JPH06186108A - 差圧センサ - Google Patents
差圧センサInfo
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- JPH06186108A JPH06186108A JP33873092A JP33873092A JPH06186108A JP H06186108 A JPH06186108 A JP H06186108A JP 33873092 A JP33873092 A JP 33873092A JP 33873092 A JP33873092 A JP 33873092A JP H06186108 A JPH06186108 A JP H06186108A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小形，低コスト化及び耐食性の向上を図った
差圧センサを提供する。 【構成】 差圧センサの出力を電気信号に変換する変換
部と，該変換部に固定され前記差圧センサを有する単一
の部材により構成された受圧ブロックと，該受圧ブロッ
クの一方（若しくは両方）の面に形成された一対の導圧
口と，該導圧口の途中に形成されたドレン抜き用穴と，
前記導圧口のそれぞれの底部に形成された受圧ダイアフ
ラムと，該受圧ダイアフラムと前記差圧センサとを連通
して形成された導圧細孔と，該導圧細孔に封入された封
液で構成されている。
差圧センサを提供する。 【構成】 差圧センサの出力を電気信号に変換する変換
部と，該変換部に固定され前記差圧センサを有する単一
の部材により構成された受圧ブロックと，該受圧ブロッ
クの一方（若しくは両方）の面に形成された一対の導圧
口と，該導圧口の途中に形成されたドレン抜き用穴と，
前記導圧口のそれぞれの底部に形成された受圧ダイアフ
ラムと，該受圧ダイアフラムと前記差圧センサとを連通
して形成された導圧細孔と，該導圧細孔に封入された封
液で構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，プロセス計装等に用い
られる差圧センサに関し，小形，低コスト化及び耐食性
の向上を図った差圧センサに関するものである。
られる差圧センサに関し，小形，低コスト化及び耐食性
の向上を図った差圧センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４（ａ），（ｂ）は一般に用いられて
いる差圧センサの従来例を示すもので，（ａ）図は一部
を断面で示す正面図，（ｂ）図は（ａ）図の側面図であ
る。これらの図において，１は受圧部であり，この受圧
部の両側面には受圧ダイアフラム２が形成されている。
３は差圧センサ４が固定された変換部であり，差圧セン
サ４からの発生信号を所定の電気信号に変換する電気回
路（図示せず）を有している。５は受圧ダイアフラム２
と差圧センサ４を連通して形成された導圧細管であり，
この導圧細管の中には例えばシリコンオイルが封入され
ている。
いる差圧センサの従来例を示すもので，（ａ）図は一部
を断面で示す正面図，（ｂ）図は（ａ）図の側面図であ
る。これらの図において，１は受圧部であり，この受圧
部の両側面には受圧ダイアフラム２が形成されている。
３は差圧センサ４が固定された変換部であり，差圧セン
サ４からの発生信号を所定の電気信号に変換する電気回
路（図示せず）を有している。５は受圧ダイアフラム２
と差圧センサ４を連通して形成された導圧細管であり，
この導圧細管の中には例えばシリコンオイルが封入され
ている。
【０００３】６は受圧部のダイアフラム２を覆って形成
されたフランジで，Ｏーリング７とボルト８及びナット
９により気密に固定されている。なお，図１で示すよう
にボルト８は受圧部を挟んで固定するが，受圧部１の厚
さの分は大気に暴露された状態となっている。１０，１
０’はフランジ６に形成され底部がフランジ２とダイア
フラム２の隙間に連通する様に形成された導圧穴であ
る。
されたフランジで，Ｏーリング７とボルト８及びナット
９により気密に固定されている。なお，図１で示すよう
にボルト８は受圧部を挟んで固定するが，受圧部１の厚
さの分は大気に暴露された状態となっている。１０，１
０’はフランジ６に形成され底部がフランジ２とダイア
フラム２の隙間に連通する様に形成された導圧穴であ
る。
【０００４】上記の構成において，導圧穴１０，１０’
から導入されたプロセス流体は受圧ダイアフラム２を押
圧する。その流体圧は導圧細管５を介して差圧センサ４
に伝達され，差圧センサ４はダイアフラム２に印加され
る流体の圧力差に応じた圧力を電気信号として検出す
る。
から導入されたプロセス流体は受圧ダイアフラム２を押
