JPH06192326A - ポリビニルアセタール系樹脂、これを含有する感光性樹脂組成物並びにその用途 - Google Patents
ポリビニルアセタール系樹脂、これを含有する感光性樹脂組成物並びにその用途Info
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- JPH06192326A JPH06192326A JP4345891A JP34589192A JPH06192326A JP H06192326 A JPH06192326 A JP H06192326A JP 4345891 A JP4345891 A JP 4345891A JP 34589192 A JP34589192 A JP 34589192A JP H06192326 A JPH06192326 A JP H06192326A
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Abstract
版材や印刷配線版、めっきレジスト感光性樹脂、耐酸素
プラズマ性用カ−ボン含有感光性樹脂として、柔軟性、
機械的特性、耐熱性等の諸特性に優れたポリビニルアセ
タ−ル系樹脂、これを含有する感光性樹脂組成物を提供
する。 【構成】式−CH(OH)−CH2−(1),−CH
(OCOCH3)−CH2−(2) 及び式(4) 又は前記式(1)〜(4)及び式−CH(OR6)−C
H2−(5) (但し、式中、R1、R3は水素原子、アルキル基、R2
はアルキル基、環状アルキル基、アリ-ル基又はそれぞ
れに置換基を有する基、R4は水素原子、直接結合、ア
ルキレン基、環状アルキレン基、アリ−レン基およびR
6は水素原子およびエチレン性不飽和二重結合を有する
基またエチレン性不飽和二重結合を有する基、であ
る。)で表される構成単位からなることを特徴とするポ
リビニルアセタ−ル系樹脂、これを含有する感光性樹脂
組成物並びにその用途。
Description
リビニルアセタ−ル系樹脂、エチレン性不飽和二重結合
を有する基及びカルボキシル化ポリビニルアセタ−ル系
樹脂、これを含有する感光性樹脂組成物、特にはポリビ
ニルアセタ−ル樹脂と同様の塗膜物性を持ちながら、産
業上極めて各種用途に有用な水溶性可能なポリビニルア
セタ−ル系樹脂、熱硬化性及び光硬化性を兼備するポリ
ビニルアセタ−ル系樹脂である感光性樹脂組成物に関す
るものである。
チラ−ル樹脂、アクリル酸エステル樹脂等の有機バイン
ダ−が用いられ、このバインダ−をアルコ−ル、ケト
ン、塩素系溶剤、芳香族系溶剤等の有機系溶剤に溶解
し、又は分散し、これをセラミック微粉末と混合し、ボ
−ルミル等で長時間混練、分散し、スリップ状となし、
脱泡後、ドクタ−ブレ−ド法やリバ−スコ−タ−法で一
定の厚みのシ−トをキャステイングして、ポリエステル
フイルム等の素材上に加熱乾燥させてグリ−ンシ−トを
成形する方法等が採用されている。
て、アセタ−ル化度10モル%以下である水溶性ポリビ
ニルアセタ−ルとして特開昭56−76405号、アセ
タ−ル化度10〜30モル%の冷水可溶性ポリビニルア
セタ−ルとして特開昭64−29408号、疎水基或は
特定のイオン性親水基を側鎖に有する変性ポリビニルア
ルコ−ルを水系有機バインダとして特開昭59−156
959号等で知られている。
構造を持つ凸版、平板及び凹版印刷用感光性樹脂版材や
印刷配線板の製造の際に、金属の精密加工等に用いられ
るエッチングレジスト又はプリント基板用永久レジスト
(表面保護膜、層間絶縁膜等)が提案されている(特公
平4−73639号等)。このように光重合反応を利用
した感光性樹脂組成物は各種の用途に用いられている。
−受像けい光面製造方法に、ポリビニルアルコ−ル、ポ
リ−N−ビニルピロリドン等に重クロム酸塩、水溶性の
アジド化合物を混入してつくられる水溶性型感光性樹脂
が実用化されている。従来、水系現像液で、光未重合部
分を溶出させて現像できるポリマとしてポリビニルアル
コ−ル系樹脂が提案されている。この公知例を2つに大
別することができる。 (i)完全ケン化又は部分ケン化ポリ酢酸ビニルにエチ
レン性不飽和二重結合を有する光重合性モノマや、有機
溶剤に可溶なアジド化合物を配合することによって感光
性を付与するものとしては、特開昭57−12473
0、特開昭57−212217号や特公平3−6193
8号等が挙げられる。(ii)完全ケン化又は部分ケン化
ポリ酢酸ビニルに持つ水酸基に不飽和基を有する化合物
を反応させることによって光重合性を付与するものとし
ては、特公昭48−6962号、特開平2−77403
号等が挙げられる。
のバインダ−は有機溶剤としてブチルアルコ−ル、イソ
プロピルアルコ−ル、トリクロロエチレン、トルエン等
用いられているが、引火による爆発性、火災の危険性、
成形時、乾燥時の臭気、蒸発ガスによる環境汚染、人体
への有害性の公害問題等があり、さらには防爆設備、廃
ガス処理設備、溶剤回収設備等の設置が必要であり、多
くの問題がある。(ロ)の場合は水溶性であるために吸
湿性が大きく、セラミックグリ−ンシ−トの特性のバラ
ツキが生じる等の欠点がある。焼成後のセラミックシー
ト及びセラミック基板の強度が劣る等の問題がある。
トを使用した印刷配線基板の製造方法が提案されている
が、耐無電解めっき性、はんだ耐熱性等の優れたフォト
レジストを用いた印刷配線板の提案はなされていない。
は良好な水現像性を得るためには、完全ケン化又は部分
ケン化ポリ酢酸ビニルとしては、平均重合度の制限によ
るレリ−フ成膜が脆かったり、現像に要する時間が長く
なること、(ii)の場合には、水溶性を付与している水
酸基が不飽和基導入により多量に消費されるために水現
像性が低下する問題がある。2)の系統のアルカリ可溶
性型感光性樹脂においては、カルボキシル基を導入して
いるためにアルカリ水溶液で良好な現像性を得ることが
可能である。 従って、(i)、(ii)の系統の短所を
改良した感光性樹脂組成物として、高感度で、基体ポリ
マが強靱で、アルカリ水溶液で現像可能なものが要求さ
れている。
ポリビニルアセタ−ルにおける問題点を解決し、ポリビ
