JPH06191043A - インクジェットヘッドのノズル板の製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドのノズル板の製造方法Info
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- JPH06191043A JPH06191043A JP4357448A JP35744892A JPH06191043A JP H06191043 A JPH06191043 A JP H06191043A JP 4357448 A JP4357448 A JP 4357448A JP 35744892 A JP35744892 A JP 35744892A JP H06191043 A JPH06191043 A JP H06191043A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ノズルをテーパ形状とするとともに、加圧室
側の穴径を加圧室断面と同程度とし、気泡排出性を向上
する。ノズルのテーパ形状をフィルム材をプレス加圧す
ることにより形成し、形状の自由度を高くし、量産性を
向上する。噴射特性に影響の大きい貫通穴をエキシマレ
ーザ加工にて形成することにより、高品質な吐出口形状
を得る。 【構成】 インクの流路が形成された流路基板に接合さ
れ、前記流路に連通するノズルを有するインクジェット
ヘッドのノズル板の製造方法である。樹脂フィルム２１
を、平面基板２２と突起２５を形成した突起形成基板２
３にてはさんで密着加圧する（図（ａ),(ｂ））。樹脂
フィルム２１を、前記平面基板２２および突起形成基板
２３からはずし（図（ｃ））、前記樹脂フィルム２１上
の前記突起２５にて形成されたくぼみ２６にレーザー光
２４を照射して（図（ｄ））穴２７を貫通させる。
側の穴径を加圧室断面と同程度とし、気泡排出性を向上
する。ノズルのテーパ形状をフィルム材をプレス加圧す
ることにより形成し、形状の自由度を高くし、量産性を
向上する。噴射特性に影響の大きい貫通穴をエキシマレ
ーザ加工にて形成することにより、高品質な吐出口形状
を得る。 【構成】 インクの流路が形成された流路基板に接合さ
れ、前記流路に連通するノズルを有するインクジェット
ヘッドのノズル板の製造方法である。樹脂フィルム２１
を、平面基板２２と突起２５を形成した突起形成基板２
３にてはさんで密着加圧する（図（ａ),(ｂ））。樹脂
フィルム２１を、前記平面基板２２および突起形成基板
２３からはずし（図（ｃ））、前記樹脂フィルム２１上
の前記突起２５にて形成されたくぼみ２６にレーザー光
２４を照射して（図（ｄ））穴２７を貫通させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
のノズル板の製造方法、より詳細には、インクジェット
記録装置において、インクジェットヘッドに結合して用
いるノズル板のノズル穴形成方法に関するものである。
のノズル板の製造方法、より詳細には、インクジェット
記録装置において、インクジェットヘッドに結合して用
いるノズル板のノズル穴形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８（ａ),(ｂ),(ｃ）は、本発明が適用
されるインクジェットヘッドの基本構成を示す図で、図
（ａ）は構成要素を示す斜視図、図（ｂ）は流路基板の
裏面を示す斜視図、図（ｃ）は構成要素を一体に接合し
たときの斜視図で、周知のように、１は流路基板、２は
ノズル板、３はノズル、４は隔壁、５は加圧室、６はイ
ンク室、７はインク供給口、８は圧電体、９は仕切スリ
ット、１０は歪部、１１は充填剤、１２は基板である。
されるインクジェットヘッドの基本構成を示す図で、図
（ａ）は構成要素を示す斜視図、図（ｂ）は流路基板の
裏面を示す斜視図、図（ｃ）は構成要素を一体に接合し
たときの斜視図で、周知のように、１は流路基板、２は
ノズル板、３はノズル、４は隔壁、５は加圧室、６はイ
ンク室、７はインク供給口、８は圧電体、９は仕切スリ
ット、１０は歪部、１１は充填剤、１２は基板である。
【０００３】図８において、流路基板１には、インク供
給口７よりインクの供給を受けてインクを収容するイン
ク室６が、図（ｂ）に示すごとく、裏面に凹部として設
