JPH0618509A - 水素化物ガス検出用テ−プ - Google Patents
水素化物ガス検出用テ−プInfo
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- JPH0618509A JPH0618509A JP19922292A JP19922292A JPH0618509A JP H0618509 A JPH0618509 A JP H0618509A JP 19922292 A JP19922292 A JP 19922292A JP 19922292 A JP19922292 A JP 19922292A JP H0618509 A JPH0618509 A JP H0618509A
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- hydride gas
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 試薬担持体本来の機械的強度を維持させたま
ま、可及的に感光性を低下させた水素化物ガスを呈色反
応により検出するテ−プを提供すること。 【構成】 シリカ微粉末等のガス吸着剤及びグリセリン
などの保湿剤を繊維間に含有させた多孔性セルロ−ステ
−プに、呈色試薬としての過塩素酸銀と、耐光性増進剤
としてのパラトルエンスルホン酸を含浸させて検出用テ
−プとする。検出テ−プがサンプリングガス中の水素化
物ガスに晒されると、過塩素酸銀が水素化物ガスにより
還元されてコロイド銀となり、反応痕を生じる。コロイ
ド銀はガスの濃度に比例して生じるので、反応痕の光学
的濃度を測定することにより水素化物ガスの濃度を知る
ことができる。過塩素酸銀を用いたテ−プ（図中Ａ）
は、過塩素酸銀が従来の検出テ−プで用いられている硝
酸銀（Ｂ，Ｃ）に比較して極めて感光性が低いので、長
期間の保存によっても変色を生じない。
ま、可及的に感光性を低下させた水素化物ガスを呈色反
応により検出するテ−プを提供すること。 【構成】 シリカ微粉末等のガス吸着剤及びグリセリン
などの保湿剤を繊維間に含有させた多孔性セルロ−ステ
−プに、呈色試薬としての過塩素酸銀と、耐光性増進剤
としてのパラトルエンスルホン酸を含浸させて検出用テ
−プとする。検出テ−プがサンプリングガス中の水素化
物ガスに晒されると、過塩素酸銀が水素化物ガスにより
還元されてコロイド銀となり、反応痕を生じる。コロイ
ド銀はガスの濃度に比例して生じるので、反応痕の光学
的濃度を測定することにより水素化物ガスの濃度を知る
ことができる。過塩素酸銀を用いたテ−プ（図中Ａ）
は、過塩素酸銀が従来の検出テ−プで用いられている硝
酸銀（Ｂ，Ｃ）に比較して極めて感光性が低いので、長
期間の保存によっても変色を生じない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水素化物ガスをセルロ
−ステ−プ上の呈色剤と反応させて生じる反応痕から光
学的に検出するのに最適なガス検出用テ−プに関する。
−ステ−プ上の呈色剤と反応させて生じる反応痕から光
学的に検出するのに最適なガス検出用テ−プに関する。
【０００２】
【従来の技術】金属水素化物、例えばホスフイン（P
H3）、シラン（SiH4）、アルシン（AsH3）、ジボラン
（B2H6）などは無色、無臭の気体であるため、人の五感
による検出が極めて困難である。このためこれら毒性の
強いガスを取り扱う半導体工業などでは水素化物ガスに
感応するガス検出装置が設置されている。これら水素化
物ガスに対する電気化学的ガスセンサや半導体ガスセン
サの検出感度が極めて低いので、通常、反応により光学
的変化を生じる試薬との呈色反応させ、この時に生じた
反応痕の濃度を光学濃度測定装置により測定して検出す
ることが行われている。
H3）、シラン（SiH4）、アルシン（AsH3）、ジボラン
（B2H6）などは無色、無臭の気体であるため、人の五感
による検出が極めて困難である。このためこれら毒性の
強いガスを取り扱う半導体工業などでは水素化物ガスに
感応するガス検出装置が設置されている。これら水素化
物ガスに対する電気化学的ガスセンサや半導体ガスセン
サの検出感度が極めて低いので、通常、反応により光学
的変化を生じる試薬との呈色反応させ、この時に生じた
反応痕の濃度を光学濃度測定装置により測定して検出す
ることが行われている。
