JPH06188277A - 板状物の搬送装置および搬送方法 - Google Patents
板状物の搬送装置および搬送方法Info
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- JPH06188277A JPH06188277A JP35512792A JP35512792A JPH06188277A JP H06188277 A JPH06188277 A JP H06188277A JP 35512792 A JP35512792 A JP 35512792A JP 35512792 A JP35512792 A JP 35512792A JP H06188277 A JPH06188277 A JP H06188277A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 多種多様な寸法でありかつそりの大きな板状
物、例えばリードフレームを１枚ずつ確実に次工程に搬
送する。 【構成】 板状物の搬送装置として、水槽と、水槽内に
配置され積層した板状物を収容する板状物収容手段と、
水槽内の水位を前記積層した板状物のうちの最上部の板
状物の下面より上方の位置に保つ水位保持手段と、積層
した板状物のうちの最上部の板状物を把持して引き上げ
るための把持手段を設ける。また、方法としては、分離
すべき板状物の下面が水中にあるように積層した板状物
を水槽中に維持し、前記分離すべき板状物を把持して引
き上げるようにする。
物、例えばリードフレームを１枚ずつ確実に次工程に搬
送する。 【構成】 板状物の搬送装置として、水槽と、水槽内に
配置され積層した板状物を収容する板状物収容手段と、
水槽内の水位を前記積層した板状物のうちの最上部の板
状物の下面より上方の位置に保つ水位保持手段と、積層
した板状物のうちの最上部の板状物を把持して引き上げ
るための把持手段を設ける。また、方法としては、分離
すべき板状物の下面が水中にあるように積層した板状物
を水槽中に維持し、前記分離すべき板状物を把持して引
き上げるようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームのよう
な板状物の搬送装置および搬送方法に関し、特に、表面
が湿潤状態の板状物の搬送装置および搬送方法に関す
る。本発明は、特にリードフレームの搬送に適している
ので、以下の説明は板状物としてリードフレームを搬送
する場合について行う。なお、本発明の搬送装置および
搬送方法は、多種多様な寸法の板状物を搬送するのに適
したものである。
な板状物の搬送装置および搬送方法に関し、特に、表面
が湿潤状態の板状物の搬送装置および搬送方法に関す
る。本発明は、特にリードフレームの搬送に適している
ので、以下の説明は板状物としてリードフレームを搬送
する場合について行う。なお、本発明の搬送装置および
搬送方法は、多種多様な寸法の板状物を搬送するのに適
したものである。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ用リードフレームは、ＩＣ（集積回
路）とリードフレームとがワイヤーボンディングされた
後、樹脂モールドが施され、外部リードの鍍金工程が送
られる。この外部リードの鍍金工程は、リードフレーム
の洗浄工程、バリ取り工程、前処理工程、鍍金工程、後
処理工程、乾燥工程から構成されている。この鍍金工程
のうちの洗浄工程では、リードフレームは５０〜１００
シート毎に１単位にとしてまとめられ、洗浄槽に投入さ
れて洗浄される。洗浄後、リードフレームは洗浄槽から
取り出され、乾燥することなく濡れたまま作業者により
１枚１枚バリ取り装置へ装入するための装入コンベヤに
供給される。このとき、リードフレームを乾燥しないの
は、次工程で再び水に浸すこととなり、また乾燥を省略
することによって製造工程を短縮できるからである。
路）とリードフレームとがワイヤーボンディングされた
後、樹脂モールドが施され、外部リードの鍍金工程が送
られる。この外部リードの鍍金工程は、リードフレーム
の洗浄工程、バリ取り工程、前処理工程、鍍金工程、後
処理工程、乾燥工程から構成されている。この鍍金工程
のうちの洗浄工程では、リードフレームは５０〜１００
シート毎に１単位にとしてまとめられ、洗浄槽に投入さ
れて洗浄される。洗浄後、リードフレームは洗浄槽から
取り出され、乾燥することなく濡れたまま作業者により
１枚１枚バリ取り装置へ装入するための装入コンベヤに
供給される。このとき、リードフレームを乾燥しないの
は、次工程で再び水に浸すこととなり、また乾燥を省略
