JPH10253479A - 圧力または差圧伝送器 - Google Patents
圧力または差圧伝送器Info
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- JPH10253479A JPH10253479A JP5261797A JP5261797A JPH10253479A JP H10253479 A JPH10253479 A JP H10253479A JP 5261797 A JP5261797 A JP 5261797A JP 5261797 A JP5261797 A JP 5261797A JP H10253479 A JPH10253479 A JP H10253479A
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- diaphragm
- block
- housing
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 受圧フランジの締め付け等の影響から感熱素
子やセンタダイアフラムを解放し、出力の安定性の高い
圧力または差圧伝送器を提供する。 【解決手段】 センサブロック１、センタダイアフラム
ブロック２、導圧パイプ５、６、７、８、及び電気回路
部９をハウジング１０に収納し、また隔液ダイアフラム
ブロック３、４をハウジング１０の一面に固定する。感
熱素子１７やセンタダイアフラム２２は、受圧フランジ
１１、１２を固定する固定ボルト３６、３７の締め付け
力の影響を受けない。
子やセンタダイアフラムを解放し、出力の安定性の高い
圧力または差圧伝送器を提供する。 【解決手段】 センサブロック１、センタダイアフラム
ブロック２、導圧パイプ５、６、７、８、及び電気回路
部９をハウジング１０に収納し、また隔液ダイアフラム
ブロック３、４をハウジング１０の一面に固定する。感
熱素子１７やセンタダイアフラム２２は、受圧フランジ
１１、１２を固定する固定ボルト３６、３７の締め付け
力の影響を受けない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種プラント等に
おいて使用される圧力または差圧伝送器に関する。
おいて使用される圧力または差圧伝送器に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種プラント等で使用される差圧伝送器
の一つとして、従来、図７に示すものが知られている。
同図に示す差圧伝送器は、厚板状に形成されるブロック
部４０と、このブロック部４０の両側に各々設けられる
受圧フランジ４１、４２を備えており、各受圧フランジ
４１、４２に接続された各プロセス配管の圧力差を検出
する。この検出された信号をブロック部４０に連結され
た増幅部５２で、伝送用の信号とし、外部に発信する。
の一つとして、従来、図７に示すものが知られている。
同図に示す差圧伝送器は、厚板状に形成されるブロック
部４０と、このブロック部４０の両側に各々設けられる
受圧フランジ４１、４２を備えており、各受圧フランジ
４１、４２に接続された各プロセス配管の圧力差を検出
する。この検出された信号をブロック部４０に連結され
た増幅部５２で、伝送用の信号とし、外部に発信する。
【０００３】ブロック部４０は、厚板状のブロック本体
４３と、このブロック本体４３の両側に形成されるバッ
クアップ面２７、２８と、これらのバックアップ面２
７、２８を各々覆うように設けられる隔液ダイアフラム
２５、２６と、ブロック本体４３の内部に設けられるセ
ンタダイアフラム室２０、２１と、このセンタダイアフ
ラム室２０、２１を仕切るセンタダイアフラム２２と、
このセンタダイアフラム２２によって仕切られたセンタ
ダイアフラム室２０、２１の各々と、バックアップ面２
７、２８の各々とを夫々連通させる通路４４、４５と、
ブロック部４０の内部に設けられ支持部材１６で支持さ
れた感圧素子１７と、この感圧素子１７の各面とセンタ
ダイアフラム２２で仕切られたセンタダイアフラム室の
各室２０、２１とを夫々連通させる通路４６、４７と、
これらの各通路４４、４５、４６、４７、センタダイア
フラム室の各室２０、２１、及び各バックアップ面２
７、２８と各隔液ダイアフラム２５、２６との間に夫々
封入される封入液４８、４９と、感圧素子１７の出力を
外部に導く信号線５０と、封入液４８、４９を漏らさな
いようにして信号線５０をブロック本体４３の外部に導
くハーメチックシール５１を備えている。
４３と、このブロック本体４３の両側に形成されるバッ
クアップ面２７、２８と、これらのバックアップ面２
７、２８を各々覆うように設けられる隔液ダイアフラム
２５、２６と、ブロック本体４３の内部に設けられるセ
ンタダイアフラム室２０、２１と、このセンタダイアフ
ラム室２０、２１を仕切るセンタダイアフラム２２と、
このセンタダイアフラム２２によって仕切られたセンタ
ダイアフラム室２０、２１の各々と、バックアップ面２
７、２８の各々とを夫々連通させる通路４４、４５と、
ブロック部４０の内部に設けられ支持部材１６で支持さ
れた感圧素子１７と、この感圧素子１７の各面とセンタ
ダイアフラム２２で仕切られたセンタダイアフラム室の
各室２０、２１とを夫々連通させる通路４６、４７と、
これらの各通路４４、４５、４６、４７、センタダイア