【０００３】このような呈色剤としては硝酸銀（AgN
O3）がよく知られている。硝酸銀を使用した水素化物検
出用テ−プは、通気性を備えたセルロ−ステ−プに硝酸
銀を担持させ、硝酸銀が水素化物ガスに晒されて還元さ
れた時に銀コロイドの反応痕を形成させるように構成さ
れている。この反応痕の光学的濃度を測定することによ
り水素化物の濃度を容易に知ることができる。しかしな
がら、硝酸銀は感光性が極めて高いため、硝酸銀を使用
した水素化物ガス検出テ−プは通常、遮光状態での保管
が必要となるが、それでも２４時間程度で褐色に変色す
るという大きな問題を抱えている。このような問題を解
消するために、硝酸銀や吸湿剤を含浸させたセルロ−ス
テ−プに硝酸銀などの強酸を添加して、光による銀コロ
イドの生成を可及的に抑えて耐光性を向上させたものが
提案されている（特開昭58-99753号公報）。硝酸銀が添
加された水素化物検出用テ−プは、遮光容器に収容して
保管すれば変色を招くことなく半年位は保存が可能であ
る。
O3）がよく知られている。硝酸銀を使用した水素化物検
出用テ−プは、通気性を備えたセルロ−ステ−プに硝酸
銀を担持させ、硝酸銀が水素化物ガスに晒されて還元さ
れた時に銀コロイドの反応痕を形成させるように構成さ
れている。この反応痕の光学的濃度を測定することによ
り水素化物の濃度を容易に知ることができる。しかしな
がら、硝酸銀は感光性が極めて高いため、硝酸銀を使用
した水素化物ガス検出テ−プは通常、遮光状態での保管
が必要となるが、それでも２４時間程度で褐色に変色す
るという大きな問題を抱えている。このような問題を解
消するために、硝酸銀や吸湿剤を含浸させたセルロ−ス
テ−プに硝酸銀などの強酸を添加して、光による銀コロ
イドの生成を可及的に抑えて耐光性を向上させたものが
提案されている（特開昭58-99753号公報）。硝酸銀が添
加された水素化物検出用テ−プは、遮光容器に収容して
保管すれば変色を招くことなく半年位は保存が可能であ
る。
【０００４】しかしながら、耐光性を向上させるために
添加されている硝酸は、強酸であるため、試薬担持体で
あるセルロ−スをニトロ化してしまうため、長期間の間
にテ−プの機械的強度が急激に低下する。このような問
題は、ガスサンプリング手段や光学的濃度検出手段を組
込んだ自動測定装置に使用した場合に大きな問題とな
る。つまり、自動測定のためには一定周期でガス検出用
テ−プの未使用部分を測定エリアに対向露出させる必要
上、通常検出テ−プは、保存リ−ルに収容され、使用時
に測定エリアを経由するようにして巻取りリ−ルに掛け
渡され他状態で測定装置にセットされており、１回のガ
スサンプリングが終了した段階で一定長だけ未使用部分
を測定エリアに繰出されていく。この繰出し時にかなり
大きな張力がテ−プに作用するため、機械的強度が低下
していると切断されて測定が中断するという問題があ
る。
添加されている硝酸は、強酸であるため、試薬担持体で
あるセルロ−スをニトロ化してしまうため、長期間の間
にテ−プの機械的強度が急激に低下する。このような問
題は、ガスサンプリング手段や光学的濃度検出手段を組
込んだ自動測定装置に使用した場合に大きな問題とな
る。つまり、自動測定のためには一定周期でガス検出用
テ−プの未使用部分を測定エリアに対向露出させる必要
上、通常検出テ−プは、保存リ−ルに収容され、使用時
に測定エリアを経由するようにして巻取りリ−ルに掛け
渡され他状態で測定装置にセットされており、１回のガ
スサンプリングが終了した段階で一定長だけ未使用部分
を測定エリアに繰出されていく。この繰出し時にかなり
大きな張力がテ−プに作用するため、機械的強度が低下
していると切断されて測定が中断するという問題があ
る。
【０００５】このような問題を解消するために本出願人
は、先に試薬担持体の機械的強度を低下させることなく
耐光性を向上させるために、硝酸に替えてパラトルエン
スルホン酸を使用したものを提案した（特開平2-275352
号公報）。このテ−プは、長期間に渡って変色もまたセ
ルロ−スのニトロ化も生じないため、常に製造時と同一
の性能を維持して極めて使い勝手が高いという特徴があ
る。
は、先に試薬担持体の機械的強度を低下させることなく
耐光性を向上させるために、硝酸に替えてパラトルエン
スルホン酸を使用したものを提案した（特開平2-275352
号公報）。このテ−プは、長期間に渡って変色もまたセ
