JPH0714867Y2 - 化学発光式ｎｏ分析計 - Google Patents
化学発光式ｎｏ分析計Info
- Publication number
- JPH0714867Y2 JPH0714867Y2 JP8057489U JP8057489U JPH0714867Y2 JP H0714867 Y2 JPH0714867 Y2 JP H0714867Y2 JP 8057489 U JP8057489 U JP 8057489U JP 8057489 U JP8057489 U JP 8057489U JP H0714867 Y2 JPH0714867 Y2 JP H0714867Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- sample gas
- supply path
- analyzer
- light emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、化学発光式NO分析計に関する。
化学発光式NO分析計は、サンプルガス中のNO（一酸化窒
素）とO3（オゾン）とが反応するときに生ずる化学発光
を光検出器で検出し、そのときに得られる発光スペクト
ルに基づいて前記NOの量（濃度）を測定するもので、従
来のこの種の分析計は、第２図に示すように構成されて
いた。
素）とO3（オゾン）とが反応するときに生ずる化学発光
を光検出器で検出し、そのときに得られる発光スペクト
ルに基づいて前記NOの量（濃度）を測定するもので、従
来のこの種の分析計は、第２図に示すように構成されて
いた。
すなわち、第２図において、１は空気または酸素を原料
として所定濃度のオゾンO3を発生するオゾン発生器であ
る。２は反応槽で、オゾン発生器１の出口側に接続され
たオゾン供給路３が接続された開口2aと、図外のサンプ
ルガス供給源に連なりサンプルガスSGを供給するための
サンプルガス供給路４が接続された開口2bと、ガス排出
路５が接続された開口2cとが形成されるとともに、その
一側には光透過性材料よりなる化学窓2dが形成してあ
る。そして、この光学窓2dの外方にはフォトダイオード
または光電子増倍管などの光検出器６が設けてある。な
お、７は光検出器６の出力を適宜増幅するプリアンプ
で、図外の信号処理回路に接続してある。また、8,9は
前記オゾン供給路3,サンプルガス供給路４にそれぞれ設
けられる流量調整用のキャピラリである。
として所定濃度のオゾンO3を発生するオゾン発生器であ
る。２は反応槽で、オゾン発生器１の出口側に接続され
たオゾン供給路３が接続された開口2aと、図外のサンプ
ルガス供給源に連なりサンプルガスSGを供給するための
サンプルガス供給路４が接続された開口2bと、ガス排出
路５が接続された開口2cとが形成されるとともに、その
一側には光透過性材料よりなる化学窓2dが形成してあ
る。そして、この光学窓2dの外方にはフォトダイオード
または光電子増倍管などの光検出器６が設けてある。な
お、７は光検出器６の出力を適宜増幅するプリアンプ
で、図外の信号処理回路に接続してある。また、8,9は
前記オゾン供給路3,サンプルガス供給路４にそれぞれ設
けられる流量調整用のキャピラリである。
ところで、上記オゾン発生器１としては、無声放電方式
のものと、紫外線照射方式のものとがあるが、無声放電
方式のものが用いられることが多い。それは、無声放電
方式のものの方が濃度の高いオゾンO3を発生することが
でき、また、長期間使用しても安定に動作するからであ
る。
のものと、紫外線照射方式のものとがあるが、無声放電
方式のものが用いられることが多い。それは、無声放電
方式のものの方が濃度の高いオゾンO3を発生することが
でき、また、長期間使用しても安定に動作するからであ
る。
しかしながら、上記無声放電方式オゾン発生器１におい
て、オゾンO3を生成するための原料として大気や除湿さ
れたエヤーを用いると、オゾンO3とともに、N2（窒素ガ
ス）の一部とO2（酸素ガス）の一部とが反応して、第３
図（Ａ）に示すように、オゾンO3が例えば0.5〜１％程
度発生するとき、例えばNO3やN2O5などのNxOy（不純
物）が数〜数10ppm程度発生する。なお、第３図（Ａ）
は、第２図に示す点ＡにおけるオゾンO3およびNxOyの濃
度を示す図である。
て、オゾンO3を生成するための原料として大気や除湿さ
