JP2799885B2 - 微量酸素測定方法及びその装置 - Google Patents
微量酸素測定方法及びその装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は試料ガス中の微量酸素と黄燐蒸気との発光反
応を利用した微量酸素測定方法及びその装置に関する。
応を利用した微量酸素測定方法及びその装置に関する。
従来から、窒素，水素，アルゴン，ヘリウムのごとき
工業ガス中の微量酸素濃度は、酸素と黄燐蒸気との発光
反応を利用して測定している。
工業ガス中の微量酸素濃度は、酸素と黄燐蒸気との発光
反応を利用して測定している。
第６図及び第７図は、従来の微量酸素測定装置の一例
を示すもので、第６図に示すものは、反応室１内に試料
ガス供給管２から試料ガスを供給するとともに、黄燐容
器３内の固形黄燐Ｐから発生する黄燐蒸気を黄燐蒸気供
給管４から供給し、該黄燐蒸気と試料ガス中の酸素とを
反応室１内で反応させ、該反応により発光した光の強度
を光電子像倍管のごとき光検出部５により測定し、該光
検出器５の出力により酸素量を定量している。
を示すもので、第６図に示すものは、反応室１内に試料
ガス供給管２から試料ガスを供給するとともに、黄燐容
器３内の固形黄燐Ｐから発生する黄燐蒸気を黄燐蒸気供
給管４から供給し、該黄燐蒸気と試料ガス中の酸素とを
反応室１内で反応させ、該反応により発光した光の強度
を光電子像倍管のごとき光検出部５により測定し、該光
検出器５の出力により酸素量を定量している。
また、第７図に示すものは、反応室１内に固形黄燐Ｐ
を収納する容器６を配設し、反応室１内に昇華した黄燐
蒸気と試料ガス供給管２から供給される試料ガス中の酸
素とを反応させて発光させ、同様に光検出器５により測
定している（特開昭63−302348号公報参照）。
を収納する容器６を配設し、反応室１内に昇華した黄燐
蒸気と試料ガス供給管２から供給される試料ガス中の酸
素とを反応させて発光させ、同様に光検出器５により測
定している（特開昭63−302348号公報参照）。
しかしながら、近来の工業ガスの利用分野、例えば半
導体工業では、超高集積度の半導体製造のために、使用
ガス中の酸素濃度を数ppb以下迄正確に測定するように
求めているのが実情である。
導体工業では、超高集積度の半導体製造のために、使用
ガス中の酸素濃度を数ppb以下迄正確に測定するように
求めているのが実情である。
そのため、上記公報記載の方法及び装置では、黄燐蒸
気の量を制御することにより1ppm以下の微量酸素を測定
するようにしているが、これでも数ppb以下の極微量の
酸素を高精度に検出することは困難であった。
気の量を制御することにより1ppm以下の微量酸素を測定
するようにしているが、これでも数ppb以下の極微量の
酸素を高精度に検出することは困難であった。
そこで、本発明は、数ppb以下の極微量の酸素も高精
度に測定できる微量酸素測定方法及びその装置を提供す
ることを目的としている。
度に測定できる微量酸素測定方法及びその装置を提供す
ることを目的としている。
上記した目的を達成するために、本発明の微量酸素測
定方法は、まず第１の構成として、黄燐蒸気と試料ガス
中の酸素とを反応させ、該反応により発光した光の強度
により試料ガス中の酸素量を測定する微量酸素測定方法
において、前記試料ガスとともに一定量の酸素を連続的
に供給して黄燐蒸気と反応させることを特徴とし、第２
の構成として、前記試料ガスとともに一定量の酸素を含
有する酸素添加ガスを連続的に供給して黄燐蒸気と反応
させることを特徴としている。第３の構成は、これらの
第１及び第２の構成において、前記連続的に供給する一
定量の酸素は、酸素透過膜を介して前記試料ガスあるい
は酸素添加ガスに供給することを特徴とするものであ
る。
定方法は、まず第１の構成として、黄燐蒸気と試料ガス
中の酸素とを反応させ、該反応により発光した光の強度
により試料ガス中の酸素量を測定する微量酸素測定方法
において、前記試料ガスとともに一定量の酸素を連続的
に供給して黄燐蒸気と反応させることを特徴とし、第２
の構成として、前記試料ガスとともに一定量の酸素を含
有する酸素添加ガスを連続的に供給して黄燐蒸気と反応
させることを特徴としている。第３の構成は、これらの
第１及び第２の構成において、前記連続的に供給する一
定量の酸素は、酸素透過膜を介して前記試料ガスあるい
は酸素添加ガスに供給することを特徴とするものであ
る。
一方、本発明の微量酸素測定装置は、まず第１の構成
として、黄燐蒸気と試料ガス中の酸素とを反応させ、該