ルロ−スのニトロ化も生じないため、常に製造時と同一
の性能を維持して極めて使い勝手が高いという特徴があ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、呈色剤
として硝酸銀を使用している関係上、硝酸銀の感光性が
無視できず長期間保管されたものにあっては、若干の変
色が生じており、特に検出感度が低いガスの測定におい
ては測定誤差が無視できないという問題がある。本発明
はこのような問題に鑑みてなされたものであってその目
的とするところは、試薬担持体の機械的強度を落とすこ
となく、しかも感光性を殆ど有しない水素化ガス検出用
テ−プを提供することである。
として硝酸銀を使用している関係上、硝酸銀の感光性が
無視できず長期間保管されたものにあっては、若干の変
色が生じており、特に検出感度が低いガスの測定におい
ては測定誤差が無視できないという問題がある。本発明
はこのような問題に鑑みてなされたものであってその目
的とするところは、試薬担持体の機械的強度を落とすこ
となく、しかも感光性を殆ど有しない水素化ガス検出用
テ−プを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ガス吸着剤及び保湿剤を含
有する多孔性セルロ−ス紙片に、過塩素酸銀を呈色剤と
して、またパラトルエンスルホン酸を耐光性向上剤とし
て含浸させた。
るために本発明においては、ガス吸着剤及び保湿剤を含
有する多孔性セルロ−ス紙片に、過塩素酸銀を呈色剤と
して、またパラトルエンスルホン酸を耐光性向上剤とし
て含浸させた。
【０００８】
【作用】テ−プ上に担持されている過塩素酸銀は、硝酸
銀に比較して極めて感光性が小さいのにも関らず水素化
物ガスと反応し、ガスの濃度に応じてた量だけ還元され
てコロイド銀を析出し反応痕を生じる。反応痕の濃度が
水素化物の濃度に比例するので、これの光学的濃度を測
定することにより水素化物ガスの濃度を知ることができ
る。
銀に比較して極めて感光性が小さいのにも関らず水素化
物ガスと反応し、ガスの濃度に応じてた量だけ還元され
てコロイド銀を析出し反応痕を生じる。反応痕の濃度が
水素化物の濃度に比例するので、これの光学的濃度を測
定することにより水素化物ガスの濃度を知ることができ
る。
【０００９】
【実施例】そこで、以下に本発明の詳細を実施例に基づ
いて説明する。試薬を担持するセルロ−ステ−プは、植
物繊維を梳いて通気性を有するシ−ト体に整形し、これ
を漂白して可及的に白色としたものにケイ酸（H2Si
O3）、酸化マグネシウム（MgO）、酸化アルミニウム（A
l2O3）等のガス吸着剤を被覆した後、テ−プ状に裁断し
て構成されている。
いて説明する。試薬を担持するセルロ−ステ−プは、植
物繊維を梳いて通気性を有するシ−ト体に整形し、これ
を漂白して可及的に白色としたものにケイ酸（H2Si
O3）、酸化マグネシウム（MgO）、酸化アルミニウム（A
l2O3）等のガス吸着剤を被覆した後、テ−プ状に裁断し
て構成されている。
【００１０】セルロ−ステ−プに含浸されているガス吸
着剤は、気体や液体さらには溶解物質を担持するもの
で、水素化物ガスと呈色薬との反応に必要な水分を常時
保持するとともに、検出時には水素化物ガスを吸着して
テ−プ上の過塩素酸銀との反応を促進させるのに役立っ
ている。このように構成されたセルロ−ステ−プに、１
平方米当り過塩素酸銀を０．５乃至４．０グラム、パラ
トルエンスルホン酸を０．３乃至３グラム、グリセリン
を２５グラム程度含浸担持させる。
着剤は、気体や液体さらには溶解物質を担持するもの
で、水素化物ガスと呈色薬との反応に必要な水分を常時
保持するとともに、検出時には水素化物ガスを吸着して
テ−プ上の過塩素酸銀との反応を促進させるのに役立っ
ている。このように構成されたセルロ−ステ−プに、１
平方米当り過塩素酸銀を０．５乃至４．０グラム、パラ
トルエンスルホン酸を０．３乃至３グラム、グリセリン
を２５グラム程度含浸担持させる。
【００１１】セルロ−ステ−プにこれら試薬を担持させ
る手法としては、メタノ−ルなどの有機溶媒に、過塩素
酸銀を濃度０．７５乃至６．０ｗ／ｖパ−セント、パラ
トルエンスルホン酸を０．５乃至４．５ｗ／ｖパ−セン
ト、グリセリンを１５ｖパ−セント溶解させてなる調製
液に、上述したセルロ−ステ−プを浸漬し、溶媒ととも
にセルロ−ス内に含浸させる。ついでテ−プを調製液か