することによって製造工程を短縮できるからである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】洗浄槽より取り出した
リードフレームを作業者により、１枚ずつ装入コンベヤ
に供給することは、一層の作業効率の向上を図るために
は大きな障害の１つとなっており、早急に機械化するこ
とが望まれていた。しかしながら、洗浄槽より取り出し
たリードフレームは洗浄液に濡れているため、空気中で
は１枚１枚がそれぞれ付着する。このようなリードフレ
ーム間の洗浄液の表面張力に起因して、吸着パッドやチ
ャッキング等の通常考えられる手段では、分離して１枚
ずつ供給することが困難であり、これに加えて、この工
程では、リードフレームにそりが有りかつ一様でないた
め、分離して供給することを一層困難にしており、未だ
機械化されないままの状態にある。
リードフレームを作業者により、１枚ずつ装入コンベヤ
に供給することは、一層の作業効率の向上を図るために
は大きな障害の１つとなっており、早急に機械化するこ
とが望まれていた。しかしながら、洗浄槽より取り出し
たリードフレームは洗浄液に濡れているため、空気中で
は１枚１枚がそれぞれ付着する。このようなリードフレ
ーム間の洗浄液の表面張力に起因して、吸着パッドやチ
ャッキング等の通常考えられる手段では、分離して１枚
ずつ供給することが困難であり、これに加えて、この工
程では、リードフレームにそりが有りかつ一様でないた
め、分離して供給することを一層困難にしており、未だ
機械化されないままの状態にある。
【０００４】したがって、本発明の目的は、多種多様な
寸法でありかつそりを有する板状物、例えばリードフレ
ームを１枚ずつ確実に次工程に搬送できる板状物搬送装
置および搬送方法を提供することにある。
寸法でありかつそりを有する板状物、例えばリードフレ
ームを１枚ずつ確実に次工程に搬送できる板状物搬送装
置および搬送方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述の目的を解決するた
めに、本発明は、水槽と、該水槽内に配置され積層した
板状物を収容する板状物収容手段と、前記水槽内の水位
を前記積層した板状物のうちの最上部の板状物の下面よ
り上方の位置に保つ水位保持手段と、前記積層した板状
物のうちの最上部の板状物を把持して引き上げるための
把持手段とを有することを特徴とする板状物の搬送装置
を採用するものである。
めに、本発明は、水槽と、該水槽内に配置され積層した
板状物を収容する板状物収容手段と、前記水槽内の水位
を前記積層した板状物のうちの最上部の板状物の下面よ
り上方の位置に保つ水位保持手段と、前記積層した板状
物のうちの最上部の板状物を把持して引き上げるための
把持手段とを有することを特徴とする板状物の搬送装置
を採用するものである。
【０００６】また、本発明は、積層した板状物から板状
物を分離して搬送する板状物の搬送方法において、分離
すべき板状物の下面が水中にあるように積層した板状物
を水槽中に維持し、前記分離すべき板状物を把持して引
き上げることを特徴とする板状物の搬送方法を採用する
ものである。
物を分離して搬送する板状物の搬送方法において、分離
すべき板状物の下面が水中にあるように積層した板状物
を水槽中に維持し、前記分離すべき板状物を把持して引
き上げることを特徴とする板状物の搬送方法を採用する
ものである。
【０００７】
【作用】本発明の搬送装置および搬送方法は、積層した
板状被搬送物のうちの最上部の搬送すべき板状物の少な
くとも下面全体を水槽内の水中に位置させ、その状態
で、把持手段で最上部の板状物を把持して引上げ、次工
程の装入コンベヤに供給するものであり、これにより板
状被搬送物間に空気中では発生する表面張力を生じさせ
ないようにしたものである。板状物を順次最上部から取
り出すために、最上部の１つの板状物を取り出した後
は、積層した板状物を順次所定の把持位置で上昇させる
ように構成することが好ましい。本発明は、積層した板
状物のうちの最上部の板状物を感知するために、水槽の
内壁面の上部に位置検出センサを設けている。
板状被搬送物のうちの最上部の搬送すべき板状物の少な
くとも下面全体を水槽内の水中に位置させ、その状態
で、把持手段で最上部の板状物を把持して引上げ、次工
程の装入コンベヤに供給するものであり、これにより板
状被搬送物間に空気中では発生する表面張力を生じさせ
ないようにしたものである。板状物を順次最上部から取
り出すために、最上部の１つの板状物を取り出した後
は、積層した板状物を順次所定の把持位置で上昇させる