圧する。その流体圧は導圧細管５を介して差圧センサ４
に伝達され，差圧センサ４はダイアフラム２に印加され
る流体の圧力差に応じた圧力を電気信号として検出す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記構
成の差圧センサにおいては次のような問題がある。 １） 最近差圧センサ４としては半導体センサが採用さ
れる様になり，小形化がはかられ，それに伴い受圧部も
小形化が進んでいる。しかしフランジ６で受圧部を挟み
ボルト，ナット８，９で締め付ける構造では小形化に限
界がある。 ２） Ｏーリングの様なシール部材を用いた気密構造は
完全でなく，シール部材の劣化やボルト締め付け力の低
下等によってシールが不完全になる。 ３） ボルトは高い応力で使用されるため，炭素鋼等の
高張力鋼を使用することが多いが上記従来例においては
ボルトの中程（受圧部の厚さ）に相当する部分が露出し
ているため，腐食性の高い環境で使用する場合には耐食
性が十分でなく耐久性が悪い。本発明は上記従来技術の
問題点を解決するために成されたもので，請求項１にお
いては上記１〜３項の，請求項２においては上記１，３
項の問題点を解決した差圧センサを提供することを目的
とする。
成の差圧センサにおいては次のような問題がある。 １） 最近差圧センサ４としては半導体センサが採用さ
れる様になり，小形化がはかられ，それに伴い受圧部も
小形化が進んでいる。しかしフランジ６で受圧部を挟み
ボルト，ナット８，９で締め付ける構造では小形化に限
界がある。 ２） Ｏーリングの様なシール部材を用いた気密構造は
完全でなく，シール部材の劣化やボルト締め付け力の低
下等によってシールが不完全になる。 ３） ボルトは高い応力で使用されるため，炭素鋼等の
高張力鋼を使用することが多いが上記従来例においては
ボルトの中程（受圧部の厚さ）に相当する部分が露出し
ているため，腐食性の高い環境で使用する場合には耐食
性が十分でなく耐久性が悪い。本発明は上記従来技術の
問題点を解決するために成されたもので，請求項１にお
いては上記１〜３項の，請求項２においては上記１，３
項の問題点を解決した差圧センサを提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は，請求項１においては，差圧センサの出力を
電気信号に変換する変換部と，該変換部に固定され前記
差圧センサを有する単一の部材により構成された受圧ブ
ロックと，該受圧ブロックの一方（若しくは両方）の面
に形成された一対の導圧口と，該導圧口の途中に形成さ
れたドレン抜き用穴と，前記導圧口のそれぞれの底部に
形成された受圧ダイアフラムと，該受圧ダイアフラムと
前記差圧センサとを連通して形成された導圧細孔と，該
導圧細孔に封入された封液からなることを特徴とするも
のであり，請求項２においては，差圧センサの出力を電
気信号に変換する変換部と，該変換部に固定され前記差
圧センサを有する単一の部材により構成された受圧ブロ
ックと，該受圧ブロックの一方の面に形成された一対の
受圧ダイアフラムと，該受圧ダイアフラムと前記差圧セ
ンサとを連通して形成された導圧細孔と，該導圧細孔に
封入された封液と，一対の導圧口と該導圧口の途中に形
成されたドレン抜き用穴が形成されたアダプタブロック
からなり，該アダプタブロックの一対の導圧口と前記受
圧ブロックに形成された一対の受圧ダイアフラムを対向
させて気密に固定したことを特徴とするものである。
に本発明は，請求項１においては，差圧センサの出力を
電気信号に変換する変換部と，該変換部に固定され前記
差圧センサを有する単一の部材により構成された受圧ブ
ロックと，該受圧ブロックの一方（若しくは両方）の面
に形成された一対の導圧口と，該導圧口の途中に形成さ
れたドレン抜き用穴と，前記導圧口のそれぞれの底部に
形成された受圧ダイアフラムと，該受圧ダイアフラムと
前記差圧センサとを連通して形成された導圧細孔と，該
導圧細孔に封入された封液からなることを特徴とするも
のであり，請求項２においては，差圧センサの出力を電
気信号に変換する変換部と，該変換部に固定され前記差
圧センサを有する単一の部材により構成された受圧ブロ
ックと，該受圧ブロックの一方の面に形成された一対の
受圧ダイアフラムと，該受圧ダイアフラムと前記差圧セ
ンサとを連通して形成された導圧細孔と，該導圧細孔に
封入された封液と，一対の導圧口と該導圧口の途中に形
成されたドレン抜き用穴が形成されたアダプタブロック
からなり，該アダプタブロックの一対の導圧口と前記受
圧ブロックに形成された一対の受圧ダイアフラムを対向
させて気密に固定したことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】請求項１において，単一部材からなる受圧ブロ