ニルアセタ−ル樹脂の優れた特性を有効に利用するため
鋭意検討した結果、下記一般式で示される新規なポリビ
ニルアセタ−ル系樹脂が上記の目的に極めて有用である
ことを見出し、本発明に到達したものである。
アセタ−ル系樹脂は、ポリビニルアセタ−ル中に含まれ
る水酸基2モルに対して、1モルのカルボキシル基を有
する一般式R3CO−R4COOR5(但し、式中R3は水
素原子、メチル又はエチル基、R4は直接結合、アルキ
レン基、環状アルキレン基、アリ-レン基又はそれぞれ
に置換基を有する基、R5は水素原子又はアルキル基で
ある。)で表される化合物を酸触媒下で低温で反応さ
せ、しかるのちに一般式R1COR2(但し、式中R1は
水素原子、アルキル基、R2はアルキル基、環状アルキ
ル基、アリ-ル基又はそれぞれに置換基を有する基であ
る。)で表される化合物を酸触媒下で低温で反応させ、
水溶液を中和し、カルボキシル基を有機アミン化合物又
はアンモニア水で塩にし、水溶化可能なポリビニルアセ
タ−ル系樹脂、更にカルボキシル化ポリビニルアセタ−
ル樹脂の水酸基にエチレン性不飽和二重結合を導入する
ことにより、ポリビニルアセタ−ル樹脂と同様の塗膜物
性を持ちながら、熱硬化性及び光硬化性可能な新規なエ
チレン性不飽和二重結合を有するポリビニルアセタ−ル
系樹脂、これを含有する感光性樹脂組成物を見出した。
(化27)、(化28)、(化29)
キル基、R2はアルキル基、環状アルキル基、アリ-ル基
又はそれぞれに置換基を有する基、R4は直接結合、ア
ルキレン、環状アルキレン、アリ−レン基又はそれぞれ
に置換基を有する基である。)で表される構成単位から
なることを特徴とするポリビニルアセタ−ル系樹脂であ
り、この樹脂は以下のようにして製造される。
且つ平均重合度500から4000のポリビニルアルコ
−ル水溶液と一般式R3COR4COOR5(但し、式中
R3は水素原子、メチル又はエチル基、R4は直接結合、
アルキレン基、環状アルキレン基、アリ-レン基又はそ
れぞれに置換基を有する基、R5は水素原子又はアルキ
ル基である。)で表される化合物を、酸触媒の存在下で
温度13から40℃で反応し、ついで、温度35から8
0℃で反応する工程と、(B)得られたポリビニルアセ
タ−ルに一般式R1COR2(但し、式中R1は水素原
子、アルキル基、R2はアルキル基、環状アルキル基、
アリ-ル基又はそれぞれに置換基を有する基である。)
で表される化合物を酸触媒下で低温で反応させたのち、
酸触媒を中和し、一般式R3COR4COOR5化合物が
エステルの場合には得られた樹脂の加水分解を行ない、
カルボキシル化し、有機アミン化合物又はアンモニア水
を添加して中和して得られる水溶化可能なポリビニルア
セタ−ル系樹脂に関する。
ポリビニルアセタ−ル系樹脂の水酸基に、イソシアナ−
トアルキルメタクリレ−ト等のイソシアナ−ト基とエチ
レン性不飽和結合を有する化合物を反応させるか、又は
ヒドロキシアルキルアミノ(メタ)アクリルアミド等の
化合物を反応させることにより、エチレン性不飽和結合
を有する基とカルボキシル基を有するポリビニルアセタ
−ル系樹脂、これを含有する感光性樹脂組成物に関す
る。
アルコ−ルの重合度は500から4000であり、好ま
しくは、550から3000、更に好ましくは550か
ら1700であり、ケン化度は70モル%以上が好まし
く、88から95モル%のもの最適である。ポリビニル
アルコ−ルを水に溶解させてポリビニルアルコ−ル水溶
液を調整するが、水に溶解されるポリビニルアルコ−ル
の固形分濃度は、5〜15重量%とすることが望まし
い。酸触媒は塩酸、硫酸、硝酸等の無機酸、パラトルエ
ンスルホン酸等の有機酸であり、特に塩酸が好ましい。
その酸触媒の添加量は、水溶液に対して3から12重量
%、好ましくは4から10重量%とする。酸触媒の添加
量が、水溶液に対して3重量%未満の場合にはアセタ−
ル化反応が十分に進行せず、製造時間が長くなり、又、
12重量%を越える場合には、過剰の酸によってアルデ
ヒド誘導体、ケトン誘導体がアルド−ル縮合を起すた
め、得られるポリビニルアセタ−ルが着色したり、中和
工程の後処理が煩雑になる。
第二反応では、強酸性(pH2以下)とされている。
R2(但し、式中R1は水素原子又はアルキル基、R2は
水素原子、アルキル基、環状アルキル基、アリ-ル基又
はそれぞれに置換基を有する基である。)で表される化
合物としては、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、
プロピオンアルデヒド、ブチルアルデヒド、ヘプチルア
ルデヒド、アクロレン、クロトンアルデヒド、シクロヘ
キサンアルデヒド、フルフラ−ル、アセトン、メチルエ
チルケトン、メチルプロピルケトン、メチルブチルケト
ン、ベンズアルデヒド、4−ヒドロキシベンズアルデヒ
ド、3−ヒドロキシベンズアルデヒド、2−ヒドロキシ
ベンズアルデヒド、4−メトキシベンズアルデヒド等の
アルコキシベンズアルデヒド、4−クロロベンズアルデ
ヒド、4−ブロモベンズアルデヒド、3−クロロベンズ
アルデヒド等のハロゲノベンズアルデヒド、p−カルボ
キシベンズアルデヒド等のカルボキシベンズアルデヒド
及びそのエステル化合物、4−メチルベンズアルデヒ
ド、3−メチルベンズアルデヒド等のアルキルベンズア
ルデヒドの公知の化合物から少なくとも一種を選択でき
る。
アルキル基、R5はアルキレン、環状アルキレン、アリ
−レン基、R6は水素原子、アルキル基である。)で表
される化合物としては、例えばグリオキシル酸(CHO
COOH)、3−ホルミルプロピオン酸、、5−ホルミ
ルペンタン酸、レブリン酸(別名;γ−ケト吉草酸、C
H3CH2CH2COOH)、そのエステルであるレブリ
ン酸、レブリン酸メチル、レブリン酸エチル等、アセト
酢酸エチル(CH3COCH2COOC2H5)等のアセト
酢酸エステル、ビルビン酸(別名;2−ケトプロピオン
酸、CH3CO−COOH),そのエステル、4−ホ−
ミルフェノキシ酢酸等の公知の化合物から少なくとも一
種を選択できる。
2(但し、式中R1は水素原子又はアルキル基、R2は水
素原子、アルキル基、環状アルキル基、アリ-ル基又は