ように構成することが好ましい。本発明は、積層した板
状物のうちの最上部の板状物を感知するために、水槽の
内壁面の上部に位置検出センサを設けている。
【０００８】前述の把持手段としては、好ましくは２対
の爪を下方向に開いた状態で取付けた平行チャックを用
いるのが好ましい。平行チャックは、閉じることによ
り、板状物を１枚ずつ一対の爪で確実に把持でき、即ち
挟持できる。爪の数や爪の平行チャックへの取付け位置
は、板状物の大きさや厚さ（剛性）に応じて適宜選択す
る。また、平行チャックに設けた爪の溝の大きさは、対
象とする板状物の厚さ等により適宜選択する。本発明
は、当然、爪以外のタイプの通常使用される挟持に適し
た部材が用いられてもよい。
の爪を下方向に開いた状態で取付けた平行チャックを用
いるのが好ましい。平行チャックは、閉じることによ
り、板状物を１枚ずつ一対の爪で確実に把持でき、即ち
挟持できる。爪の数や爪の平行チャックへの取付け位置
は、板状物の大きさや厚さ（剛性）に応じて適宜選択す
る。また、平行チャックに設けた爪の溝の大きさは、対
象とする板状物の厚さ等により適宜選択する。本発明
は、当然、爪以外のタイプの通常使用される挟持に適し
た部材が用いられてもよい。
【０００９】また、本発明を方法の観点から見ると、本
発明の搬送方法では、板状物を水槽中に積層した状態
で、板状物の最上部のものから順次分離して搬送するも
のであるが、その際、分離すべき最上部の板状物の下面
を水中に維持した状態で最上部の板状物を把持して引き
上げるものである。このことによって、板状被搬送物間
に空気中で発生する表面張力を生じさせないようにした
ものである。この際、積層した板状物を、最上部の板状
物が分離されるごとに、所定の位置まで上昇させること
が好ましく、また分離引上げるための把持手段は、平行
チャックと爪であることが好ましいが、これらに限定さ
れるものではない。
発明の搬送方法では、板状物を水槽中に積層した状態
で、板状物の最上部のものから順次分離して搬送するも
のであるが、その際、分離すべき最上部の板状物の下面
を水中に維持した状態で最上部の板状物を把持して引き
上げるものである。このことによって、板状被搬送物間
に空気中で発生する表面張力を生じさせないようにした
ものである。この際、積層した板状物を、最上部の板状
物が分離されるごとに、所定の位置まで上昇させること
が好ましく、また分離引上げるための把持手段は、平行
チャックと爪であることが好ましいが、これらに限定さ
れるものではない。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の好ましい実施例を図面を参照
して説明する。図１は、本発明の搬送装置全体を示す側
面図であり、図２は、被搬送物を把持した状態を示す正
面図であり、図３は、被搬送物を把持した状態を示す斜
視図である。なお、以下に記載する実施例では、被搬送
物として板状物のリードフレームを用いた場合について
説明する。
して説明する。図１は、本発明の搬送装置全体を示す側
面図であり、図２は、被搬送物を把持した状態を示す正
面図であり、図３は、被搬送物を把持した状態を示す斜
視図である。なお、以下に記載する実施例では、被搬送
物として板状物のリードフレームを用いた場合について
説明する。
【００１１】水槽３が架台１５上に配置されており、こ
の水槽３には、複数のリードフレーム１を積層状態で収
容するフレーム２が配置されている。このフレーム２内
には、リードフレーム１を上昇させるためのエレベータ
４が配置されており、このエレベータ４は、エレベータ
４を上昇、下降させる可逆モータからなるエレベータ駆
動用モータ１４によって駆動されように構成されてい
る。また、水槽３の内側壁の上部の所定位置には、対向
して配置された防水光電式位置検出センサ５が配置され
ており、この位置検出センサ５は、積層したリードフレ
ーム１のうちの最上部のリードフレームが下方から所定
位置にもたらされたとき、その存在を検出して、エレベ
ータ駆動用モータを停止させるための信号を発生する。
の水槽３には、複数のリードフレーム１を積層状態で収
容するフレーム２が配置されている。このフレーム２内
には、リードフレーム１を上昇させるためのエレベータ
４が配置されており、このエレベータ４は、エレベータ
４を上昇、下降させる可逆モータからなるエレベータ駆
動用モータ１４によって駆動されように構成されてい
る。また、水槽３の内側壁の上部の所定位置には、対向
して配置された防水光電式位置検出センサ５が配置され
ており、この位置検出センサ５は、積層したリードフレ