ックに一対の導圧口が形成され，その導圧口の底部にダ
イアフラムが形成されている。導圧口にプロセス流体の
配管を直接接続すればフランジやボルトを用いてダイア
フラムを覆う必要がなく，部品点数が少なくなるととも
に小形化をはかることができる。また，Ｏーリング等を
用いてシールする必要もない。請求項２において，一対
の受圧ダイアフラムが受圧ブロックの一方の面に形成さ
れているので従来例で示すフランジに相当するアダプタ
ブロックが一つですみ部品点数が少なくなるとともに小
形化をはかることができる。また，ボルトのねじ部は受
圧ブロックにねじ込まれるので頭部以外は大気に暴露し
ないので腐食の程度が減少する。
ックに一対の導圧口が形成され，その導圧口の底部にダ
イアフラムが形成されている。導圧口にプロセス流体の
配管を直接接続すればフランジやボルトを用いてダイア
フラムを覆う必要がなく，部品点数が少なくなるととも
に小形化をはかることができる。また，Ｏーリング等を
用いてシールする必要もない。請求項２において，一対
の受圧ダイアフラムが受圧ブロックの一方の面に形成さ
れているので従来例で示すフランジに相当するアダプタ
ブロックが一つですみ部品点数が少なくなるとともに小
形化をはかることができる。また，ボルトのねじ部は受
圧ブロックにねじ込まれるので頭部以外は大気に暴露し
ないので腐食の程度が減少する。
【０００８】
【実施例】以下図面を用いて本発明を説明する。図１
（ａ），（ｂ）は本発明の請求項１の一実施例を示す構
成図であり，（ａ）図は一部を断面で示す正面図，
（ｂ）図は（ａ）図の一部を断面で示す側面図である。
これらの図において，図４の従来例と同一要素には同一
符号を付してある。２０は受圧ブロックであり，この受
圧ブロック２０には一方の側面に所定の間隔を隔てて例
えばＰＴ１／４やＰＴ１／２の一対の導圧口１０，１
０’が形成され，この穴の底部には受圧ダイアフラム２
が例えば電子ビーム溶接やレーザビーム溶接により形成
されている。２６は導圧口の底部側面に直角方向に形成
されたドレン抜き用穴，３０は受圧ブロックの取付用ね
じ穴である。
（ａ），（ｂ）は本発明の請求項１の一実施例を示す構
成図であり，（ａ）図は一部を断面で示す正面図，
（ｂ）図は（ａ）図の一部を断面で示す側面図である。
これらの図において，図４の従来例と同一要素には同一
符号を付してある。２０は受圧ブロックであり，この受
圧ブロック２０には一方の側面に所定の間隔を隔てて例
えばＰＴ１／４やＰＴ１／２の一対の導圧口１０，１
０’が形成され，この穴の底部には受圧ダイアフラム２
が例えば電子ビーム溶接やレーザビーム溶接により形成
されている。２６は導圧口の底部側面に直角方向に形成
されたドレン抜き用穴，３０は受圧ブロックの取付用ね
じ穴である。
【０００９】上記の構成において，プロセス流体の配管
は直接導圧口１０，１０’に接続され，導入されたプロ
セス流体は受圧ダイアフラム２を押圧する。その流体圧
は導圧細管５を介して差圧センサ４に伝達され差圧セン
サは流体の圧力差に応じた圧力を電気信号として検出す
る。
は直接導圧口１０，１０’に接続され，導入されたプロ
セス流体は受圧ダイアフラム２を押圧する。その流体圧
は導圧細管５を介して差圧センサ４に伝達され差圧セン
サは流体の圧力差に応じた圧力を電気信号として検出す
る。
【００１０】上記の構成によれば図４の従来例で示すフ
ランジ及びボルト，ナットを必要とせず，フランジと受
圧部のシールも不要である。なお，導圧口及び受圧ダイ
アフラムは受圧ブロックの異なる面に設けてもよく，受
圧ダイアフラム２の径が導圧口１０の内径よりも大きく
なる場合は図（ｃ）に示すように導圧口の内径よりも大
きな穴を開け，その底部にダイアフラムを溶接した後，
規定の導圧口が形成されたアダプター２５を挿入して溶
接等により気密に固定してもよい。
ランジ及びボルト，ナットを必要とせず，フランジと受
圧部のシールも不要である。なお，導圧口及び受圧ダイ
アフラムは受圧ブロックの異なる面に設けてもよく，受
圧ダイアフラム２の径が導圧口１０の内径よりも大きく
なる場合は図（ｃ）に示すように導圧口の内径よりも大
きな穴を開け，その底部にダイアフラムを溶接した後，
規定の導圧口が形成されたアダプター２５を挿入して溶
接等により気密に固定してもよい。
【００１１】図２（ａ），（ｂ）は本発明の請求項２の
一実施例を示す構成図であり，（ａ）図は一部を断面で
示す正面図，（ｂ）図は（ａ）図の一部を断面で示す側
面図である。これらの図において，図４の従来例と同一
要素には同一符号を付してある。２０ａは受圧ブロック
であり，この受圧ブロックには一方の側面に所定の間隔