それぞれに置換基を有する基である。)で表される化合
物の添加量は、ポリビニルアルコ−ルユニット2モルに
対して20〜60モル%を加えるのが良い。好ましくは
30〜50モル%が良い。又一般式 R4COR5COO
R6(R4は水素原子、アルキル基、R5はアルキレン、
環状アルキレン、アリ−レン基、R6は水素原子、アル
キル基である。)で表される化合物の添加量は3〜20
モル%、好ましくは7〜15モル%である。
知のもので特に限定するものではない。例えば、ポリオ
キシエチレンアリ−ルエ−テル、ポリオキシエチレンア
ルキルエ−テル、ポリオキシエチレンアルキルエステ
ル,ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポ
リオキシエチレン系界面活性剤、ポリオキシエチレンア
ルキル類等の非イオン系界面活性剤(HLB;6から1
5)、ソルビタン脂肪酸エステル等の多価アルコ−ル系
界面活性剤、又、ラウリル硫酸ナトリウム、ドデシルベ
ンゼンスルホン酸ナトリウム、ヘキサデカンスルホン酸
ナトリウム、アルキルアリ−ルポリエ−テルスルホン酸
ナトリウム等のアニオン系界面活性剤等が挙げられる。
その添加量はポリビニルアセタ−ルの分散液系における
濃度は、0.01〜3.0重量%となる量が良いが、好
ましくは0.03〜1.0重量%であるが特に限定され
るものではない。
ビニルアルコ−ルの水溶液と、一般式 R1COR2(但
し、式中R1は水素原子又はアルキル基、R2は水素原
子、アルキル基、環状アルキル基、アリ-ル基又はそれ
ぞれに置換基を有する基である。)で表される化合物及
び一般式R3COR4COOR5 (但し、式中R3は水素
原子、メチル又はエチル基、R4は直接結合、アルキレ
ン基、環状アルキレン基、アリ-レン基又はそれぞれに
置換基を有する基、R5は水素原子又はアルキル基であ
る。)で表される化合物との第一反応温度は、13〜4
0℃の範囲で反応する。好ましくは13〜35℃が良
い。13℃以下では反応生成物が溶剤に溶解しにくなっ
たりする恐れがあり、又40℃以上では生成したポリマ
−沈殿物粒子同志が癒着したりしてブロック化する恐れ
がある。次に第二反応温度は、35〜80℃で反応をさ
らに進行せしめるために熟成を行う。第一反応温度での
反応時間は1〜2時間(一般式 R1COR2、R3CO
R4COOR5化合物の滴下期間を含む)、第二反応温度
での反応時間は1〜5時間撹拌続けるのが好ましい。
尚、ポリマ−を沈殿析出する場合には、第一反応を終え
た後に、温度を下げてポリマ−を沈殿析出すると、嵩高
い(密度が小さい)粒子が得られる。又一般式R3CO
−R4COOR5を用いてアセタ−ル化して得られたポリ
マが水に溶解しない場合には、一般式 R1COR2の化
合物と同時に酸触媒の存在下でアセタ−ル化しても良い
が、一般式 R1COR2、R3COR4COOR5のいず
れかを用いてアセタ−ル化して得られたポリマが水に溶
解する場合には、水に溶けやすい方から反応行なうとほ
ぼ定量的に反応する。何故ならば、水に溶解しないポリ
マが系から沈殿し、次のアセタ−ル化反応がしにくくな
るからである。
酸、有機酸をpH6〜8に中和するためのアルカリ性物
質、すなわち水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の水
酸化アルカリ、炭酸ナトリウム等の炭酸アルカリ、炭酸
水素ナトリウム等の炭酸水素アルカリ、アンモニア水を
添加して反応系を中和する。この場合、温度を30〜6
0℃にしても良い。
脂を水溶化するために用いられる有機アミン化合物とし
ては、例えば、アミノエタ−ル、2−(2−アミノエト
キシ)エタノ−ル、ジメチルアミノエタノ−ル、2−
(エチルアミノ)エタノ−ル、2,2’−イミノジエタ
ノ−ル、ジエチルアミノエタノ−ル、2,2’−イミノ
ジエタノ−ル、N−メチルジエタノ−ルアミン、アンモ
ニア水等が挙げられる。又樹脂の可塑剤を添加すること
もできる。
値0.05〜2ミクロンの範囲であるセラミック微粉末
としては、Al2O3、SiO2、3Al2O3・SiO2、
PbO、Al2O3・MgO、B2O3、CaO、BaO、
SrO、ZnO、79SiO2−19B2O3−2K2O、
79SiO2−3B2O3、80SiO2−13B2O3−2
Al2O3−0.2K2O−4Na2−O、2MgO2Al
2O35SiO2等から少なくとも2種以上より選ばれた
ものである。このセラミック微粒子は球状、粉砕状のも
の等が使用される。
ルアセタ−ル系樹脂としては、−CH(OH)−CH2
−成分5〜40モル%であり、好ましくは、10〜35
モル%で、5モル%未満では水溶化しにくい、40モル
%を越えると機械的特性に若干劣る。−CH(OCOC
H3)−CH2−成分が1〜30モル%であり、好ましく
は5〜20モル%で、1未満では、ポリ酢酸ビニルのけ
ん化度が100モル%になり、アセタ−ル化時にポリビ
ニルアルコ−ルの水に対する溶解性が低下し、溶解時間
がかかりすぎる。30モル%を越えると水溶化が容易に
なるが、吸湿性が増して来るし、機械的特性に若干劣る
ようになる。アルキル基、脂環アルキル基等を側鎖に有
するアセタ−ル基成分が20〜60モル%であり、好ま
しくは30〜50モル%で、20モル%未満では機械的
特性に若干劣り、60モル%を越えると水に対する溶解
性が低下するか溶解しなくなる。カルボキシル基を有す
るアセタ−ル基成分3〜20モル%であり、好ましくは
5〜15モル%で、5モル%未満では水溶化しにくくな
る。15モル%を越えると熱分解性が悪くなり、吸湿性
が増して来る。カルボキシル基を有するアセタ−ル基成
分を少なくすると、−CH(OH)−CH2−成分を多
くしないと、水溶化しにくくなる。従って、その割合は
全ポリビニルアセタ−ルの約半分が望ましい。しかし、
メタノ−ル、エタノ−ル、イソプロピルアルコ−ル等の
アルコ−ル類の溶剤を使用する場合には、その制約をあ
まり受けない。即ち、カルボキシル基を有するアセタ−
ル基成分とカルボキシル基を有するアセタ−ル基成分が
約半分以下でも水溶化が可能である。