ら引上げ、有機溶媒を室温で蒸発させることにより過塩
素酸銀、パラトルエンスルホン酸、及びグリセリンをテ
−プに残留させることができる。このような操作を調製
液に含まれている試薬の濃度に応じて１回若しくは複数
回繰り返すことにより、所定濃度の試薬をテ−プ上に担
持させることができる。
る手法としては、メタノ−ルなどの有機溶媒に、過塩素
酸銀を濃度０．７５乃至６．０ｗ／ｖパ−セント、パラ
トルエンスルホン酸を０．５乃至４．５ｗ／ｖパ−セン
ト、グリセリンを１５ｖパ−セント溶解させてなる調製
液に、上述したセルロ−ステ−プを浸漬し、溶媒ととも
にセルロ−ス内に含浸させる。ついでテ−プを調製液か
ら引上げ、有機溶媒を室温で蒸発させることにより過塩
素酸銀、パラトルエンスルホン酸、及びグリセリンをテ
−プに残留させることができる。このような操作を調製
液に含まれている試薬の濃度に応じて１回若しくは複数
回繰り返すことにより、所定濃度の試薬をテ−プ上に担
持させることができる。
【００１２】図２は、ガス検出テ−プを用いてガス濃度
を測定するための装置の一例を示すものであって、図中
符号１は、テ−プ２の搬送経路に対向させて配置された
ガス吸引部で、テ−プ２に対向する面には直径１センチ
メ−トル程度の通孔３が穿設されており、パイプ４を介
して図示しない吸引ポンプからの負圧が作用するように
構成されている。
を測定するための装置の一例を示すものであって、図中
符号１は、テ−プ２の搬送経路に対向させて配置された
ガス吸引部で、テ−プ２に対向する面には直径１センチ
メ−トル程度の通孔３が穿設されており、パイプ４を介
して図示しない吸引ポンプからの負圧が作用するように
構成されている。
【００１３】５は、ガス吸引部１の通孔３に対向するテ
−プ２の他面側に配置された測定ヘッド部５で、吸引部
１の通孔と対向する位置に通孔が形成された遮光容器と
して構成されており、内部に発光素子７と受光素子８
を、テ−プ２上に形成された反応痕を検出できるような
関係でもって配置収容し、さらに一端に被検ガスの導入
口９を設けて構成されている。上述したガス検出用テ−
プをリ−ル１０，１１にテ−プをセットし、吸引部４に
図示しないポンプからの吸引圧を作用させると、導入口
９から測定ヘッド部５に被検ガスが吸込まれる。この被
検ガスは、通孔６から検出用テ−プ２を経由して通孔３
から外部に排出される。被検ガスが検出用テ−プ２を通
過する過程でテ−プ２上の過塩素酸銀が水素化物、例え
ばホスフイン（PH3）と選択的に反応し、ホスフインの
濃度に比例した量のコロイド銀がテ−プ表面に析出す
る。
−プ２の他面側に配置された測定ヘッド部５で、吸引部
１の通孔と対向する位置に通孔が形成された遮光容器と
して構成されており、内部に発光素子７と受光素子８
を、テ−プ２上に形成された反応痕を検出できるような
関係でもって配置収容し、さらに一端に被検ガスの導入
口９を設けて構成されている。上述したガス検出用テ−
プをリ−ル１０，１１にテ−プをセットし、吸引部４に
図示しないポンプからの吸引圧を作用させると、導入口
９から測定ヘッド部５に被検ガスが吸込まれる。この被
検ガスは、通孔６から検出用テ−プ２を経由して通孔３
から外部に排出される。被検ガスが検出用テ−プ２を通
過する過程でテ−プ２上の過塩素酸銀が水素化物、例え
ばホスフイン（PH3）と選択的に反応し、ホスフインの
濃度に比例した量のコロイド銀がテ−プ表面に析出す
る。
【００１４】このようにして所定のサンプリング時間、
例えば２０秒程度が経過した時点で、吸引を停止して反
応痕の光学的濃度の測定工程に移る。発光素子７からの
光は、テ−プ表面に形成された反応痕の光学的濃度に応
じて吸収を受けるので、測定開始前の光学的濃度、つま
りテ−プのバックグランドとの光学的な濃度差を求める
ことによりテ−プを通過した水素化物ガスの濃度、もし
くは積算量を知ることができる。１サンプリング分の測
定が終了した時点で、巻取りリ−ル１０を駆動してリ−
ル１１に収容されているテ−プの未使用部分を測定領域
に移動させる。
例えば２０秒程度が経過した時点で、吸引を停止して反
応痕の光学的濃度の測定工程に移る。発光素子７からの
光は、テ−プ表面に形成された反応痕の光学的濃度に応
じて吸収を受けるので、測定開始前の光学的濃度、つま
りテ−プのバックグランドとの光学的な濃度差を求める
ことによりテ−プを通過した水素化物ガスの濃度、もし