を隔てて一対のダイアフラム２が形成されている。５は
図１と同様に形成された導圧細管，３３はねじ穴，３４
はダイアフラムの周りに形成されたシール溝であり，こ
のシール溝には例えばＯーリングが配置される。
一実施例を示す構成図であり，（ａ）図は一部を断面で
示す正面図，（ｂ）図は（ａ）図の一部を断面で示す側
面図である。これらの図において，図４の従来例と同一
要素には同一符号を付してある。２０ａは受圧ブロック
であり，この受圧ブロックには一方の側面に所定の間隔
を隔てて一対のダイアフラム２が形成されている。５は
図１と同様に形成された導圧細管，３３はねじ穴，３４
はダイアフラムの周りに形成されたシール溝であり，こ
のシール溝には例えばＯーリングが配置される。
【００１２】３１はダイアフラム２と同じ間隔を隔てて
形成された例えばＰＴ１／４やＰＴ１／２の一対の導圧
口１０，１０’が形成されたアダプタブロックで，この
穴の他方の側にはダイアフラム２の径より大きくシール
溝３４の外径より小さな径の逃げ３２が形成されてい
る。３６は固定ねじであり，シール溝にＯリングを配置
した後，受圧ブロック３３のねじ穴にねじ込んでアタプ
タブロック３１と受圧ブロック２０ａを固定する。この
実施例では固定ねじはイ〜ニの部分にねじ込まれる。
形成された例えばＰＴ１／４やＰＴ１／２の一対の導圧
口１０，１０’が形成されたアダプタブロックで，この
穴の他方の側にはダイアフラム２の径より大きくシール
溝３４の外径より小さな径の逃げ３２が形成されてい
る。３６は固定ねじであり，シール溝にＯリングを配置
した後，受圧ブロック３３のねじ穴にねじ込んでアタプ
タブロック３１と受圧ブロック２０ａを固定する。この
実施例では固定ねじはイ〜ニの部分にねじ込まれる。
【００１３】上記の構成によれば一対の受圧ダイアフラ
ムが受圧ブロックの一方の面に形成されており，シール
部が一方の側だけですみ，ボルトのねじ部は受圧ブロッ
クにねじ込まれるので頭部以外は大気に暴露しないので
腐食の程度が減少する。
ムが受圧ブロックの一方の面に形成されており，シール
部が一方の側だけですみ，ボルトのねじ部は受圧ブロッ
クにねじ込まれるので頭部以外は大気に暴露しないので
腐食の程度が減少する。
【００１４】図３は受圧ブロック２０ｂの両側に受圧ダ
イアフラムを形成し，例えばＰＴ１／４やＰＴ１／２の
一対の導圧口１０，１０’したアダプタブロック３１
ａ，３１ｂを溶接により接続した状態を示す図である。
このような構成によれば，小形化には対応はできない
が，アダプタブロックを溶接により固定しているのでシ
ール構造が不要になるとともに，図２に示すようなアダ
プタブロックを受圧ブロックに固定するための固定ねじ
３６が不要となる。
イアフラムを形成し，例えばＰＴ１／４やＰＴ１／２の
一対の導圧口１０，１０’したアダプタブロック３１
ａ，３１ｂを溶接により接続した状態を示す図である。
このような構成によれば，小形化には対応はできない
が，アダプタブロックを溶接により固定しているのでシ
ール構造が不要になるとともに，図２に示すようなアダ
プタブロックを受圧ブロックに固定するための固定ねじ
３６が不要となる。
【００１５】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明したよ
うに本発明の差圧センサによれば，請求項１においては
シール部材もフランジ及び締め付け用のボルト及びナッ
トも不要なので小形化と共に信頼性が向上し，部品点数
も少なくなり低コスト化を実現することができる。ま
た，請求項２においてはシール構造は残るが従来のフラ
ンジに相当するアダプタブロックが片側だけですみ，そ
の分小形化することができる。また，アダプタブロック
を受圧ブロックに固定する固定ねじが大気に暴露されな
いので，腐食に対する信頼性を向上させることができ
る。
うに本発明の差圧センサによれば，請求項１においては
シール部材もフランジ及び締め付け用のボルト及びナッ
トも不要なので小形化と共に信頼性が向上し，部品点数
も少なくなり低コスト化を実現することができる。ま
た，請求項２においてはシール構造は残るが従来のフラ
ンジに相当するアダプタブロックが片側だけですみ，そ
の分小形化することができる。また，アダプタブロック
を受圧ブロックに固定する固定ねじが大気に暴露されな
いので，腐食に対する信頼性を向上させることができ
る。
【図１】（ａ）は本発明の請求項１の差圧センサの一実
施例を（一部を断面で示す）正面図である。（ｂ）は
（ａ）図の（一部を断面で示す）側面図である。（ｃ）
は他の実施例を示す要部断面図である
施例を（一部を断面で示す）正面図である。（ｂ）は
（ａ）図の（一部を断面で示す）側面図である。（ｃ）