結合を有するカルボキシル化ポリビニルアセタ−ル系樹
脂の製造は、カルボキシル化ポリビニルアセタ−ル樹脂
中の水酸基に、一般式(化31)
R91は水素原子又はメチル基である。〕で表される化合
物、一般式(化32)
基である。〕で表される化合物、又はメタクリロイルク
ロリド、塩化アクリロイル等のエチレン性不飽和結合を
有する基及び酸クロリド又はハロゲン化された基を有す
る化合物を反応させることにより得られる。上記の一般
式(化33)
水素原子又はメチル基である。〕で表される化合物とし
ては、例えば、イソシアナ−トエチルメタクリレ−ト、
イソシアナ−トエチルアクリレ−ト等のイソシアナ−ト
基とエチレン性不飽和結合を有する化合物等が挙げられ
る。
R9、R10、R11は水素原子又はメチル基である。〕で
表される化合物としては、N−メチロ−ルアクリルアミ
ド、N−メチロ−ルメタクリルアミド等のN−メチレン
(メタ)アクリルアミド基(−CH2−NHCOCH
(又はCH3)=CH2、アリルセルソルブが挙げられ
る。N−メチロ−ル(メタ)アクリルアミドをポリビニ
ルアセタ−ル中の水酸基に反応する場合、リン酸、塩
酸、p−トルエンスルホン酸、クエン酸等の酸触媒下で
行なうか、又はポリビニルアセタ−ル中の水酸基にアル
デヒド系化合物と共存させても反応させても、アセタ−
ル化後に反応させても良い。
系樹脂は、ポリマ−中に、アルカリ現像を可能とするカ
ルボキシル基を有し、かつ熱硬化又は光硬化可能なエチ
レン性不飽和二重結合を有する基を有するポリマを用い
ることができる。ポリビニルアセタ−ル系樹脂に有する
水酸基に上記のエチレン性不飽和結合を有する化合物を
反応させる。その場合、エチレン性不飽和結合を有する
成分〔−CH(OR5)−CH2−、R5:エチレン性不
飽和結合を有する基〕20〜60モル%であり、好まし
くは25〜50モル%で、20モル%未満では感光特性
が不十分か、パタ−ン化出来なくなり、60モル%を越
えると膜が脆くなる傾向にある。
としては、例えば、ハイドロキノン、ハイドロキノンメ
チルエ−テル、パラベンゾキノン等の公知の重合禁止剤
がふくまれ、これらに使用する溶剤としては、ジオキサ
ンを始めとして、ポリマを溶解し、かつ、不活性であれ
ばとくに制限されるものではない。更に、本発明に用い
られる少なくとも1個のビニル基を有する光重合性単量
体としては、従来知られているものを用いることができ
るが、感度の高いという点から、アクリレ−ト系単量体
又はメタクリレ−ト系単量体の使用が好ましい。例え
ば、トリメチロ−ルプロパントリアクリレ−ト、トリメ
チロ−ルプロパンジアクリレ−ト、トリエチレングリコ
−ルジアクリレ−ト、ジエチレングリコ−ルジアクリレ
−ト、テトラエチレングリコ−ルジアクリレ−ト、ヘキ
サメチレングリコ−ルジアクリレ−ト、ネオペンチルグ
リコ−ルジアクリレ−ト、テトラメチロ−ルメタンテト
ラアクリレ−ト,レゾルシノ−ルジアクリレ−ト、エチ
レングリコ−ルペンタエリスリト−ルトリアクリレ−
ト、1,6−ヘキサンジオ−ルジアクリレ−ト、2,2
−ビス(4−アクリロキシエトキシフェニル)プロパ
ン、2,2−ビス(4−メタクリロキシエトキシフェニ
ル)プロパン、ジペンタエリスリト−ルペンタアクリレ
−ト、又は上記の化合物と同構造のメタクリレ−ト、メ
チレンビスアクリルアミド、ウレタン系ジアクリレ−ト
等の多価アルコ−ルのポリアクリレ−ト又はポリメタク
リレ−ト、トリメチルプロパントリグリシジルエ−テル
のアクリル酸又はメタクリル酸との付加物、ビスフェノ
−ルA、エピクロルヒドリン系エポキシ樹脂、無水フタ
ル酸−ネオペンチルグリコ−ル−アクリル酸の1:1:
2の縮合物等の低分子不飽和ポリエステル、ビニルトリ
アジン等のエチレン性不飽和結合を有する基とトリアジ
ン骨格を有する基からなる化合物、が挙げられる。
量体等の単官能単量体が挙げられる。これらの成分は少
なくとも1種以上をもちいることができる。
えば、ベンゾフェノン、4−メチル−4’−ジエチルア
ミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジエチルア
ミノベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジプロピルアミ
ノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジイソプロピル
アミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフ
ェノン、4,4’−ジブロモベンゾフェノン、4,4’
−ジメトキシベンゾフェノン、4,4’−ジエトキシベ
ンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニ
ルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−エチルジフェニ
ルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−プロピルジフェ
ニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−イソプロピル
ジフェニルスルフィド等が挙げられる。上記の光重合開
始剤であるベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−ア
ルキルジフェニルスルフィド系化合物、4,4’−ジア
ルキルアミノベンゾフェノン系化合物、4,4’−ジハ
ロゲノアミノベンゾフェノン系化合物、4,4’−ジア
ルコキシベンゾフェノン系化合物の光重合性を高めるに
は、p−(ジアルキルアミノ)安息香酸アルキルエステ
ルを含有することが好ましい。具体的には、例えば、p
−(ジメチルアミノ)安息香酸メチルエステル、p−
(ジメチルアミノ)安息香酸エチルエステル、p−(ジ
メチルアミノ)安息香酸プロピルエステル、p−(ジメ
チルアミノ)安息香酸イソプロピルエステル、p−(ジ
エチルアミノ)安息香酸メチルエステル、p−(ジエチ
ルアミノ)安息香酸エチルエステル、p−(ジエチルア
