JPH06194112A - 磁気エンコーダ - Google Patents
磁気エンコーダInfo
- Publication number
- JPH06194112A JPH06194112A JP34651992A JP34651992A JPH06194112A JP H06194112 A JPH06194112 A JP H06194112A JP 34651992 A JP34651992 A JP 34651992A JP 34651992 A JP34651992 A JP 34651992A JP H06194112 A JPH06194112 A JP H06194112A
- Authority
- JP
- Japan
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- magnetic
- magnet array
- magnetic field
- detection element
- scale
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気検出素子１の検出磁界方向と磁気スケー
ル２の方向の成す角度θが所定の傾斜角度となるように
配置し、もって着磁パターンの変更や出力信号を分周せ
ずにデューティ比を５０％にし得る磁気エンコーダを提
供する。 【構成】 磁気エンコーダは、所定ピッチでＮ極、Ｓ極
が交互に配置された磁気スケール２と、磁気スケール２
に所定間隙だけ離間して配置された磁気検出素子１とか
ら構成されており、磁気検出素子１の検出磁界方向と磁
石列の方向の成す角度がθとなるように配置されてい
る。従って、磁気検出素子１を磁気スケール２に対して
θだけ回転することにより、磁気検出素子１が検出する
磁界は、Ｚ方向の検出される磁界を変えることなくＸ方
向の検出される磁界をｃｏｓθ倍に小さくし、磁気スケ
ール２を移動する際に、ＯＮするタイミングが変わるこ
ととなる。このようにして、着磁パターンを変えること
なく、容易にデューティ比を変えられる。
ル２の方向の成す角度θが所定の傾斜角度となるように
配置し、もって着磁パターンの変更や出力信号を分周せ
ずにデューティ比を５０％にし得る磁気エンコーダを提
供する。 【構成】 磁気エンコーダは、所定ピッチでＮ極、Ｓ極
が交互に配置された磁気スケール２と、磁気スケール２
に所定間隙だけ離間して配置された磁気検出素子１とか
ら構成されており、磁気検出素子１の検出磁界方向と磁
石列の方向の成す角度がθとなるように配置されてい
る。従って、磁気検出素子１を磁気スケール２に対して
θだけ回転することにより、磁気検出素子１が検出する
磁界は、Ｚ方向の検出される磁界を変えることなくＸ方
向の検出される磁界をｃｏｓθ倍に小さくし、磁気スケ
ール２を移動する際に、ＯＮするタイミングが変わるこ
ととなる。このようにして、着磁パターンを変えること
なく、容易にデューティ比を変えられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｎ極、Ｓ極が交互に配
置された磁石列と、磁石列と平行な方向の磁界を検出す
る第１磁気抵抗素子及び磁石列と垂直な方向の磁界を検
出する第２磁気抵抗素子からなる磁石列に沿って平行移
動する磁気検出素子と、を備え、磁気検出素子により磁
石列と磁気検出素子との相対移動量を検出する磁気エン
コーダに関する。
置された磁石列と、磁石列と平行な方向の磁界を検出す
る第１磁気抵抗素子及び磁石列と垂直な方向の磁界を検
出する第２磁気抵抗素子からなる磁石列に沿って平行移
動する磁気検出素子と、を備え、磁気検出素子により磁
石列と磁気検出素子との相対移動量を検出する磁気エン
コーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｎ極、Ｓ極が交互に配置された磁
石列に沿って磁気検出素子を平行移動させ、磁気検出素
子と磁石列との相対移動量を検出する磁気エンコーダが
知られている。
石列に沿って磁気検出素子を平行移動させ、磁気検出素
子と磁石列との相対移動量を検出する磁気エンコーダが
知られている。
【０００３】図５は、従来の磁気エンコーダの構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【０００４】磁気エンコーダは、図５に示すように、所