は他の実施例を示す要部断面図である
【図２】（ａ）は本発明の請求項２の差圧センサの一実
施例を一部を断面で示す正面図である。（ｂ）は（ａ）
図の（一部を断面で示す）側面図である。
施例を一部を断面で示す正面図である。（ｂ）は（ａ）
図の（一部を断面で示す）側面図である。
【図３】他の実施例を示す正面図（一部を断面で示す）
（ａ）及び（ａ）の側面図である。
（ａ）及び（ａ）の側面図である。
【図４】従来例を示す正面図（一部を断面で示す）
（ａ）及び（ａ）の側面図である。
（ａ）及び（ａ）の側面図である。
２ 受圧ダイアフラム ３ 変換部 ４ 差圧センサ ５ 導圧細孔 ６ フランジ ８ ボルト ９ ナット １０，１０’ 導圧口 ２０，２０ａ，２０ｂ 受圧ブロック ２５ アダプター ２６ ドレン穴 ３０ 取付用ねじ穴 ３１，３１ａ，３１ｂ アダプタブロック
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１月６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
Claims (2)
- 【請求項１】 差圧センサの出力を電気信号に変換する
変換部と，該変換部に固定され前記差圧センサを有する
単一の部材により構成された受圧ブロックと，該受圧ブ
ロックの一方（若しくは両方）の面に形成された一対の
導圧口と，該導圧口の途中に形成されたドレン抜き用穴
と，前記導圧口のそれぞれの底部に形成された受圧ダイ
アフラムと，該受圧ダイアフラムと前記差圧センサとを
連通して形成された導圧細孔と，該導圧細孔に封入され
た封液からなることを特徴とする差圧センサ。 - 【請求項２】 差圧センサの出力を電気信号に変換する
変換部と，該変換部に固定され前記差圧センサを有する
単一の部材により構成された受圧ブロックと，該受圧ブ
ロックの一方の面に形成された一対の受圧ダイアフラム
と，該受圧ダイアフラムと前記差圧センサとを連通して
形成された導圧細孔と，該導圧細孔に封入された封液
と，一対の導圧口と該導圧口の途中に形成されたドレン
抜き用穴が形成されたアダプタブロックからなり，該ア
ダプタブロックの一対の導圧口と前記受圧ブロックに形
成された一対の受圧ダイアフラムを対向させて気密に固
定したことを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33873092A JP3161641B2 (ja) | 1992-12-18 | 1992-12-18 | 差圧センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33873092A JP3161641B2 (ja) | 1992-12-18 | 1992-12-18 | 差圧センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06186108A true JPH06186108A (ja) | 1994-07-08 |
| JP3161641B2 JP3161641B2 (ja) | 2001-04-25 |
Family
ID=18320924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33873092A Expired - Fee Related JP3161641B2 (ja) | 1992-12-18 | 1992-12-18 | 差圧センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3161641B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011163892A (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-25 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
-
1992
- 1992-12-18 JP JP33873092A patent/JP3161641B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011163892A (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-25 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3161641B2 (ja) | 2001-04-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |