JP3139261B2

JP3139261B2 - 圧電共振子

Info

Publication number: JP3139261B2
Application number: JP06019649A
Authority: JP
Inventors: 弘明開田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-02-16
Filing date: 1994-02-16
Publication date: 2001-02-26
Anticipated expiration: 2016-02-26
Also published as: JPH07226645A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電共振子に関し、特
に、圧電効果により共振する共振部に動吸振部が連結さ
れた構造を有する圧電共振子に関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電共振子において、種々のモードで共
振する共振部の振動エネルギーを閉じ込めるための構造
として、動吸振部を共振部に連結した動吸振部内蔵型の
圧電共振子が提案されている。図１（ａ）及び（ｂ）
は、従来の動吸振部内蔵型の圧電共振子の一例を示す平
面図及び圧電板を透かして下方の電極形状を示した模式
的平面図である。

【０００３】圧電共振子１は、共振部２と、支持部３，
４と、動吸振部５，６と、連結部７，８と保持部９，１
０とを有する。これらの各部分は、圧電セラミック板を
図示の平面形状を有するように機械加工することにより
一体に形成されている。

【０００４】中央に配置された共振部２は、矩形の圧電
板部分を有し、該圧電板部分は厚み方向に分極処理され
ている。共振部２では、上面及び下面に共振電極２ａ，
２ｂが全面に形成されている。従って、共振電極２ａ，
２ｂから交流電圧を印加することにより、圧電板部分が
正方形の場合には拡がり振動モードで、正方形以外の矩
形の場合には、幅拡がりモードで共振部２が励振され
る。

【０００５】共振部２の振動のノード点付近に支持部
３，４が連結されており、該支持部３，４を介して、動
吸振部５，６が連結されている。動吸振部５，６は、屈
曲モードで振動するように構成されており、共振部２が
励振された際に、支持部３，４に漏洩してきた振動によ
り共振し、伝達してきた振動を動吸振現象により減衰さ
せる機能を有する。動吸振現象の詳細は、例えば谷口修
著「振動工学」第１１３頁〜第１１６頁（コロナ社）に
記載されている。簡単に言えば、動吸振現象とは、振動
が防止されるべき主振動体に、副振動体を連結し、該副
振動体の固有振動数を適当に選ぶことにより、主振動体
の振動が抑制される現象である。圧電共振子１では、支
持部３，４が上記主振動体に相当し、動吸振部５，６が
副振動体に相当する。すなわち、支持部３，４に漏洩し
てきた振動は、動吸振部５，６により減衰される。

【０００６】共振電極２ａ，２ｂは、それぞれ、上面及
び下面において、接続導電部１１，１２により、保持部
９，１０の上面あるいは下面に形成された端子電極１
３，１４に電気的に接続されている。

【０００７】圧電共振子１では、動吸振部５，６が設け
られている部分までに共振エネルギーが閉じ込められる
ため、上記保持部９，１０を利用して機械的に保持する
ことができ、かつ端子電極１３，１４により外部と電気
的に接続することができる。

【０００８】ところで、動吸振現象を効果的に利用する
には、動吸振部５，６の共振周波数を、共振部２の共振
周波数に一致させる必要がある。従って、屈曲モードで
振動する動吸振部５，６の寸法を選ぶことにより、その
共振周波数を調整する必要がある。

【０００９】他方、動吸振部５，６の周波数調整を行う
には、動吸振部の幅Ｗ及び長さＬを調整する必要があ
る。すなわち、幅Ｗが大きくなる程共振周波数が高くな
り、長さＬが大きくなる程、動吸振部の共振周波数が低
くなる。

【００１０】従来、動吸振部５，６の幅Ｗ及び長さＬを
調整することにより、共振部２の共振周波数に動吸振部
５，６の共振周波数を一致させていた。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧電板
を機械加工することにより動吸振部５，６を形成しよう
とした場合、従来、煩雑な工程が強いられていた。これ
を、図２を参照して説明する。図２（ａ）及び（ｂ）
は、図１に示した圧電共振子１における動吸振部６の上
半分を加工する状態を説明するための部分平面図であ
る。まず、矩形の圧電板１５を用意する。圧電板１５の
一方端縁１５ａから、同一のブレードを用いて溝加工
し、第１，第２の溝１６，１７を形成する。これによっ
て、第１の溝１６の側方に共振部２を構成する。他方、
第１，第２の溝１６，１７間に動吸振部６Ａを形成す
る。また、第２の溝１７の外側には保持部１０を形成す
る。

