JPS60230710A - 弾性波素子の実装方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）産業上の利用分野 本発明は、圧電性結晶体を利用した弾性波素子の実装方
法に関する。

電気−機械結合係数の大きいりチュームタンタレート（
ＬｉＴａＯ３）等の圧電性結晶体を用いた弾性波素子は
、水晶振動子同様の安定度の高い共振器等が構成され、
又、水晶のそれに比して電気的入出力回路構成が簡易と
なり、然もより高い例えばＶ肝帯嶺域の超高周波発振器
等が実現できる。

係る観点から弾性波素子は、ハイブリソード回路やプリ
ント基板に搭載する共振器として、又クロック発振子や
狭帯域フィルタとして使用されている。

（ｂ）従来の技術 従来＋　ＬｉＴａＯ３、ＬｉＮｂＯ３等圧電性結晶基板
表面にすだれ状電極等を形成し弾性波の振動モードによ
る音響エネルギを制御する振動素子の基本的れたすだれ
状電極を示す斜視図である。

図中、■は圧電結晶体をスライスカットした圧電性基板
である。２と３は、基板１表面に沿って伝搬する弾性波
の位相を揃え共振器を形成する薄膜状の電気的入出力電
極、これは図示のように相互に入り込んだ複数のストラ
イプ電極（以下、すだれ状電極と呼ぶ）である。該電極
ピッチｐは９例えば表面伝播音響波の半波長の整数倍、
またストライプ電極幅は通常前記波長四分の−とされる
。

又、Ｌは相互電極間のオーバラップ長さで、該電極長さ
しと薄膜電極の膜厚さは、共振器の基本周波数を調整す
る手段に使用される。

４はすだれ状電極の両側に伝搬するエネルギを内側に反
射させる反射電極、これは図示されない素子両端面から
の反射により定在波を立たせる為。

周期的に配列された多数のグレーティング電極である。

係る構成の振動モードを取り出す弾性波素子は。

キャン実装に際して９例えば金属製の実装基板にめ該基
板装着後の共振周波数トリミングは可能である。然しな
がら２例えばＤＩＰ形パッケージ基板への装着時は、素
子電極形成面を下にするフェースダウン方法により行う
が、該電極形成の面との直接接触を避けるために適宜厚
さのスペーサとか。

電極形成基板の周辺接着層とかを介して、装着基板面と
浮かせる如くして組立がされる。

然しフェースダウンによる素子組立方法は、基板側形成
になる外部リード導体（外部端子）との電気的接続が容
易であり、外装樹脂等の付着による振動面拘束を防止す
るためのキャビティ形成が容易であるが、実装後、前記
電極長し、又はすだれ状電極の厚さ等を調整する周波数
トリミングが出来なくなることが問題である。

（Ｃ）発明が解決しようとする問題点 実装基板への振動素子のフェースダウン組立後。

すだれ状電極の電極長し、又は前記電極膜さ等を調整し
て行う周波数トリミングを可能とすることである。

（ｄ）問題点を解決するための手段 本発明によれば、前記問題点は、振動素子を装着する基
板中央部に窓明けがされ、素子組立後。

該窓明けを介してすだれ状電極に対する周波数トリミン
グを行う本発明の実装方法によって達成することが出来
る。

（ｅ）作用 フェースダウン実装後の振動素子に対する周波数トリミ
ングが窓明けを介して容易となる。

（ｆ）実施例 以下２本発明の弾性波素子組立実施例を示す第１図（ａ
）、（ｂ）と（ｃ）の分解斜視図、及び同図（ｄ）の組
立体を樹脂封じたパッケージ体斜視図に従って２本発明
の詳細な説明する。

第１図＜ａ）は、　ＬｉＴａＯ３等の圧電性結晶基板の
表面に弾性波振動モードを取得するすだれ状電極２と３
．並びにすだれ状電極の両側に多数の反射電極４を形成
した振動素子１０の斜視図である。

同図（ｂ）は（ａ）図の振動素子を装着するＳＩＰ形構
成の例えばセラミック基板６である。該基板の中央部は
窓７が明けられる。又窓明き基板６には複数の例えば導
電性銀塗料等をパターン付けし焼成した外部引出しリー
ド８が形成される。該リード８はすだれ状電極２または
３のリード端子部９と対面する位置に配置形成しである
。

同図（Ｃ）は、　（ａ）図振動素子の上に（ｂ）図窓明
き基板をフェースダウンして窓の中央部に振動素子を配
置した基板６と振動素子１０との組立体斜視図である。

基板６と振動素子１０は２例えば導電性接着剤等により
対面するり一ド８と９間の接続と、併せて機械的接合が
される。

斯様な窓明き基板に実装した（ｃ）図振動素子は、レー
ザ光を照射してすだれ状電極のオーバラップ長さＬをカ
ットして行うレーザトリミングによる周波数の微調整が
極めて容易に行われる。

更に、他の周波数トリミング手段として、すだれ状電極
膜厚さを増加または減少、即ち、入出力電極質量を増減
するためのめっき浴槽乃至は化学的研磨浴槽に浸漬して
行う共振周波数の微調整手段も採用可能となる。

第１図（ｄ）の斜視図は、トリミングが完了した振動素
子を樹脂封じする素子組立体の斜視図である。

振動素子装着の窓明き基板６に対して窓を閉塞する略同
形状のセラミック基板１１をはりあわせて。

振動素子の動作面を湿度等による特性劣化から保護する
。

更に、前記外部引出しり一ド８にリード端子１２を接続
した後、素子組立体の全外周面を９例えばエポキシ系の
外装樹脂１３を被着することにより。

例えばプリント基板等に搭載される。

（ｇ）発明の効果 以上、詳細に説明した素子電極形成面をフェースダウン
して行う本発明の弾性波素子の実装方法によれば、フェ
ースダウンによる利点に加えてレーザトリミング等によ
る振動周波数の調整が容易に行うことが可能となる著し
い効果を具える。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）はすだれ状電極等が形成された振動素子実
施例を示す斜視図。 同図（ｂ）は振動素子装着基板斜視図。 同図（Ｃ）は振動素子の組立体斜視図。 同図（ｄ）は第１図組立体を実装する斜視図。 第２図は従来の弾性波素子の基本的構成斜視図である。 図中、ｌは圧電性基板。 ２と３はすだれ状電極。 ４は反射器用電極。 ６はセラミック実装基板。 ７は窓。 ８はリード導体。 ９は２と３のリード導体。 １１はセラミック閉塞基板 である。 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｔ１）表面にすだれ状電極が形成された振動素子面をフ
   ェースダウン方法によりパッケージ基板に装着する素子
   組立方法に於いて、振動素子を装着する基板はその中央
   部に窓明けがされ、素子の組立後。 該窓明けを介してすだれ状電極に対する周波数トリミン
   グを可能としたことを特徴とする弾性波素子の実装方法
   。 （２）振動素子が装着される前記基板の窓部を閉じる基
   板を併結して樹脂対じすることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の弾性波素子の実装方法。