定ピッチでＮ極、Ｓ極が交互に配置された磁石列として
の磁気スケール２と、磁気スケール２に所定間隙Ｇだけ
離間して配置された強磁性体からなる磁気検出素子１と
から構成されている。そして、磁気検出素子１は、図６
に示すように、磁気スケール２と平行な方向（ｘ方向）
の磁界を検出する第１磁気抵抗素子としての一対の磁気
抵抗パターン３と、磁気スケール２と垂直な方向（ｚ方
向）の磁界を検出する第２磁気抵抗素子としての一対の
磁気抵抗パターン４とを備えている。
定ピッチでＮ極、Ｓ極が交互に配置された磁石列として
の磁気スケール２と、磁気スケール２に所定間隙Ｇだけ
離間して配置された強磁性体からなる磁気検出素子１と
から構成されている。そして、磁気検出素子１は、図６
に示すように、磁気スケール２と平行な方向（ｘ方向）
の磁界を検出する第１磁気抵抗素子としての一対の磁気
抵抗パターン３と、磁気スケール２と垂直な方向（ｚ方
向）の磁界を検出する第２磁気抵抗素子としての一対の
磁気抵抗パターン４とを備えている。
【０００５】また、磁気検出素子１は、図７に示すよう
に、前記磁気抵抗パターン３、４がブリッジ接続され、
更にそのブリッジ電圧が供給される差動増幅処理回路５
を有しており、磁気検出素子１は、ｘ方向の磁界とｚ方
向の磁界との差でオン、オフするようになっている。例
えば、磁気スケール２が、ｘ方向に移動した場合、磁気
抵抗パターン３、４に作用する磁束が変化し、ｚ方向の
磁界がｘ方向の磁界より大きくなると磁気検出素子１は
実施例においてオンし、図８に示すようなパルス信号を
発生する。
に、前記磁気抵抗パターン３、４がブリッジ接続され、
更にそのブリッジ電圧が供給される差動増幅処理回路５
を有しており、磁気検出素子１は、ｘ方向の磁界とｚ方
向の磁界との差でオン、オフするようになっている。例
えば、磁気スケール２が、ｘ方向に移動した場合、磁気
抵抗パターン３、４に作用する磁束が変化し、ｚ方向の
磁界がｘ方向の磁界より大きくなると磁気検出素子１は
実施例においてオンし、図８に示すようなパルス信号を
発生する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の磁気エンコーダ
は、以上のように構成されており、磁気検出素子１から
発生する信号のデューティ比（ａ：ｂ）は５０％になら
ない。そして磁気エンコーダの信号処理を容易にし、検
出精度を向上するためにはデューティ比を５０％にする
ことが望ましく、従来は磁気スケール２の着磁パターン
の変更や出力信号を分周することによりデューティ比を
５０％にしていた。
は、以上のように構成されており、磁気検出素子１から
発生する信号のデューティ比（ａ：ｂ）は５０％になら
ない。そして磁気エンコーダの信号処理を容易にし、検
出精度を向上するためにはデューティ比を５０％にする
ことが望ましく、従来は磁気スケール２の着磁パターン
の変更や出力信号を分周することによりデューティ比を
５０％にしていた。
【０００７】しかし、着磁パターンの変更によりデュー
ティ比を５０％にする方法では、着磁パターンは思考錯
誤により決定され、予め設計することができず量産化が
図れず、かつ調整の手間が煩雑であるという問題点があ
った。また、出力信号を分周してデューティ比を５０％
にする方法では、パルス数が半分になるため、検出分解
能が低化してしまうという問題があった。
ティ比を５０％にする方法では、着磁パターンは思考錯
誤により決定され、予め設計することができず量産化が
図れず、かつ調整の手間が煩雑であるという問題点があ
った。また、出力信号を分周してデューティ比を５０％
にする方法では、パルス数が半分になるため、検出分解
能が低化してしまうという問題があった。
【０００８】この発明は、上記のような課題を解消する
ためになされたもので、着磁パターンの変更や出力信号
を分周せずに磁気検出素子の出力デューティ比を５０％
にし得る磁気エンコーダを提供することを目的とするも
のである。
ためになされたもので、着磁パターンの変更や出力信号
を分周せずに磁気検出素子の出力デューティ比を５０％
にし得る磁気エンコーダを提供することを目的とするも
のである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述事情に鑑
みなされたものであって、本発明に係る磁気エンコーダ
は、Ｎ極、Ｓ極が交互に配置された磁石列と、磁石列と