【００１２】この状態では、動吸振部６Ａの共振周波数
が低すぎるため、第１，第２の溝１６，１７の形成に用
いたブレードよりも厚みの厚いブレードを用い、動吸振
部６Ａの長さＬを短くするように溝加工する。このよう
にして、長さＬが短くされた動吸振部６を得る（図２
（ｂ）参照）。

【００１３】すなわち、上述した加工方法では、第１，
第２の溝１６，１７を形成するに際し、細いブレードで
溝入れ加工した後に、ブレードを交換し、動吸振部６Ａ
よりも幅の広いブレードを用いて溝入れ加工し、動吸振
部６Ａの長さＬを短縮させていた。

【００１４】あるいは、第１，第２の溝１６，１７を加
工する際に用いたブレードを使用し、動吸振部６Ａの先
端を削りとりつつ、少しづつ幅方向にずらし、何回も溝
入れ加工する方法も採用されていた。

【００１５】よって、従来の加工方法では、動吸振部６
Ａを短くするに際し、ブレードの交換や多数回に渡る溝
入れ加工などの長時間の加工工程を実施しなければなら
ず、コストが高くつくという欠点があった。

【００１６】他方、動吸振部６の共振周波数を高めるに
は、動吸振部６Ａの長さを短くする方法の他、幅Ｗを大
きくすることにより共振周波数を高めることも可能であ
る。しかしながら、共振周波数を高めるために、動吸振
部６の幅Ｗを拡げた場合には、図３に示すように、幅Ｗ
が大きくなる。その結果、圧電共振子の上記幅Ｗ方向の
寸法が大きくなるという欠点があった。

【００１７】本発明の目的は、動吸振部内蔵型の圧電共
振子において、比較的簡単な工程により安価に動吸振部
を構成することができ、しかも圧電共振子の小型化を進
めることが可能な圧電共振子を提供することにある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明は、矩形の圧電板
を用いて構成されており、複数の共振電極を有する共振
部と、共振部の振動を受けて、該振動の周波数と一致し
た共振周波数で共振するように構成された動吸振部とを
備える圧電共振子であって、前記矩形の圧電板の少なく
とも一の端縁から該端縁に直交するように圧電板中央側
に向かって互いに平行に延びる第１，第２の溝が設けら
れており、前記共振部が第１，第２の溝の一方の溝の外
側の圧電板部分において構成されており、第１，第２の
溝間の圧電板部分により動吸振部が構成されており、前
記第１，第２の溝間において前記端縁から圧電板中央側
に向かって延びるように、かつ第１，第２の溝と同一幅
で第１，第２の溝よりも浅くなるように第３の溝が前記
動吸振部に形成されていることを特徴とする、圧電共振
子である。好ましくは、前記共振部の両側に第１，第２
の溝及び動吸振部が設けられている。また、さらに好ま
しくは、前記第１，第２の溝の幅が等しくされている。

【００１９】

【作用】動吸振部を構成するための第１，第２の溝が同
一幅とされており、かつ動吸振部に形成される第３の溝
も第１，第２の溝と同一幅とされている。従って、第
１，第２の溝及び第３の溝を同一のブレードを用いて形
成することができる。

【００２０】しかも、上記第３の溝を形成することによ
り、動吸振部の共振周波数を低めることができる。よっ
て、共振部の共振周波数に動吸振部の共振周波数を一致
させる工程を、上記第３の溝の深さを調整することによ
り容易に行うことができる。

【００２１】すなわち、本発明は、動吸振部に第１，第
２の溝と同一幅の第３の溝を形成することにより動吸振
部の共振周波数を調整し、それによって動吸振部の周波
数調整を容易としたことに特徴を有する。

【００２２】

【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ実施例を説明
することにより、本発明を明らかにする。

【００２３】図４（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施
例に係る圧電共振子を示す平面図及び圧電板を透かして
下方の電極形状を示した模式的平面図である。圧電共振
子２１は、中央に矩形の圧電板部分を用いて構成された
共振部２２を有する。共振部２２の外側には、支持部２
３，２４、動吸振部２５，２６、連結部２７，２８及び
保持部２９，３０が形成されている。これらの各部分
は、圧電セラミック板を図示のような平面形状を有する
ように機械加工するように構成されており、従って一体
化されている。

