JPH06188671A - 圧電共振子 - Google Patents
圧電共振子Info
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- JPH06188671A JPH06188671A JP34008492A JP34008492A JPH06188671A JP H06188671 A JPH06188671 A JP H06188671A JP 34008492 A JP34008492 A JP 34008492A JP 34008492 A JP34008492 A JP 34008492A JP H06188671 A JPH06188671 A JP H06188671A
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- Japan
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- harmonic
- piezoelectric resonator
- excitation
- piezoelectric
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、３次高調波の励振に影響を与えず
に基本波の励振を抑圧することで所望の高調波領域への
適用化を図ることが可能な圧電共振子を提供する。 【構成】 本発明は、短辺及び長辺を有する圧電基板２
に形成した励振部分の厚み縦振動である高次高調波振動
を利用するエネルギー閉じ込め型の圧電共振子１におい
て、前記圧電基板２の短辺の寸法を基本波の励振領域と
３次高調波の励振領域との間に設定するとともに、前記
励振部分の表裏両面及び前記圧電基板２の短辺の外側の
前記表裏両面に連なる領域を空洞６とした。これによ
り、３次高調波励振に影響を与えることなく基本波励振
を抑制することができ、かつ、既述したような空洞を設
けたことにより３次高調波励振が抑制されることを回避
できる。
に基本波の励振を抑圧することで所望の高調波領域への
適用化を図ることが可能な圧電共振子を提供する。 【構成】 本発明は、短辺及び長辺を有する圧電基板２
に形成した励振部分の厚み縦振動である高次高調波振動
を利用するエネルギー閉じ込め型の圧電共振子１におい
て、前記圧電基板２の短辺の寸法を基本波の励振領域と
３次高調波の励振領域との間に設定するとともに、前記
励振部分の表裏両面及び前記圧電基板２の短辺の外側の
前記表裏両面に連なる領域を空洞６とした。これによ
り、３次高調波励振に影響を与えることなく基本波励振
を抑制することができ、かつ、既述したような空洞を設
けたことにより３次高調波励振が抑制されることを回避
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電共振子に関し、よ
り詳しくは高次高調波における厚み縦振動を利用した圧
電共振子に関する。
り詳しくは高次高調波における厚み縦振動を利用した圧
電共振子に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電基板に形成した励振部分の厚み縦振
動である高次高調波振動を利用するエネルギー閉じ込め
型の圧電共振子として、従来図１３，図１４に示すもの
が知られている。
動である高次高調波振動を利用するエネルギー閉じ込め
型の圧電共振子として、従来図１３，図１４に示すもの
が知られている。
【０００３】同図に示す圧電共振子５０は、四角形状の
圧電基板５４と、この圧電基板５４の表裏面に形成した
一対の動作電極５５ａ，５５ｂと、一端を動作電極５５
ａ，５５ｂに各々接続し、他端を圧電基板５４の下端部
近傍に各々臨ませた補助電極５６ａ，５６ｂと、この補
助電極５６ａ，５６ｂに各々半田付け等により取り付け
た一対のリード線５７ａ，５７ｂと、前記動作電極５５
ａ，５５ｂの周囲でかつ圧電基板５４の表裏両面に形成
した空洞５８とを具備している。
圧電基板５４と、この圧電基板５４の表裏面に形成した