反応により発光した光の強度を測定する反応室を備えた
測定部と、前記反応室に黄燐蒸気を供給する黄燐蒸気供
給管と、試料ガスを供給する試料ガス供給管とを備えた
微量酸素測定装置において、前記試料ガス供給管の一部
に酸素透過膜を設けるとともに、該透過膜部分を恒温槽
内に収納したことを特徴としている。また第２の構成
は、前記試料ガス供給管あるいは反応室のいずれか一方
に酸素添加ガスを供給する添加ガス供給管を設けるとと
もに、該添加ガス供給管の一部に酸素透過膜を設け、該
透過膜部分を恒温槽内に収納したことを特徴としてい
る。
として、黄燐蒸気と試料ガス中の酸素とを反応させ、該
反応により発光した光の強度を測定する反応室を備えた
測定部と、前記反応室に黄燐蒸気を供給する黄燐蒸気供
給管と、試料ガスを供給する試料ガス供給管とを備えた
微量酸素測定装置において、前記試料ガス供給管の一部
に酸素透過膜を設けるとともに、該透過膜部分を恒温槽
内に収納したことを特徴としている。また第２の構成
は、前記試料ガス供給管あるいは反応室のいずれか一方
に酸素添加ガスを供給する添加ガス供給管を設けるとと
もに、該添加ガス供給管の一部に酸素透過膜を設け、該
透過膜部分を恒温槽内に収納したことを特徴としてい
る。
上記のごとく、一定量の酸素を添加することにより、
反応時の酸素濃度を光検出器等の測定装置の検量線の最
適範囲にすることができ、極微量の酸素を精度良く測定
することができる。特に酸素透過膜を介して酸素を供給
することにより、一定量の酸素を容易に添加することが
できる。また酸素透過膜の部分を恒温槽に収納して雰囲
気温度を調節すれば、添加する酸素量を制御することが
できる。
反応時の酸素濃度を光検出器等の測定装置の検量線の最
適範囲にすることができ、極微量の酸素を精度良く測定
することができる。特に酸素透過膜を介して酸素を供給
することにより、一定量の酸素を容易に添加することが
できる。また酸素透過膜の部分を恒温槽に収納して雰囲
気温度を調節すれば、添加する酸素量を制御することが
できる。
以下、本発明を、図示の実施例に基づいてさらに詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明方法の第１及び第２の構成の一実施例
を示す微量酸素測定装置の系統図である。
を示す微量酸素測定装置の系統図である。
この微量酸素測定装置10は、測定部11と、試料ガス供
給系統12と、黄燐蒸気供給系統13、及び酸素添加系統14
とにより構成されている。
給系統12と、黄燐蒸気供給系統13、及び酸素添加系統14
とにより構成されている。
上記測定部11は、気密に形成した反応室15に、光学ガ
ラス等の透光板16を介して光検出室17を隣接形成し、該
光検出室17内に光電子像倍管のごとき光検出器18を内蔵
している。また、反応室15には、反応後のガスを排出す
る導出口15aが設けられている。
ラス等の透光板16を介して光検出室17を隣接形成し、該
光検出室17内に光電子像倍管のごとき光検出器18を内蔵
している。また、反応室15には、反応後のガスを排出す
る導出口15aが設けられている。
上記反応室15に試料ガスを供給する試料ガス供給系統
12は、試料ガスの流量を調節可能な試料ガス流量計19を
備えた試料ガス供給管20により形成されている。また黄
燐蒸気を供給する黄燐蒸気供給系統13は、恒温槽21内に
設けられた固形黄燐収納容器22と、該固形黄燐収納容器
22内の固形黄燐Ｐから昇華した黄燐蒸気を搬送する搬送
ガスを供給する搬送ガス供給管23と、黄燐蒸気を同伴し
た搬送ガスを前記反応室15内に供給する黄燐蒸気供給管
24、及び上記搬送ガスの流量を制御する流量制御可能な
搬送ガス流量計25とバイパス回路26とにより形成されて
いる。このバイパス回路26は、固形黄燐収納容器22の上
流側及び下流側に設けられた弁27a,27bと、バイパス管2
8に設けられたバイパス弁27cとから形成されるもので、
反応室15へ搬送ガスのみを供給できるように構成されて
いる。
12は、試料ガスの流量を調節可能な試料ガス流量計19を
備えた試料ガス供給管20により形成されている。また黄
燐蒸気を供給する黄燐蒸気供給系統13は、恒温槽21内に
設けられた固形黄燐収納容器22と、該固形黄燐収納容器
22内の固形黄燐Ｐから昇華した黄燐蒸気を搬送する搬送
ガスを供給する搬送ガス供給管23と、黄燐蒸気を同伴し
た搬送ガスを前記反応室15内に供給する黄燐蒸気供給管
24、及び上記搬送ガスの流量を制御する流量制御可能な
搬送ガス流量計25とバイパス回路26とにより形成されて
いる。このバイパス回路26は、固形黄燐収納容器22の上
