JPH06170855A - 紫外線硬化型樹脂膜の硬化装置 - Google Patents
紫外線硬化型樹脂膜の硬化装置Info
- Publication number
- JPH06170855A JPH06170855A JP32584792A JP32584792A JPH06170855A JP H06170855 A JPH06170855 A JP H06170855A JP 32584792 A JP32584792 A JP 32584792A JP 32584792 A JP32584792 A JP 32584792A JP H06170855 A JPH06170855 A JP H06170855A
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- JP
- Japan
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- container
- support
- opening
- diameter
- nitrogen
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ディスク状支持体に設けられる紫外線硬化型
樹脂膜の硬化を効率良く行い、紫外線照射による記録媒
体への被害を抑制しうる硬化装置を得る。 【構成】 ディスク状支持体に形成された紫外線硬化型
樹脂膜を硬化させる装置において、上部は前記支持体の
径より大きい径の開口部からなり、下部は前記支持体の
径より小さい径の底部からなる円錐柱状の容器であっ
て、容器内部の中央には前記支持体を載置し回転するた
めのターンテーブルが設けられ、容器側（斜）面には窒
素流入のための開口部を有し、該開口部上部はターンテ
ーブル上に支持体が載置されたとき支持体表面よりも上
側に存在し、該開口部下部は支持体表面よりも下側に存
在するように設けられ、前記容器上部開口部には前記容
器上部開口部の径と同じかそれより大きい径を有し、か
つ中心部に窒素流出のための開口部を有する容器上部密
閉用の石英板が設けられていることを特徴とする紫外線
硬化型樹脂膜の硬化装置。
樹脂膜の硬化を効率良く行い、紫外線照射による記録媒
体への被害を抑制しうる硬化装置を得る。 【構成】 ディスク状支持体に形成された紫外線硬化型
樹脂膜を硬化させる装置において、上部は前記支持体の
径より大きい径の開口部からなり、下部は前記支持体の
径より小さい径の底部からなる円錐柱状の容器であっ
て、容器内部の中央には前記支持体を載置し回転するた
めのターンテーブルが設けられ、容器側（斜）面には窒
素流入のための開口部を有し、該開口部上部はターンテ
ーブル上に支持体が載置されたとき支持体表面よりも上
側に存在し、該開口部下部は支持体表面よりも下側に存
在するように設けられ、前記容器上部開口部には前記容
器上部開口部の径と同じかそれより大きい径を有し、か
つ中心部に窒素流出のための開口部を有する容器上部密
閉用の石英板が設けられていることを特徴とする紫外線
硬化型樹脂膜の硬化装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光ディスクなどの光情報
記録媒体の支持体上に形成される紫外線硬化型樹脂膜の
硬化装置に関する。
記録媒体の支持体上に形成される紫外線硬化型樹脂膜の
硬化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光情報記録媒体には記録層以外の構成層
として保護層、ハードコート層、下引層等が設けられ、
これらの層の材料として紫外線硬化型樹脂が用いられる
ことは良く知られたところである。
として保護層、ハードコート層、下引層等が設けられ、
これらの層の材料として紫外線硬化型樹脂が用いられる
ことは良く知られたところである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この紫外線硬化型樹脂
を用いて光情報記録媒体を製造する場合、最も問題とな
るのは、紫外線照射による温度上昇により記録媒体に悪
影響を与えることである。即ち、温度上昇により基板変
形を起こしたり、あるいは既に形成されている記録膜に
欠陥を引き起こしたり、又、紫外線硬化型樹脂層形成後
に記録膜を形成する場合には記録膜にムラを発生させる
等々である。
を用いて光情報記録媒体を製造する場合、最も問題とな
るのは、紫外線照射による温度上昇により記録媒体に悪
影響を与えることである。即ち、温度上昇により基板変