フラム室の各室２０、２１、及び各バックアップ面２
７、２８と各隔液ダイアフラム２５、２６との間に夫々
封入される封入液４８、４９と、感圧素子１７の出力を
外部に導く信号線５０と、封入液４８、４９を漏らさな
いようにして信号線５０をブロック本体４３の外部に導
くハーメチックシール５１を備えている。
【０００４】ところで、受圧フランジ４１、４２は、ブ
ロック本体４３の両側に配置され、固定ボルト５３とナ
ット５４とでブロック本体４３を挟み込むようにして固
定され、そしてブロック部４０の隔液ダイアフラム２
５、２６に夫々圧力を導いている。
ロック本体４３の両側に配置され、固定ボルト５３とナ
ット５４とでブロック本体４３を挟み込むようにして固
定され、そしてブロック部４０の隔液ダイアフラム２
５、２６に夫々圧力を導いている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来の差圧伝送器は、センタダイアフラム２２及び隔液ダ
イアフラム２５、２６を含むブロック部４０を、その両
側の受圧フランジ４１、４２で挟み込む構成となってい
る。
来の差圧伝送器は、センタダイアフラム２２及び隔液ダ
イアフラム２５、２６を含むブロック部４０を、その両
側の受圧フランジ４１、４２で挟み込む構成となってい
る。
【０００６】このため、固定ボルト５３の締め付け力で
ブロック本体４３が変形し、各ダイアフラム２２、２
５、２６が変形するため、感圧素子１７に差圧として伝
わり、伝送器の出力変化となる。即ち、ボルト５３の締
め付け力が温度変化や、経年変化により変化すると、伝
送器の出力が変化するという問題があった。
ブロック本体４３が変形し、各ダイアフラム２２、２
５、２６が変形するため、感圧素子１７に差圧として伝
わり、伝送器の出力変化となる。即ち、ボルト５３の締
め付け力が温度変化や、経年変化により変化すると、伝
送器の出力が変化するという問題があった。
【０００７】また、低圧側と高圧側の導圧口の間隔は標
準的に決められており、前記の構成では大きさもある程
度拘束され、小形化も難しく低価格化の妨げとなってい
た。本発明は、このような問題点に鑑みなされたもの
で、小形で出力の安定性の高い差圧または圧力伝送器提
供することを目的とする。
準的に決められており、前記の構成では大きさもある程
度拘束され、小形化も難しく低価格化の妨げとなってい
た。本発明は、このような問題点に鑑みなされたもの
で、小形で出力の安定性の高い差圧または圧力伝送器提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る圧力または
差圧伝送器は、感圧素子を内蔵しこの感圧素子の一方及
び他方の側に第１及び第２の圧力を夫々導くための第１
及び第２の導圧口を有するセンサブロックと、少なくと
もこのセンサブロックを収納するハウジングと、このハ
ウジングの少なくとも一面に設けられ、第１及び第２の
圧力を夫々受ける第１及び第２の隔液ダイアフラムを夫
々有する第１及び第２の隔液ダイアフラムブロックと、
第１及び第２の隔液ダイアフラムで受けた第１及び第２
の圧力を夫々センサブロックの第１及び第２の導圧口に
導く導圧手段とを備えたことを特徴とする。
差圧伝送器は、感圧素子を内蔵しこの感圧素子の一方及
び他方の側に第１及び第２の圧力を夫々導くための第１
及び第２の導圧口を有するセンサブロックと、少なくと
もこのセンサブロックを収納するハウジングと、このハ
ウジングの少なくとも一面に設けられ、第１及び第２の
圧力を夫々受ける第１及び第２の隔液ダイアフラムを夫
々有する第１及び第２の隔液ダイアフラムブロックと、
第１及び第２の隔液ダイアフラムで受けた第１及び第２
の圧力を夫々センサブロックの第１及び第２の導圧口に
導く導圧手段とを備えたことを特徴とする。
【０００９】また、このハウジングには、センサブロッ
クの他にセンタダイアフラムブロックをも有する場合に
はセンタダイアフラムブロックをも収納し、また感圧素
子及びセンタダイアフラムを一つのブロックに内蔵した
ものである場合には、このブロックを収納するように構
成してもよい。
クの他にセンタダイアフラムブロックをも有する場合に
はセンタダイアフラムブロックをも収納し、また感圧素
子及びセンタダイアフラムを一つのブロックに内蔵した
ものである場合には、このブロックを収納するように構
成してもよい。
【００１０】このような構成とすることにより、受圧フ
ランジの締め付け等の影響から感熱素子やセンタダイア
フラムを解放でき、出力の安定性の高い圧力または差圧
伝送器を得ることができる。
ランジの締め付け等の影響から感熱素子やセンタダイア
フラムを解放でき、出力の安定性の高い圧力または差圧
伝送器を得ることができる。
【００１１】また、圧力または差圧伝送器を構成する各
要素を一つのハウジング内に収納することにより、小型
化を図ることができ、安価な圧力または差圧伝送器を得
ることができる。
要素を一つのハウジング内に収納することにより、小型
化を図ることができ、安価な圧力または差圧伝送器を得
ることができる。
【００１２】また、この第１及び第２の隔液ダイアフラ
ムブロックはハウジングの少なくとも一面において前記
ハウジングと一体化されて形成されていてもよい。第１
及び第２の隔液ダイアフラムで受けた第１及び第２の圧
力を夫々センタダイアフラムブロックの第１及び第２の