平行な方向の磁界を検出する第１磁気抵抗素子及び磁石
列と垂直な方向の磁界を検出する第２磁気抵抗素子から
なり磁石列に沿って平行移動する磁気検出素子と、を備
え、第１磁気抵抗素子の検出磁界方向と磁石列の方向の
成す角度が所定の傾斜角度となるように配置し、第１磁
気抵抗素子の検出磁界方向と磁石列の方向の成す角度を
調整することにより磁気検出素子の出力のデューティ比
を調整し得ることを特徴とするものである。
みなされたものであって、本発明に係る磁気エンコーダ
は、Ｎ極、Ｓ極が交互に配置された磁石列と、磁石列と
平行な方向の磁界を検出する第１磁気抵抗素子及び磁石
列と垂直な方向の磁界を検出する第２磁気抵抗素子から
なり磁石列に沿って平行移動する磁気検出素子と、を備
え、第１磁気抵抗素子の検出磁界方向と磁石列の方向の
成す角度が所定の傾斜角度となるように配置し、第１磁
気抵抗素子の検出磁界方向と磁石列の方向の成す角度を
調整することにより磁気検出素子の出力のデューティ比
を調整し得ることを特徴とするものである。
【００１０】また、本発明に係る磁気エンコーダは、Ｎ
極、Ｓ極が交互に配置された磁石列と、磁石列と平行な
方向の磁界を検出する第１磁気抵抗素子及び磁石列と垂
直な方向の磁界を検出する第２磁気抵抗素子からなり磁
石列に沿って平行移動する磁気検出手段と、磁気検出素
子の磁石列方向側部に配置されたヨークとを備え、ヨー
クにより磁石列と平行な方向の磁界を調整することによ
り磁気検出素子の出力のデューティ比を調整し得ること
を特徴とするものである。
極、Ｓ極が交互に配置された磁石列と、磁石列と平行な
方向の磁界を検出する第１磁気抵抗素子及び磁石列と垂
直な方向の磁界を検出する第２磁気抵抗素子からなり磁
石列に沿って平行移動する磁気検出手段と、磁気検出素
子の磁石列方向側部に配置されたヨークとを備え、ヨー
クにより磁石列と平行な方向の磁界を調整することによ
り磁気検出素子の出力のデューティ比を調整し得ること
を特徴とするものである。
【００１１】更に、本発明によれば、磁石列と磁気検出
素子との間に薄板状のヨークを設け、このヨークにより
磁石列と平行な方向の磁界を調整することにより磁気検
出素子の出力のデューティー比を調整し得ることを特徴
とする。
素子との間に薄板状のヨークを設け、このヨークにより
磁石列と平行な方向の磁界を調整することにより磁気検
出素子の出力のデューティー比を調整し得ることを特徴
とする。
【００１２】
【作用】上述構成に基づき、本発明における磁気エンコ
ーダは、磁気抵抗素子の検出磁界方向と磁石列の方向の
成す角度を調整し、着磁パターンを変えることなく容易
にデューティ比を変えられる。
ーダは、磁気抵抗素子の検出磁界方向と磁石列の方向の
成す角度を調整し、着磁パターンを変えることなく容易
にデューティ比を変えられる。
【００１３】また、本発明における磁気エンコーダは、
ヨークにより磁石列と平行な方向の磁界を調整し、磁気
検出素子の出力のデューティ比を調整し得る。
ヨークにより磁石列と平行な方向の磁界を調整し、磁気
検出素子の出力のデューティ比を調整し得る。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図を用いて説明
する。
する。
【００１５】図１は、請求項１記載の発明に係る磁気エ
ンコーダの構成を示す斜視図である。
ンコーダの構成を示す斜視図である。
【００１６】磁気エンコーダは、図１に示すように、所
定ピッチでＮ極、Ｓ極が交互に配置された磁石列として
の磁気スケール２と、磁気スケール２に所定間隙だけ離
間して配置された強磁性体からなる磁気検出素子１とか
ら構成されている。
定ピッチでＮ極、Ｓ極が交互に配置された磁石列として
の磁気スケール２と、磁気スケール２に所定間隙だけ離
間して配置された強磁性体からなる磁気検出素子１とか
ら構成されている。
【００１７】従来と同様、磁気検出素子１は、図６に示
すように、磁気スケール２と平行な方向（ｘ方向）の磁
界を検出する第１磁気抵抗素子としての一対の磁気抵抗
パターン３と、磁気スケール２と垂直な方向（ｚ方向）
の磁界を検出する第２磁気抵抗素子としての一対の磁気
抵抗パターン４とを備えている。
すように、磁気スケール２と平行な方向（ｘ方向）の磁
界を検出する第１磁気抵抗素子としての一対の磁気抵抗
パターン３と、磁気スケール２と垂直な方向（ｚ方向）