れたエヤーを用いると、オゾンO3とともに、N2（窒素ガ
ス）の一部とO2（酸素ガス）の一部とが反応して、第３
図（Ａ）に示すように、オゾンO3が例えば0.5〜１％程
度発生するとき、例えばNO3やN2O5などのNxOy（不純
物）が数〜数10ppm程度発生する。なお、第３図（Ａ）
は、第２図に示す点ＡにおけるオゾンO3およびNxOyの濃
度を示す図である。
そして、上記NxOyを含むオゾンO3をオゾン供給路３を介
して発光槽２内に導入すると、NxOyが発光槽２内におい
て、サンプルガスSG中のNOの一部と、 NO3＋NO→２NO2 N2O5＋NO→３NO2 のように反応して、本来、オゾンO3と反応するべきNOが
消費されてしまい、第４図（Ａ）に示すように、分析計
出力がノンリニアな特性となり、精度の高い測定が困難
であった。そして、この傾向は特に低濃度計に強く現れ
ていた。なお、第４図（Ａ）において、仮想線ａは、理
論上の出力特性曲線を、また、実線ｂは、実際の出力特
性曲線をそれぞれ示す。
して発光槽２内に導入すると、NxOyが発光槽２内におい
て、サンプルガスSG中のNOの一部と、 NO3＋NO→２NO2 N2O5＋NO→３NO2 のように反応して、本来、オゾンO3と反応するべきNOが
消費されてしまい、第４図（Ａ）に示すように、分析計
出力がノンリニアな特性となり、精度の高い測定が困難
であった。そして、この傾向は特に低濃度計に強く現れ
ていた。なお、第４図（Ａ）において、仮想線ａは、理
論上の出力特性曲線を、また、実線ｂは、実際の出力特
性曲線をそれぞれ示す。
上記分析計出力のノンリニアな特性を改善する手段とし
て、オゾンO3を生成するための原料として、N2を含むエ
ヤーに代えて、O2とAr（アルゴンガス）のみの混合気体
を用いたり、あるいは、O2が100％のボンベガスを用い
ることが考えられるが、いずれの場合も連続して分析を
行う場合、コストが極めて高くつくといった問題点があ
る。
て、オゾンO3を生成するための原料として、N2を含むエ
ヤーに代えて、O2とAr（アルゴンガス）のみの混合気体
を用いたり、あるいは、O2が100％のボンベガスを用い
ることが考えられるが、いずれの場合も連続して分析を
行う場合、コストが極めて高くつくといった問題点があ
る。
本考案は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、オゾン発生の原料として高価なガ
スを用いることなく、リニア不良特性を改善することが
できる化学発光式NO分析計を提供することになる。
目的とするところは、オゾン発生の原料として高価なガ
スを用いることなく、リニア不良特性を改善することが
できる化学発光式NO分析計を提供することになる。
上述の目的を達成するため、本考案に係る化学発光式NO
分析計は、発光槽に接続されてるサンプルガス供給路と
オゾン供給路とを互いに接続し、前記発光槽に供給され
るべきオゾンに前記サンプルガスの一部を予め添加する
ようにした点に特徴がある。
分析計は、発光槽に接続されてるサンプルガス供給路と
オゾン供給路とを互いに接続し、前記発光槽に供給され
るべきオゾンに前記サンプルガスの一部を予め添加する
ようにした点に特徴がある。
上記構成によれば、オゾン発生器から発光槽に供給され
るべきオゾン中にNxOyが含まれていても、サンプルガス
供給路を発光槽方向に流れるサンプルガスの一部が前記
オゾンに添加されることにより、前記サンプルガス中の
NOと前記NxOyとが反応して、反応槽に供給されるべきオ
ゾン中に含まれているNxOyが処理され、従って、発光槽
内においては、サンプルガス供給路からのサンプルガス
と前記処理済のオゾンとが確実に反応することができ、 NO＋O3→NO2 *→NO2＋ｈμ なる発光反応が生じ、そのとき生ずる化学発光量（ｈ
μ）に基づいて、サンプルガス中のNO濃度を測定するこ
とができる。
るべきオゾン中にNxOyが含まれていても、サンプルガス
供給路を発光槽方向に流れるサンプルガスの一部が前記
オゾンに添加されることにより、前記サンプルガス中の
NOと前記NxOyとが反応して、反応槽に供給されるべきオ
ゾン中に含まれているNxOyが処理され、従って、発光槽
内においては、サンプルガス供給路からのサンプルガス
と前記処理済のオゾンとが確実に反応することができ、 NO＋O3→NO2 *→NO2＋ｈμ なる発光反応が生じ、そのとき生ずる化学発光量（ｈ