流側及び下流側に設けられた弁27a,27bと、バイパス管2
8に設けられたバイパス弁27cとから形成されるもので、
反応室15へ搬送ガスのみを供給できるように構成されて
いる。
また、上記酸素添加系統14は、流量制御可能な酸素ガ
ス流量計29と酸素ガス供給管30とにより形成されてお
り、該酸素ガス供給管30の下流は、図に実線で示すよう
に上記試料ガス供給管20に接続されるか、あるいは図に
想像線で示すように前記反応室15に直接接続される。こ
の酸素添加系統14から試料ガス供給管20あるいは反応室
15に一定量の酸素を供給するために用いる酸素添加ガス
としては、純酸素も可能であるが、黄燐蒸気に対して不
活性なガスに一定量の酸素を混合した混合ガスを用いる
ことが好ましい。
ス流量計29と酸素ガス供給管30とにより形成されてお
り、該酸素ガス供給管30の下流は、図に実線で示すよう
に上記試料ガス供給管20に接続されるか、あるいは図に
想像線で示すように前記反応室15に直接接続される。こ
の酸素添加系統14から試料ガス供給管20あるいは反応室
15に一定量の酸素を供給するために用いる酸素添加ガス
としては、純酸素も可能であるが、黄燐蒸気に対して不
活性なガスに一定量の酸素を混合した混合ガスを用いる
ことが好ましい。
次に上記装置の操作について説明する。
まず、前記バイパス回路26を構成する弁27a,27bを閉
じるとともにバイパス弁27cを開け、搬送ガス供給管23
から供給される搬送ガスを、バイパス管26,黄燐蒸気供
給管24を介して反応室15内に供給し、反応室15内をパー
ジする。次に、酸素を含まないガス、例えば脱酸素器を
通したガス（ゼロガス）を試料ガス流量計19で所定の流
量に調節して試料ガス供給管20から反応室15内に供給す
るとともに、酸素ガス流量計29で所定の流量に調節した
酸素添加ガスを酸素ガス供給管30から試料ガス供給管20
あるいは反応室15内に供給する。さらに、上記バイパス
回路26を切替えて固形黄燐収納容器22内に、搬送ガス流
量計25で所定流量に調節された搬送ガスを供給し、あら
かじめ恒温槽21により所定の温度に維持された固形黄燐
収納容器22内の固形黄燐Ｐから昇華する黄燐蒸気を黄燐
蒸気供給管24から反応室15内に供給する。そしてこの時
の光検出器18の出力を試料ガス濃度ゼロの出力とする。
じるとともにバイパス弁27cを開け、搬送ガス供給管23
から供給される搬送ガスを、バイパス管26,黄燐蒸気供
給管24を介して反応室15内に供給し、反応室15内をパー
ジする。次に、酸素を含まないガス、例えば脱酸素器を
通したガス（ゼロガス）を試料ガス流量計19で所定の流
量に調節して試料ガス供給管20から反応室15内に供給す
るとともに、酸素ガス流量計29で所定の流量に調節した
酸素添加ガスを酸素ガス供給管30から試料ガス供給管20
あるいは反応室15内に供給する。さらに、上記バイパス
回路26を切替えて固形黄燐収納容器22内に、搬送ガス流
量計25で所定流量に調節された搬送ガスを供給し、あら
かじめ恒温槽21により所定の温度に維持された固形黄燐
収納容器22内の固形黄燐Ｐから昇華する黄燐蒸気を黄燐
蒸気供給管24から反応室15内に供給する。そしてこの時
の光検出器18の出力を試料ガス濃度ゼロの出力とする。
このようにしてゼロ調整を行った後、試料ガスを試料
ガス流量計19で所定の流量に調節して試料ガス供給管20
から反応室15内に供給する。
ガス流量計19で所定の流量に調節して試料ガス供給管20
から反応室15内に供給する。
以上の操作により、反応室15内で試料ガス中の酸素と
所定量添加された酸素とが黄燐蒸気と反応して発光す
る。この発光強度は、前記光検出器18で測定されて光電
流が出力され、該光電流の値が、予め同一の測定条件下
で作成された標準ガスの検量線と照合される。試料ガス
中の酸素濃度は、試料ガス導入時の光検出器18の出力と
ゼロガス導入時の光検出器18の出力との差として検出さ
れる。このように、測定部11で定量する酸素濃度を最適
濃度範囲にすることができるので、試料ガス中の数ppb
程度の微量酸素を正確かつ精度良く測定できる。
所定量添加された酸素とが黄燐蒸気と反応して発光す
る。この発光強度は、前記光検出器18で測定されて光電
流が出力され、該光電流の値が、予め同一の測定条件下
で作成された標準ガスの検量線と照合される。試料ガス
中の酸素濃度は、試料ガス導入時の光検出器18の出力と
ゼロガス導入時の光検出器18の出力との差として検出さ
れる。このように、測定部11で定量する酸素濃度を最適
濃度範囲にすることができるので、試料ガス中の数ppb