の磁界を検出する第２磁気抵抗素子としての一対の磁気
抵抗パターン４とを備えている。
【００１８】本発明において特徴的なことは、第１磁気
抵抗素子としての磁気抵抗パターン３（図６参照）の検
出磁界方向と磁石列の方向の成す角度が所定角度（θ）
となるように配置されていることである。
抵抗素子としての磁気抵抗パターン３（図６参照）の検
出磁界方向と磁石列の方向の成す角度が所定角度（θ）
となるように配置されていることである。
【００１９】従って、磁気検出素子１を磁気スケール２
に対して所定角度（θ）だけ回転することにより、磁気
検出素子１が検出する磁界は、Ｚ方向の検出される磁界
を変えることなくＸ方向の検出される磁界をｃｏｓθ倍
に小さくし、磁気スケール２を移動する際に、ＯＮする
タイミングが変わることとなる。このようにして、着磁
パターンを変えることなく、容易にデューティ比を変え
られ、Ｘ方向、Ｚ方向の磁界の比は温度変化してもほど
んど変わらないことにより、温度変化によるデューティ
比の変化が小さい磁気エンコーダを得ることができる。
に対して所定角度（θ）だけ回転することにより、磁気
検出素子１が検出する磁界は、Ｚ方向の検出される磁界
を変えることなくＸ方向の検出される磁界をｃｏｓθ倍
に小さくし、磁気スケール２を移動する際に、ＯＮする
タイミングが変わることとなる。このようにして、着磁
パターンを変えることなく、容易にデューティ比を変え
られ、Ｘ方向、Ｚ方向の磁界の比は温度変化してもほど
んど変わらないことにより、温度変化によるデューティ
比の変化が小さい磁気エンコーダを得ることができる。
【００２０】そして、磁気スケール２が、ｘ方向に移動
した場合、磁気抵抗パターン３、４に作用する磁束が変
化し、ｚ方向の磁界がｘ方向の磁界より大きくなると磁
気検出素子１はオンし、図２（ｂ）の磁気スケール２パ
ターンに対して図２（ａ）に示すようなパルス信号を発
生する。この際、ｘ及びｚ方向の磁界は、図２（ｃ）、
（ｄ）のように変化する。
した場合、磁気抵抗パターン３、４に作用する磁束が変
化し、ｚ方向の磁界がｘ方向の磁界より大きくなると磁
気検出素子１はオンし、図２（ｂ）の磁気スケール２パ
ターンに対して図２（ａ）に示すようなパルス信号を発
生する。この際、ｘ及びｚ方向の磁界は、図２（ｃ）、
（ｄ）のように変化する。
【００２１】図３は、請求項２記載の発明に係る磁気エ
ンコーダの構成を示す斜視図である。なお、図１と同一
構成部分には同一符号を付して説明を省略する。
ンコーダの構成を示す斜視図である。なお、図１と同一
構成部分には同一符号を付して説明を省略する。
【００２２】磁気検出素子１の両側面に磁気スケール２
と平行に一対のヨーク７を設けた。従って、ヨーク７に
より磁気スケール２と平行な方向の磁界を低減して磁気
検出素子１の出力のデューティ比を調整することができ
る。
と平行に一対のヨーク７を設けた。従って、ヨーク７に
より磁気スケール２と平行な方向の磁界を低減して磁気
検出素子１の出力のデューティ比を調整することができ
る。
【００２３】すなわち、本発明の第２実施例によれば、
磁気検出素子１の両側部に設けたヨークにより、磁気ス
ケール２と平行な方向の磁界を低減させ、磁気検出素子
１が磁気スケール２と相対移動するときのＮ極、Ｓ極に
よる信号反転のタイミングを変えることができ、これに
より所望の出力デユーティ比通常の場合５０％のデュー
ティ比を得ることができる。
磁気検出素子１の両側部に設けたヨークにより、磁気ス
ケール２と平行な方向の磁界を低減させ、磁気検出素子
１が磁気スケール２と相対移動するときのＮ極、Ｓ極に
よる信号反転のタイミングを変えることができ、これに
より所望の出力デユーティ比通常の場合５０％のデュー
ティ比を得ることができる。
【００２４】図４は、本発明をアブゾーバ内蔵ハイトセ
ンサに応用した実施例を示す断面図である。
ンサに応用した実施例を示す断面図である。
【００２５】この実施例においては、アブソーバ内の非
磁性材料（例えばＳＵＳ３０４）から成るシリンダ９内
にロット１０が上下動可能に挿入され、非測定物の高さ
に応じてこのロッド１０を移動することにより、磁気エ
ンコーダから所望の検出信号を得ることができる。前記
シリンダ９の外側にはＮ極とＳ極とが交互に配置された
磁気スケール８が設けられており、一方、ロッド１０に
はシリンダ９を挟んで前記磁気スケール８と対向する位