一対の動作電極５５ａ，５５ｂと、一端を動作電極５５
ａ，５５ｂに各々接続し、他端を圧電基板５４の下端部
近傍に各々臨ませた補助電極５６ａ，５６ｂと、この補
助電極５６ａ，５６ｂに各々半田付け等により取り付け
た一対のリード線５７ａ，５７ｂと、前記動作電極５５
ａ，５５ｂの周囲でかつ圧電基板５４の表裏両面に形成
した空洞５８とを具備している。
【０００４】前記各動作電極５５ａ，５５ｂは、圧電基
板５４の表裏両面の略中央位置に圧電基板４を挟んで対
向配置され、これにより、動作電極５５ａ，５５ｂの間
に励振部分を形成している。
板５４の表裏両面の略中央位置に圧電基板４を挟んで対
向配置され、これにより、動作電極５５ａ，５５ｂの間
に励振部分を形成している。
【０００５】図１３，図１４中、Ｄは空洞５８の直径を
示すものである。
示すものである。
【０００６】このような構成の圧電共振子５０の場合、
空洞５８の直径Ｄを適宜選定することにより、圧電共振
子５０における基本波励振をある程度抑制できるが、３
次高調波励振をも若干抑制してしまうという問題があ
る。
空洞５８の直径Ｄを適宜選定することにより、圧電共振
子５０における基本波励振をある程度抑制できるが、３
次高調波励振をも若干抑制してしまうという問題があ
る。
【０００７】上述した場合の他、基本波励振を抑制する
手段として、基本波励振領域に半田盛等の付加質量を付
ける方法（特開平３−２７４８１７号公報）やＬＣフィ
ルタ回路を設けて基本波のゲインを低下させる手段が知
られている。
手段として、基本波励振領域に半田盛等の付加質量を付
ける方法（特開平３−２７４８１７号公報）やＬＣフィ
ルタ回路を設けて基本波のゲインを低下させる手段が知
られている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成の圧電共振子５０の場合、空洞５８の直径Ｄを適
宜選定することにより、圧電共振子５０における基本波
励振をある程度抑制できるが、３次高調波励振をも若干
抑制してしまうという問題がある。
た構成の圧電共振子５０の場合、空洞５８の直径Ｄを適
宜選定することにより、圧電共振子５０における基本波
励振をある程度抑制できるが、３次高調波励振をも若干
抑制してしまうという問題がある。
【０００９】また、基本波励振の抑制に付加質量を付け
る方法では、付加質量の大小に大きく影響され、また、
製造的観点からも困難性を伴う。
る方法では、付加質量の大小に大きく影響され、また、
製造的観点からも困難性を伴う。
【００１０】さらに、ＬＣフィルタ回路を設ける方法で
は、構成が複雑，大型化するという欠点を有する。
は、構成が複雑，大型化するという欠点を有する。
【００１１】従って、従来、３次高調波励振に影響を与
えずに基本波励振を選択的に抑圧し得る圧電共振子は存
在しないのが実情である。
えずに基本波励振を選択的に抑圧し得る圧電共振子は存
在しないのが実情である。
【００１２】さらに、上述したような圧電共振子５０
は、使用周波数が数十ＭＨｚ帯と高いため、この使用周
波数よりも低い他励振モードの高調波振動を抑制するこ
とも必要であり、この対策として振動電極の近くに部分
電極を設け機械的付加を増す等の提案がなされているが
（特開平４−２１６２０８号，特開平４−２１６２０９
号）、これらの提案は所望モード以外の不要な高調波励
振の抑制に効果はあるものの、基本波励振の抑制は困難
である。
は、使用周波数が数十ＭＨｚ帯と高いため、この使用周
波数よりも低い他励振モードの高調波振動を抑制するこ
とも必要であり、この対策として振動電極の近くに部分
電極を設け機械的付加を増す等の提案がなされているが
（特開平４−２１６２０８号，特開平４−２１６２０９
号）、これらの提案は所望モード以外の不要な高調波励
振の抑制に効果はあるものの、基本波励振の抑制は困難
である。
【００１３】そこで、本発明は、３次高調波の励振に影
響を与えずに基本波の励振を抑圧することで所望の高調
波領域への適用化を図ることが可能な圧電共振子を提供
することを目的とする。