導圧口並びにセンサブロックの第１及び第２の導圧口に
導く導圧手段は、一端が夫々第１及び第２の隔液ダイア
フラムブロックに連結されるとともに夫々途中で分岐さ
れ、分岐された一方が夫々前記センタダイアフラムの第
１及び第２の導圧口に連結され、分岐された他方が夫々
前記センサブロックの第１及び第２の導圧口に連結され
るように構成することもできる。
ムブロックはハウジングの少なくとも一面において前記
ハウジングと一体化されて形成されていてもよい。第１
及び第２の隔液ダイアフラムで受けた第１及び第２の圧
力を夫々センタダイアフラムブロックの第１及び第２の
導圧口並びにセンサブロックの第１及び第２の導圧口に
導く導圧手段は、一端が夫々第１及び第２の隔液ダイア
フラムブロックに連結されるとともに夫々途中で分岐さ
れ、分岐された一方が夫々前記センタダイアフラムの第
１及び第２の導圧口に連結され、分岐された他方が夫々
前記センサブロックの第１及び第２の導圧口に連結され
るように構成することもできる。
【００１３】このような構成とすれば、センタダイアフ
ラムブロックの加工が容易になる。更に、第１及び第２
の隔液ダイアフラムブロックは、第１及び第２の隔液ダ
イアフラムが前記ハウジングの少なくとも一面から露出
するようにしてハウジングの少なくとも一面の内部に夫
々嵌め込まれ固定されるように構成することもできる。
ラムブロックの加工が容易になる。更に、第１及び第２
の隔液ダイアフラムブロックは、第１及び第２の隔液ダ
イアフラムが前記ハウジングの少なくとも一面から露出
するようにしてハウジングの少なくとも一面の内部に夫
々嵌め込まれ固定されるように構成することもできる。
【００１４】このような構成とすれば、センサブロック
やセンタダイアフラムブロックと、高圧側及び低圧側の
隔液ダイアフラムブロックと、それにこれらの各ブロッ
ク間に設けられる導圧手段とを組み立て、圧力伝達液を
封入した後に、これらをハウジングに取り付けることが
できるようになり、組み立てが容易となる。
やセンタダイアフラムブロックと、高圧側及び低圧側の
隔液ダイアフラムブロックと、それにこれらの各ブロッ
ク間に設けられる導圧手段とを組み立て、圧力伝達液を
封入した後に、これらをハウジングに取り付けることが
できるようになり、組み立てが容易となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施形態を詳細に説明する。 なお、以下の図面におい
て、同一部分又は対応部分は同符号で示す。 （第１の実施形態）図１は、本発明の第１の実施形態に
係る差圧伝送器の構成を示す断面図である。
実施形態を詳細に説明する。 なお、以下の図面におい
て、同一部分又は対応部分は同符号で示す。 （第１の実施形態）図１は、本発明の第１の実施形態に
係る差圧伝送器の構成を示す断面図である。
【００１６】この差圧伝送器は、円筒形のセンサブロッ
ク１と、円筒形のセンタダイアフラムブロック２と、高
圧側及び低圧側の隔液ダイアフラムブロック３、４と、
これらを連結する導圧パイプ５、６、７、８と、センサ
ブロック１からの電気信号を演算処理する電気回路部９
と、各隔液ダイアフラムブロック３、４に圧力を導く高
圧側及び低圧側受圧フランジ１１、１２と、ハウジング
１０とからなるが、センサブロック１、センタダイアフ
ラムブロック２、導圧パイプ５、６、７、８、及び電気
回路部９はハウジング１０に収納されており、また隔液
ダイアフラムブロック３、４はハウジング１０の一面に
固定されている。
ク１と、円筒形のセンタダイアフラムブロック２と、高
圧側及び低圧側の隔液ダイアフラムブロック３、４と、
これらを連結する導圧パイプ５、６、７、８と、センサ
ブロック１からの電気信号を演算処理する電気回路部９
と、各隔液ダイアフラムブロック３、４に圧力を導く高
圧側及び低圧側受圧フランジ１１、１２と、ハウジング
１０とからなるが、センサブロック１、センタダイアフ
ラムブロック２、導圧パイプ５、６、７、８、及び電気
回路部９はハウジング１０に収納されており、また隔液
ダイアフラムブロック３、４はハウジング１０の一面に
固定されている。
【００１７】センサブロック１は円筒形で、ハーメチッ
クコネクタ１３を有し中央部に貫通孔のあるセンサブロ
ック本体１４と、前記貫通孔にガラスハーメチック１５
を介して設けられたパイプ状のセンサ支持部材１６と、
センサ支持部材１６の一方の先端に設けられた感圧素子
１７と、センサブロック本体１４に感圧素子１７の室を
形成するように溶接されるセンサブロックカバー１８
と、感圧素子１７のセンサ支持部材１６に接合された面
に圧力を導くように設けられた導圧孔３３と、反対の面
に圧力を導くようにセンサブロックカバー１８に設けら
れた導圧孔１９とからなる。
クコネクタ１３を有し中央部に貫通孔のあるセンサブロ
ック本体１４と、前記貫通孔にガラスハーメチック１５
を介して設けられたパイプ状のセンサ支持部材１６と、
センサ支持部材１６の一方の先端に設けられた感圧素子
１７と、センサブロック本体１４に感圧素子１７の室を
形成するように溶接されるセンサブロックカバー１８
と、感圧素子１７のセンサ支持部材１６に接合された面
に圧力を導くように設けられた導圧孔３３と、反対の面
に圧力を導くようにセンサブロックカバー１８に設けら
れた導圧孔１９とからなる。