形を起こしたり、あるいは既に形成されている記録膜に
欠陥を引き起こしたり、又、紫外線硬化型樹脂層形成後
に記録膜を形成する場合には記録膜にムラを発生させる
等々である。
【０００４】そのための紫外線硬化型樹脂をできるだけ
短時間に硬化させ光情報記録媒体の昇温を低く押える必
要がある。しかし、紫外線硬化型樹脂には硬化後の硬度
や表面抵抗、屈折率、透過率等の物性値や膜の形成がし
やすい等の利点があるものであっても硬化させずらい樹
脂が多数存在する。又、紫外線硬化は、硬化容器を用い
て行われるが、容器側面による紫外線の反射を利用する
ものはあったが、短時間に完全に硬化させ、しかも媒体
の温度上昇を低く抑えるという目的に対して不完全なも
のであった。例えば窒素パージするにしてもその窒素の
利用の仕方が効率良いものではなかった。本発明の目的
は紫外線硬化型樹脂の硬化を効率良く行ない、記録媒体
への紫外線照射による被害を抑制しうる硬化装置を得る
ことである。
短時間に硬化させ光情報記録媒体の昇温を低く押える必
要がある。しかし、紫外線硬化型樹脂には硬化後の硬度
や表面抵抗、屈折率、透過率等の物性値や膜の形成がし
やすい等の利点があるものであっても硬化させずらい樹
脂が多数存在する。又、紫外線硬化は、硬化容器を用い
て行われるが、容器側面による紫外線の反射を利用する
ものはあったが、短時間に完全に硬化させ、しかも媒体
の温度上昇を低く抑えるという目的に対して不完全なも
のであった。例えば窒素パージするにしてもその窒素の
利用の仕方が効率良いものではなかった。本発明の目的
は紫外線硬化型樹脂の硬化を効率良く行ない、記録媒体
への紫外線照射による被害を抑制しうる硬化装置を得る
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、ディス
ク状支持体に形成された紫外線硬化型樹脂膜を硬化させ
る装置において、上部は前記支持体の径より大きい径の
開口部があり、下部は前記支持体の径より小さい底部か
らなる円錐柱状の容器であって、容器内部の中央には前
記支持体を載置し回転するためのターンテーブルが設け
られ、容器側（斜）面には窒素が流入するための開口部
を有し、該開口部上部はターンテーブル上に支持体が載
置されたとき支持体表面よりも上側に存在し、該開口部
下部は支持体表面よりも下側に存在するように配置さ
れ、前記容器上部開口部には前記容器上部開口部の径と
同じかそれより大きい径を有し、かつ中心部に窒素を流
出させるための開口部を有する容器上部密閉用の石英板
が設けられている紫外線硬化型樹脂膜の硬化装置が提供
される。
ク状支持体に形成された紫外線硬化型樹脂膜を硬化させ
る装置において、上部は前記支持体の径より大きい径の
開口部があり、下部は前記支持体の径より小さい底部か
らなる円錐柱状の容器であって、容器内部の中央には前
記支持体を載置し回転するためのターンテーブルが設け
られ、容器側（斜）面には窒素が流入するための開口部
を有し、該開口部上部はターンテーブル上に支持体が載
置されたとき支持体表面よりも上側に存在し、該開口部
下部は支持体表面よりも下側に存在するように配置さ
れ、前記容器上部開口部には前記容器上部開口部の径と
同じかそれより大きい径を有し、かつ中心部に窒素を流
出させるための開口部を有する容器上部密閉用の石英板
が設けられている紫外線硬化型樹脂膜の硬化装置が提供
される。
【０００６】又、上記硬化装置においては、容器側面に
窒素の流入口のみ設け、窒素の流出口は容器上部の開口
部を密閉する石英板の中心部に設けたが、容器側面に窒
素の流入口及び流出口を設け、石英板には流出口を設け
ないもの、或いは石英板にも流出口を設けたものも提供
される。
窒素の流入口のみ設け、窒素の流出口は容器上部の開口
部を密閉する石英板の中心部に設けたが、容器側面に窒
素の流入口及び流出口を設け、石英板には流出口を設け
ないもの、或いは石英板にも流出口を設けたものも提供
される。
【０００７】
【作用】 開口部の径が支持体の径より大きく、かつ底部では支
持体の径より小さな径を有する円錐柱状の形状としてい
るため、円錐柱状の側面及び底部からの紫外線の反射が
起こり、支持体端部及び表面の紫外線硬化型樹脂膜の硬
化効率が向上する。 窒素流入口をその開口部上部が支持体表面よりも上側
に存在し、窒素流入口の開口部下部が支持体表面よりも
下側に存在するように配置し、窒素流出口を窒素流入口
と同様の形態で、あるいは硬化容器密閉用の石英板の中
心部に設けたので窒素が支持体の紫外線硬化型樹脂表面