ミノ)安息香酸プロピルエステル、p−(ジエチルアミ
ノ)安息香酸イソプロピルエステル、p−(ジメチルア
ミノ)安息香酸イソアミルエステル等のジアルキルアミ
ノ安息香酸エステル類が挙げられる。
ゾインエ−テル類、チオキサントン類、多核キノン類、
ベンジル類や、その他の公知の光重合開始剤を用いても
良い。上記の多核キノン類としては、例えば、2−メチ
ルアントラキノン、2−エチルアントラキノンなどの2
−アルキルアントラキノン、1,4−ジメチルアントラ
キノン、2,3−ジメチルアントラキノン、1−クロロ
アントラキノン、2−クロロアントラキノン、3−クロ
ロ−2−メチルアントラキノン、1,4−ナフトキノ
ン、2−メチル−1,4−ナフトキノン、2,3−ジク
ロロナフトキノン、オクタメチルアンラキノン、9,1
0−フェナントラキノン、1,2−ベンゾアントラキノ
ン、2,3−ベンゾアントラキノン、2−フェニルアン
トラキノン、7,8,9,10−テトラヒドロナフタセ
ンキノン等が挙げられる。上記のベンゾイン類として
は、例えば、ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベ
ンゾイン、ベンゾインメチルエ−テル、ベンゾインエチ
ルエ−テル、ベンゾインフェニルエ−テル等が挙げられ
る。上記のチオキサントン類としては、例えば、チオキ
サントン、2−クロロチオキサントン、2−メチルチオ
キサントン、2−エチルチオキサントン、2−プロピル
チオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、
2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチ
オキサントン等が挙げられる。上記のベンジル類として
は、例えばベンジル、4−クロロベンジル、4−メトキ
シベンジル、4−エチルベンジル、4−(ジメチルアミ
ノ)ベンジル、4−メチルメルカプトベンジル、4−メ
トキシカルボニルベンジル、4−ベンジルアミノベンジ
ル、2−クロロ−4’−メトキシベンジル、4,4’−
ジクロロベンジル、4,4’−ジブロモベンジル、4,
4’−ジメチルベンジル、4,4’−ジエチルベンジ
ル、4,4’−ジメトキシベンジル、3,3’−ジメト
キシベンジル、4,4’−ジエトキシベンジル、4,
4’−ビス(メチルメルカプト)ベンジル、4,4’−
ビス(メトキシカルボニル)ベンジル、4,4’−ジア
セトキシベンジル、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)
ベンジル、4,4’−クロロブロモベンジル、4−メト
キシ−4’−メチルベンジル、4−メトキシ−4’−ク
ロロベンジル、2,4−ジメトキシ−2’,4’−ジメ
トキシベンジル、3,4,5−トリメトキシ−3’,
4’,5’−トリメトキシベンジル、4,4’−ジアセ
チルベンジル、4−クロロ−3’,4’−ジメトキシベ
ンジル、4−メトキシ−4’−アセトキシベンジル、2
−クロロ−4−メトキシベンジル、4−(フェニルメル
カプト)ベンジル、4−(p−メトキシフェニルメルカ
プト)ベンジル、4−(p−クロロフェニルメルカプ
ト)−4’−メトキシベンジル、4−(フェニルメルカ
プト)−4’−メトキシベンジル、4−(フェニルメル
カプト)−4’−メトキシ−2’−クロロベンジル、4
−(p−メトキシフェニルメルカプト)−4’−メトキ
シベンジル、4−(p−メトキシフェニルメルカプト)
−4’−エトキシベンジル、4−クロロ−4’−フェニ
ルメルカプトベンジル、2−クロロ−4’−(p−メト
キシフェニルメルカプト)ベンジル、4−ジメチルアミ
ノ−4’−(フェニルメルカプト)ベンジル、4−ベン
ゾイル−4’−(フェニルメルカプト)ベンジル、4−
メチルメルカプト−4’−(フェニルメルカプト)ベン
ジル、4−アセトキシ−4’−(o−トリルメルカプ
ト)ベンジル、4−アセトキシ−4’−(p−トリルメ
ルカプト)ベンジル、2−クロロ−4−メトキシ−4’
−(フェニルメルカプト)ベンジル、2,4−ジメトキ
シ−4’−(フェニルメルカプト)ベンジル、2−クロ
ロ−4−メトキシ−4’−(p−メトキシフェニルメル
カプト)ベンジル等が挙げられる。
単量体等を溶剤に溶かして感光性樹脂組成物溶液(以
下、感光液と略す。)に使用する有機溶剤としては、ケ
トン系溶剤、セロソルブ系溶剤、アルコ−ル系溶剤、エ
−テル系溶剤等が挙げられる。これらの溶剤としては、
例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、メチ
ルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、
メチルセロソルブアセテ−ト、エチルセロソルブアセテ
−ト、ブチルセロソルブアセテ−ト、エチレングリコ−
ルモノ−n−ヘキシルエ−テル、エチレングリコ−ルモ
ノ−2−エチルヘキシルエ−テル、エチレングリコ−ル
ジメチルエ−テル、ジエチレングリコ−ルモノメチルエ
−テル、ジエチレングリコ−ルモノエチルエ−テル、ジ
エチレングリコ−ルジメチルエ−テル、ジエチレングリ
コ−ルジエチルエ−テル、トリエチレングリコ−ルジメ
チルエ−テル、プロピレングリコ−ルモノメチルエ−テ
ル、ジプロピレングリコ−ルモノメチルエ−テル、トリ
プロピレングリコ−ルモノメチルエ−テル、プロピレン
グリコ−ルモノ−n−ブチルエ−テル、ジプロピレング
リコ−ルモノ−n−ブチルエ−テル、トリプロピレング
リコ−ルモノ−n−ブチルエ−テル、プロピレングリコ
−ルメチルエ−テルアセテ−ト、プロピレングリコ−ル
ジアセテ−ト、プロピレングリコ−ルフェニルエ−テ
ル、3−メチル−3−メトキシ−ブチルアセテ−ト、N
−メチル−2−ピロリドン、N−ヒドロキシメチル−2
−ピロリドン、N−ヒドロキシエチル−2−ピロリド
ン、エチルアルコ−ル、イソプロピルアルコ−ル、テト
ラヒドロフラン、ジオキサン、トルエン、キシレン、酢
酸エチル等が挙げられる。これらの成分は少なくとも1
種以上を用いることができる。
としては、ロ−ルコ−タ、スピンコ−タ、スプレ−デッ