【００１８】センタダイアフラムブロック２は円筒形
で、センタダイアフラムブロック２の中央に設けたセン
タダイアフラム室２０、２１と、センタダイアフラム室
２０、２１を仕切るセンタダイアフラム２２と、各セン
タダイアフラム室２０、２１に圧力を導くようにセンタ
ダイアフラムブロック２に設けた導圧孔２３ａ、２３
ｂ、２４ａ、２４ｂからなる。
で、センタダイアフラムブロック２の中央に設けたセン
タダイアフラム室２０、２１と、センタダイアフラム室
２０、２１を仕切るセンタダイアフラム２２と、各セン
タダイアフラム室２０、２１に圧力を導くようにセンタ
ダイアフラムブロック２に設けた導圧孔２３ａ、２３
ｂ、２４ａ、２４ｂからなる。
【００１９】隔液ダイアフラムブロック３、４は、高圧
側の隔液ダイアフラムブロック３、低圧側の隔液ダイア
フラムブロック４とも同じ形状で、 片面に隔液ダイアフ
ラム２５、２６の波形に模した形状のバックアップ面２
７、２８を形成した厚板円盤状の隔液ダイアフラムプレ
ート２９、３０と、バックアップ面２７、２８を覆うよ
うに設けられる隔液ダイアフラム２５、２６と、隔液ダ
イアフラム２５、２６のバックアップ面２７、２８から
ハウジング側に連通した導圧孔３１、３２とからなる。
側の隔液ダイアフラムブロック３、低圧側の隔液ダイア
フラムブロック４とも同じ形状で、 片面に隔液ダイアフ
ラム２５、２６の波形に模した形状のバックアップ面２
７、２８を形成した厚板円盤状の隔液ダイアフラムプレ
ート２９、３０と、バックアップ面２７、２８を覆うよ
うに設けられる隔液ダイアフラム２５、２６と、隔液ダ
イアフラム２５、２６のバックアップ面２７、２８から
ハウジング側に連通した導圧孔３１、３２とからなる。
【００２０】高圧側の隔液ダイアフラムブロック３の導
圧孔３１とセンタダイアフラムブロック２の一方の側に
ある導圧孔２３ａとは細いパイプ５で連結されている。
またセンタダイアフラムブロック２の一方の側にある導
圧孔２３ｂとセンサブロック１の高圧側の導圧孔１９と
も細いパイプ６で連結されている。
圧孔３１とセンタダイアフラムブロック２の一方の側に
ある導圧孔２３ａとは細いパイプ５で連結されている。
またセンタダイアフラムブロック２の一方の側にある導
圧孔２３ｂとセンサブロック１の高圧側の導圧孔１９と
も細いパイプ６で連結されている。
【００２１】同様に、低圧側の隔液ダイアフラムブロッ
ク４の導圧孔３２とセンタダイアフラムブロック２の他
方の側にある導圧孔２４ａとは細いパイプ７で連結され
ている。またセンタダイアフラムブロック２の他方の側
にある導圧孔２４ｂとセンサブロック１の低圧側の導圧
孔３３とも細いパイプ８で連結されている。
ク４の導圧孔３２とセンタダイアフラムブロック２の他
方の側にある導圧孔２４ａとは細いパイプ７で連結され
ている。またセンタダイアフラムブロック２の他方の側
にある導圧孔２４ｂとセンサブロック１の低圧側の導圧
孔３３とも細いパイプ８で連結されている。
【００２２】二つの隔液ダイアフラムブロック３、４
は、略長方形のハウジング１０の下面に配され、センサ
ブロック１とセンタダイアフラムブロック２及び電気回
路部９は、ハウジング１０内にネジ止め等で固定され
る。電源信号線はハウジング１０の側面からハウジング
１０内に引き込み、電気回路部９の基板上の端子台に接
続される。
は、略長方形のハウジング１０の下面に配され、センサ
ブロック１とセンタダイアフラムブロック２及び電気回
路部９は、ハウジング１０内にネジ止め等で固定され
る。電源信号線はハウジング１０の側面からハウジング
１０内に引き込み、電気回路部９の基板上の端子台に接
続される。
【００２３】受圧フランジ１１、１２は隔液ダイアフラ
ムブロック３、４にガスケット３４、３５によりシール
固定される。プロセス圧力は受圧フランジから隔液ダイ
アフラム２５、２６、センタダイアフラム２２を経て感
圧素子１７に伝わる。過大圧力印加時にはセンタダイア
フラム２２が変形するとともに、隔液ダイアフラム２５
または２６がバックアップ面２７または２８に着座し、
それ以上の差圧はセンサブロック１及びセンタダイアフ
ラムブロック２に加わらないようになっている。感圧素
子１７に加わった差圧に応じた信号がハーメチックコネ
クタ１３を介して電気回路部９に伝わり、電気回路部９
で所定の信号に変換され、伝送される。
ムブロック３、４にガスケット３４、３５によりシール
固定される。プロセス圧力は受圧フランジから隔液ダイ
アフラム２５、２６、センタダイアフラム２２を経て感
圧素子１７に伝わる。過大圧力印加時にはセンタダイア
フラム２２が変形するとともに、隔液ダイアフラム２５
または２６がバックアップ面２７または２８に着座し、
それ以上の差圧はセンサブロック１及びセンタダイアフ
ラムブロック２に加わらないようになっている。感圧素
子１７に加わった差圧に応じた信号がハーメチックコネ
クタ１３を介して電気回路部９に伝わり、電気回路部９
で所定の信号に変換され、伝送される。
【００２４】この差圧伝送器において、受圧フランジ１
１、 １２は固定ボルト３６、３７により高圧側と低圧側
とで別々に図示しないプロセス配管に固定されるが、受
圧フランジ１１、 １２の固定ボルト３６、３７の締め付
け力による変形などはパイプ５、６、７、８で吸収され
るためセンタダイアフラム２２及び感圧素子１７への影
響をなくすことができる。また配管継ぎ手位置と伝送器