をなめるように流れて、排出させることができ、紫外線
硬化型樹脂膜表面における酸素と樹脂中のラジカルとの
結合を抑制することが可能となり飛躍的に硬化効率が向
上する。
持体の径より小さな径を有する円錐柱状の形状としてい
るため、円錐柱状の側面及び底部からの紫外線の反射が
起こり、支持体端部及び表面の紫外線硬化型樹脂膜の硬
化効率が向上する。 窒素流入口をその開口部上部が支持体表面よりも上側
に存在し、窒素流入口の開口部下部が支持体表面よりも
下側に存在するように配置し、窒素流出口を窒素流入口
と同様の形態で、あるいは硬化容器密閉用の石英板の中
心部に設けたので窒素が支持体の紫外線硬化型樹脂表面
をなめるように流れて、排出させることができ、紫外線
硬化型樹脂膜表面における酸素と樹脂中のラジカルとの
結合を抑制することが可能となり飛躍的に硬化効率が向
上する。
【０００８】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。
る。
【０００９】〔実施例１〕図１は本発明による円錐柱状
の容器１からなる紫外線硬化型装置の断面を示すもので
ある。図において、容器内部の中央にはディスク状支持
体６を載置し回転させるための脚付きのターンテーブル
２が設けられ、容器の側面には窒素流入口４が設けられ
ている。窒素流入口４の上部は図のようにターンテーブ
ル２上に載置されたディスク状支持体６の表面より上側
にあり、流入口下部は支持体表面より下側に存在するよ
うに設けられている。容器上部は開口部であるが、図の
ようにターンテーブル２上にディスク状支持体（基体）
等が載置された後、この開口部12は石英板３が被せられ
る。石英板３は開口部の径と同じかそれより少し大きい
径を有し、中央部には窒素流出口５が設けられている。
流入口４から流入した窒素はこの流出口５から排出され
る。
の容器１からなる紫外線硬化型装置の断面を示すもので
ある。図において、容器内部の中央にはディスク状支持
体６を載置し回転させるための脚付きのターンテーブル
２が設けられ、容器の側面には窒素流入口４が設けられ
ている。窒素流入口４の上部は図のようにターンテーブ
ル２上に載置されたディスク状支持体６の表面より上側
にあり、流入口下部は支持体表面より下側に存在するよ
うに設けられている。容器上部は開口部であるが、図の
ようにターンテーブル２上にディスク状支持体（基体）
等が載置された後、この開口部12は石英板３が被せられ
る。石英板３は開口部の径と同じかそれより少し大きい
径を有し、中央部には窒素流出口５が設けられている。
流入口４から流入した窒素はこの流出口５から排出され
る。
【００１０】又、窒素を紫外線硬化型樹脂表面をなめる
ように流すために石英板３と支持体６との距離が10mm以
下となるように設けることが好ましい。更に同様の作用
を行なわせるため窒素流出口の径は窒素流入口の径と同
じかそれよりも大きくすることが好ましく、容器側面の
窒素流入口または流出口の径は支持体の厚さの２倍以上
の径とすることが更に好ましい。又、窒素気流と空気と
の置換を迅速かつ円滑に行うため窒素流入口や窒素流出
口は複数箇所設けることが望ましい。
ように流すために石英板３と支持体６との距離が10mm以
下となるように設けることが好ましい。更に同様の作用
を行なわせるため窒素流出口の径は窒素流入口の径と同
じかそれよりも大きくすることが好ましく、容器側面の
窒素流入口または流出口の径は支持体の厚さの２倍以上
の径とすることが更に好ましい。又、窒素気流と空気と
の置換を迅速かつ円滑に行うため窒素流入口や窒素流出
口は複数箇所設けることが望ましい。
【００１１】次に上記図１の装置を用いて試験した結果
を示す。三菱レイヨン社製ＵＲ−4502（紫外線硬化型樹
脂）をスピンコート塗布法により130mmφのＰＣ基板上
に膜厚約３μｍの膜を形成した。この膜に対して図１に
示す硬化容器を用いて紫外線強度約40mw/cm2、窒素流入
量約10 l/minという条件下で基板表面の紫外線硬化型樹
脂が硬化するのに必要な紫外線照射時間をタック試験に
より調べたところ約11秒であった。又、この時の基板の
温度上昇は12℃であった。尚、紫外線照射は容器に対し
て垂直上方から照射した。
を示す。三菱レイヨン社製ＵＲ−4502（紫外線硬化型樹
脂）をスピンコート塗布法により130mmφのＰＣ基板上
に膜厚約３μｍの膜を形成した。この膜に対して図１に
示す硬化容器を用いて紫外線強度約40mw/cm2、窒素流入
量約10 l/minという条件下で基板表面の紫外線硬化型樹