程度の微量酸素を正確かつ精度良く測定できる。
次に第２図及び第３図は、試料ガスに添加する酸素を
酸素透過膜により得る実施例を示すものである。尚、以
下の説明において前記第１図に示した実施例と同一要素
のものには同一符号を付して詳細な説明を省略する。
酸素透過膜により得る実施例を示すものである。尚、以
下の説明において前記第１図に示した実施例と同一要素
のものには同一符号を付して詳細な説明を省略する。
第２図に示す装置は、前述の酸素添加系統14を設けず
に、前記反応室15に試料ガスを供給する試料ガス供給管
20、あるいは黄燐蒸気を供給する黄燐蒸気供給管24のい
ずれか一方に添加酸素導入部40を設けたものであり、第
３図に示す装置は、前述の実施例と同様に形成した酸素
添加系統14の酸素ガス供給管20に添加酸素導入部40を設
けたものである。尚、上記酸素ガス供給管20には、酸素
を含まない不活性ガス（ゼロガス）を供給しておく。
に、前記反応室15に試料ガスを供給する試料ガス供給管
20、あるいは黄燐蒸気を供給する黄燐蒸気供給管24のい
ずれか一方に添加酸素導入部40を設けたものであり、第
３図に示す装置は、前述の実施例と同様に形成した酸素
添加系統14の酸素ガス供給管20に添加酸素導入部40を設
けたものである。尚、上記酸素ガス供給管20には、酸素
を含まない不活性ガス（ゼロガス）を供給しておく。
上記添加酸素導入部40は、酸素透過膜、例えばテフロ
ンなどの合成樹脂，ジルコニアなどのセラミックス，あ
るいは各種ゴム，炭素室系の膜、イオンポンプなどの酸
素を透過する材料により管状に形成された透過管部41
と、該透過管部41を収納するとともに、該透過管部41の
外側雰囲気を所定温度に保つ恒温槽42とから構成されて
いる。
ンなどの合成樹脂，ジルコニアなどのセラミックス，あ
るいは各種ゴム，炭素室系の膜、イオンポンプなどの酸
素を透過する材料により管状に形成された透過管部41
と、該透過管部41を収納するとともに、該透過管部41の
外側雰囲気を所定温度に保つ恒温槽42とから構成されて
いる。
上記のごとく形成した添加酸素導入部40を、試料ガス
供給管20,黄燐蒸気供給管24あるいは酸素ガス供給管30
に設けることにより、透過管部41内を流れるガス中の酸
素と雰囲気中の酸素の分圧の差により一定量の酸素をそ
れぞれのガス中に導入添加することができる。上記恒温
槽42内の雰囲気、即ち透過管部41の雰囲気は、通常は大
気（空気）で十分であり、透過管部41の表面積や雰囲気
温度，管内ガスの流速，圧力等を調節することにより、
添加する酸素量を制御することが可能である。また、第
３図に示すごとく、酸素ガス供給管20を設けて該管20に
添加酸素導入部40を設けた場合には、該管20に供給する
ゼロガスの流量を制御することにより、透過管部41を介
して添加される酸素量を調節することができるので、試
料ガス中に含まれる酸素濃度に応じて最適な量の酸素を
添加することが容易である。
供給管20,黄燐蒸気供給管24あるいは酸素ガス供給管30
に設けることにより、透過管部41内を流れるガス中の酸
素と雰囲気中の酸素の分圧の差により一定量の酸素をそ
れぞれのガス中に導入添加することができる。上記恒温
槽42内の雰囲気、即ち透過管部41の雰囲気は、通常は大
気（空気）で十分であり、透過管部41の表面積や雰囲気
温度，管内ガスの流速，圧力等を調節することにより、
添加する酸素量を制御することが可能である。また、第
３図に示すごとく、酸素ガス供給管20を設けて該管20に
添加酸素導入部40を設けた場合には、該管20に供給する
ゼロガスの流量を制御することにより、透過管部41を介
して添加される酸素量を調節することができるので、試
料ガス中に含まれる酸素濃度に応じて最適な量の酸素を
添加することが容易である。
尚、添加酸素導入部40を黄燐蒸気供給管24に設けた場
合には、該添加酸素導入部40より下流で酸素との反応に
より発光が開始するが、その反応速度は相当遅いので、
前記反応室15内でこの発光を継続することができる量の
酸素を添加することで、他の手段により酸素を添加した
場合と同様の作用を得ることができる。
合には、該添加酸素導入部40より下流で酸素との反応に
より発光が開始するが、その反応速度は相当遅いので、
前記反応室15内でこの発光を継続することができる量の
酸素を添加することで、他の手段により酸素を添加した
場合と同様の作用を得ることができる。
このように、例えば試料ガス供給管20の途中にテフロ
ン等により形成された透過管部41を設けて、これを恒温
槽42内に収納するだけの極めて簡単な装置構成で、数十