プ、グラビヤコ−タ、ホエラ−、カ−テンフロ−コ−
タ、ワイヤバ−、エアナイフコ−タ塗布等が挙げられる
が、公知の方法で塗布することができる。感光液で被覆
される支持体としては、特に制限されるものではない
が、アルミニウム、銅、ニッケル、鉄、クロム等の金属
板、又はそれらを主成分とした合金シ−ト、アクリル樹
脂、ポリエステル、ポリカ−ボネ−ト等の合成樹脂の
板、シ−ト、ガラス板、導電性材料付ガラス板等が挙げ
られる。
液としては、炭酸ナトリウム等の弱アルカリ性化合物の
水溶液、又、モノ、ジ、トリエタノ−ルアミン等の有機
アミンの水溶液が挙げられる。必要に応じて、少量の水
溶性有機溶剤を混合したものを用いることができる。
70モル%以上で、且つ平均重合度500から4000
のポリ酢酸ビニルから製造されたポリビニルアルコ−ル
中の水酸基にグリオキシル酸等のカルボキシル基を有す
るアルデヒド化合物又はケトン化合物を反応することに
より、アセタ−ル化及びカルボキシル化を行って得られ
たポリアセタ−ル系樹脂は、従来のポリビニルアセタ−
ル樹脂の機械的特性を損なうことなく、有機アミン化合
物の添加によって水溶化を図ることができる。さらに上
記ポリビニルアルコ−ル中の水酸基に、エチレン性不飽
和結合を有する基を導入することにより得られたポリビ
ニルアセタ−ル系樹脂は、ポリビニルアセタ−ル樹脂と
同様の塗膜物性を持ちながら、熱硬化性又は光硬化性を
有する新規なエチレン性不飽和二重結合を有する熱硬化
性又は感光性ポリビニルアセタ−ル系樹脂にでき、かつ
アルカリ現像型感光性樹脂にできる。これを含有する感
光性樹脂組成物として用いることができる。又、耐熱
性、塗膜の機械的特性(特に伸び、腰の強い)、各種の
微粉末の金属、酸化金属、カ−ボン、顔料等の分散性、
支持体との接着性に優れたものが得られる。
比較例と対比させて、具体的に説明する。
拌機、温度計、還流コンデンサ及び滴下ロートを備えた
2lの3つ口フラスコにイオン交換水800gを仕込
み、そこにケン化度88%、重合度1700のポリビニ
ルアルコール100gを分散して撹拌しつつ加熱し、ポ
リビニルアルコールの11.1%水溶液を得た。この水
溶液に濃度35%濃塩酸7.0gを加え、非イオン性界
面活性剤C10H21C6H4O-(CH2CH2O)6-H(ノイゲ
ンEA80、第一製薬製)8.0gを添加し、13〜1
7℃で撹拌しつつ30分間で40%グリオキシル酸水溶
液13.4gを添加し、25℃/1h、45℃/2h間
反応した。この溶液を13〜17℃に冷却し、n−ブチ
ルアルデヒド26.0gを約30分間で適下したところ
白色微粒子状のポリビニルアセタ−ル樹脂の沈殿が析出
した。更に35%濃塩酸30g加え、反応系のpHを
0.5以下としたのち25℃/hで、45℃まで昇温
し、更に4時間この温度に保って塾成を行った。反応系
を室温まで冷却し、水酸化ナトリウムを加えて反応系を
中和し、pHを6.0〜7.0とした。得られた樹脂C
−1を常法に従い、水洗い、乾燥して白色微粉末を得
た。この時のアセタ−ル化は約57モル%(カルボキシ
ル基を有する成分7モル%、n−ブチル基を有する成分
39モル%)、−OCOCH3成分12モル%、−OH
成分42モル%であった。次に、カルボキシル基と当量
のジメチルアミノエタノ−ルとイソプロピルアルコ−ル
を入れて溶解し、ついでイソプロアルコ−ルと水の比が
30:70になるように水を加える。
主成分として、全体の組成としてはAl2O391%、S
iO26%、MgO3%の成分を有する粒径5ミクロン
以下のセラミック粉末100重量部、カルボキシ化ポリ
アセタ−ル樹脂水溶液(固形分換算10重量部)を加え
合わせてセラミック前駆体組成物を得た。これをアルミ
ナ製ボ−ルミルにて24時間混練りした。このようにし
てセラミック前駆体組成物スラリを作製したのち、更に
このスラリから減圧で空気を脱泡した。このように調整
した均一なスラリ混合液の粘度を調整して5,000か
ら10,000cpsとし、ドクタ−ブレ−ド型キャス
ト装置を用い、ポリエステルフィルム上に塗布して12
0℃で乾燥してグリ−ンシ−トを作製した。シ−トの諸
特性は、成形性、柔軟性、分散性ともに良好であった。
ンシ−トをパンチ金型を用いて、200mm×200m
m角に切断し、ガイド用の穴を施した。その後、このガ
イド用穴を利用してグリ−ンシ−トを固定し、パンチ法
により所定位置に径0.1mmのスル−ホ−ルを打ち抜
いた。粒径5ミクロン以下のタングステン粉末:ニトロ
セルロ−ス:エチルセルロ−ス:α−テレピネオ−ル=
100:4:2:23(重量比)の導体ペ−ストをグリ
−ンシ−トにあけたスルホ−ルに充填し、次にスクリ−
ン印刷法により所定回路パタ−ンをグリ−ンシ−ト表面
に印刷した。このように導体を印刷し、回路形成された
グリ−ンシ−トをガイド用の穴の位置を合わせて40枚
を積層し、120℃、100kgf/cm2の圧力にて
熱プレス圧着を行った。得られた積層体を必要な形状に
切断し、150mm×150mm角のグリ−ンシ−ト積
層体とし、窒素−水素−水蒸気の混合雰囲気焼成炉内で
1600℃で8時間焼成した。焼成の際には昇温過程で
脱バインダを十分に行った。このグリ−ンシ−ト積層法
によって120mm×120mm角、厚さ7mmの多層
配線セラミック基板を作製した。
拌機、温度計、還流コンデンサ及び滴下ロートを備えた
2lの3つ口フラスコにイオン交換水800gを仕込
み、そこにケン化度88%、重合度1700のポリビニ
ルアルコール100gを分散して撹拌しつつ加熱し、ポ
リビニルアルコールの11.1%水溶液を得た。この水
溶液に濃度35%濃塩酸7.0gを加え、非イオン性界
面活性剤C10H21C6H4O-(CH2CH2O)6-H(ノイゲ
ンEA80、第一製薬製)8.0gを添加し、13〜1
7℃で撹拌しつつ30分間で40%グリオキシル酸水溶
液13.4gを添加し、25℃/1h、45℃/2h間
反応した。この溶液を13〜17℃に冷却し、ベンズア
ルデヒド47.9gを約30分間で適下したところ白色
微粒子状のポリビニルアセタ−ル樹脂の沈殿が析出し
た。更に35%濃塩酸30g加え、反応系のpHを0.