の位置の僅かなずれ等により配管より加わる力も、ハウ
ジング１０には影響を与えることがあっても、センタダ
イアフラム２２や感圧素子１７に伝わることがない。
１、 １２は固定ボルト３６、３７により高圧側と低圧側
とで別々に図示しないプロセス配管に固定されるが、受
圧フランジ１１、 １２の固定ボルト３６、３７の締め付
け力による変形などはパイプ５、６、７、８で吸収され
るためセンタダイアフラム２２及び感圧素子１７への影
響をなくすことができる。また配管継ぎ手位置と伝送器
の位置の僅かなずれ等により配管より加わる力も、ハウ
ジング１０には影響を与えることがあっても、センタダ
イアフラム２２や感圧素子１７に伝わることがない。
【００２５】また、センサブロック１、センタダイアフ
ラムブロック２及び電気回路部９等の、差圧伝送機器の
要素を一つのハウジング１０内に収納することで小型化
を図ることができる。
ラムブロック２及び電気回路部９等の、差圧伝送機器の
要素を一つのハウジング１０内に収納することで小型化
を図ることができる。
【００２６】さらに、それぞれのブロックをユニット化
することで、ユニット毎に組み立てることができ、製造
が容易となる。
することで、ユニット毎に組み立てることができ、製造
が容易となる。
【００２７】（第２の実施形態）次に、図２に、本発明
の第２の実施形態に係る差圧伝送器の構成を示す。この
差圧伝送器は、円筒形のセンサブロック１と、円筒形の
センタダイアフラムブロック２と、センサブロック１か
らの電気信号を演算処理する電気回路部９と、これらを
収納し、高圧側及び低圧側の隔液ダイアフラムブロック
３Ａ、４Ａと一体化されたハウジング１０Ａと、これら
の各ブロックを連結するパイプ５、６、７、８と、各隔
液ダイアフラムブロック３Ａ、４Ａに圧力を導く受圧フ
ランジ１１、１２とからなる。
の第２の実施形態に係る差圧伝送器の構成を示す。この
差圧伝送器は、円筒形のセンサブロック１と、円筒形の
センタダイアフラムブロック２と、センサブロック１か
らの電気信号を演算処理する電気回路部９と、これらを
収納し、高圧側及び低圧側の隔液ダイアフラムブロック
３Ａ、４Ａと一体化されたハウジング１０Ａと、これら
の各ブロックを連結するパイプ５、６、７、８と、各隔
液ダイアフラムブロック３Ａ、４Ａに圧力を導く受圧フ
ランジ１１、１２とからなる。
【００２８】隔液ダイアフラム２５、２６はハウジング
１０Ａに取り付ける構造となる。このためハウジング１
０Ａは耐腐食の高いステンレス製とする。このような構
成とすることにより、部品数が減少することで、腐食性
雰囲気に強い差圧伝送器を安価に製造できる。
１０Ａに取り付ける構造となる。このためハウジング１
０Ａは耐腐食の高いステンレス製とする。このような構
成とすることにより、部品数が減少することで、腐食性
雰囲気に強い差圧伝送器を安価に製造できる。
【００２９】（第３の実施形態）図３に、本発明の第３
の実施形態に係る差圧伝送器の構成を示す。この差圧伝
送器は、円筒形のセンサブロック１と、円筒形のセンタ
ダイアフラムブロック２と、高圧側及び低圧側の隔液ダ
イアフラムブロック３Ｂ、４Ｂと、これらの各ブロック
を連結するパイプ５、６、７、８と、センサブロック１
からの電気信号を演算処理する電気回路部９と、これら
全てを収納し高圧側及び低圧側の隔液ダイアフラムブロ
ック３Ｂ、４Ｂの一部を外部に露出するように隔液ダイ
アフラムブロック３Ｂ、４Ｂの固定部を設けたハウジン
グ１０Ｂと、各隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂに
圧力を導く受圧フランジ１１、１２とからなる。
の実施形態に係る差圧伝送器の構成を示す。この差圧伝
送器は、円筒形のセンサブロック１と、円筒形のセンタ
ダイアフラムブロック２と、高圧側及び低圧側の隔液ダ
イアフラムブロック３Ｂ、４Ｂと、これらの各ブロック
を連結するパイプ５、６、７、８と、センサブロック１
からの電気信号を演算処理する電気回路部９と、これら
全てを収納し高圧側及び低圧側の隔液ダイアフラムブロ
ック３Ｂ、４Ｂの一部を外部に露出するように隔液ダイ
アフラムブロック３Ｂ、４Ｂの固定部を設けたハウジン
グ１０Ｂと、各隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂに
圧力を導く受圧フランジ１１、１２とからなる。
【００３０】このような構成とすることにより、センサ
ブロック１と、センタダイアフラムブロック２と、高圧
側及び低圧側の隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂ
と、これらの各ブロックを連結するパイプ５、６、７、
８とを組み立て、圧力伝達液を封入した後に、これらを
ハウジング１０Ｂの内部に収納し、隔液ダイアフラムブ
ロック３Ｂ、４Ｂをハウジング１０Ｂに設けた所定形状
の開口部に嵌め込んで取り付けることができるので、組
み立てが容易になる。
ブロック１と、センタダイアフラムブロック２と、高圧
側及び低圧側の隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂ
と、これらの各ブロックを連結するパイプ５、６、７、
８とを組み立て、圧力伝達液を封入した後に、これらを
ハウジング１０Ｂの内部に収納し、隔液ダイアフラムブ