くは積算量を知ることができる。１サンプリング分の測
定が終了した時点で、巻取りリ−ル１０を駆動してリ−
ル１１に収容されているテ−プの未使用部分を測定領域
に移動させる。
【００１５】図２は、上述の測定装置を用いて水素化物
ガスの代表例であるホスフィンを用いて、その濃度を変
えながら本発明の水素化物ガス検出用テ−プによる検出
出力を調べた検量線を示すものであって、検出器出力と
ガスの濃度が極めて高い直線性で対応していることが明
らかである。そして、ガスに対する感度は、硝酸銀を呈
色薬に用いている従来の水素化物ガス検出用テ−プに対
しても何等遜色がなかった。
ガスの代表例であるホスフィンを用いて、その濃度を変
えながら本発明の水素化物ガス検出用テ−プによる検出
出力を調べた検量線を示すものであって、検出器出力と
ガスの濃度が極めて高い直線性で対応していることが明
らかである。そして、ガスに対する感度は、硝酸銀を呈
色薬に用いている従来の水素化物ガス検出用テ−プに対
しても何等遜色がなかった。
【００１６】また、上述のガス検出用テ−プを、２０ワ
ットの蛍光燈の直下２０ｃｍの所に載置して自然光に近
い光（照度1500ルックス程度）を照射し、検出用テ−プ
の濃度変化を測定したとところ、図３に示したような結
果を得た。すなわち、未露光時における水素化物検出用
テ−プの光学的濃度を基準値Ｄ0とし、所定時間におけ
る同一テ−プの濃度Ｄtとの差分（Ｄｔ−Ｄ0）と、基準
濃度との比（Ｄｔ−Ｄ0）／Ｄ0を測定したものである。
図からも明らかなように本願発明の水素化物ガス検出用
テ−プ（図中Ａ）は、従来の硝酸銀を呈色薬に使用し、
耐光剤として硝酸を利用したテ−プ（図中Ｂ）や、さら
には機械的強度を向上させるために硝酸に代えてパラト
ルエンスルホン酸を使用したテ−プ（図中Ｃ）に比較し
て、露光時間に対する濃度変化率が特に初期段階（積算
露光時間１０時間程度）では１／３乃至１／２と極めて
小さいことが判る。通常の保管状態では上述の試験にお
ける１０時間程度の露光を受けることが殆どないことを
考え合わせると、本願発明の水素化物ガス検出用テ−プ
は、正常に保管されていれば実用上殆ど光学的な濃度変
化を引き起こすことがない。このように本願発明による
水素化物ガス検出テ−プの高い耐光性は、特に濃度が低
いサンプルガスや、呈色薬との反応性が低いシランガス
を高い精度で測定できることを意味している。
ットの蛍光燈の直下２０ｃｍの所に載置して自然光に近
い光（照度1500ルックス程度）を照射し、検出用テ−プ
の濃度変化を測定したとところ、図３に示したような結
果を得た。すなわち、未露光時における水素化物検出用
テ−プの光学的濃度を基準値Ｄ0とし、所定時間におけ
る同一テ−プの濃度Ｄtとの差分（Ｄｔ−Ｄ0）と、基準
濃度との比（Ｄｔ−Ｄ0）／Ｄ0を測定したものである。
図からも明らかなように本願発明の水素化物ガス検出用
テ−プ（図中Ａ）は、従来の硝酸銀を呈色薬に使用し、
耐光剤として硝酸を利用したテ−プ（図中Ｂ）や、さら
には機械的強度を向上させるために硝酸に代えてパラト
ルエンスルホン酸を使用したテ−プ（図中Ｃ）に比較し
て、露光時間に対する濃度変化率が特に初期段階（積算
露光時間１０時間程度）では１／３乃至１／２と極めて
小さいことが判る。通常の保管状態では上述の試験にお
ける１０時間程度の露光を受けることが殆どないことを
考え合わせると、本願発明の水素化物ガス検出用テ−プ
は、正常に保管されていれば実用上殆ど光学的な濃度変
化を引き起こすことがない。このように本願発明による
水素化物ガス検出テ−プの高い耐光性は、特に濃度が低
いサンプルガスや、呈色薬との反応性が低いシランガス
を高い精度で測定できることを意味している。
【００１７】次に本発明の水素化物ガス検出用テ−プの
強度を調べるためにインストロン社製紙葉試験装置を用
いて引っ張り強さを測定したところ平方ミリメ−トル当
たり、０．５５ｋｇであるのに対して、耐光性向上剤と
して硝酸を使用した従来の水素化物ガス検出用テ−プは
本発明の約７０パ−セント程度の０．４Ｋｇ／平方ミリ
メ−トルとであった。このことから本発明のものは自動
測定装置に装着しても高い信頼性で自動測定が可能であ
ることが判明した。
強度を調べるためにインストロン社製紙葉試験装置を用
いて引っ張り強さを測定したところ平方ミリメ−トル当
たり、０．５５ｋｇであるのに対して、耐光性向上剤と
して硝酸を使用した従来の水素化物ガス検出用テ−プは