響を与えずに基本波の励振を抑圧することで所望の高調
波領域への適用化を図ることが可能な圧電共振子を提供
することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
短辺及び長辺を有する圧電基板に形成した励振部分の厚
み縦振動である高次高調波振動を利用するエネルギー閉
じ込め型の圧電共振子において、前記圧電基板の短辺の
寸法を基本波の励振領域と３次高調波の励振領域との間
に設定するとともに、前記励振部分の表裏両面及び前記
圧電基板の短辺の外側の前記表裏両面に連なる領域を空
洞としたものである。
短辺及び長辺を有する圧電基板に形成した励振部分の厚
み縦振動である高次高調波振動を利用するエネルギー閉
じ込め型の圧電共振子において、前記圧電基板の短辺の
寸法を基本波の励振領域と３次高調波の励振領域との間
に設定するとともに、前記励振部分の表裏両面及び前記
圧電基板の短辺の外側の前記表裏両面に連なる領域を空
洞としたものである。
【００１５】請求項２記載の発明は、前記短辺の寸法
を、３次高調波の波長λ換算で６λ乃至１２λとしたも
のである。
を、３次高調波の波長λ換算で６λ乃至１２λとしたも
のである。
【００１６】
【作用】上記構成の圧電共振子の作用を説明する。
【００１７】請求項１記載の圧電共振子によれば、圧電
基板の短辺の寸法を基本波の励振領域と３次高調波の励
振領域との間に設定することで、３次高調波励振に影響
を与えることなく基本波励振を抑制することができる。
基板の短辺の寸法を基本波の励振領域と３次高調波の励
振領域との間に設定することで、３次高調波励振に影響
を与えることなく基本波励振を抑制することができる。
【００１８】また、圧電基板における励振部分の表裏両
面及び前記圧電基板の短辺の外側の前記表裏両面に連な
る領域を空洞としたので、この励振部分には動作電極が
臨むだけで圧電共振子を構成するリード線や外装樹脂等
は励振部分に非接触の状態になり、この結果、３次高調
波励振が抑制されることを回避できる。
面及び前記圧電基板の短辺の外側の前記表裏両面に連な
る領域を空洞としたので、この励振部分には動作電極が
臨むだけで圧電共振子を構成するリード線や外装樹脂等
は励振部分に非接触の状態になり、この結果、３次高調
波励振が抑制されることを回避できる。
【００１９】請求項２記載の圧電共振子によれば、圧電
基板の短辺の寸法を、３次高調波の波長λ換算で６λ乃
至１２λとしたものであるから、所望の周波数帯域であ
る１２乃至５０ＭＨｚの３次高調波励振を実現できる。
基板の短辺の寸法を、３次高調波の波長λ換算で６λ乃
至１２λとしたものであるから、所望の周波数帯域であ
る１２乃至５０ＭＨｚの３次高調波励振を実現できる。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳述
する。
する。
【００２１】図１，図２に示す圧電共振子１は、短辺２
ａ，長片２ｂを有する四角形状の圧電基板２と、この圧
電基板２の略中央部の表裏面に接合した圧電基板２にお
ける励振部分を形成する一対の動作電極３ａ，３ｂと、
一端を動作電極３ａ，３ｂに各々接続し、他端を圧電基
板２の一方の長辺２ｂの近傍に各々臨ませた補助電極４
ａ，４ｂと、この補助電極４ａ，４ｂに各々半田付け等
により取り付けた一対のリード線５ａ，５ｂと、前記励
振部分の表裏両面及び前記圧電基板２の短辺２ａの外側
の前記表裏両面に連なる領域に形成した直径Ｄ0 の空洞
６と、この空洞６の回りを包囲する樹脂材７とを具備し
ている。
ａ，長片２ｂを有する四角形状の圧電基板２と、この圧
電基板２の略中央部の表裏面に接合した圧電基板２にお
ける励振部分を形成する一対の動作電極３ａ，３ｂと、
一端を動作電極３ａ，３ｂに各々接続し、他端を圧電基
板２の一方の長辺２ｂの近傍に各々臨ませた補助電極４
ａ，４ｂと、この補助電極４ａ，４ｂに各々半田付け等
により取り付けた一対のリード線５ａ，５ｂと、前記励
振部分の表裏両面及び前記圧電基板２の短辺２ａの外側