μ）に基づいて、サンプルガス中のNO濃度を測定するこ
とができる。
以下、本考案の一実施例を、図面に基づいて説明する。
第１図は本考案の係る化学発光式NO分析計の一構成例を
示す。なお、この図において、第２図に示す符号と同一
の符号は同一物を示す。
示す。なお、この図において、第２図に示す符号と同一
の符号は同一物を示す。
され、第１図において、10はサンプルガス供給路４とオ
ゾン供給路３との間を接続するサンプルガス添加用流路
で、サンプルガス供給路４を発光槽２方向に流れるサン
プルガスSGの一部がこのサンプルガス添加用流路10を介
してオゾン供給路３に流れ込み、オゾン発生器１から発
光槽２方向に流れるオゾンO3に添加されるようにしてあ
る。なお、B,Cは前記サンプルガス添加用流路10と供給
路4,3との接続点、また、11はサンプルガス添加用流路1
0に設けられた流量調整用のキャピラリである。
ゾン供給路３との間を接続するサンプルガス添加用流路
で、サンプルガス供給路４を発光槽２方向に流れるサン
プルガスSGの一部がこのサンプルガス添加用流路10を介
してオゾン供給路３に流れ込み、オゾン発生器１から発
光槽２方向に流れるオゾンO3に添加されるようにしてあ
る。なお、B,Cは前記サンプルガス添加用流路10と供給
路4,3との接続点、また、11はサンプルガス添加用流路1
0に設けられた流量調整用のキャピラリである。
而して、上記構成の化学発光式NO分析計においては、オ
ゾン発生器１から発光槽２に供給されるべきオゾンO3中
にNxOyが含まれていても、サンプルガス供給路４を発光
槽２方向に流れるサンプルガスSGの一部が前記オゾンO3
に添加されることにより、サンプルガスSG中のNOとNxOy
とが反応して、反応槽２に供給されるオゾンO3中に含ま
れているNxOyが処理されて、第１図の点Ｃよりも下流側
の点Ｄにおける不純物（NxOy）の濃度は、第３図（Ｂ）
に示すように減少する。従って、発光槽２内において
は、サンプルガス供給路４からのサンプルガスSGと前記
処理済のオゾンO3とが確実に反応することができ、 NO＋O3→NO2 *＋ｈμ なる発光反応が生じ、そのとき生ずる化学発光量（ｈ
μ）に基づいて、サンプルガスSG中のNO濃度を測定する
ことができる。このときの分析計出力は、第４図（Ｂ）
に示すように、実線で示す実際の出力特性曲線ｃが、仮
想線ａで示す理論上の出力特性曲線とほぼ等しくなり、
そのリニアリティが大幅に改善される。
ゾン発生器１から発光槽２に供給されるべきオゾンO3中
にNxOyが含まれていても、サンプルガス供給路４を発光
槽２方向に流れるサンプルガスSGの一部が前記オゾンO3
に添加されることにより、サンプルガスSG中のNOとNxOy
とが反応して、反応槽２に供給されるオゾンO3中に含ま
れているNxOyが処理されて、第１図の点Ｃよりも下流側
の点Ｄにおける不純物（NxOy）の濃度は、第３図（Ｂ）
に示すように減少する。従って、発光槽２内において
は、サンプルガス供給路４からのサンプルガスSGと前記
処理済のオゾンO3とが確実に反応することができ、 NO＋O3→NO2 *＋ｈμ なる発光反応が生じ、そのとき生ずる化学発光量（ｈ
μ）に基づいて、サンプルガスSG中のNO濃度を測定する
ことができる。このときの分析計出力は、第４図（Ｂ）
に示すように、実線で示す実際の出力特性曲線ｃが、仮
想線ａで示す理論上の出力特性曲線とほぼ等しくなり、
そのリニアリティが大幅に改善される。
そして、発光槽２へのオゾンO3に対するサンプルガスSG
の添加量は、サンプルガスSG中のNOの濃度が高いときは
少量でよく、また、逆に前記濃度が高いときは多くすれ
ばよい。この場合、前記濃度の高低は予め大体予測でき
るところであるから、これに応じてキャピラリ11を選定
することにより前記添加量を調整することができる。
の添加量は、サンプルガスSG中のNOの濃度が高いときは
少量でよく、また、逆に前記濃度が高いときは多くすれ
ばよい。この場合、前記濃度の高低は予め大体予測でき
るところであるから、これに応じてキャピラリ11を選定
することにより前記添加量を調整することができる。
以上説明したように、本考案においては、発光槽に接続
されるサンプルガス供給路とオゾン供給路とを互いに接
続し、前記発光槽に供給されるべきオゾンに前記サンプ
ルガスの一部を予め添加するようにしているので、オゾ