【００２４】共振部２２は、平面形状が矩形の圧電セラ
ミック板部分で構成されており、厚み方向に分極処理さ
れている。共振部２２においては、上面及び下面の全面
に共振電極２２ａ，２２ｂが形成されている。共振電極
２２ａ，２２ｂは、それぞれ、上面及び下面において、
接続導電部３１，３２を介して端子電極３３，３４に電
気的に接続されている。接続導電部３１，３２及び端子
電極３３，３４は、従来の接続導電部１１，１２及び端
子電極１３，１４と同様に構成されている。また、上記
共振部２２は、矩形の圧電板の拡がりモードまたは幅拡
がりモードを利用した共振部として構成されている。す
なわち、端子電極３３，３４から交流電圧を印加するこ
とにより、共振部２２は幅拡がりモードまたは拡がりモ
ードで励振される。

【００２５】支持部２３，２４は、上記共振部２２の振
動のノード点である一の辺の中央部に連結されている。
従って、支持部２３，２４には、共振部２２の励振に際
しての振動エネルギーはさほど伝達されてこない。しか
しながら、支持部２３，２４に漏洩してきた振動は、動
吸振現象により、上記動吸振部２５，２６により減衰さ
れる。動吸振部２５，２６は、動吸振現象により上記振
動を減衰させるために、その共振周波数は、共振部２２
の共振周波数と一致されている。

【００２６】本実施例では、動吸振部２５，２６の周波
数調整を行うために、動吸振部２５，２６は、圧電板に
第１，第２の溝３５，３６を形成し、さらに第３の溝３
７を形成することにより構成されている。これを、図５
を参照して説明する。

【００２７】図５は、動吸振部２６の上半分を形成する
工程を説明するための模式的部分平面図である。まず、
上記圧電共振子２１を得るための矩形の圧電板４０を用
意し、該圧電板４０の一方端縁４０ａから、所定の幅の
ブレードを用い第１，第２の溝３５，３６を形成する。
第１，第２の溝３５，３６は、同一幅Ｗ₁を有し、端縁
４０ａから圧電板４０の中央方向に延び、かつ互いに平
行に形成されている。第１，第２の溝３５，３６を形成
することにより、第１の溝３５の外側に上記共振部２２
を構成するための圧電板部分２２Ａが形成される。ま
た、第２の溝３６の外側には、保持部３０を形成するた
めの圧電板部分が構成される。

【００２８】また、第１，第２の溝３５，３６間には、
動吸振部２６を構成するための圧電板部分２６ａが形成
される。本実施例では、上記第１，第２の溝３５，３６
を所定幅のブレードを用いて２回溝入れ加工することに
より形成した後、第３の溝３７も同一のブレードを用い
て形成される。すなわち、第３の溝３７は、第１，第２
の溝３５，３６と同一幅Ｗ₁で形成されており、かつ端
縁４０ａから圧電板４０の中央方向に延びるように、た
だしその深さが第１，第２の溝３５，３６よりも浅くな
るように形成されている。

【００２９】本実施例の圧電共振子では、第３の溝３７
が動吸振部２６に形成されているため、該第３の溝３７
の深さを調整することにより、動吸振部２６の共振周波
数を調整することができる。例えば、共振周波数を高め
たい場合には、上記第３の溝３７を深くすればよく、共
振周波数を低めたい場合には、第３の溝３７を浅くすれ
ばよい。すなわち、図５に示す第３の溝３７の両側にお
ける幅寸法Ｗ₂，Ｗ₃、第１，第２の溝３５，３６の深
さＬ₁，Ｌ₂及び第３の溝３７の深さＬ₃を適当に選択
することにより、動吸振部２６の共振周波数を容易に調
整することができる。第１、第２の溝深さＬ₁，Ｌ₂を
必ずしも等しくする必要はない。

【００３０】もっとも、第３の溝３７は、第１，第２の
溝３５，３６よりも浅く形成する必要がある。これは、
第１，第２の溝３５，３６よりも第３の溝３７が深くな
ると、動吸振部２６が屈曲振動で共振し得なくなるから
である。

【００３１】上記のように、動吸振部２６の共振周波数
の調整は、単一のブレードを用いて３回の溝入れ加工を
するだけで行うことができるため、従来の動吸振部内蔵
型の圧電共振子に比べて、動吸振部の周波数調整を極め
て簡単に行うことができる。