ーム１のうちの最上部のリードフレームが下方から所定
位置にもたらされたとき、その存在を検出して、エレベ
ータ駆動用モータを停止させるための信号を発生する。
【００１２】また、水槽３の外側壁上部には、オーバー
フロー樋１１が設けられており、また水槽３の底部には
補給液口１６が形成されている。オーバーフロー樋１１
は、下方に配置した補給タンク１２に配管されており、
水槽から溢れてオーバーフロー樋１１内に入った水は補
給タンク１２内に導かれる。補給タンク１２と補給液口
１６との間は、補給ポンプ１０を通して配管されてお
り、この補給ポンプ１０によって、水は、補給タンク１
２から補給液口１６に絶えず補給されており、したがっ
て、水は、水槽３と補給タンク１２の間を循環され、水
槽内の水位は、水槽の最上部に保たれている。
フロー樋１１が設けられており、また水槽３の底部には
補給液口１６が形成されている。オーバーフロー樋１１
は、下方に配置した補給タンク１２に配管されており、
水槽から溢れてオーバーフロー樋１１内に入った水は補
給タンク１２内に導かれる。補給タンク１２と補給液口
１６との間は、補給ポンプ１０を通して配管されてお
り、この補給ポンプ１０によって、水は、補給タンク１
２から補給液口１６に絶えず補給されており、したがっ
て、水は、水槽３と補給タンク１２の間を循環され、水
槽内の水位は、水槽の最上部に保たれている。
【００１３】水槽３の上方には、平行チャック７が配置
されており、この平行チャック７には、２対の爪６が下
方に向かって開いた状態で取付けられている。平行チャ
ック７は、対向する爪６の間隔を狭める閉じた位置と、
対向する爪６の間隔を広げる開いた位置とに爪をもたら
すように各対の爪に対して相互に独立して作動されるよ
うに構成されている。なお、２対の爪を用いる理由は、
図２、図３に示すように、リードフレーム１を２か所の
対向する位置で把持することにより、そりのあるリード
フレームを確実に保持するためである。なお、搬送すべ
き板状物が、例えば、比較的剛性のあるものならば、１
対の爪を用いてそのような板状物の中央の対向部分を把
持するようにしもよく、また板状物の形状や特性によっ
ては３対以上の爪を用いてもよいものである。
されており、この平行チャック７には、２対の爪６が下
方に向かって開いた状態で取付けられている。平行チャ
ック７は、対向する爪６の間隔を狭める閉じた位置と、
対向する爪６の間隔を広げる開いた位置とに爪をもたら
すように各対の爪に対して相互に独立して作動されるよ
うに構成されている。なお、２対の爪を用いる理由は、
図２、図３に示すように、リードフレーム１を２か所の
対向する位置で把持することにより、そりのあるリード
フレームを確実に保持するためである。なお、搬送すべ
き板状物が、例えば、比較的剛性のあるものならば、１
対の爪を用いてそのような板状物の中央の対向部分を把
持するようにしもよく、また板状物の形状や特性によっ
ては３対以上の爪を用いてもよいものである。
【００１４】平行チャック７は、この平行チャック７を
上下動させるシリンダ８に取付けられており、またシリ
ンダ８はスライドユニット９にスライド可能に取付けら
れている。スライドユニット９は、次工程への装入コン
ベヤ１３の上方まで延びており、このため、水槽３内で
把持されたリードフレーム１は、シリンダ８によって上
昇された後、装入コンベヤ１３の上方までスライドユニ
ットを介して搬送されて、装入コンベヤ１３に載せるこ
とができる。
上下動させるシリンダ８に取付けられており、またシリ
ンダ８はスライドユニット９にスライド可能に取付けら
れている。スライドユニット９は、次工程への装入コン
ベヤ１３の上方まで延びており、このため、水槽３内で
把持されたリードフレーム１は、シリンダ８によって上
昇された後、装入コンベヤ１３の上方までスライドユニ
ットを介して搬送されて、装入コンベヤ１３に載せるこ
とができる。
【００１５】次に、本搬送装置の動作を説明する。最初
に所定枚数のリードフレーム１が水槽３中のフレーム２
内に収容されてエレベータ４上に載置される。このと
き、収容されたリードフレーム１の体積に応じた水が水
槽３よりオーバーフローして、補給タンク１２に流入す
る。補給タンク１２内にはこのオーバーフローした水を
受け入れても溢れないだけの空間容積を残して予め水が
入れられている。水は補給ポンプ１０によって水槽３に
供給され、常に水槽３と補給タンク１０の間を循環さ
れ、水位を水槽の最上部の位置に保っている。
に所定枚数のリードフレーム１が水槽３中のフレーム２
内に収容されてエレベータ４上に載置される。このと