の前記表裏両面に連なる領域に形成した直径Ｄ0 の空洞
６と、この空洞６の回りを包囲する樹脂材７とを具備し
ている。
【００２２】前記長辺２ｂの寸法は例えば１６ＭＨｚ共
振子の場合７ｍｍ、短辺２ａの寸法Ａは例えば２乃至
２．７ｍｍとしている。
振子の場合７ｍｍ、短辺２ａの寸法Ａは例えば２乃至
２．７ｍｍとしている。
【００２３】また、前記圧電基板２の短辺２ａの寸法
を、基本波の励振領域と３次高調波の励振領域との間に
するために、３次高調波の波長λ換算で６λ乃至１２λ
に設定している。
を、基本波の励振領域と３次高調波の励振領域との間に
するために、３次高調波の波長λ換算で６λ乃至１２λ
に設定している。
【００２４】次に、圧電共振子１の製造工程について説
明する。
明する。
【００２５】まず、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ3 ）系から
なる圧電材料により形成した基板素体（図示省略）を用
意し、この基板素体の表裏面を研磨し、基板素体の表裏
面に、必要個数の動作電極３ａ，３ｂ及び補助電極４
ａ，４ｂをマスクを用いたスパッタリング等により形成
し、各動作電極３ａ，３ｂ、補助電極４ａ，４ｂが形成
された基板素体を切断処理して、短辺２ａ，長片２ｂを
有する図２，図３に示す四角形状の圧電基板２を得る。
なる圧電材料により形成した基板素体（図示省略）を用
意し、この基板素体の表裏面を研磨し、基板素体の表裏
面に、必要個数の動作電極３ａ，３ｂ及び補助電極４
ａ，４ｂをマスクを用いたスパッタリング等により形成
し、各動作電極３ａ，３ｂ、補助電極４ａ，４ｂが形成
された基板素体を切断処理して、短辺２ａ，長片２ｂを
有する図２，図３に示す四角形状の圧電基板２を得る。
【００２６】次に、図２，図４に示すように前記各補助
電極４ａ，４ｂに半田付等により一対のリード線５ａ，
５ｂを接続する。
電極４ａ，４ｂに半田付等により一対のリード線５ａ，
５ｂを接続する。
【００２７】次に、図５に示すように、圧電基板２の励
振部分の表裏両面及び前記圧電基板２の短辺２ａの外側
の前記表裏両面に連なる領域に直径Ｄ0 の寸法で溶解除
去可能な例えばパラフィンワックス８をマスク等を用い
て塗布する。
振部分の表裏両面及び前記圧電基板２の短辺２ａの外側
の前記表裏両面に連なる領域に直径Ｄ0 の寸法で溶解除
去可能な例えばパラフィンワックス８をマスク等を用い
て塗布する。
【００２８】さらに、図６に示すように、例えばディッ
プ法により樹脂材７中にパラフィンワックス８を塗布し
た圧電基板２を浸漬してリード線５ａ，５ｂの一部のみ
を露出させる。
プ法により樹脂材７中にパラフィンワックス８を塗布し
た圧電基板２を浸漬してリード線５ａ，５ｂの一部のみ
を露出させる。
【００２９】この状態で、真空条件下で加熱温度（１４
０乃至１５０℃）の雰囲気で樹脂材７を加熱硬化させ
る。この加熱硬化に伴いパラフィンワックス８は溶解し
て樹脂材７中に吸収され、この結果、図１に示すような
直径Ｄ0 の空洞６を有する圧電共振子１が得られる。
０乃至１５０℃）の雰囲気で樹脂材７を加熱硬化させ
る。この加熱硬化に伴いパラフィンワックス８は溶解し
て樹脂材７中に吸収され、この結果、図１に示すような
直径Ｄ0 の空洞６を有する圧電共振子１が得られる。
【００３０】次に、このようにして製造された圧電共振
子１の基本波モード、３次高調波モードのインピ−ダン
ス特性、位相特性を従来の圧電共振子５０の場合と比較
しつつ、かつ、図７乃至図１２をも参照して説明する。
子１の基本波モード、３次高調波モードのインピ−ダン
ス特性、位相特性を従来の圧電共振子５０の場合と比較
しつつ、かつ、図７乃至図１２をも参照して説明する。
【００３１】尚、図７は、基本波モード、３次高調波モ
ードを想定した場合の前記短辺２ａ方向の電荷分布を示
し、短辺２ａの寸法Ａは、基本波の励振領域（図７に示
すα）よりも小さく、３次高調波の励振領域（図７に示
すβ）よりも大きくすることが重要である。
ードを想定した場合の前記短辺２ａ方向の電荷分布を示