ppb程度の極微量の酸素を試料ガスに一定量添加するこ
とができる。また微量酸素測定装置10の稼動中、常に安
定して連続的に酸素を供給することが容易であり、前記
第１図に示した装置のように、添加する酸素を別途用意
する必要がないので長期連続的、かつ低コストで実施す
ることができる。
ン等により形成された透過管部41を設けて、これを恒温
槽42内に収納するだけの極めて簡単な装置構成で、数十
ppb程度の極微量の酸素を試料ガスに一定量添加するこ
とができる。また微量酸素測定装置10の稼動中、常に安
定して連続的に酸素を供給することが容易であり、前記
第１図に示した装置のように、添加する酸素を別途用意
する必要がないので長期連続的、かつ低コストで実施す
ることができる。
以下、実験例に基づいて本発明を具体的に説明する。
前記第２図に示すように、試料ガス供給管20の途中に
テフロン製の管からなる透過管部41を設け、この部分を
恒温槽42に収納した。上記テフロン管は、市販のもので
あって、内径1.59mm,外径3.17mm,長さ20mmのものを用
い、透過管部41の外側雰囲気は、恒温槽42内の大気空気
とし、温度は50℃とした。
テフロン製の管からなる透過管部41を設け、この部分を
恒温槽42に収納した。上記テフロン管は、市販のもので
あって、内径1.59mm,外径3.17mm,長さ20mmのものを用
い、透過管部41の外側雰囲気は、恒温槽42内の大気空気
とし、温度は50℃とした。
上記透過管部41内外の圧力は、管内が若干高い（配管
の圧損程度）が、酸素濃度は管外部の方が高いので、こ
の濃度差により大気中の極微量の酸素がテフロン管を透
過して管内を流れる試料ガスに混入する。この時、透過
管部41を透過して試料ガス中に添加する酸素量を一定と
するためには、試料ガスの供給圧，供給流量を一定にす
るとともに、透過管部41を恒温槽42内に設置して測定作
業中は、透過管部41及び管内外のガスの温度を一定にす
ることが必要である。
の圧損程度）が、酸素濃度は管外部の方が高いので、こ
の濃度差により大気中の極微量の酸素がテフロン管を透
過して管内を流れる試料ガスに混入する。この時、透過
管部41を透過して試料ガス中に添加する酸素量を一定と
するためには、試料ガスの供給圧，供給流量を一定にす
るとともに、透過管部41を恒温槽42内に設置して測定作
業中は、透過管部41及び管内外のガスの温度を一定にす
ることが必要である。
このように形成した装置を用い、試料ガスに約30ppb
の酸素を添加して測定した酸素濃度と光検出器18の出力
差（ゼロガス導入時の光検出器18の出力と試料ガスを導
入した時の光検出器18の出力との差）との関係を第４図
に検量線Ａで示すとともに、比較として従来の微量酸素
測定装置（第６図参照）で測定した酸素濃度と光検出器
出力の関係を第５図に検量線Ｂで示す。
の酸素を添加して測定した酸素濃度と光検出器18の出力
差（ゼロガス導入時の光検出器18の出力と試料ガスを導
入した時の光検出器18の出力との差）との関係を第４図
に検量線Ａで示すとともに、比較として従来の微量酸素
測定装置（第６図参照）で測定した酸素濃度と光検出器
出力の関係を第５図に検量線Ｂで示す。
両図から明らかなように、本発明によれば、従来装置
に比べて20ppb以下の極微量酸素濃度での酸素濃度に対
する出力差が大きくなり、精度よく測定が可能となるこ
とが判る。
に比べて20ppb以下の極微量酸素濃度での酸素濃度に対
する出力差が大きくなり、精度よく測定が可能となるこ
とが判る。
例えば、酸素濃度5ppbの試料ガスを従来装置で測定し
たところ、第５図に示す通り、その時の出力は制御不可
能な程度（ノイズと差別がつかない程度）であったが、
本発明装置で測定した時は、第４図に示す通り、正確に
測定することができる。
たところ、第５図に示す通り、その時の出力は制御不可
能な程度（ノイズと差別がつかない程度）であったが、
本発明装置で測定した時は、第４図に示す通り、正確に
測定することができる。
尚、本発明は特定の実施例に関して詳述したが、本発
明の精神及び範囲を逸脱しないで多くの変形例を考える
ことは当業者にとって容易であることが明らかである。
従って上記説明は限定的に解釈されるものではない。
明の精神及び範囲を逸脱しないで多くの変形例を考える
ことは当業者にとって容易であることが明らかである。
従って上記説明は限定的に解釈されるものではない。
以上説明したように、本発明の微量酸素測定方法は、
試料ガス中に一定量の酸素を添加して測定するから、数
十ppb以下の微量酸素、特に30ppb以下、数ppb以下の酸