置にそれぞれ磁気抵抗素子１１、１２が互いに１／４波
長ずれる位置に設けられている。従って、両磁気抵抗素
子１１、１２は９０度異なるＡ層とＢ層との２種類の信
号を出力し、この出力信号を波形処理することによって
所望の高さ信号を得ることができる。
磁性材料（例えばＳＵＳ３０４）から成るシリンダ９内
にロット１０が上下動可能に挿入され、非測定物の高さ
に応じてこのロッド１０を移動することにより、磁気エ
ンコーダから所望の検出信号を得ることができる。前記
シリンダ９の外側にはＮ極とＳ極とが交互に配置された
磁気スケール８が設けられており、一方、ロッド１０に
はシリンダ９を挟んで前記磁気スケール８と対向する位
置にそれぞれ磁気抵抗素子１１、１２が互いに１／４波
長ずれる位置に設けられている。従って、両磁気抵抗素
子１１、１２は９０度異なるＡ層とＢ層との２種類の信
号を出力し、この出力信号を波形処理することによって
所望の高さ信号を得ることができる。
【００２６】本実施例において特徴的なことは、アブソ
ーバ内に磁気スケールと磁気検出素子を設けたアブソー
バ内蔵ハイセンサにおいて、磁気検出素子を磁気スケー
ルの方向（ロッドの移動方向）に対して所定角度オフセ
ットすることにより、検出信号のデューティ比を５０％
とすることが可能となり、変位の検出を精度良く行うこ
とができる。また、磁気検出素子をオフセットする代わ
りに、磁気検出素子の側面に所望形状のヨークを取り付
け、検出する磁界を加減してやることにより、検出信号
のデューティ比を５０％とすることも可能である。
ーバ内に磁気スケールと磁気検出素子を設けたアブソー
バ内蔵ハイセンサにおいて、磁気検出素子を磁気スケー
ルの方向（ロッドの移動方向）に対して所定角度オフセ
ットすることにより、検出信号のデューティ比を５０％
とすることが可能となり、変位の検出を精度良く行うこ
とができる。また、磁気検出素子をオフセットする代わ
りに、磁気検出素子の側面に所望形状のヨークを取り付
け、検出する磁界を加減してやることにより、検出信号
のデューティ比を５０％とすることも可能である。
【００２７】従って、本発明により構造を大幅に変更す
ることなく、容易にデューティ比を５０％にすることが
でき、ハイトセンサの精度を向上し得る。
ることなく、容易にデューティ比を５０％にすることが
でき、ハイトセンサの精度を向上し得る。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
磁気抵抗素子の検出磁界方向と磁石列の方向の成す角度
が所定の傾斜角度となるように配置したので、着磁パタ
ーンを変えることなく容易にデューティ比を変えること
ができる。
磁気抵抗素子の検出磁界方向と磁石列の方向の成す角度
が所定の傾斜角度となるように配置したので、着磁パタ
ーンを変えることなく容易にデューティ比を変えること
ができる。
【００２９】また、本発明によれば、磁気検出素子に磁
石列と平行な方向の側部にヨークを設けたので、ヨーク
により磁石列と平行な方向の磁界を調整して、磁気検出
素子の出力のデューティ比を容易に調整することができ
る。
石列と平行な方向の側部にヨークを設けたので、ヨーク
により磁石列と平行な方向の磁界を調整して、磁気検出
素子の出力のデューティ比を容易に調整することができ
る。
【図１】本発明に係る磁気エンコーダの第１実施例の構
成を示す斜視図である。
成を示す斜視図である。
【図２】第１実施例における磁気検出素子と磁気スケー
ルとの相対移動による出力及び磁界の変化を示す図であ
る。
ルとの相対移動による出力及び磁界の変化を示す図であ
る。
【図３】本発明に係る磁気エンコーダの第２実施例の構
成を示す斜視図である。
成を示す斜視図である。
【図４】本発明をハイトセンサに利用した第３実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図５】従来の磁気エンコーダの構成を示す斜視図であ
る。
る。
【図６】一般的な磁気検出素子を示す図である。
【図７】一般的な磁気検出素子を示す回路図である。
【図８】一般的な磁気検出素子の出力を示す図である。
１：磁気検出素子 ２：磁気スケール ３、４：磁気抵抗パターン（磁気抵抗素子） ７、８：ヨーク θ：傾斜角度
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｎ極、Ｓ極が交互に配置された磁石列
