JPH06165471A - 可動マグネット形リニア直流モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 移動子の重量を軽減して負荷負担を軽くする
ことで推力向上を図ると共に滑らかな推力リップル特性
を得る。 【構成】 分割移動子３Ａ，３Ｂはその界磁マグネット
６Ａ，６Ｂが互いに他の分割移動子の界磁マグネットか
らそれぞれ略（１＋１／８）λ幅の距離だけ移動子の移
動方向に位相をずらせて配置形成し、分割マグネットヨ
ーク８Ａ，８Ｂよりも比重の軽い材質で形成した分割移
動子位置決め部材１２にて、２以上の分割移動子３Ａ，
３Ｂを一体化して移動する移動子３に形成することで上
記分割マグネットヨーク８Ａ，８Ｂ間に界磁マグネット
６を設けない部分を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、移動子の重量を軽減し
て負荷負担を軽くすることで推力向上を図ると共に滑ら
かな推力リップル特性を得ることができるようにした可
動マグネット形リニア直流モータに関する。

【０００２】

【従来技術】図４は、従来の多極多相型の可動マグネッ
ト形リニア直流ブラシレスモータ１−１で、これについ
て以下に説明する。この可動マグネット形リニア直流ブ
ラシレスモータ１−１は、図示しない直動案内レールに
コアレスステータ電機子２を配置し、上記直動案内レー
ルに沿って移動子３−１が直線移動するように構成され
ている。

【０００３】図示しない直動案内レールは、固定側のス
テータヨークを兼ねるために磁性体でできたものを用い
ており、その直動案内レール面に適宜な手段を用いて、
図示しない導電プリント配線パターンを形成した長板状
のプリント配線基板４を配置する。

【０００４】磁性体でできたものでない直動案内レール
を用いる場合には、磁性体板を介して、上記プリント配
線基板４を配置する。プリント配線基板４には、移動子
３−１の長手方向に沿って空心型の電機子コイル５群を
それぞれ略λ（但し、λ＝Ｔ＋Ｔ／８。Ｔは界磁マグネ
ット６−１の一磁極の幅）ピッチの等間隔配置で、互い
に重ならないように隣接配置してコアレス構造のコアレ
スステータ電機子２を形成する。

【０００５】電機子コイル５について説明すると、この
例における電機子コイル５は、矩形枠状の空心型のもの
となるように導線を多数ターン巻回して形成されたもの
であるが、プリント手段、めっき手段あるいはエッチン
グ手段を用いたシートコイル等にて形成したものでも良
い。

【０００６】かかる空心型の電機子コイル５群による
と、効率及び性能の良好なリニア往復１８０度通電方式
を採用することができるように、移動子３−１の走行方
向と直交する方向に延びた推力の発生に寄与する２つの
有効導体部５ａと５ａとの開角を、後記する界磁マグネ
ット６−１の移動子３−１の走行方向におけるＮ極、Ｓ
極の一磁極幅Ｔの開角となるように巻線形成する。

【０００７】尚、電機子コイル５において、移動子３−
１の移動方向と平行な２つの導体部５ｂは、推力の発生
にあまり寄与しない導体部となっている。

【０００８】また電機子コイル５は、上記推力の発生に
あまり寄与しない２つの導体部５ｂと導体部５ｂの外側
までの長さが、界磁マグネット６−１のその方向の幅よ
りも少し短い長さのものに形成する。

【０００９】プリント配線基板４には、電機子コイル５
群及び界磁マグネット６の磁極状態に応じて電機子コイ
ル５群の通電の切り換えを行うための位置検知用として
のホール素子等の磁極判別素子７を配置し、電機子コイ
ル５および磁極判別素子７に電源を供給すると共に、出
力信号を得るための図示しない導電配線パターンを形成
する。

【００１０】上記磁極判別素子７としては、ホールＩ
Ｃ、ホール素子、磁気抵抗素子等の適宜な磁電変換素子
を用いればよい。

【００１１】磁極判別素子７群は、それぞれ電機子コイ
ル５の発生推力に寄与する導体部５ａと該導体部５ａと
直交して形成された推力の発生にあまり寄与しない導体
部５ｂとが交叉する導体部延長線上の界磁マグネット６
−１と対向する上記プリント配線基板４面位置に配設
し、上記界磁マグネット６−１のＮ極，Ｓ極の磁極を検
出することができるようにする。