し、短辺２ａの寸法Ａは、基本波の励振領域（図７に示
すα）よりも小さく、３次高調波の励振領域（図７に示
すβ）よりも大きくすることが重要である。
【００３２】また、図８は、Ｃ−ＭＯＳインバータ７４
ＨＣＵ０４を用いた圧電共振子１又は圧電共振子５０を
含む発振回路２０を示すものである。この発振回路２０
は、圧電共振子１又は圧電共振子５０と並列に抵抗Ｒｆ
及び第１のインバータ２１を接続するとともに、圧電共
振子１又は圧電共振子５０と接地との間にコンデンサＣ
1 ，Ｃ2 を接続し、さらに、前記第１のインバータ２１
に第２のインバータ２２を接続した構成となっている。
ＨＣＵ０４を用いた圧電共振子１又は圧電共振子５０を
含む発振回路２０を示すものである。この発振回路２０
は、圧電共振子１又は圧電共振子５０と並列に抵抗Ｒｆ
及び第１のインバータ２１を接続するとともに、圧電共
振子１又は圧電共振子５０と接地との間にコンデンサＣ
1 ，Ｃ2 を接続し、さらに、前記第１のインバータ２１
に第２のインバータ２２を接続した構成となっている。
【００３３】さらに、図９，図１０は、圧電共振子１の
基本波モード、３次高調波モードのインピーダンス特
性、位相特性を示し、図１１，図１２は、圧電共振子５
０の基本波モード、３次高調波モードのインピーダンス
特性，位相特性を示す。
基本波モード、３次高調波モードのインピーダンス特
性、位相特性を示し、図１１，図１２は、圧電共振子５
０の基本波モード、３次高調波モードのインピーダンス
特性，位相特性を示す。
【００３４】また、図９，図１０，図１１中、点Ｐは前
記発振回路２０での発振動作点を示すものである。
記発振回路２０での発振動作点を示すものである。
【００３５】図９，図１１から明らかなように、１６Ｍ
Ｈｚ圧電共振子１の基本波モードの励振では、インピー
ダンスＺが１５００Ωで位相θが３０度前後で基本波の
発振は起こらないのに対し、圧電共振子５０の基本波モ
ードの励振では、インピーダンスＺが１５００Ωで位相
θが６０度以上となる場合が４７３０ＫＨｚ付近，４８
５０ＫＨｚ付近と２箇所あり、本実施例の圧電共振子１
における基本波モードでの励振が抑制されていることが
理解できる。
Ｈｚ圧電共振子１の基本波モードの励振では、インピー
ダンスＺが１５００Ωで位相θが３０度前後で基本波の
発振は起こらないのに対し、圧電共振子５０の基本波モ
ードの励振では、インピーダンスＺが１５００Ωで位相
θが６０度以上となる場合が４７３０ＫＨｚ付近，４８
５０ＫＨｚ付近と２箇所あり、本実施例の圧電共振子１
における基本波モードでの励振が抑制されていることが
理解できる。
【００３６】また、図１０，図１２から明らかなよう
に、圧電共振子１の３次高調波モードの励振では、発振
動作点Ｐ（周波数１５９７０ＫＨｚ付近）はインピーダ
ンスＺが４６５Ω前後の位置であり、このとき位相θは
８５度以上で極めて安定した動作を発揮する。圧電共振
子５０の３次高調波モードの励振の場合も略同様であ
る。
に、圧電共振子１の３次高調波モードの励振では、発振
動作点Ｐ（周波数１５９７０ＫＨｚ付近）はインピーダ
ンスＺが４６５Ω前後の位置であり、このとき位相θは
８５度以上で極めて安定した動作を発揮する。圧電共振
子５０の３次高調波モードの励振の場合も略同様であ
る。
【００３７】尚、３次高調波の励振周波数が１２ＭＨｚ
乃至５０ＭＨｚの範囲においても同様の結果を得ること
ができた。
乃至５０ＭＨｚの範囲においても同様の結果を得ること
ができた。
【００３８】従って、本実施例の圧電共振子１によれ
ば、以下の効果を奏する。
ば、以下の効果を奏する。
【００３９】(1) 上述した短辺２ａの寸法設定によ
り、３次高調波励振に影響を与えずに基本波励振を抑圧
することができ、１２ＭＨｚ乃至５０ＭＨｚ帯に幅広く
適用できる。また、基本波励振の抑圧のための質量付加
等の特別な対策が不要となり、製造が容易となる。
り、３次高調波励振に影響を与えずに基本波励振を抑圧
することができ、１２ＭＨｚ乃至５０ＭＨｚ帯に幅広く