けられており、更に、該インク室６に連通して隔壁４に
より区画されてインクの流路となり、加圧によりインク
内に圧力波を発生させる加圧室５が複数平行して設けら
れている。流路基板１には、圧電体８と基板１２とが順
に接合され、圧電体８には加圧室５に対応して加圧する
歪部１０が設けれらている。歪部１０は仕切スリット９
により区画され、該仕切スリット９内には弾性のある軟
質な充填剤１１が充填されている。流路基板１の加圧室
５のノズル側５ａには、加圧室５に対応したノズル３を
有するノズル板２が接合され、図（ｃ）に示すごとく、
一体構成される。歪部１０に画像情報に基づく信号が印
加されると、加圧室５内は体積変化して圧力波を発生
し、ノズルよりインク滴を噴射する。
給口７よりインクの供給を受けてインクを収容するイン
ク室６が、図（ｂ）に示すごとく、裏面に凹部として設
けられており、更に、該インク室６に連通して隔壁４に
より区画されてインクの流路となり、加圧によりインク
内に圧力波を発生させる加圧室５が複数平行して設けら
れている。流路基板１には、圧電体８と基板１２とが順
に接合され、圧電体８には加圧室５に対応して加圧する
歪部１０が設けれらている。歪部１０は仕切スリット９
により区画され、該仕切スリット９内には弾性のある軟
質な充填剤１１が充填されている。流路基板１の加圧室
５のノズル側５ａには、加圧室５に対応したノズル３を
有するノズル板２が接合され、図（ｃ）に示すごとく、
一体構成される。歪部１０に画像情報に基づく信号が印
加されると、加圧室５内は体積変化して圧力波を発生
し、ノズルよりインク滴を噴射する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、インク
ジェットヘッドにおいては、流路基板１にノズル板２を
結合してインクジェットヘッドを形成しているが、これ
ら流路基板１とノズル板２の結合部には、図９に示すよ
うに、流路の底部とノズルとの間に段差を生じ、このよ
うな構造にあっては、図９に示す様に、気泡５1が加圧
室５に残り易く、しかもその気泡５1を排出させようと
しても気泡５1はノズル板に押しつれられるため容易に
は排出できないという問題があった。
ジェットヘッドにおいては、流路基板１にノズル板２を
結合してインクジェットヘッドを形成しているが、これ
ら流路基板１とノズル板２の結合部には、図９に示すよ
うに、流路の底部とノズルとの間に段差を生じ、このよ
うな構造にあっては、図９に示す様に、気泡５1が加圧
室５に残り易く、しかもその気泡５1を排出させようと
しても気泡５1はノズル板に押しつれられるため容易に
は排出できないという問題があった。
【０００５】図１０は、前述のごときノズル板２の作成
方法の従来技術の一例を説明するための図で、板状のノ
ズル基板２をダイ４０の上に位置決めし（図（ａ））、
次いで、該ダイ４０に対向して配置したパンチ４１でプ
レス加工し、ノズルを穴開けする（図（ｂ））。前記ノ
ズル板２を順次移動しながら、前述のプレス加工を操り
返し行うと、複数のノズル３を有するノズル板２が得ら
れる（図（ｃ））。
方法の従来技術の一例を説明するための図で、板状のノ
ズル基板２をダイ４０の上に位置決めし（図（ａ））、
次いで、該ダイ４０に対向して配置したパンチ４１でプ
レス加工し、ノズルを穴開けする（図（ｂ））。前記ノ
ズル板２を順次移動しながら、前述のプレス加工を操り
返し行うと、複数のノズル３を有するノズル板２が得ら
れる（図（ｃ））。
【０００６】しかし、上述の作成方法によると、ノズル
板の貫通側にバリがでるので、このバリ除去工程を必要
とし、また、バリ除去の検査を必要とする等、多くの加
工工程を要し、その管理が困難であった。加えて、完成
したインクジェットヘッドにおいては、前述のごとき気
泡の問題があった。
板の貫通側にバリがでるので、このバリ除去工程を必要
とし、また、バリ除去の検査を必要とする等、多くの加
工工程を要し、その管理が困難であった。加えて、完成
したインクジェットヘッドにおいては、前述のごとき気
泡の問題があった。
【０００７】図１１は、従来のノズル板の他の例を説明
するための断面図で、ノズル板２は、大きな円形穴３ａ
を有する板状部材２ａと、前記穴３ａのより小さな穴３
ｂを有する板状部材２ｂとを接着剤にて接合して形成さ