き、収容されたリードフレーム１の体積に応じた水が水
槽３よりオーバーフローして、補給タンク１２に流入す
る。補給タンク１２内にはこのオーバーフローした水を
受け入れても溢れないだけの空間容積を残して予め水が
入れられている。水は補給ポンプ１０によって水槽３に
供給され、常に水槽３と補給タンク１０の間を循環さ
れ、水位を水槽の最上部の位置に保っている。
【００１６】次いで、エレベータ４が作動し、リードフ
レーム１の積層体を上昇させる。位置検出センサ５が最
上部のリードフレームを検出すると、エレベータ４は停
止する。
レーム１の積層体を上昇させる。位置検出センサ５が最
上部のリードフレームを検出すると、エレベータ４は停
止する。
【００１７】次に、平行チャック７に取付けられた爪６
が開き、シリンダ８が作動して平行チャック７は下死点
まで下降する。その後、平行チャック７が閉じ、図２、
図３に示すように、２対の爪６が最上部のリードフレー
ム１だけを保持する。即ち、リードフレーム１は、爪６
に形成された複数の溝のうちの１つに噛み込まれて挟持
される。なお、このとき、２対の爪６はそれぞれ対毎に
駆動されるので、リードフレーム１に大きなそりがあっ
た場合でも、図３に示すように良好に挟持できる。即
ち、そりがあるため爪６でリードフレーム１を挟持する
位置が水平面に対して異なる場合があるが、このような
場合には、挟持状態での各対の爪の間隔が異なることに
なる。しかし、対毎に爪を駆動できるので、リードフレ
ームを異なった間隔で把持できる。
が開き、シリンダ８が作動して平行チャック７は下死点
まで下降する。その後、平行チャック７が閉じ、図２、
図３に示すように、２対の爪６が最上部のリードフレー
ム１だけを保持する。即ち、リードフレーム１は、爪６
に形成された複数の溝のうちの１つに噛み込まれて挟持
される。なお、このとき、２対の爪６はそれぞれ対毎に
駆動されるので、リードフレーム１に大きなそりがあっ
た場合でも、図３に示すように良好に挟持できる。即
ち、そりがあるため爪６でリードフレーム１を挟持する
位置が水平面に対して異なる場合があるが、このような
場合には、挟持状態での各対の爪の間隔が異なることに
なる。しかし、対毎に爪を駆動できるので、リードフレ
ームを異なった間隔で把持できる。
【００１８】その後、シリンダ８が作動して、平行チャ
ックが上死点まで上昇し、次いで、スライドユニット９
が作動してシリンダ８を装入コンベヤ１３の上方まで移
動させて停止する。次いで、シリンダ１２が作動して、
平行チャック７を下降させ、平行チャック７が装入コン
ベヤ１３の直ぐ上にきたときに、平行チャックの下降を
停止させる。次いで平行チャック７が爪６を開き、リー
ドフレーム１を装入コンベヤ１３上に載せる。
ックが上死点まで上昇し、次いで、スライドユニット９
が作動してシリンダ８を装入コンベヤ１３の上方まで移
動させて停止する。次いで、シリンダ１２が作動して、
平行チャック７を下降させ、平行チャック７が装入コン
ベヤ１３の直ぐ上にきたときに、平行チャックの下降を
停止させる。次いで平行チャック７が爪６を開き、リー
ドフレーム１を装入コンベヤ１３上に載せる。
【００１９】次いで、シリンダ８と平行チャック７は、
前述の動作とは逆の動作を行い初期位置に戻る。以後、
水槽内のリードフレームがなくなるまで、前述の搬送サ
イクルを繰り返す。この間、水槽内の最上部のリードフ
レーム１を所定位置にもたらすようにエレベータ４が上
昇と停止を間欠的に繰り返す。そして、最後のリードフ
レームが搬送された後は、エレベータ４は、次のリード
フレームを水槽内で載せるように、下方の位置に下降す
る。
前述の動作とは逆の動作を行い初期位置に戻る。以後、
水槽内のリードフレームがなくなるまで、前述の搬送サ
イクルを繰り返す。この間、水槽内の最上部のリードフ
レーム１を所定位置にもたらすようにエレベータ４が上
昇と停止を間欠的に繰り返す。そして、最後のリードフ
レームが搬送された後は、エレベータ４は、次のリード
フレームを水槽内で載せるように、下方の位置に下降す
る。
【００２０】なお、この実施例では、水槽内の水を最上
位置に保つためにオーバーフロー系を用いているが、本
発明は、これに限定されるものではない。例えば、レベ
ル計を用いて、補給ポンプを間欠運転してもよく、また
水槽の上部に水の容量の変化を吸収しうる空間容積を設
けて、オーバーフロー樋、補給タンク補給ポンプを不要
としてもよい。
位置に保つためにオーバーフロー系を用いているが、本
発明は、これに限定されるものではない。例えば、レベ