適用できる。また、基本波励振の抑圧のための質量付加
等の特別な対策が不要となり、製造が容易となる。
【００４０】(2) 圧電共振子１に前記空洞６を設けた
ことにより、３次高調波励振の抑制を回避できる。
ことにより、３次高調波励振の抑制を回避できる。
【００４１】(3) 本実施例の圧電共振子１は、高調波
圧電共振子や高調波圧電フィルタに限らず、これらの圧
電共振子１やフィルタを用いた移動通信分野，ＯＡ機器
のクロック発生回路等に広く適用でき、水晶発振子との
置換が可能である。
圧電共振子や高調波圧電フィルタに限らず、これらの圧
電共振子１やフィルタを用いた移動通信分野，ＯＡ機器
のクロック発生回路等に広く適用でき、水晶発振子との
置換が可能である。
【００４２】(4) 本実施例の圧電共振子１を、高調波
モード共振子として利用する場合、所望次数モード以下
の次数モードの抑圧に有効であり、製品の高調波化への
不要モード抑圧に役立つ。
モード共振子として利用する場合、所望次数モード以下
の次数モードの抑圧に有効であり、製品の高調波化への
不要モード抑圧に役立つ。
【００４３】(5) 本実施例の圧電共振子１を製品化し
た場合、電気的な経路を確保するために圧電基板２は長
方形のものが利用されるが、短辺方向寸法が小さいた
め、外装樹脂モールド型のみならず、外装パッケージを
もったＳＭＤディバイスの内蔵基板としても適用可能で
あり、例えば、短冊形状の圧電振動子を用いたディバイ
スに適用して好適である。
た場合、電気的な経路を確保するために圧電基板２は長
方形のものが利用されるが、短辺方向寸法が小さいた
め、外装樹脂モールド型のみならず、外装パッケージを
もったＳＭＤディバイスの内蔵基板としても適用可能で
あり、例えば、短冊形状の圧電振動子を用いたディバイ
スに適用して好適である。
【００４４】この他、共振子以外の高調波フィルタ等に
も展開可能である。
も展開可能である。
【００４５】なお、本発明は、上記実施例に限定され
ず、種々に変形実施できる。
ず、種々に変形実施できる。
【００４６】
【発明の効果】以上詳述した請求項１記載の発明によれ
ば、３次高調波励振に影響を与えることなく基本波励振
を抑制することができ、かつ、既述したような空洞を設
けたことにより３次高調波励振が抑制されることを回避
できる圧電共振子を提供できる。
ば、３次高調波励振に影響を与えることなく基本波励振
を抑制することができ、かつ、既述したような空洞を設
けたことにより３次高調波励振が抑制されることを回避
できる圧電共振子を提供できる。
【００４７】請求項２記載の発明によれば、圧電基板の
短辺の寸法を、３次高調波の波長λ換算で６λ乃至１２
λとしたものであるから、所望の周波数帯域である１２
乃至５０ＭＨｚの３次高調波励振を実現できる圧電共振
子を提供できる。
短辺の寸法を、３次高調波の波長λ換算で６λ乃至１２
λとしたものであるから、所望の周波数帯域である１２
乃至５０ＭＨｚの３次高調波励振を実現できる圧電共振
子を提供できる。
【図１】本発明の圧電共振子の実施例を示す切欠断面図
【図２】図１に示す圧電共振子の樹脂を除去した状態の
正面図
正面図
【図３】図１に示す圧電共振子の製造工程を示す側面図
【図４】図１に示す圧電共振子の製造工程を示す側面図
【図５】図１に示す圧電共振子の製造工程を示す断面図
【図６】図１に示す圧電共振子の製造工程を示す断面図
【図７】基本波、３次高調波の圧電基板における短辺方
向の電荷分布を示す図
向の電荷分布を示す図
【図８】図１に示す圧電共振子を励振する発振回路図
【図９】本実施例の基本波モードのインピーダンス特
性、位相特性を示すグラフ
性、位相特性を示すグラフ
【図１０】本実施例の３次高調波モードのインピーダン
ス特性、位相特性を示すグラフ
ス特性、位相特性を示すグラフ
【図１１】従来例の基本波モードのインピーダンス特
性、位相特性を示すグラフ
性、位相特性を示すグラフ
【図１２】従来例の３次高調波モードのインピーダンス
特性、位相特性を示すグラフ
特性、位相特性を示すグラフ
【図１３】従来の圧電共振子を示す切欠断面図