本発明の約７０パ−セント程度の０．４Ｋｇ／平方ミリ
メ−トルとであった。このことから本発明のものは自動
測定装置に装着しても高い信頼性で自動測定が可能であ
ることが判明した。
【００１８】［実施例］過塩素酸銀を０．７５乃至４ｗ
／ｖパ−セント、パラトルエンスルホン酸０．５乃至
４．５ｗ／ｖパ−セント、更にグリセリン１５ｖ／ｖパ
−セントをそれぞれメタノ−ルに溶解した調製液に、ガ
ス吸着剤が被覆されているセルロ−ステ−プを浸漬さ
せ、引上げてからテ−プに含まれているメタノ−ルを室
温で蒸発させる。このような手法により１平方メ−トル
当たり過塩素酸銀０．５乃至４グラム、パラトルエンス
ルホン酸０．３乃至３．０グラム、グリセリン２５グラ
ムを保持したテ−プを得ることができる。
／ｖパ−セント、パラトルエンスルホン酸０．５乃至
４．５ｗ／ｖパ−セント、更にグリセリン１５ｖ／ｖパ
−セントをそれぞれメタノ−ルに溶解した調製液に、ガ
ス吸着剤が被覆されているセルロ−ステ−プを浸漬さ
せ、引上げてからテ−プに含まれているメタノ−ルを室
温で蒸発させる。このような手法により１平方メ−トル
当たり過塩素酸銀０．５乃至４グラム、パラトルエンス
ルホン酸０．３乃至３．０グラム、グリセリン２５グラ
ムを保持したテ−プを得ることができる。
【００１９】また、過塩素酸銀の濃度が検出感度に及す
影響を調べたところ、図４に示したように平方米当り
０．５グラム以上であれば実用的な検出感度を得ること
ができ、また４グラム／平方米以上とすると一応ガスの
検出は可能であるが、検出感度が低下するばかりでなく
呈色剤の消費量も多くなるため、経済的理由から得策で
はない。
影響を調べたところ、図４に示したように平方米当り
０．５グラム以上であれば実用的な検出感度を得ること
ができ、また４グラム／平方米以上とすると一応ガスの
検出は可能であるが、検出感度が低下するばかりでなく
呈色剤の消費量も多くなるため、経済的理由から得策で
はない。
【００２０】なお、上述の実施例においては水素化物ガ
ス内、ホスフィンに例を採って説明したが、水素化物ガ
スとして呈色薬に対して共通な化学的性質を示すアルシ
ン、ジボラン、シラン、ジシラン（Ｓi2Ｈ6）、セレン
化水素（ＳeＨ2）、ゲルマン（ＧeＨ4）、硫化水素（Ｈ
2Ｓ）などの他のものの検出にも同様に感度を示すこと
を確認した。
ス内、ホスフィンに例を採って説明したが、水素化物ガ
スとして呈色薬に対して共通な化学的性質を示すアルシ
ン、ジボラン、シラン、ジシラン（Ｓi2Ｈ6）、セレン
化水素（ＳeＨ2）、ゲルマン（ＧeＨ4）、硫化水素（Ｈ
2Ｓ）などの他のものの検出にも同様に感度を示すこと
を確認した。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
ガス吸着剤及び保湿剤を含有する多孔性テ−プ状担体
に、呈色剤として過塩素酸銀を、また耐光性向上剤とし
てパラスルホン酸を含浸させたので、過塩素酸銀自信の
耐光性の低さとパラトルエンスルホン酸による耐光性の
向上とあいまって、極めて高い耐光性を示すばかりでな
く、強酸によるテ−プの引っ張り強度の低下を招くこと
のない水素化物ガス検出用テ−プを提供することができ
る。
ガス吸着剤及び保湿剤を含有する多孔性テ−プ状担体
に、呈色剤として過塩素酸銀を、また耐光性向上剤とし
てパラスルホン酸を含浸させたので、過塩素酸銀自信の
耐光性の低さとパラトルエンスルホン酸による耐光性の
向上とあいまって、極めて高い耐光性を示すばかりでな
く、強酸によるテ−プの引っ張り強度の低下を招くこと
のない水素化物ガス検出用テ−プを提供することができ
る。
【図１】本発明の水素化物ガス検出用テ−プを用いるガ
ス検出器の原理を示す図である。
ス検出器の原理を示す図である。
【図２】本発明の水素化物ガス検出用テ−プのホスフィ
ンに対する検量線を示す図である。
ンに対する検量線を示す図である。
【図３】本発明の水素化物ガス検出用テ−プと従来の水
素化物検出用テ−プの露光時間と濃度変化率との関係を
示す線図である。
素化物検出用テ−プの露光時間と濃度変化率との関係を
示す線図である。
【図４】過塩素酸銀の濃度と水素化物ガス検出感度との
関係を示す線図である。
関係を示す線図である。
Claims (3)
- 【請求項１】 ガス吸着剤及び保湿剤を含有させた通気
性セルロ−ス紙片に、過塩素酸銀を呈色剤として、また