れている。そのため、接着部において接着剤がはみださ
ないように管理しなければならず、その管理が困難であ
り、また、熱膨張率の相違により、反りが生じ、この反
りについても管理しなければならず、その管理が困難で
あった。
するための断面図で、ノズル板２は、大きな円形穴３ａ
を有する板状部材２ａと、前記穴３ａのより小さな穴３
ｂを有する板状部材２ｂとを接着剤にて接合して形成さ
れている。そのため、接着部において接着剤がはみださ
ないように管理しなければならず、その管理が困難であ
り、また、熱膨張率の相違により、反りが生じ、この反
りについても管理しなければならず、その管理が困難で
あった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を解
決するために、（１）インクの流路が形成された流路基
板に接合され、前記流路に連通するノズルを有するイン
クジェットヘッドのノズル板の製造方法において、樹脂
フィルムを、平面基板と突起を形成した突起形成基板に
てはさんで密着加圧する工程と、前記樹脂フィルムを、
前記平面基板および突起形成基板からはずす工程と、前
記樹脂フィルム上の前記突起にて形成されたくぼみにレ
ーザー光を照射して穴（ノズル）を貫通させる工程とを
有することを特徴としているものであり、更には、上記
（１）において、（２）前記密着加圧工程において、前
記樹脂フィルムを加熱すること、或いは、（３）前記樹
脂フィルムの樹脂材料に応じて前記突起形成基板の突起
の面粗度を変えること、或いは、（４）前記平面基板
を、前記突起形成基板の前記突起に対向した位置にくぼ
みを形成したくぼみ形成基板としたこと、或いは、
（５）前記突起形成基板に前記突起を複数設けて突起列
としたこと、更には、前記（５）において、（６）前記
突起形成基板に前記の突起列とは別に、該突起列を分け
る為の突起を有すること、或いは、（７）前記平面基板
を、突起を形成した基板としたこと、或いは、（８）前
記（１）において、前記平面基板に、前記突起形成基板
の前記突起に対向した位置に突起を設け、該突起の面粗
度を変えることを特徴としたものである。
決するために、（１）インクの流路が形成された流路基
板に接合され、前記流路に連通するノズルを有するイン
クジェットヘッドのノズル板の製造方法において、樹脂
フィルムを、平面基板と突起を形成した突起形成基板に
てはさんで密着加圧する工程と、前記樹脂フィルムを、
前記平面基板および突起形成基板からはずす工程と、前
記樹脂フィルム上の前記突起にて形成されたくぼみにレ
ーザー光を照射して穴（ノズル）を貫通させる工程とを
有することを特徴としているものであり、更には、上記
（１）において、（２）前記密着加圧工程において、前
記樹脂フィルムを加熱すること、或いは、（３）前記樹
脂フィルムの樹脂材料に応じて前記突起形成基板の突起
の面粗度を変えること、或いは、（４）前記平面基板
を、前記突起形成基板の前記突起に対向した位置にくぼ
みを形成したくぼみ形成基板としたこと、或いは、
（５）前記突起形成基板に前記突起を複数設けて突起列
としたこと、更には、前記（５）において、（６）前記
突起形成基板に前記の突起列とは別に、該突起列を分け
る為の突起を有すること、或いは、（７）前記平面基板
を、突起を形成した基板としたこと、或いは、（８）前
記（１）において、前記平面基板に、前記突起形成基板
の前記突起に対向した位置に突起を設け、該突起の面粗
度を変えることを特徴としたものである。
【０００９】
【作用】ノズル板に形成するノズルをテーパ形状とする
とともに、加圧室側のノズル径を加圧室断面と同程度と
し、気泡排出性を向上する。また、ノズルのテーパ形状
をフィルム材をプレス加圧することにより形成し、形状
の自由度を電鋳等に比ベ高くし、量産性を向上する。さ
らには、噴射特性に影響の大きい貫通穴をエキシマレー
ザ加工にて形成することにより高品質な吐出口形状を得
る。
とともに、加圧室側のノズル径を加圧室断面と同程度と
し、気泡排出性を向上する。また、ノズルのテーパ形状
をフィルム材をプレス加圧することにより形成し、形状
の自由度を電鋳等に比ベ高くし、量産性を向上する。さ
らには、噴射特性に影響の大きい貫通穴をエキシマレー
ザ加工にて形成することにより高品質な吐出口形状を得
る。
【００１０】