5以下としたのち25℃/hで、45℃まで昇温し、更
に4時間この温度に保って塾成を行った。反応系を室温
まで冷却し、水酸化ナトリウムを加えて反応系を中和
し、pHを6.0〜7.0とした。得られた樹脂C−1
を常法に従い、水洗い、乾燥して白色微粉末を得た。こ
の時のアセタ−ル化は約58モル%(カルボキシル基を
有する成分8モル%、フェニル基を有する成分50モル
%)、−OCOCH3成分12モル%、−OH成分30
モル%であった。
セタール系樹脂の合成)撹拌機、温度計、還流コンデン
サ及び滴下ロートを備えた1000mlの3つ口フラス
コに上記カルボキシ化ポリビニルアセタール系樹脂90
gをN−メチル−2−ピロリドン360gに溶解し、イ
ソシアナ−トエチルメタクリレ−ト51.0gを添加し
て反応させた。得られたメタクリロイル基を有するポリ
ビニルアセタ−ル樹脂溶液をメタノ−ルに滴下し、ポリ
マ−を沈殿させた。得られたポリマ−P−1を減圧乾燥
した。
有するポリビニルアセタ−ル樹脂(p−1)75重量部
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン3重
量部、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル2部トリメチ
ロ−ルプロパントリアクリレ−ト20部、N−メチル−
2−ピロリドン530重量部p−メトキシフェノ−ル
0.1重量部とからなる感光性溶液を作製した。得られ
た感光液をガラス基板に塗布し、30℃に乾燥して膜を
作製した。膜厚20ミクロンの塗膜を30mJ/cm2
の超高圧水銀灯で密着露光した。露光後、このガラス基
板を現像液に浸せきし、現像を行った。現像条件は現像
温度20℃、20秒である。このときの現像液はトリエ
タノ−ルアミン2%、イソプロピルアルコ−ル1%、水
97%の溶液からなる。感度は良好で、出来たパタ−ン
の切れが良好で、15ミクロンのラインアンドスペ−ス
が現像できた。また耐熱性は250℃で熱分解ほとんど
しなかった。
−ル系樹脂は、ポリビニルアセタ−ル樹脂と同様の塗膜
物性を持ちながら、水可溶可能なポリビニルアセタ−ル
樹脂、熱硬化性及び光硬化性を有する新規なエチレン性
不飽和二重結合を有するポリビニルアセタ−ル系樹脂で
あるので、これを含有する感光性樹脂組成物として用い
ることができる。又、耐熱性、塗膜の機械的特性(特に
伸び、腰の強い)、各種の微粉末の金属、酸化金属、カ
−ボン、顔料等の分散性、支持体との接着性に優れたも
のであって、セラミック用有機バインダ、印刷用感光性
樹脂版材や印刷配線版、めっきレジスト用感光性樹脂と
して有用である。
Claims (10)
- 【請求項1】一般式(化1)(化2)(化3) 【化1】 【化2】 【化3】 及び(化4) 【化4】 (但し、式中、R1、R3は水素原子、アルキル基、R2
はアルキル基、環状アルキル基、アリ-ル基又はそれぞ
れに置換基を有する基、R4はアルキレン、環状アルキ
レン、アリ−レン基である。)で表される構成単位から
なることを特徴とするポリビニルアセタ−ル系樹脂。 - 【請求項2】一般式(化5)(化6)(化7) 【化5】 【化6】 【化7】 及び(化8) 【化8】 (但し、式中、R1、R3は水素原子、アルキル基、R2
はアルキル基、環状アルキル基、アリ-ル基又はそれぞ
れに置換基を有する基、R5はアルキレン、環状アルキ
レン、アリ−レン基である。)で表される構成単位から
なり、且つ(5)で表される構成単位が5〜40モル%
と、(6)で表される構成単位が1〜30モル%と、
(7)で表される構成単位が20〜60モル%、(8)
で表される構成単位が3〜20モル%とを、全体が10
0モル%に成ることを特徴とする請求項1記載のポリビ
ニルアセタ−ル系樹脂。 - 【請求項3】(A)ケン化度70モル%以上で、且つ平
均重合度500から4000のポリビニルアルコ−ル水
溶液と一般式 R3COR4COOR5(但し、式中R3は
水素原子、メチル又はエチル基、R4は直接結合、アル
キレン基、環状アルキレン基、アリ-レン基又はそれぞ
れに置換基を有する基、R5は水素原子又はアルキル基
である。)で表される化合物の水溶液とを、酸触媒の存
在下で反応温度13から35℃で反応し、ついで、反応
温度35から80℃で反応する工程と、(B)得られた
ポリビニルアセタ−ルにR1COR2(但し、R1は水素
原子、アルキル基、R2は水素原子、基、環状アルキル
基、アリ-ル基又はそれぞれに置換基を有する基であ
る)で表される化合物を滴下して反応温度13から35
℃で反応し、ついで温度35から80℃で反応する工程
と、(C)得られたポリビニルアセタ−ルを含有する水
溶液を中和、ポリマを分離する工程又は一般式R3CO
R4COOR5のR5がアルキル基である場合には、得ら
れたポリビニルアセタ−ルを加水分解し、ついで中和す
る工程とからなることを特徴とするポリビニルアセタ−
ル樹脂の製造方法。 - 【請求項4】(A)平均粒子が標準偏差値0.05〜2
ミクロンの範囲であるセラミック粉末100重量部と、
(B)有機バインダ−として特許請求の範囲第1項記載
のポリビニルアセタ−ル樹脂5〜30重量部及び有機ア
ミン化合物又はアンモニアとからセラミック前駆体組成
物。 - 【請求項5】(A)平均粒子が標準偏差値0.05〜2
ミクロンの範囲であるセラミック粉末100重量部と、
(B)有機バインダ−として特許請求の範囲第1に記載
の項に記載のポリビニルアセタ−ル樹脂5〜30重量部
及び有機アミン化合物又はアンモニア水とからセラミッ
ク前駆体組成物の薄膜からなるセラミックグリ−ンシ−
ト。 - 【請求項6】セラミックグリ−ンシ−ト層が、特許請求