ロック３Ｂ、４Ｂをハウジング１０Ｂに設けた所定形状
の開口部に嵌め込んで取り付けることができるので、組
み立てが容易になる。
【００３１】（第４の実施形態）図４に、本発明の第４
の実施形態に係る差圧伝送器の構成を示す。この差圧伝
送器は、センサブロック１と、センタダイアフラムブロ
ック２と、隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂとを連
結するパイプ３８、３９は途中で分岐し各々のブロック
を連結する構造とする。この構造によれば、第３の実施
形態の場合と同様の効果に加えて、センタダイアフラム
ブロック２の加工が容易になるという効果が得られる。
の実施形態に係る差圧伝送器の構成を示す。この差圧伝
送器は、センサブロック１と、センタダイアフラムブロ
ック２と、隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂとを連
結するパイプ３８、３９は途中で分岐し各々のブロック
を連結する構造とする。この構造によれば、第３の実施
形態の場合と同様の効果に加えて、センタダイアフラム
ブロック２の加工が容易になるという効果が得られる。
【００３２】（第５の実施形態）図５に、本発明の第５
の実施形態に係る差圧伝送器の構成を示す。この実施形
態は、センサブロックとセンタダイアフラムブロックと
を併せて一つのブロック、即ち、センサ・センタダイア
フラムブロック５５としたものである。センサ・センタ
ダイアフラムブロック５５は第１の，第２のセンサブロ
ック片１Ｂ、第１のセンタダイアフラム片２Ａ及び第２
のセンタダイアフラム片２Ｂを有する。センサブロック
片１Ａと第２のセンサブロック片１Ｂとの間にはセンタ
ダイアフラムで仕切られたセンタダイアフラム室２０、
２１が形成され、またセンサブロック片１Ａ内には支持
部材１６で支持された感圧素子１７を有する。そして、
この感圧素子１７の各面と、センタダイアフラム室２
０、２１の各室とは夫々連通させる構成としている。
の実施形態に係る差圧伝送器の構成を示す。この実施形
態は、センサブロックとセンタダイアフラムブロックと
を併せて一つのブロック、即ち、センサ・センタダイア
フラムブロック５５としたものである。センサ・センタ
ダイアフラムブロック５５は第１の，第２のセンサブロ
ック片１Ｂ、第１のセンタダイアフラム片２Ａ及び第２
のセンタダイアフラム片２Ｂを有する。センサブロック
片１Ａと第２のセンサブロック片１Ｂとの間にはセンタ
ダイアフラムで仕切られたセンタダイアフラム室２０、
２１が形成され、またセンサブロック片１Ａ内には支持
部材１６で支持された感圧素子１７を有する。そして、
この感圧素子１７の各面と、センタダイアフラム室２
０、２１の各室とは夫々連通させる構成としている。
【００３３】この差圧伝送器は、センサ・センタダイア
フラムブロック５５と、高圧側及び低圧側の隔液ダイア
フラムブロック３Ｂ、４Ｂと、これらの各ブロックを連
結するパイプ５６、５７と、センサ・センタダイアフラ
ムブロック５５からの電気信号を演算処理する電気回路
部９と、これら全てを収納し高圧側及び低圧側の隔液ダ
イアフラムブロック３Ｂ、４Ｂの一部を外部に露出する
ように隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂの固定部を
設けたハウジング１０Ｂと、各隔液ダイアフラムブロッ
ク３Ｂ、４Ｂに圧力を導く受圧フランジ１１、１２とか
らなる。このような構造とすることにより、より小型化
が可能となる。
フラムブロック５５と、高圧側及び低圧側の隔液ダイア
フラムブロック３Ｂ、４Ｂと、これらの各ブロックを連
結するパイプ５６、５７と、センサ・センタダイアフラ
ムブロック５５からの電気信号を演算処理する電気回路
部９と、これら全てを収納し高圧側及び低圧側の隔液ダ
イアフラムブロック３Ｂ、４Ｂの一部を外部に露出する
ように隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂの固定部を
設けたハウジング１０Ｂと、各隔液ダイアフラムブロッ
ク３Ｂ、４Ｂに圧力を導く受圧フランジ１１、１２とか
らなる。このような構造とすることにより、より小型化
が可能となる。
【００３４】（第６の実施形態）図６に、本発明の第６
の実施形態に係る差圧伝送器の構成を示す。この差圧伝
送器は、円筒形のセンサブロック１と、高圧側及び低圧
側の隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂと、これらの
各ブロックを連結するパイプと、センサブロック１から
の電気信号を演算処理する電気回路部９と、これら全て
を収納し高圧側及び低圧側の隔液ダイアフラムブロック
３Ｂ、４Ｂの一部を外部に露出するように隔液ダイアフ
ラムブロック３Ｂ、４Ｂの固定部を設けたハウジング１
０Ｂと、各隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂに圧力
を導く受圧フランジ１１、１２とからなる。
の実施形態に係る差圧伝送器の構成を示す。この差圧伝
送器は、円筒形のセンサブロック１と、高圧側及び低圧
側の隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂと、これらの