【００３２】図５を参照して、動吸振部２６の上半分を
形成する工程を説明したが、動吸振部２６の下方部分も
同様にして加工される。また、他方の動吸振部２５につ
いても上記と同様にして形成することができる。

【００３３】なお、上記実施例では、動吸振部に第３の
溝３７を一方形成していたが、第３の溝は複数本形成さ
れていてもよい。すなわち、動吸振部３６において、図
示の第３の溝３７に変えて、第１，第２の溝３５，３６
と同一幅で２本以上の溝を第３の溝として形成してもよ
い。さらに、複数本の第３の溝を形成する場合、互いの
深さが異なっていてもよい。

【００３４】この場合、第３の溝３７の両側の動吸振部
部分２６Ｂ，２６Ｃは、それぞれ、屈曲振動で振動され
てもよく、あるいは一方が屈曲振動で、他方が長さ振動
モードなどの他の振動モードで振動してもよく、その場
合には複合振動により動吸振部２６全体が動吸振部とし
て機能することになる。

【００３５】なお、上述した実施例では、共振部２２と
して、圧電板の拡がりモードまたは幅拡がりモードを利
用した圧電共振部を示したが、本発明における圧電共振
子の圧電共振部については、長さモードやすべりモード
などの他の振動モードを利用したものであってもよい。

【００３６】本実施例の圧電共振子１は、図４に示した
保持部２９，３０により機械的に保持することによりチ
ップ型電子部品やリード端子付きの電子部品として構成
することができる。

【００３７】図６及び図７はチップ型圧電共振部品とし
て構成した例を説明するための分解斜視図及び斜視図で
ある。図６に示すように、圧電共振子２１の側方に、略
コの字状のプレート５１，５２が接着剤等を用いて固定
されている。プレート５１，５２は圧電共振子２１と同
等の厚みを有し、かつ内側端縁に切欠５１ａ，５２ａを
有する。切欠５１ａ，５２ａは、圧電共振子２１の振動
部分の振動を妨げないための空間を圧電共振子２１の振
動部分の側方に確保するために設けられている。

【００３８】上記プレート５１，５２を接着することに
より、共振プレート５３が構成されている。共振プレー
ト５３の上面及び下面には矩形枠状のスペーサ５４，５
５を介して封止板５６，５７が接着される。スペーサ５
４，５５は、開口５４ａ，５５ａを有し、圧電共振子２
１の上下に振動部分の振動を妨げないための空間を確保
するために配置されており、合成樹脂などの適宜の部材
から構成される。また、スペーサ５４，５５に変えて、
矩形枠状に接着剤を塗布することにより振動空間を確保
してもよい。さらに、封止板５６の下面または封止板５
７上面に矩形の凹部を形成し、それによって上記スペー
サ５４，５５を省略してもよい。

【００３９】共振プレート５３の上下に、スペーサ５
４，５５を介して封止板５６，５７を貼り合わせ、さら
に図７に示す外部電極５８，５９を形成することにより
チップ型圧電共振部品６０を得ることができる。なお、
外部電極５８，５９は、スパッタリングまたはメッキ等
の適宜の方法により形成することができ、外部電極５８
は圧電共振子２１の一方の端子電極３３（図４参照）
に、外部電極５９は他方の端子電極３４（図４参照）に
電気的に接続される。

【００４０】また、特に図示はしないが、図４に示した
圧電共振子２１では、端子電極３３，３４にリード端子
をはんだ付け等により接合し、周囲を樹脂外装で覆うこ
とにより、リード付きの電子部品として構成することも
可能である。もっとも、この場合、振動部分の振動を確
保するための空間を内部に形成するために、予めワック
スを塗布し、しかる後外装樹脂構成用の熱硬化性樹脂を
被覆し熱硬化させることが必要である。

【００４１】本実施例は、圧電共振子に限らず、複数の
圧電共振子を組み合わせたフィルタにも用いることがで
きる。図８〜図１４は、上述した実施例の圧電共振子２
１を用いた３段のラダー型フィルタを説明するための図
である。

【００４２】すなわち、図１０に示す第１のチップ型フ
ィルタ７１と、図１３に示す第２のチップ型フィルタ９
１とを後述のように接続することにより３段のラダー型
フィルタを構成することができる。

【００４３】第１のチップ型フィルタ素子を図８に分解
斜視図で示す。第１のチップ型フィルタ素子は、上述し
た実施例の圧電共振子２１の側方にすべりモードを利用
した圧電共振子７２，７３及び保護プレート７４，７５
を絶縁性接着剤で貼り合わせてなる共振プレート７６を
有する。