脂が硬化するのに必要な紫外線照射時間をタック試験に
より調べたところ約11秒であった。又、この時の基板の
温度上昇は12℃であった。尚、紫外線照射は容器に対し
て垂直上方から照射した。
【００１２】〔比較例〕硬化容器として窒素流入口の位
置を基板の下方に配置（窒素流入口の開口部上部が基板
下面より下側に存在）させたこと以外は実施例１と同様
にして硬化時間を調べたところ26秒であった。又、この
時の基板の温度上昇は31℃であった。
置を基板の下方に配置（窒素流入口の開口部上部が基板
下面より下側に存在）させたこと以外は実施例１と同様
にして硬化時間を調べたところ26秒であった。又、この
時の基板の温度上昇は31℃であった。
【００１３】〔実施例２〕図２は本発明の別の紫外線硬
化装置の例を示す断面図である。図１のものとは異な
り、容器側面に窒素流入口４のみでなく窒素流出口５も
設け、石英板３には窒素流出口を設けなかった。図２の
装置を用いて実施例１と同様の試験を行ったところ、実
施例１とぼぼ同様の結果が得られた。
化装置の例を示す断面図である。図１のものとは異な
り、容器側面に窒素流入口４のみでなく窒素流出口５も
設け、石英板３には窒素流出口を設けなかった。図２の
装置を用いて実施例１と同様の試験を行ったところ、実
施例１とぼぼ同様の結果が得られた。
【００１４】
【発明の効果】以上のように本発明の紫外線硬化型樹脂
膜の硬化装置によれば硬化時間を大幅に短縮することが
できるとともに紫外線照射による基板その他記録層等を
設けた記録媒体の温度上昇を低く抑えることができる。
膜の硬化装置によれば硬化時間を大幅に短縮することが
できるとともに紫外線照射による基板その他記録層等を
設けた記録媒体の温度上昇を低く抑えることができる。
【図１】本発明の硬化装置の実施例の断面を示す概略
図。
図。
【図２】本発明の別の硬化装置の例の断面を示す概略
図。
図。
【図３】図１の硬化装置の平面を示す概略図。
１ 容器 ２ ターンテーブル ３ 石英板 ４ 窒素流入口 ５ 窒素流出口 ６ 光ディスク状支持体（基体）又は光情報記録媒体
Claims (3)
- 【請求項１】 ディスク状の支持体に形成された紫外線
硬化型樹脂膜を硬化させる装置において、上部は前記支
持体の径より大きい径の開口部からなり、下部は前記支
持体の径より小さい径の底部からなる円錐柱状の容器で
あって、容器内部の中央には前記支持体を載置し回転す
るためのターンテーブルが設けられ、容器側（斜）面に
は窒素流入のための開口部を有し、該開口部上部はター
ンテーブル上に支持体が載置されたとき支持体表面より
も上側に存在し、該開口部下部は支持体表面よりも下側
に存在するように設けられ、前記容器上部開口部には前
記容器上部開口部の径と同じかそれより大きい径を有
し、かつ中心部に窒素流出のための開口部を有する容器
上部密閉用の石英板が設けられていることを特徴とする
紫外線硬化型樹脂膜の硬化装置。 - 【請求項２】 ディスク状の支持体に形成された紫外線
硬化型樹脂膜を硬化させる装置において、上部は前記支
持体の径より大きい径の開口部からなり、下部は前記支
持体の径より小さい径の底部からなる円錐柱状の容器で
あって、容器内部の中央には前記支持体を載置し回転す
るためのターンテーブルが設けられ、容器側（斜）面に
は窒素流出入のための開口部を有し、該窒素流入口及び
窒素流出口の開口部上部はターンテーブル上に支持体が
載置されたとき支持体表面よりも上側に存在し、該窒素
流入口及び窒素流出口の開口部下部は支持体表面よりも
下側に存在するように配置され、前記容器上部開口部に
は前記容器上部開口部の径と同じかそれより大きい径を
有する容器上部密閉用の石英板が設けられていることを
特徴とする紫外線硬化型樹脂膜の硬化装置。 - 【請求項３】 前記石英板の中心部に窒素流出のための
開口部が設けられていることを特徴とする請求項２記載
の紫外線硬化型樹脂膜の硬化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32584792A JP3388789B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 紫外線硬化型樹脂膜の硬化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32584792A JP3388789B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 紫外線硬化型樹脂膜の硬化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06170855A true JPH06170855A (ja) | 1994-06-21 |