【図１４】従来の圧電共振子の樹脂を除去した状態の正
面図
面図
１ 圧電共振子 ２ 圧電基板 ２ａ 短辺 ２ｂ 長辺 ６ 空洞
Claims (2)
- 【請求項１】 短辺及び長辺を有する圧電基板に形成し
た励振部分の厚み縦振動である高次高調波振動を利用す
るエネルギー閉じ込め型の圧電共振子において、前記圧
電基板の短辺の寸法を基本波の励振領域と３次高調波の
励振領域との間に設定するとともに、前記励振部分の表
裏両面及び前記圧電基板の短辺の外側の前記表裏両面に
連なる領域を空洞としたことを特徴とする圧電共振子。 - 【請求項２】 前記短辺の寸法を、３次高調波の波長λ
換算で６λ乃至１２λとした請求項１記載の圧電共振
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34008492A JPH06188671A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 圧電共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34008492A JPH06188671A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 圧電共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06188671A true JPH06188671A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18333567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34008492A Pending JPH06188671A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06188671A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19816488C2 (de) * | 1997-04-14 | 1999-10-14 | Murata Manufacturing Co | Energiesperrender piezoelektrischer Resonator |
| JP2006270543A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Tdk Corp | 圧電共振部品 |
| JP2006270545A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Tdk Corp | 圧電共振部品 |
-
1992
- 1992-12-21 JP JP34008492A patent/JPH06188671A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19816488C2 (de) * | 1997-04-14 | 1999-10-14 | Murata Manufacturing Co | Energiesperrender piezoelektrischer Resonator |
| JP2006270543A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Tdk Corp | 圧電共振部品 |
| JP2006270545A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Tdk Corp | 圧電共振部品 |
| JP4692811B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2011-06-01 | Ｔｄｋ株式会社 | 圧電共振部品 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011106 |