素でも高精度に定量することが可能となった。また連続
的に一定量の酸素を添加するので、多数の試料ガス中の
酸素を連続的に定量することができ、繰返し精度および
安定性などにも優れている。
試料ガス中に一定量の酸素を添加して測定するから、数
十ppb以下の微量酸素、特に30ppb以下、数ppb以下の酸
素でも高精度に定量することが可能となった。また連続
的に一定量の酸素を添加するので、多数の試料ガス中の
酸素を連続的に定量することができ、繰返し精度および
安定性などにも優れている。
特に本発明方法の第３の構成、あるいは本発明装置の
ごとく、試料ガスに添加する酸素を酸素透過膜を介して
供給することにより、一定量の酸素を連続して得ること
ができ、別に添加用の酸素を用意する必要がなく、簡単
な装置構成で、連続測定を安定してしかも低コストで実
施することができる。
ごとく、試料ガスに添加する酸素を酸素透過膜を介して
供給することにより、一定量の酸素を連続して得ること
ができ、別に添加用の酸素を用意する必要がなく、簡単
な装置構成で、連続測定を安定してしかも低コストで実
施することができる。
第１図乃至第３図は本発明の実施例を示すもので、第１
図は本発明方法の第１及び第２の構成の一実施例を示す
系統図、第２図は本発明方法の第３の構成及び本発明装
置の第１の構成の一実施例を示す系統図、第３図は本発
明方法の第３の構成及び本発明装置の第２の構成の一実
施例を示す系統図、第４図は本発明方法によって作成さ
れた検量線を示す図、第５図は従来の方法によって作成
された検量線を示す図、第６図及び第７図はそれぞれ従
来の微量酸素測定装置を示す系統図である。 10……微量酸素測定装置、11……測定部、12……試料ガ
ス供給系統、13……黄燐蒸気供給系統、14……酸素添加
系統、15……反応室、18……光検出器、20……試料ガス
供給管、22……固形黄燐収納容器、23……搬送ガス供給
管、24……黄燐蒸気供給管、30……酸素ガス供給管、40
……添加酸素導入部、41……透過管部、42……恒温槽、
Ｐ……固形黄燐
図は本発明方法の第１及び第２の構成の一実施例を示す
系統図、第２図は本発明方法の第３の構成及び本発明装
置の第１の構成の一実施例を示す系統図、第３図は本発
明方法の第３の構成及び本発明装置の第２の構成の一実
施例を示す系統図、第４図は本発明方法によって作成さ
れた検量線を示す図、第５図は従来の方法によって作成
された検量線を示す図、第６図及び第７図はそれぞれ従
来の微量酸素測定装置を示す系統図である。 10……微量酸素測定装置、11……測定部、12……試料ガ
ス供給系統、13……黄燐蒸気供給系統、14……酸素添加
系統、15……反応室、18……光検出器、20……試料ガス
供給管、22……固形黄燐収納容器、23……搬送ガス供給
管、24……黄燐蒸気供給管、30……酸素ガス供給管、40
……添加酸素導入部、41……透過管部、42……恒温槽、
Ｐ……固形黄燐
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−302348（ＪＰ，Ａ) 実開 昭55−97640（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭55−97641（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 21/76 G01N 21/77 G01N 31/00
Claims (5)
- 【請求項１】黄燐蒸気と試料ガス中の酸素とを反応さ
せ、該反応により発光した光の強度により試料ガス中の
酸素量を測定する微量酸素測定方法において、前記試料
ガスとともに一定量の酸素を連続的に供給して黄燐蒸気
と反応させることを特徴とする微量酸素測定方法。 - 【請求項２】黄燐蒸気と試料ガス中の酸素とを反応さ
せ、該反応により発光した光の強度により試料ガス中に
酸素量を測定する微量酸素測定方法において、前記試料
ガスとともに一定量の酸素を含有する酸素添加ガスを連
続的に供給して黄燐蒸気と反応させることを特徴とする
微量酸素測定方法。 - 【請求項３】前記連続的に供給する一定量の酸素は、酸
素透過膜を介して前記試料ガスあるいは酸素添加ガスに
供給することを特徴とする請求項１又は２記載の微量酸
素測定方法。 - 【請求項４】黄燐蒸気と試料ガス中の酸素とを反応さ
せ、該反応により発光した光の強度を測定する反応室を
備えた測定部と、前記反応室に黄燐蒸気を供給する黄燐
蒸気供給管と、試料ガスを供給する試料ガス供給管とを
備えた微量酸素測定装置において、前記試料ガス供給管