ル計を用いて、補給ポンプを間欠運転してもよく、また
水槽の上部に水の容量の変化を吸収しうる空間容積を設
けて、オーバーフロー樋、補給タンク補給ポンプを不要
としてもよい。
【００２１】また、この実施例では、積層したリードフ
レームの最上部を把持するように、リードフレームを上
昇させて最上部のリードフレームを所定に位置にもたら
しているが、リードフレームを上昇させる代わりに、リ
ードフレームを一定の位置に置き、シリンダを下降させ
て、例えば平行チャックに関連して設けた位置検出セン
サによってリードフレームの位置を検出して平行チャッ
クの下降を停止して爪でリードフレームを把持するよう
に構成してもよい。また、この実施例では、水を収容す
る水槽に関連して説明しているが、水に限らず任意の適
当な液を用いることができるので、本明細書で用いる水
槽とは、水ばかりでなく水以外の任意の適当な液を収容
できる容器を意味するものである。
レームの最上部を把持するように、リードフレームを上
昇させて最上部のリードフレームを所定に位置にもたら
しているが、リードフレームを上昇させる代わりに、リ
ードフレームを一定の位置に置き、シリンダを下降させ
て、例えば平行チャックに関連して設けた位置検出セン
サによってリードフレームの位置を検出して平行チャッ
クの下降を停止して爪でリードフレームを把持するよう
に構成してもよい。また、この実施例では、水を収容す
る水槽に関連して説明しているが、水に限らず任意の適
当な液を用いることができるので、本明細書で用いる水
槽とは、水ばかりでなく水以外の任意の適当な液を収容
できる容器を意味するものである。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、湿潤状
態の板状物間の空気中にあれば発生する水の表面張力を
なくすことによって、簡単にかつ機械的に搬送作業を可
能にし、工程の機械化、即ち自動化を可能にすることが
できる。
態の板状物間の空気中にあれば発生する水の表面張力を
なくすことによって、簡単にかつ機械的に搬送作業を可
能にし、工程の機械化、即ち自動化を可能にすることが
できる。
【図１】図１は、本発明の搬送装置全体を示す側面図で
ある。
ある。
【図２】図２は、被搬送物を把持した状態を示す正面図
である。
である。
【図３】図３は、被搬送物を把持した状態を示す斜視図
である。
である。
１ リードフレーム ２ フレーム ３ 水槽 ４ エレベータ ５ 位置検出センサ ６ 爪 ７ 平行チャック ８ シリンダ ９ スライドユニット １０ 補給ポンプ １１ オーバーフロー樋 １２ 補給タンク １３ 装入コンベヤ １４ エレベータ駆動用モータ １５ 架台 １６ 補給液口
Claims (15)
- 【請求項１】 水槽と、該水槽内に配置され積層した板
状物を収容する板状物収容手段と、前記水槽内の水位を
前記積層した板状物のうちの最上部の板状物の下面より
上方の位置に保つ水位保持手段と、前記積層した板状物
のうちの最上部の板状物を把持して引き上げるための把
持手段とを有することを特徴とする板状物の搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の板状物の搬送装置におい
て、前記板状物収容手段に収容される板状物を載置し該
板状物を上昇させるエレベータをさらに有することを特
徴とする搬送装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の板状物の搬送装置におい
て、前記エレベータで上昇される板状物のうちの最上部
の板状物の位置を検出して前記エレベータを停止させる
ために前記水槽の上部に設けられた位置検出手段をさら
に有することを特徴とする板状物の搬送装置。 - 【請求項４】 請求項１記載の板状物の搬送装置におい
て、前記水位保持手段は、前記水槽の上部外壁に設けら
れたオーバーフロー樋と、該オーバーフロー樋に連通し
て該オーバーフロー樋に流入した水を受け入れて収容す
る補給タンクと、該補給タンクと前記水槽の補給液口の
間に設けられて補給タンクの水を前記水槽内に戻するた
めの補給ポンプとから成ることを特徴とする板状物の搬
送装置。 - 【請求項５】 請求項１記載の板状物の搬送装置におい
て、前記把持手段は少なくとも１対の爪と、該爪を支持
しており、かつ板状物を把持するように１対の爪を閉じ
かつ板状物を離すように１対の爪を開くための平行チャ
ックとから成ることを特徴とする板状物の搬送装置。 - 【請求項６】 請求項１記載の板状物の搬送装置におい
て、前記把持手段は２対の爪と、該２対の爪を支持して