【実施例】図１〜７は、それぞれ本発明によるノズル板
作成方法の実施例を説明するための工程図で、図示のよ
うに、（ａ）〜（ｅ）又は（ｅ）〜（ｆ）の工程から成
る。
作成方法の実施例を説明するための工程図で、図示のよ
うに、（ａ）〜（ｅ）又は（ｅ）〜（ｆ）の工程から成
る。
【００１１】図１は、請求項１に記載した発明の一実施
例を説明するための工程図で、以下の（ａ）〜（ｅ）の
工程より成る。 （ａ）適切な厚さの樹脂フィルム（ノズル板材料）２１
を、金属等からなる平面基板２２と、突起２５を有する
突起形成基板２３にてはさむよう位置決めする。 （ｂ）突起２５を樹脂フィルム２１に押しあて、樹脂フ
ィルム２１を、平面基板２２と突起形成基板２３にてプ
レスする。 （ｃ）プレスにより樹脂フィルムには、くぼみ２６がで
きる。 （ｄ）くぼみ２６の中心にエキシマレーザ光２４を結像
照射し、アブレーション加工し、貫通穴２７を形成す
る。 （ｅ）プレス加工によるくぼみ２６とレーザアブレーシ
ョン加工による貫通穴２７にて気泡排出性に優れ、高品
質な吐出形状を持つノズル板２１ができ上がる。
例を説明するための工程図で、以下の（ａ）〜（ｅ）の
工程より成る。 （ａ）適切な厚さの樹脂フィルム（ノズル板材料）２１
を、金属等からなる平面基板２２と、突起２５を有する
突起形成基板２３にてはさむよう位置決めする。 （ｂ）突起２５を樹脂フィルム２１に押しあて、樹脂フ
ィルム２１を、平面基板２２と突起形成基板２３にてプ
レスする。 （ｃ）プレスにより樹脂フィルムには、くぼみ２６がで
きる。 （ｄ）くぼみ２６の中心にエキシマレーザ光２４を結像
照射し、アブレーション加工し、貫通穴２７を形成す
る。 （ｅ）プレス加工によるくぼみ２６とレーザアブレーシ
ョン加工による貫通穴２７にて気泡排出性に優れ、高品
質な吐出形状を持つノズル板２１ができ上がる。
【００１２】前記工程（ｂ）において、プレス加工する
際、樹脂フィルム２１を加温又は加熱し（請求項２に記
載の発明）、樹脂フィルム２１を軟化させると、加工性
が向上する。
際、樹脂フィルム２１を加温又は加熱し（請求項２に記
載の発明）、樹脂フィルム２１を軟化させると、加工性
が向上する。
【００１３】図２は、請求項３に記載した発明の一実施
例を説明するための工程図で、図１に示した実施例との
相違は、突起２５を粗くしていることで、他は図１に示
した実施例と同じである。突起２５の面粗さを粗くする
ことにより、インクに濡れ易くなり、初期充填、気泡排
出に関してさらに有利になる。なお、突起２５のみでな
く基板２３のプレス面全面を粗くしてもよい。
例を説明するための工程図で、図１に示した実施例との
相違は、突起２５を粗くしていることで、他は図１に示
した実施例と同じである。突起２５の面粗さを粗くする
ことにより、インクに濡れ易くなり、初期充填、気泡排
出に関してさらに有利になる。なお、突起２５のみでな
く基板２３のプレス面全面を粗くしてもよい。
【００１４】図３は請求項４に記載した発明の一実施例
を説明するための工程図で、図１に示した実施例との相
違は、平面基板２２に基板くぼみ２８を設けたことであ
り、その他は図１に示した実施例と同じである。基板く
ぼみ２８を設けることにより、ノズル板２１には、ノズ
ル板突起２９が形成される。ノズル吐出口２７は、突起
上に存在することとなり、不要インクがノズル近傍にた
まりにくくなり、噴射安定性に関して有利になる。な
お、くぼみ面２８は粗面としてもよい。
を説明するための工程図で、図１に示した実施例との相
違は、平面基板２２に基板くぼみ２８を設けたことであ
り、その他は図１に示した実施例と同じである。基板く
ぼみ２８を設けることにより、ノズル板２１には、ノズ
ル板突起２９が形成される。ノズル吐出口２７は、突起
上に存在することとなり、不要インクがノズル近傍にた
まりにくくなり、噴射安定性に関して有利になる。な
お、くぼみ面２８は粗面としてもよい。
【００１５】図４は、請求項５に記載した発明の一実施
例を説明するための工程図で、図１に示した実施例との
相違は、前記突起形成基板２３に突起２５を複数設けて
おき、前述のプレス加工、レーザ加工からなるノズル口
形成加工を複数個一括加工としたもので、その他は図１
に示した実施例と同じである。而して、この実施例によ
ると、複数のノズルからノズル列を有するノズル板を得