各ブロックを連結するパイプと、センサブロック１から
の電気信号を演算処理する電気回路部９と、これら全て
を収納し高圧側及び低圧側の隔液ダイアフラムブロック
３Ｂ、４Ｂの一部を外部に露出するように隔液ダイアフ
ラムブロック３Ｂ、４Ｂの固定部を設けたハウジング１
０Ｂと、各隔液ダイアフラムブロック３Ｂ、４Ｂに圧力
を導く受圧フランジ１１、１２とからなる。
【００３５】センサブロック１の感圧素子１７の耐圧が
十分高い場合には、この構造とすることにより、より小
型化が可能となる。また、この構造で受圧フランジ１
１、１２の一方の圧力を大気圧とすることにより圧力伝
送器を構成することができる。
十分高い場合には、この構造とすることにより、より小
型化が可能となる。また、この構造で受圧フランジ１
１、１２の一方の圧力を大気圧とすることにより圧力伝
送器を構成することができる。
【００３６】なお、この第６の実施形態の場合に限ら
ず、上述の第１乃至第５の実施形態においても受圧フラ
ンジ１１、１２の一方の圧力を大気圧とすることにより
圧力伝送器を構成することができる。
ず、上述の第１乃至第５の実施形態においても受圧フラ
ンジ１１、１２の一方の圧力を大気圧とすることにより
圧力伝送器を構成することができる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、受
圧フランジの締め付け等の影響から感熱素子やセンタダ
イアフラムを解放でき、出力の安定性の高い圧力または
差圧伝送器を得ることができる。
圧フランジの締め付け等の影響から感熱素子やセンタダ
イアフラムを解放でき、出力の安定性の高い圧力または
差圧伝送器を得ることができる。
【００３８】また、圧力または差圧伝送器を構成する各
要素を一つのハウジングに収納することにより、小型化
を図ることができ、安価な圧力または差圧伝送器を得る
ことができる。
要素を一つのハウジングに収納することにより、小型化
を図ることができ、安価な圧力または差圧伝送器を得る
ことができる。
【図１】 本発明の第１の実施形態に係る差圧伝送器の
構成を示す断面図。
構成を示す断面図。
【図２】 本発明の第２の実施形態に係る差圧伝送器の
構成を示す断面図。
構成を示す断面図。
【図３】 本発明の第３の実施形態に係る差圧伝送器の
構成を示す断面図。
構成を示す断面図。
【図４】 本発明の第４の実施形態に係る差圧伝送器の
構成を示す断面図。
構成を示す断面図。
【図５】 本発明の第５の実施形態に係る差圧伝送器の
構成を示す断面図。
構成を示す断面図。
【図６】 本発明の第６の実施形態に係る差圧伝送器の
構成を示す断面図。
構成を示す断面図。
【図７】 従来の差圧伝送器の一例を示す断面図。
１…センサブロック ２…センタダイアフラムブロック ３、３Ａ、３Ｂ、４、４Ａ、４Ｂ…隔液ダイアフラムブ
ロック ５、６、７、８、３８、３９、５６、５７、５８、５９
…パイプ ９…電気回路部 １０、１０Ａ、１０Ｂ…ハウジング １１、１２、４１、４２…受圧フランジ １３…ハーメチックコネクタ １４…センサブロック本体 １５…ガラスハーメチック １６…センサ支持部材 １７…感圧素子 １８…センサブロックカバー １９、２３ａ、２３ｂ、２４ａ、２４ｂ、３１、３２、
３３…導圧孔 ２０、２１…センタダイアフラム室 ２２…センタダイアフラム ２５、２６…隔液ダイアフラム ２７、２８…バックアップ面 ２９、３０…隔液ダイアフラムプレート ３４、３５…ガスケット ３６、３７…固定ボルト ４０…ブロック部 ４３…ブロック本体 ４４、４５、４６、４７…通路 ４８、４９…封入液 ５０…信号線 ５１…ハーメチックシール ５２…増幅部 ５３…固定ボルト ５４…ナット ５５…センサ・センタダイアフラムブロック
ロック ５、６、７、８、３８、３９、５６、５７、５８、５９
…パイプ ９…電気回路部 １０、１０Ａ、１０Ｂ…ハウジング １１、１２、４１、４２…受圧フランジ １３…ハーメチックコネクタ １４…センサブロック本体 １５…ガラスハーメチック １６…センサ支持部材 １７…感圧素子 １８…センサブロックカバー １９、２３ａ、２３ｂ、２４ａ、２４ｂ、３１、３２、
３３…導圧孔 ２０、２１…センタダイアフラム室 ２２…センタダイアフラム ２５、２６…隔液ダイアフラム ２７、２８…バックアップ面 ２９、３０…隔液ダイアフラムプレート ３４、３５…ガスケット ３６、３７…固定ボルト ４０…ブロック部 ４３…ブロック本体 ４４、４５、４６、４７…通路 ４８、４９…封入液 ５０…信号線 ５１…ハーメチックシール ５２…増幅部 ５３…固定ボルト ５４…ナット ５５…センサ・センタダイアフラムブロック
Claims (6)
- 【請求項１】 感圧素子を内蔵しこの感圧素子の一方及
び他方の側に第１及び第２の圧力を夫々導くための第１
及び第２の導圧口を有するセンサブロックと、少なくと
もこのセンサブロックを収納するハウジングと、このハ
ウジングの少なくとも一面に設けられ、第１及び第２の
圧力を夫々受ける第１及び第２の隔液ダイアフラムを夫
々有する第１及び第２の隔液ダイアフラムブロックと、
前記第１及び第２の隔液ダイアフラムで受けた第１及び
第２の圧力を夫々前記センサブロックの前記第１及び第
２の導圧口に導く導圧手段とを備えたことを特徴とする
圧力または差圧伝送器。 - 【請求項２】 感圧素子を内蔵しこの感圧素子の一方及