【００４４】圧電共振子７２は、図９に示すように、矩
形の圧電板７２ａを用いて構成されている。圧電板７２
ａは、長さ方向Ｐに分極軸が揃うように分極処理されて
いる。圧電波７２ａの両側面には、中央領域において圧
電板７２ａを介して対向するように第１，第２の共振電
極７２ｂ，７２ｃが形成されている。共振電極７２ｂ
は、圧電板７２ａの一端から溝７２ｄまで至るように延
ばされている。また、溝７２ｄと所定距離を隔てて溝７
２ｅが形成されており、その間に動吸振部７２ｆが構成
されている。

【００４５】圧電板７２ａの他方側面側においても、共
振電極７２ｃが溝７２ｆまで延びるように形成されてい
る。溝７２ｆと所定距離隔てて溝７２ｇが形成されてお
り、それによって溝７２ｆ，７２ｇ間に動吸振部７２ｈ
が形成されている。

【００４６】圧電共振子７２は、第１，第２の共振電極
７２ｂ，７２ｃから交流電圧を印加することによりすべ
りモードで共振し、かつ上述した動吸振部７２ｆ，７２
ｈによりその共振エネルギーが共振部に効果的に閉じ込
められる。なお、図８に示した他方の圧電共振子７３に
ついても、圧電共振子７２と同様に構成されている。

【００４７】図８において、共振プレート７６の上面に
は、圧電共振子２１，７２，７３の一方の共振電極に接
続される端子電極７７〜７９が形成されている。また、
図８において共振プレート７６の側方に模式的に示すよ
うに共振プレート７６の下面においても、各共振子２
１，７２，７３の他方の共振電極に接続される端子電極
８０，８１，８２が形成されている。

【００４８】共振プレート７６の上下には、絶縁性接着
剤を介して封止板８３，８４が貼り合わされる。封止板
８３の下面及び封止板８４の上面には、矩形の凹部８４
ａが形成される。

【００４９】上記封止板８３，８４を貼り合わせ、図１
０に示すように外部電極８５ａ〜８５ｃ及び８５ｄ〜８
５ｆを形成することによりチップ型フィルタ素子７１が
得られる。このチップ型フィルタ素子７１では、外部電
極８５ａ〜８５ｆを形成することにより、図１１に示す
フィルタ回路を構成することができる。すなわち、外部
電極８５ａを図１１の入力端ＩＮとし、外部電極８５ｄ
〜８５ｆを共通接続し、外部電極８５ｂを図１１のグラ
ンド電位に接続される端子Ｇとし、外部電極８５ｃを出
力端ＯＵＴとすることにより、図１１に示す回路を構成
することができる。

【００５０】次に、図１３に示した第２のチップ型フィ
ルタ素子９１の構造を図１２を参照して説明する。本実
施例では、図９に示したすべりモードを利用した動吸振
部内蔵型の圧電共振子７２の側方に上述した実施例の圧
電共振子２１，２１を貼り合わせ、さらに側方に保護プ
レート９２，９３を貼り合わせることにより共振プレー
ト９４が構成されている。

【００５１】共振プレート９４の上面には、圧電共振子
７２，２１，２１の一方の共振電極にそれぞれ電気的に
接続される端子電極９５，９６，９７が形成されてい
る。また、共振プレート９４の下面には、同様に各共振
子の他方の共振電極にそれぞれ電気的に接続される端子
電極９８，９９，１００が形成されている。

【００５２】共振プレート９４の上面及び下面には、図
８に示したのと同一の封止板８３，８４が絶縁性接着剤
により貼り合わされる。しかる後、図１３に示す外部電
極１０１ａ〜１０１ｃ及び１０１ｄ〜１０１ｆを形成す
ることにより第２のチップ型フィルタ素子９１が構成さ
れている。第２のチップ型フィルタ素子９１では、外部
電極１０１ａ〜１０１ｆを形成することにより図１４に
示すフィルタ回路を構成することができる。すなわち、
外部電極１０１ａ，１０１ｂを共通接続し、入力端ＩＮ
とし、外部電極１０１ｅ，１０１ｆを共通接続し、図１
４の出力端ＯＵＴとし、外部電極１０１ｃ，１０１ｄ
を、それぞれ図１４に示したグラウンド電位に接続され
る端子Ｅとして用いることにより、図１４に示すフィル
タ回路を構成することができる。