ることができる。
例を説明するための工程図で、図１に示した実施例との
相違は、前記突起形成基板２３に突起２５を複数設けて
おき、前述のプレス加工、レーザ加工からなるノズル口
形成加工を複数個一括加工としたもので、その他は図１
に示した実施例と同じである。而して、この実施例によ
ると、複数のノズルからノズル列を有するノズル板を得
ることができる。
【００１６】図５は請求項６に記載した発明の一実施例
を説明するための工程図で、図４に示した実施例との相
違は、突起形成基板２３に基板突起２５の他に、突起３
０を設け、平面基板２２に前記突起３０と対向して基板
くぼみ３１を設けたことであり、その他は図４に示した
実施例と同じである。基板突起３０と基板くぼみ３１に
より、樹脂フィルム２１は、ノズル板外形に合わせて打
ち抜き加工（ランナー部３７を残す）され、ノズル板２
１の部品分離が達成される。基板くぼみ３１を省き、基
板突起３０をナイフ状にして切断加工するようにしてノ
ズル板２１の部品分離を行うようにしても有効である。
図（ｆ）に、樹脂フィルムからノズル板が部品分離（ラ
ンナー３７を残す）している様子を示す。
を説明するための工程図で、図４に示した実施例との相
違は、突起形成基板２３に基板突起２５の他に、突起３
０を設け、平面基板２２に前記突起３０と対向して基板
くぼみ３１を設けたことであり、その他は図４に示した
実施例と同じである。基板突起３０と基板くぼみ３１に
より、樹脂フィルム２１は、ノズル板外形に合わせて打
ち抜き加工（ランナー部３７を残す）され、ノズル板２
１の部品分離が達成される。基板くぼみ３１を省き、基
板突起３０をナイフ状にして切断加工するようにしてノ
ズル板２１の部品分離を行うようにしても有効である。
図（ｆ）に、樹脂フィルムからノズル板が部品分離（ラ
ンナー３７を残す）している様子を示す。
【００１７】図６は、請求項７に記載した発明の一実施
例を説明するための図で、図５に示した実施例との相違
は、平面基板２２に基板突起３３を設けたことであり、
その他は図５に示した実施例と同様である。基板突起３
３により、ノズル板２１の表面には、くぼみ３４が形成
される。基板突起３３の形状により、ノズル表面に、不
要液にがし溝、位置決めガイドなどの溝３４を設けるこ
とができる。
例を説明するための図で、図５に示した実施例との相違
は、平面基板２２に基板突起３３を設けたことであり、
その他は図５に示した実施例と同様である。基板突起３
３により、ノズル板２１の表面には、くぼみ３４が形成
される。基板突起３３の形状により、ノズル表面に、不
要液にがし溝、位置決めガイドなどの溝３４を設けるこ
とができる。
【００１８】図７は、請求項８に記載した発明の一実施
例を説明するための工程図で、図１に示した実施例との
相違は、平面基板２２上に基板突起３５を設けたことで
あり、更には、この基板突起３５の面粗さを周辺に比べ
て粗くしていることである。その他は図１に示した実施
例と同じである。基板突起３５により、ノズル板２１上
には、くぼみ３６が形成され、更には、このくぼみ３６
には、面粗さの粗い面が転写されており、周辺よりもイ
ンクに濡れやすくなっている。その結果、ノズル近傍に
液だまりの領域を限定することができる。
例を説明するための工程図で、図１に示した実施例との
相違は、平面基板２２上に基板突起３５を設けたことで
あり、更には、この基板突起３５の面粗さを周辺に比べ
て粗くしていることである。その他は図１に示した実施
例と同じである。基板突起３５により、ノズル板２１上
には、くぼみ３６が形成され、更には、このくぼみ３６
には、面粗さの粗い面が転写されており、周辺よりもイ
ンクに濡れやすくなっている。その結果、ノズル近傍に
液だまりの領域を限定することができる。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によると、以下の効果がある。 （１）請求項１のノズル板製造方法によると、ノズルの
テーパ形状をフィルム材のプレス加工にて形成するの
で、形状の自由度が高く、量産性にも優れている。さら
には、貫通穴をエキシマレーザ加工にて形成するので、
高品質な吐出口形状を得ることができる。 （２）請求項２のノズル板製造方法によると、プレス加
工時、フィルム材を軟化させるので、前記（１）の効果