おり、かつ板状物を把持するように２対の爪を閉じかつ
板状物を離すように２対の爪を開くために、２対の爪を
独立に作動させる平行チャックとから成ることを特徴と
する板状物の搬送装置。 - 【請求項７】 請求項５または６のいずれか１つに記載
の板状物の搬送装置において、前記平行チャックを上下
動させるシリンダをさらに有することを特徴とする板状
物の搬送装置。 - 【請求項８】 請求項７記載の板状物の搬送装置におい
て、前記シリンダを横方向に移動させるスライドユニッ
トをさらに有することを特徴とする板状物の搬送装置。 - 【請求項９】 請求項１乃至８のいずれか１つに記載の
板状物の搬送装置において、前記板状物がリードフレー
ムであることを特徴とする板状物の搬送装置。 - 【請求項１０】 積層した板状物から板状物を分離して
搬送する板状物の搬送方法において、分離すべき板状物
の下面が水中にあるように積層した板状物を水槽中に維
持し、前記分離すべき板状物を把持して引き上げること
を特徴とする板状物の搬送方法。 - 【請求項１１】 請求項１０記載の板状物の搬送方法に
おいて、前記分離すべき板状物が積層した板状物のうち
の最上部の板状物であることを特徴とする板状物の搬送
方法。 - 【請求項１２】 請求項１１記載の板状物の搬送方法に
おいて、所定の位置で最上部の板状物を分離して搬送し
た後に、積層した板状物を上昇させてその積層した板状
物の最上部の板状物を前記所定位置にもたらすことを特
徴とする板状物の搬送方法。 - 【請求項１３】 請求項１０記載の板状物の搬送方法に
おいて、分離すべき板状物の下面が水中にあるように水
槽内の水位を保つことを特徴とする板状物の搬送方法。 - 【請求項１４】 請求項１０記載の板状物の搬送方法に
おいて、板状物を把持して引き上げ後、該板状物を横方
向に移動させて次の工程位置に搬送することを特徴とす
る板状物の搬送方法。 - 【請求項１５】 請求項１０乃至１４のいずれか１つに
記載の板状物の搬送方法において、前記板状物がリード
フレームであることを特徴とする板状物の搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35512792A JPH06188277A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 板状物の搬送装置および搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35512792A JPH06188277A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 板状物の搬送装置および搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06188277A true JPH06188277A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18442103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35512792A Pending JPH06188277A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 板状物の搬送装置および搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06188277A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008068943A1 (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-12 | Mimasu Semiconductor Industry Co., Ltd. | 液中ウェハ単離方法及び液中ウェハ単離装置 |
-
1992
- 1992-12-17 JP JP35512792A patent/JPH06188277A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008068943A1 (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-12 | Mimasu Semiconductor Industry Co., Ltd. | 液中ウェハ単離方法及び液中ウェハ単離装置 |
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