【００５３】よって、図１０に示した第１のチップ型フ
ィルタ素子７１と図１３に示した第２のチップ型フィル
タ素子９１とを接続することにより、３段のラダー型フ
ィルタとして用いることができる。

【００５４】上記のようなラダー型フィルタにおいて
も、本実施例の圧電共振子２１における動吸振部の周波
数調整が極めて容易に行われ得るため、エネルギー閉じ
込め効率に優れた圧電共振子２１を用いることにより特
性の優れたラダー型フィルタを提供することができる。

【００５５】

【発明の効果】本発明では、第１，第２の溝を圧電板に
溝加工することにより動吸振部が構成されており、かつ
第１，第２の溝と同一幅の第３の溝を動吸振部に形成す
ることにより動吸振部の周波数調整を極めて容易にかつ
簡単に行うことができる。すなわち、単一のブレードを
用いて溝加工の回数を増加させるだけで所望の周波数で
共振する動吸振部を容易に構成することができるため、
動吸振部内蔵型の圧電共振子の加工時間及びコストを低
減することができる。

【００５６】しかも、動吸振部の共振周波数を低める際
にも、動吸振部の幅を大きくする必要がないため、動吸
振部内蔵型圧電共振子を大型化するおそれもない。すな
わち、小型であり、かつ容易に動吸振部の周波数調整を
行い得る圧電共振子を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）及び（ｂ）は、従来の動吸振部内蔵型の
圧電共振子を説明するための平面図及び圧電板を透かし
て下方の電極形状を示した模式的平面図。

【図２】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、従来の動吸振
部を加工する工程を説明するための部分平面図。

【図３】従来の動吸振部内蔵型圧電共振子における動吸
振部の共振周波数を低める場合の調整方法の一例を説明
するための部分平面図。

【図４】（ａ）及び（ｂ）は、実施例の圧電共振子を示
す平面図及び圧電板を透かして下方の電極形状を示した
模式的平面図。

【図５】実施例の圧電共振子の動吸振部を説明するため
の部分平面図。

【図６】実施例の圧電共振子を用いて構成されたチップ
型圧電共振部品の分解斜視図。

【図７】チップ型圧電共振部品を示す斜視図。

【図８】実施例の圧電共振子を用いた第１のフィルタ素
子の分解斜視図。

【図９】図８のフィルタ素子に用いられる圧電共振子を
示す斜視図。

【図１０】第１のフィルタ素子を示す斜視図。

【図１１】第１のフィルタ素子の回路構成を示す図。

【図１２】実施例の圧電共振子を用いて構成された第２
のフィルタ素子の分解斜視図。

【図１３】第２のフィルタ素子を示す斜視図。

【図１４】図１３に示した第２のフィルタ素子の回路構
成を示す図。

【符号の説明】

２１…圧電共振子２２…共振部２５，２６…動吸振部３５，３６…第１の溝３７…第２の溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平４−77013（ＪＰ，Ａ) 特開昭55−140313（ＪＰ，Ａ) 特開昭55−96713（ＪＰ，Ａ) 特開平４−67762（ＪＰ，Ａ) 特開平４−17560（ＪＰ，Ａ) 特開平２−260191（ＪＰ，Ａ) 特開平６−21743（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H03H 9/00 - 9/215

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】矩形の圧電板を用いて構成されており、
複数の共振電極を有する共振部と、共振部の振動を受け
て、該振動の周波数と一致した共振周波数で共振するよ
うに構成された動吸振部とを備える圧電共振子であっ
て、前記矩形の圧電板の少なくとも一の端縁から該端縁に直
交するように圧電板中央側に向かって互いに平行に延び
る第１，第２の溝が設けられており、前記共振部が第
１，第２の溝の一方の溝の外側の圧電板部分において構
成されており、第１，第２の溝間の圧電板部分により動
吸振部が構成されており、前記第１，第２の溝間において前記端縁から圧電板中央
側に向かって延びるように、かつ第１，第２の溝と同一
幅で第１，第２の溝よりも浅くなるように第３の溝が前
記動吸振部に形成されていることを特徴とする、圧電共
振子。
【請求項２】前記共振部の両側に第１，第２の溝及び
動吸振部が設けられている、請求項１に記載の圧電共振
子。
【請求項３】前記第１，第２の溝の幅が等しい、請求
項１または２に記載の圧電共振子。