パラトルエンスルホン酸を耐光性向上剤として含浸させ
てなる水素化物ガス検出用テ−プ。 - 【請求項２】 前記過塩素酸銀を通気性セルロ−ス紙片
１平方メ−トル当たり、０．５乃至４．０グラム備えた
請求項１の水素化物ガス検出用テ−プ。 - 【請求項３】 前記パラトルエンスルホン酸を通気性セ
ルロ−ス紙片１平方メ−トル当たり０．３乃至３．０グ
ラム備えた請求項１または請求項２の水素化物ガス検出
用テ−プ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19922292A JP2842970B2 (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | 水素化物ガス検出用テ−プ |
| US07/969,447 US5250260A (en) | 1992-07-02 | 1992-10-30 | Tape for detecting hydrides |
| GB9312784A GB2268584B (en) | 1992-07-02 | 1993-06-21 | Tape for detecting hydrides |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19922292A JP2842970B2 (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | 水素化物ガス検出用テ−プ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618509A true JPH0618509A (ja) | 1994-01-25 |
| JP2842970B2 JP2842970B2 (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=16404179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19922292A Expired - Lifetime JP2842970B2 (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | 水素化物ガス検出用テ−プ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2842970B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100354564B1 (ko) * | 1999-12-24 | 2002-10-05 | 주식회사 엔바이온 | 테이프 및 패치형 연료용 가스누출 검지기 |
| JP2006343282A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Riken Keiki Co Ltd | 硫化水素検知材 |
| JP2008070197A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Riken Keiki Co Ltd | 塩化シアン検知材 |
-
1992
- 1992-07-02 JP JP19922292A patent/JP2842970B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100354564B1 (ko) * | 1999-12-24 | 2002-10-05 | 주식회사 엔바이온 | 테이프 및 패치형 연료용 가스누출 검지기 |
| JP2006343282A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Riken Keiki Co Ltd | 硫化水素検知材 |
| JP2008070197A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Riken Keiki Co Ltd | 塩化シアン検知材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2842970B2 (ja) | 1999-01-06 |
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