の一部に酸素透過膜を設けるとともに、該透過膜部分を
恒温槽内に収納したことを特徴とする微量酸素測定装
置。 - 【請求項５】黄燐蒸気と試料ガス中の酸素とを反応さ
せ、該反応により発光した光の強度を測定する反応室を
備えた測定部と、前記反応室に黄燐蒸気を供給する黄燐
蒸気供給管と、試料ガスを供給する試料ガス供給管とを
備えた微量酸素測定装置において、前記試料ガス供給管
あるいは反応室のいずれか一方に酸素添加ガスを供給す
る添加ガス供給管を設けるとともに、該添加ガス供給管
の一部に酸素透過膜を設け、該透過膜部分を恒温槽内に
収納したことを特徴とする微量酸素測定装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1220956A JP2799885B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 微量酸素測定方法及びその装置 |
| EP90912488A EP0440815B1 (en) | 1989-08-28 | 1990-08-27 | Method of and device for measuring extremely small quantity of oxygen in gas |
| DE69025745T DE69025745T2 (de) | 1989-08-28 | 1990-08-27 | Verfahren und anordnung zum messen von extrem kleinen sauerstoffmengen in gas |
| US07/674,345 US5312761A (en) | 1989-08-28 | 1990-08-27 | Method for measuring trace quantity of oxygen in gas |
| PCT/JP1990/001083 WO1991003731A1 (en) | 1989-08-28 | 1990-08-27 | Method of and device for measuring extremely small quantity of oxygen in gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1220956A JP2799885B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 微量酸素測定方法及びその装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0384440A JPH0384440A (ja) | 1991-04-10 |
| JP2799885B2 true JP2799885B2 (ja) | 1998-09-21 |
Family
ID=16759192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1220956A Expired - Fee Related JP2799885B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 微量酸素測定方法及びその装置 |
Country Status (5)
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| EP (1) | EP0440815B1 (ja) |
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| DE (1) | DE69025745T2 (ja) |
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| FR2959014B1 (fr) * | 2010-04-19 | 2013-01-04 | Total Raffinage Marketing | Suivi de la vitesse de corrosion d'un conduit metallique parcouru par un fluide corrosif |
| CN107055331A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-08-18 | 上海电机学院 | 集装箱对箱引导系统 |
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|---|---|---|---|---|