に加え、加工性が向上する。 （３）請求項３のノズル板製造方法によると、ノズル穴
内部を粗面化し、濡れ性を上げているので、前記（１）
の効果に加え、さらに、初期充填性、気泡排出性が向上
する。 （４）請求項４のノズル板製造方法によると、吐出口周
辺が突出しているので、不要インクがノズル近傍にたま
りにくくなり、前記（１）の効果に加えて、噴射安定性
が向上する。 （５）請求項５のノズル板製造方法においては、複数の
ノズルを一括形成するので、前記（１）の効果に加え、
量産性が向上する。 （６）請求項６のノズル板製造方法によると、ノズル板
の部品分離を同時に行なうので、前記（１）の効果に加
え、生産性が向上する。 （７）請求項７のノズル板製造方法によると、ノズル表
面に不要インクにがし溝、位置決めガイドを配すること
ができるので、前記（１）の効果に加え、噴射安定性、
組立作業性を向上させることができる。 （８）請求項８のノズル板製造方法によると、ノズル近
傍液だまりの領域を限定することができるので、前記
（１）の効果に加え、噴射安定性が向上する。
によると、以下の効果がある。 （１）請求項１のノズル板製造方法によると、ノズルの
テーパ形状をフィルム材のプレス加工にて形成するの
で、形状の自由度が高く、量産性にも優れている。さら
には、貫通穴をエキシマレーザ加工にて形成するので、
高品質な吐出口形状を得ることができる。 （２）請求項２のノズル板製造方法によると、プレス加
工時、フィルム材を軟化させるので、前記（１）の効果
に加え、加工性が向上する。 （３）請求項３のノズル板製造方法によると、ノズル穴
内部を粗面化し、濡れ性を上げているので、前記（１）
の効果に加え、さらに、初期充填性、気泡排出性が向上
する。 （４）請求項４のノズル板製造方法によると、吐出口周
辺が突出しているので、不要インクがノズル近傍にたま
りにくくなり、前記（１）の効果に加えて、噴射安定性
が向上する。 （５）請求項５のノズル板製造方法においては、複数の
ノズルを一括形成するので、前記（１）の効果に加え、
量産性が向上する。 （６）請求項６のノズル板製造方法によると、ノズル板
の部品分離を同時に行なうので、前記（１）の効果に加
え、生産性が向上する。 （７）請求項７のノズル板製造方法によると、ノズル表
面に不要インクにがし溝、位置決めガイドを配すること
ができるので、前記（１）の効果に加え、噴射安定性、
組立作業性を向上させることができる。 （８）請求項８のノズル板製造方法によると、ノズル近
傍液だまりの領域を限定することができるので、前記
（１）の効果に加え、噴射安定性が向上する。
【図１】請求項１，２に記載したノズル板製造方法の一
実施例を説明するための工程図である。
実施例を説明するための工程図である。
【図２】請求項３に記載したノズル板製造方法の一実施
例を説明するための工程図である。
例を説明するための工程図である。
【図３】請求項４に記載したノズル板製造方法の一実施
例を説明するための工程図である。
例を説明するための工程図である。
【図４】請求項５に記載したノズル板製造方法の一実施
例を説明するための工程図である。
例を説明するための工程図である。
【図５】請求項６に記載したノズル板製造方法の一実施
例を説明するための工程図である。
例を説明するための工程図である。
【図６】請求項７に記載したノズル板製造方法の一実施
例を説明するための工程図である。
例を説明するための工程図である。
【図７】請求項８に記載したノズル板製造方法の一実施
例を説明するための工程図である。
例を説明するための工程図である。
【図８】インクジェットヘッドの基本構成を示す図で、
図（ａ）は構成要素を示す斜視図、図（ｂ）は流路基板
の裏面を示す斜視図、図（ｃ）は各構成要素を一体に結
合した時の斜視図である。
図（ａ）は構成要素を示す斜視図、図（ｂ）は流路基板
の裏面を示す斜視図、図（ｃ）は各構成要素を一体に結
合した時の斜視図である。
【図９】流路基板とノズル板との結合部の断面拡大図で
ある。
ある。
【図１０】従来のインクジェットヘッドのノズル板の製
造方法の一例を説明するための図である。
造方法の一例を説明するための図である。
【図１１】従来のノズル板の一例を示す断面図である。
２１…ノズル板、２２…平面基板、２３…突起形成基