び他方の側に第１及び第２の圧力を夫々導くための第１
及び第２の導圧口を有するセンサブロックと、センタダ
イアフラムを有し且つこのセンタダイアフラムで仕切ら
れた第１及び第２の室に第１及び第２の圧力を夫々導く
ための第１及び第２の導圧口を有するセンタダイアフラ
ムブロックと、少なくともこのセンタダイアフラムブロ
ック及び前記センサブロックを収納するハウジングと、
このハウジングの少なくとも一面に設けられ、第１及び
第２の圧力を夫々受ける第１及び第２の隔液ダイアフラ
ムを夫々有する第１及び第２の隔液ダイアフラムブロッ
クと、前記第１及び第２の隔液ダイアフラムで受けた第
１及び第２の圧力を夫々前記センサブロックの前記第１
及び第２の導圧口並びにセンタダイアフラムブロックの
前記第１及び第２の導圧口に導く導圧手段とを備えたこ
とを特徴とする圧力または差圧伝送器。 - 【請求項３】 前記第１及び第２の隔液ダイアフラムブ
ロックは、前記ハウジングの少なくとも一面において前
記ハウジングと一体化されて形成されていることを特徴
とする請求項２に記載の圧力または差圧伝送器。 - 【請求項４】 感圧素子を内蔵しこの感圧素子の一方及
び他方の側に第１及び第２の圧力を夫々導くための第１
及び第２の導圧口を有するセンサブロックと、センタダ
イアフラムを有し且つこのセンタダイアフラムで仕切ら
れた第１及び第２の室に第１及び第２の圧力を夫々導く
ための第１及び第２の導圧口を有するセンタダイアフラ
ムブロックと、少なくともこのセンタダイアフラムブロ
ック及び前記センサブロックを収納するハウジングと、
このハウジングの少なくとも一面に設けられ、第１及び
第２の圧力を夫々受ける第１及び第２の隔液ダイアフラ
ムを夫々有する第１及び第２の隔液ダイアフラムブロッ
クと、一端が夫々前記第１及び第２の隔液ダイアフラム
ブロックに連結されるとともに夫々途中で分岐され、分
岐された一方が夫々前記センタダイアフラムの第１及び
第２の導圧口に連結され、分岐された他方が夫々前記セ
ンサブロックの第１及び第２の導圧口に連結される導圧
手段とを備えたことを特徴とする圧力または差圧伝送
器。 - 【請求項５】 感圧素子及びセンタダイアフラムを内蔵
するとともに前記感圧素子の一方及び他方の側並びにセ
ンタダイアフラムで仕切られた第１及び第２の室に夫々
第１及び第２の圧力を導くための第１及び第２の導圧口
を有するセンサ・センタダイアフラムブロックと、少な
くともこのブロックを収納するハウジングと、このハウ
ジングの少なくとも一面に設けられ、第１及び第２の圧
力を夫々受ける第１及び第２の隔液ダイアフラムを夫々
有する第１及び第２の隔液ダイアフラムブロックと、前
記第１及び第２の隔液ダイアフラムで受けた第１及び第
２の圧力を夫々前記ブロックの前記第１及び第２の導圧
口に導く導圧手段とを備えたことを特徴とする圧力また
は差圧伝送器。 - 【請求項６】 前記第１及び第２の隔液ダイアフラムブ
ロックは、前記第１及び第２の隔液ダイアフラムが前記
ハウジングの少なくとも一面から露出するようにして前
記ハウジングの少なくとも一面の内部に嵌め込まれ固定
されていることを特徴とする請求項１、請求項２、請求
項４及び請求項５のいずれかに記載の圧力または差圧伝
送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5261797A JPH10253479A (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | 圧力または差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5261797A JPH10253479A (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | 圧力または差圧伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10253479A true JPH10253479A (ja) | 1998-09-25 |
Family
ID=12919771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5261797A Pending JPH10253479A (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | 圧力または差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10253479A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020187047A (ja) * | 2019-05-16 | 2020-11-19 | アズビル株式会社 | 圧力センサ |
-
1997
- 1997-03-07 JP JP5261797A patent/JPH10253479A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020187047A (ja) * | 2019-05-16 | 2020-11-19 | アズビル株式会社 | 圧力センサ |
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