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| US3285703A (en) * | 1963-05-31 | 1966-11-15 | Nippon Oxygen Co Ltd | Photosensitive means for determining trace oxygen by measuring chemiluminescence |
| US3528779A (en) * | 1968-06-27 | 1970-09-15 | Aerochem Res Lab | Chemiluminescent method of detecting ozone |
| DE1963319B1 (de) * | 1969-12-17 | 1970-12-03 | Bio Cal Instr Gmbh | Kuenstliche Lunge |
| US4111659A (en) * | 1974-09-25 | 1978-09-05 | Graeme L. Hammond | Mass and heat transfer exchange apparatus |
| US3984688A (en) * | 1975-04-21 | 1976-10-05 | Source Gas Analyzers, Inc. | Monitor for detection of chemiluminescent reactions |
| GB1596784A (en) * | 1977-04-12 | 1981-08-26 | British American Tobacco Co | Gas detection |
| JPS5597641U (ja) * | 1978-12-27 | 1980-07-07 | ||
| JPS5597640U (ja) * | 1978-12-27 | 1980-07-07 | ||
| US4705543A (en) * | 1986-09-19 | 1987-11-10 | Perma Pure Products, Inc. | Fluid drying tube |
| US5021352A (en) * | 1987-01-29 | 1991-06-04 | Japan Oxygen, Co., Ltd. | Method for quantifying oxygen |
| US5019517A (en) * | 1988-04-15 | 1991-05-28 | Coulson Dale M | System, detector and method for trace gases |
-
1989
- 1989-08-28 JP JP1220956A patent/JP2799885B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-08-27 WO PCT/JP1990/001083 patent/WO1991003731A1/ja active IP Right Grant
- 1990-08-27 US US07/674,345 patent/US5312761A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-08-27 DE DE69025745T patent/DE69025745T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-08-27 EP EP90912488A patent/EP0440815B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1991003731A1 (en) | 1991-03-21 |
| US5312761A (en) | 1994-05-17 |
| EP0440815A4 (en) | 1992-10-14 |
| EP0440815B1 (en) | 1996-03-06 |
| JPH0384440A (ja) | 1991-04-10 |
| EP0440815A1 (en) | 1991-08-14 |
| DE69025745D1 (de) | 1996-04-11 |
| DE69025745T2 (de) | 1997-02-20 |
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Legal Events
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