板、２４…レーザ光、２５…突起、２６…くぼみ、２７
…吐出口、２８…基板くぼみ、２９…ノズル板突起、３
０…基板突起、３１…基板くぼみ、３２…ノズル板分離
部、３３…基板突起、３４…溝、３５…基板突起、３６
…ノズル板くぼみ、３７…ランナー。
板、２４…レーザ光、２５…突起、２６…くぼみ、２７
…吐出口、２８…基板くぼみ、２９…ノズル板突起、３
０…基板突起、３１…基板くぼみ、３２…ノズル板分離
部、３３…基板突起、３４…溝、３５…基板突起、３６
…ノズル板くぼみ、３７…ランナー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 手塚 伸治 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内
Claims (8)
- 【請求項１】 インクの流路が形成された流路基板に接
合され、前記流路に連通するノズルを有するインクジェ
ットヘッドのノズル板の製造方法において、樹脂フィル
ムを、平面基板と突起を形成した突起形成基板にてはさ
んで密着加圧する工程と、前記樹脂フィルムを、前記平
面基板および突起形成基板からはずす工程と、前記樹脂
フィルム上の前記突起にて形成されたくぼみにレーザー
光を照射して穴を貫通させる工程、とを有することを特
徴とするインクジェットヘッドのノズル板の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１において、前記密着加圧する工
程において、前記樹脂フィルムを加熱することを特徴と
するインクジェットヘッドのノズル板の製造方法。 - 【請求項３】 請求項１において、前記樹脂フィルムの
樹脂材料に応じて前記突起形成基板の突起の面粗度を変
えることを特徴とするインクジェットヘッドのノズル板
の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１において、前記平面基板を、前
記突起形成基板の前記突起に対向した位置にくぼみを形
成したくぼみ形成基板としたことを特徴とするインクジ
ェットヘッドのノズル板の製造方法。 - 【請求項５】 請求項１において、前記突起形成基板に
前記突起を複数設けて突起列としたことを特徴とするイ
ンクジェットヘッドのノズル板の製造方法。 - 【請求項６】 請求項５において、前記突起形成基板に
前記突起列とは別に、該突起列を突起列毎に分ける為の
突起を有することを特徴とするインクジェッドヘッドの
ノズル板の製造方法。 - 【請求項７】 請求項５において、前記平面基板を、突
起を形成した基板としたことを特徴とするインクジェッ
トヘッドのノズル板の製造方法。 - 【請求項８】 請求項１において、前記平面基板に前記
突起形成基板の前記突起に対向した位置に突起を設け、
該突起の面粗度を変えることを特徴とするインクジェッ
トヘッドのノズル板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4357448A JPH06191043A (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | インクジェットヘッドのノズル板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4357448A JPH06191043A (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | インクジェットヘッドのノズル板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06191043A true JPH06191043A (ja) | 1994-07-12 |
Family
ID=18454178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4357448A Pending JPH06191043A (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | インクジェットヘッドのノズル板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06191043A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1299907C (zh) * | 2003-08-12 | 2007-02-14 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射头及其制造方法 |
