみで温度制御がなされているため、高精度の
温度制御は不可能であるという問題があった。
オンオフのみで温度制御がなされているため、高精度の
温度制御は不可能であるという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように、温度制御
装置では、高精度の温度制御を行うのは実用上不可能で
あるという問題があった。
装置では、高精度の温度制御を行うのは実用上不可能で
あるという問題があった。
【０００７】本発明は、前記実情に鑑みてなされたもの
で、高精度の温度制御を行うことのできる温度制御装置
を提供することを目的とする。
で、高精度の温度制御を行うことのできる温度制御装置
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そこで本発明では、超純
水等の液体を供給する液体供給手段と、液体供給手段か
ら供給用配管を介して供給されて出水用配管を介して出
力される液体を所望の温度に制御する熱交換器とを具備
し、熱交換器が温水タンクから流出されてくる温水管と
熱的に接触せしめられ熱交換を行うように構成された液
体温度制御装置において、温水管中に、前記温水タンク
から前記熱交換器への温水の供給量を制御する３方弁を
配設し、出水用配管の温度に応じて３方弁の開閉度を調
整し、温水タンクから温水管への温水供給量を制御する
ようにしている。
水等の液体を供給する液体供給手段と、液体供給手段か
ら供給用配管を介して供給されて出水用配管を介して出
力される液体を所望の温度に制御する熱交換器とを具備
し、熱交換器が温水タンクから流出されてくる温水管と
熱的に接触せしめられ熱交換を行うように構成された液
体温度制御装置において、温水管中に、前記温水タンク
から前記熱交換器への温水の供給量を制御する３方弁を
配設し、出水用配管の温度に応じて３方弁の開閉度を調
整し、温水タンクから温水管への温水供給量を制御する
ようにしている。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、出水用配管の温度に応じて
３方弁の開閉度を調整し、温水タンクから温水管への温
水供給量を制御するようにしているため、容易に高精度
の温度制御を行うことが可能となる。
３方弁の開閉度を調整し、温水タンクから温水管への温
水供給量を制御するようにしているため、容易に高精度
の温度制御を行うことが可能となる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
つつ詳細に説明する。
つつ詳細に説明する。
【００１１】この超純水温度制御装置は、温水タンク１
０とた熱交換器１１との間に３方弁８を設け、この３方
弁の開閉度によって温度コントロールを行うようにした
ことを特徴とするものである。
０とた熱交換器１１との間に３方弁８を設け、この３方
弁の開閉度によって温度コントロールを行うようにした
ことを特徴とするものである。
【００１２】他の部分については図２に示した従来例の
超純粋温度制御装置とまったく同様に構成されている。
超純粋温度制御装置とまったく同様に構成されている。
【００１３】このような装置においては、熱交換器から
熱交換を終えた超純水が出ていく出口管１５に設けられ
た温度センサ１６によって超純水の温度を測定しこの温
度に応じてコントローラ１７が配管１３に設けられた３
方弁１８の開閉度を決定し、この開閉度に応じて、温水
タンク１０から、配管１３を介して熱交換器１１に送出
される温水量を制御し、センサ出力と基準値との差に応
じてバイパス１９を介して温水タンク１０に戻す温水量
をアナログ制御する。
熱交換を終えた超純水が出ていく出口管１５に設けられ
た温度センサ１６によって超純水の温度を測定しこの温
度に応じてコントローラ１７が配管１３に設けられた３
方弁１８の開閉度を決定し、この開閉度に応じて、温水
タンク１０から、配管１３を介して熱交換器１１に送出
される温水量を制御し、センサ出力と基準値との差に応
じてバイパス１９を介して温水タンク１０に戻す温水量
をアナログ制御する。
【００１４】このようにして極めて高精度の温度コント
ロールを行うことが可能となる。
ロールを行うことが可能となる。
【００１５】なお、前記実施例では超純水温度制御装置
について説明したが、他の液体の温度制御装置にも適用
可能であることはいうまでもない。
について説明したが、他の液体の温度制御装置にも適用
可能であることはいうまでもない。
【００１６】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、熱交換器が温水タンクから流出されてくる温水管と
熱的に接触せしめられ熱交換を行うように構成された液
体温度制御装置において、温水管中に、前記温水タンク
から前記熱交換器への温水の供給量を制御する３方弁を
配設し、出水用配管の温度に応じて３方弁の開閉度を調
整し、温水タンクから温水管への温水供給量を制御する
ようにしているため、容易に高精度の温度制御を行うこ
とが可能となる。
ば、熱交換器が温水タンクから流出されてくる温水管と
熱的に接触せしめられ熱交換を行うように構成された液
体温度制御装置において、温水管中に、前記温水タンク
から前記熱交換器への温水の供給量を制御する３方弁を
配設し、出水用配管の温度に応じて３方弁の開閉度を調
整し、温水タンクから温水管への温水供給量を制御する
ようにしているため、容易に高精度の温度制御を行うこ
とが可能となる。
【図１】本発明実施例の超純水温度制御装置を示す図。
【図２】従来例の超純水温度制御装置を示す図。
１０ 温水タンク １１ 熱交換器 １２ 入り口管 １３ 配管 １４ ポンプ １５ 出口管 １６ 温度センサ １７ コントローラ １８ 弁 １９ バイパス
Claims (1)
- 【請求項１】液体を供給する液体供給手段と、 前記液体供給手段から供給用配管を介して供給されて出
水用配管を介して出力される液体を所望の温度に制御す
る熱交換器とを具備し、前記熱交換器が温水タンクから
流出されてくる温水管と熱的に接触せしめられ熱交換を
行うように構成された液体温度制御装置において前記温
水管中に配設され、前記温水タンクから前記熱交換器へ
の温水の供給量を制御する３方弁と前記出水用配管の温
度を検出する温度検出手段と、 前記温度検出手段の検出値に応じて前記３方弁の開閉度
を調整する制御手段とを具備し、 前記温水タンクから前記温水管への温水供給量を制御す
るようにしたことを特徴とする液体温度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1892091A JPH0619559A (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 液体温度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1892091A JPH0619559A (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 液体温度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0619559A true JPH0619559A (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=11985052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1892091A Pending JPH0619559A (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 液体温度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619559A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4841120A (en) * | 1986-09-12 | 1989-06-20 | Sony Corporation | Thermal head |
-
1991
- 1991-02-12 JP JP1892091A patent/JPH0619559A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4841120A (en) * | 1986-09-12 | 1989-06-20 | Sony Corporation | Thermal head |
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