の範囲第5項に記載のセラミックグリ−ンシ−トに導体
層を施し、複数の上記セラミックグリ−ンシ−トを積層
体とし、これを焼結してなる多層配線セラミック基板 - 【請求項7】一般式(化9)、(化10)、(化1
1)、(化12) 【化9】 【化10】 【化11】 【化12】 及び(化13) 【化13】 (但し、式中、R1、R3は水素原子、アルキル基、R2
は水素原子、アルキル基、環状アルキル基、アリ-ル基
又はそれぞれに置換基を有する基、R4は直接結合、ア
ルキレン、環状アルキレン、アリ−レン基、R6はエチ
レン性不飽和二重結合を有する基又は水素原子及びエチ
レン性不飽和二重結合を有する基である。)で表される
構成単位からなることを特徴とするポリビニルアセタ−
ル系樹脂 - 【請求項8】一般式(化14)、(化15)、(化1
6)、(化17) 【化14】 【化15】 【化16】 【化17】 及び(化18) 【化18】 (但し、式中、R1、R3は水素原子、アルキル基、R2
は水素原子、アルキル基、環状アルキル基、アリ-ル基
又はそれぞれに置換基を有する基、R4は直接結合、ア
ルキレン、環状アルキレン、アリ−レン基、R6はエチ
レン性不飽和二重結合を有する基又は水素原子及びエチ
レン性不飽和二重結合を有する基である。)で表される
構成単位からなり、且つ(14)で表される構成単位が
1〜40モル%と、(15)で表される構成単位が1〜
30モル%と、(16)で表される構成単位が20〜6
0モル%、(17)で表される構成単位が5〜20モル
%、(18)で表される構成単位が20〜60モル%と
を、全体が100モル%に成ることを特徴とする請求項
1記載のポリビニルアセタ−ル系樹脂 - 【請求項9】(A)ケン化度70モル%以上で、且つ平
均重合度500から4000のポリビニルアルコ−ル水
溶液と一般式 R3COR4COOR5(但し、式中R3は
水素原子、メチル又はエチル基、R4は直接結合、アル
キレン基、環状アルキレン基、アリ-レン基又はそれぞ
れに置換基を有する基、R5は水素原子又はアルキル基
である。)で表される化合物の水溶液とを、酸触媒の存
在下で反応温度13から35℃で反応し、ついで、反応
温度35から80℃で反応する工程と、(B)得られた
ポリビニルアセタ−ルにR1COR2(但し、R1は水素
原子、アルキル基、R2は水素原子、基、環状アルキル
基、アリ-ル基又はそれぞれに置換基を有する基であ
る)で表される化合物を滴下して反応温度13から35
℃で反応し、ついで温度35から80℃で反応する工程
と、(C)得られたポリビニルアセタ−ルを含有する水
溶液を中和、ポリマを分離、乾燥する工程又は一般式R
3COR4COOR5のR5がアルキル基である場合には、
得られたポリビニルアセタ−ルを加水分解し、ついで中
和、ポリマを分離、乾燥医する工程と、(D)得られた
ポリビニルアセタ−ルのOH基に、一般式(化19) 【化19】 一般式(化20) 【化20】 〔但し、R7は2価のアルキレン基、R8、R9、R10、
R11は水素原子又はメチル基である。〕で表される化合
物を反応させることを特徴とするポリビニルアセタ−ル
樹脂の製造方法。 - 【請求項10】一般式(化21)、(化22)、(化2
3)、(化24) 【化21】 【化22】 【化23】 【化24】 及び(化25) 【化25】 (但し、式中、R1、R3は水素原子、アルキル基、R2
は水素原子、アルキル基、環状アルキル基、アリ-ル基
又はそれぞれに置換基を有する基、R4は直接結合、ア
ルキレン、環状アルキレン、アリ−レン基、R6はエチ
レン性不飽和二重結合を有する基又は水素原子及びエチ
レン性不飽和二重結合を有する基である。)で表される
構成単位からなるポリビニルアセタ−ル系樹脂、光重合
開始剤又は光架橋剤とからなる感光性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4345891A JPH06192326A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | ポリビニルアセタール系樹脂、これを含有する感光性樹脂組成物並びにその用途 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4345891A JPH06192326A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | ポリビニルアセタール系樹脂、これを含有する感光性樹脂組成物並びにその用途 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06192326A true JPH06192326A (ja) | 1994-07-12 |
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ID=18379694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4345891A Pending JPH06192326A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | ポリビニルアセタール系樹脂、これを含有する感光性樹脂組成物並びにその用途 |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JPH06192326A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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