と、磁石列と平行な方向の磁界を検出する第１磁気抵抗
素子及び磁石列と垂直な方向の磁界を検出する第２磁気
抵抗素子からなり磁石列に沿って平行移動する磁気検出
素子と、を備え、磁気検出素子により磁石列と磁気検出
素子との相対移動量を検出する磁気エンコーダにおい
て、 第１磁気抵抗素子の検出磁界方向と磁石列の方向の成す
角度が所定の傾斜角度となるように配置し、 第１磁気抵抗素子の検出磁界方向と磁石列の方向の成す
傾斜角度を調整することにより磁気検出素子の出力のデ
ューティ比を調整し得ることを特徴とする磁気エンコー
ダ。 - 【請求項２】 Ｎ極、Ｓ極が交互に配置された磁石列
と、磁石列と平行な方向の磁界を検出する第１磁気抵抗
素子及び磁石列と垂直な方向の磁界を検出する第２磁気
抵抗素子からなり磁石列に沿って平行移動する磁気検出
素子と、を備え、磁気検出素子により磁石列と磁気検出
素子との相対移動量を検出する磁気エンコーダにおい
て、 磁気検出素子の磁石列方向に沿った両側にヨークを設
け、 前記ヨークにより磁石列と平行な方向の磁界を調整する
ことにより磁気検出素子の出力のデューティ比を調整し
得ることを特徴とする磁気エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4346519A JP3036274B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 磁気エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4346519A JP3036274B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 磁気エンコーダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06194112A true JPH06194112A (ja) | 1994-07-15 |
| JP3036274B2 JP3036274B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=18383977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4346519A Expired - Lifetime JP3036274B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 磁気エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3036274B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005531007A (ja) * | 2002-06-27 | 2005-10-13 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 磁気抵抗センサ |
| JP2010286401A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 位置検出装置 |
| US8362720B2 (en) | 2007-05-31 | 2013-01-29 | Thk Co., Ltd. | Linear motor position detection system |
| US8896294B2 (en) | 2009-12-03 | 2014-11-25 | Tdk Corporation | Magnetic position detector |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1992
- 1992-12-25 JP JP4346519A patent/JP3036274B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
| JP2005531007A (ja) * | 2002-06-27 | 2005-10-13 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 磁気抵抗センサ |
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