ン発生の原料として高価なガスを用いることなく、リニ
ア不良特性を改善することができ、特に、低濃度計にお
いて精度の高い測定が行なえるようになった。
されるサンプルガス供給路とオゾン供給路とを互いに接
続し、前記発光槽に供給されるべきオゾンに前記サンプ
ルガスの一部を予め添加するようにしているので、オゾ
ン発生の原料として高価なガスを用いることなく、リニ
ア不良特性を改善することができ、特に、低濃度計にお
いて精度の高い測定が行なえるようになった。
第１図は本考案に係る化学発光式NO分析計の一構成例を
示す図である。 第２図は従来の化学発光式NO分析計の構成を示す図であ
る。 第３図はオゾン供給路における不純物の濃度を示す図
で、同図（Ａ）は従来装置における濃度を、また、同図
（Ｂ）は本考案の係る装置における濃度をそれぞれ示
す。 第４図は分析計出力を示す図で、同図（Ａ）は従来装置
における出力を、また、同図（Ｂ）は本考案に係る装置
における出力をそれぞれ示す。 １…オゾン発生器、２…発光槽、３…オゾン供給路、４
…サンプルガス供給路、O3…オゾン、SG…サンプルガ
ス。
示す図である。 第２図は従来の化学発光式NO分析計の構成を示す図であ
る。 第３図はオゾン供給路における不純物の濃度を示す図
で、同図（Ａ）は従来装置における濃度を、また、同図
（Ｂ）は本考案の係る装置における濃度をそれぞれ示
す。 第４図は分析計出力を示す図で、同図（Ａ）は従来装置
における出力を、また、同図（Ｂ）は本考案に係る装置
における出力をそれぞれ示す。 １…オゾン発生器、２…発光槽、３…オゾン供給路、４
…サンプルガス供給路、O3…オゾン、SG…サンプルガ
ス。
Claims (1)
- 【請求項１】発光槽に対してサンプルガス供給路を介し
てサンプルガスを供給するとともに、オゾン供給路を介
してオゾン発生器からのオゾンを供給するようにした化
学発光式NO分析計において、前記サンプルガス供給路と
オゾン供給路とを互いに接続し、前記発光槽に供給され
るべきオゾンに前記サンプルガスの一部を予め添加する
ようにしたことを特徴とする化学発光式NO分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8057489U JPH0714867Y2 (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | 化学発光式ｎｏ分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8057489U JPH0714867Y2 (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | 化学発光式ｎｏ分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0319950U JPH0319950U (ja) | 1991-02-27 |
| JPH0714867Y2 true JPH0714867Y2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=31625759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8057489U Expired - Lifetime JPH0714867Y2 (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | 化学発光式ｎｏ分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714867Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6474291B2 (ja) * | 2015-03-23 | 2019-02-27 | 新コスモス電機株式会社 | 化学発光式ガス検出装置および化学発光式ガス検出方法 |
-
1989
- 1989-07-06 JP JP8057489U patent/JPH0714867Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0319950U (ja) | 1991-02-27 |
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