| US7246888B2 (en) | 2001-12-27 | 2007-07-24 | Seiko Epson Corporation | Liquid jetting head and method of manufacturing the same |
| JP2008179124A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-08-07 | Brother Ind Ltd | ノズルプレートの切り離し方法およびノズルプレートの製造方法 |
| US8393716B2 (en) | 2009-09-07 | 2013-03-12 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid ejection head including flow channel plate formed with pressure generating chamber, method of manufacturing such liquid ejection head, and image forming apparatus including such liquid ejection head |
| US8402654B2 (en) | 2006-12-28 | 2013-03-26 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for cutting off nozzle plate and method for manufacturing nozzle plate |
-
1992
- 1992-12-24 JP JP4357448A patent/JPH06191043A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7246888B2 (en) | 2001-12-27 | 2007-07-24 | Seiko Epson Corporation | Liquid jetting head and method of manufacturing the same |
| CN1299907C (zh) * | 2003-08-12 | 2007-02-14 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射头及其制造方法 |
| JP2008179124A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-08-07 | Brother Ind Ltd | ノズルプレートの切り離し方法およびノズルプレートの製造方法 |
| US8402654B2 (en) | 2006-12-28 | 2013-03-26 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for cutting off nozzle plate and method for manufacturing nozzle plate |
| US8393716B2 (en) | 2009-09-07 | 2013-03-12 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid ejection head including flow channel plate formed with pressure generating chamber, method of manufacturing such liquid ejection head, and image forming apparatus including such liquid ejection head |
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