| JP3388789B2 JP3388789B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=18181285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32584792A Expired - Fee Related JP3388789B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 紫外線硬化型樹脂膜の硬化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3388789B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5777979A (en) * | 1995-11-28 | 1998-07-07 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for laser exposure of a substrate disk and a method for the centered mounting of a substrate disk |
| WO1998049010A3 (de) * | 1997-04-30 | 1999-02-11 | Steag Hamatech Gmbh Machines | Verfahren und vorrichtung zum verkleben von zwei substraten |
| JP2009048711A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Ricoh Co Ltd | 光記録媒体の製造方法及び光記録媒体 |
| JP2012206266A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Lintec Corp | 光照射装置および光照射方法 |
-
1992
- 1992-12-04 JP JP32584792A patent/JP3388789B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5777979A (en) * | 1995-11-28 | 1998-07-07 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for laser exposure of a substrate disk and a method for the centered mounting of a substrate disk |
| WO1998049010A3 (de) * | 1997-04-30 | 1999-02-11 | Steag Hamatech Gmbh Machines | Verfahren und vorrichtung zum verkleben von zwei substraten |
| CN1087223C (zh) * | 1997-04-30 | 2002-07-10 | 施蒂格哈马技术股份公司 | 用于胶合两个基片的方法和装置 |
| JP2009048711A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Ricoh Co Ltd | 光記録媒体の製造方法及び光記録媒体 |
| JP2012206266A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Lintec Corp | 光照射装置および光照射方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3388789B2 (ja) | 2003-03-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080117 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090117 Year of fee payment: 6 |
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