【００１２】磁極判別素子７からの、上記界磁マグネッ
ト６−１のＮ極，Ｓ極の磁極に応じた出力信号に基づい
て図示しない通電制御回路内のドライバーが作動して所
定方向の推力が発生するように上記電機子コイル５群に
適宜方向の通電を行う。

【００１３】移動子３−１は、長板状のマグネットヨ−
ク８−１の下部内面の、上記コアレスステータ電機子２
と対向する面に空隙を介して界磁マグネット６−１を設
けて、ステータ電機子２と相対的移動するように構成し
てある。

【００１４】マグネットヨーク８−１の下部内面には、
上記移動子３−１の移動方向に沿って隣り配置の磁極が
異極となるようにＴ幅に形成したＮ極，Ｓ極の磁極をＰ
（Ｐは２以上の整数）個等間隔に隣接配置して形成した
１０極の界磁マグネット６−１を接着剤などの適宜な手
段を用いて固設する。

【００１５】以上のような構成からなる可動マグネット
形リニア直流ブラシレスモータ１−１では、移動子３−
１が移動した場合に得られる推力（トルク）リップル
は、図５に示すように得られる。

【００１６】図５を参照して更に説明すると、電機子コ
イル５群は互いに略λ（Ｔ＋Ｔ／８）ピッチの、等間隔
配置に配置したコアレスステータ電機子２を形成し、界
磁マグネット６−１の５極のみを取り上げるものとする
と、界磁マグネット６−１がコアレスステータ電機子２
と相対的移動した場合、上記λの範囲における推力リッ
プル曲線９−１は、図５に示すように推力リップルの粗
いものとなって現れる。

【００１７】この種の可動マグネット形リニア直流ブラ
シレスモータ１−１は、コアレス構造で、しかも多相の
構造となっているため、リニアパルスモータや有鉄心形
リニア直流モータに比較して滑らかな推力リップル特性
を持つものとして高度精密測定器などに採用されてい
る。

【００１８】ここに、半導体製造装置などの更に高精度
の要求される装置において使用される可動マグネット形
リニア直流モータでは、更に滑らかな推力リップル特性
が要求される。

【００１９】そこで本発明者は、上記した可動マグネッ
ト形リニア直流ブラシレスモータ１−１にわずかな設計
変更を施すのみで、従来のものに比較して推力リップル
数を２倍にし、１／２倍に推力リップルを押さえて極め
て滑らかに移動８を走行できるように構成すると共に、
合成推力特性をも向上させることを可能にした図６に示
す可動マグネット形リニア直流ブラシレスモータ１−２
を既に提案しているので、以下にこれについて図６以下
を参照して説明する。

【００２０】この可動マグネット形リニア直流ブラシレ
スモータ１−２では、上記可動マグネット形リニア直流
ブラシレスモータ１−１同様に推力に寄与する導体部５
ａと５ａの開角幅を界磁マグネット６−１の一磁極幅Ｔ
と同じ幅に形成した電機子コイル５を略λ（但し、λ＝
Ｔ＋Ｔ／８）幅ピッチで配設したコアレスステータ電機
子２及び上記条件と同じ条件位置に配設した磁極判別素
子７を固定側に持ち、後記する界磁マグネット６と相対
的移動する位置に配設している点は、上記可動マグネッ
ト形リニア直流ブラシレスモータ１−１と同様で、異な
る点は界磁マグネット６を持つ移動子３−２の構成にあ
る。

【００２１】移動子３−２は、上記マグネットヨーク８
−１同様の長板状のマグネットヨーク８−２の内部下面
に、２組の界磁マグネット６Ａ，６Ｂが、略々（１＋１
／８）λ幅（但し、λ＝Ｔ＋Ｔ／８）の距離だけ移動子
３−２の移動方向に位相をずらせて配置形成してある。

【００２２】２組の界磁マグネット６Ａ，６Ｂは、隣接
する磁極が異極となるように略々Ｔ幅の磁極のＮ極，Ｓ
極の磁極を隣接配置して形成した５極の長板状のもので
あり、上記の通りこれらが（１＋１／８）λの間隔をお
いて並べてある。

【００２３】このように界磁マグネット６を２組の界磁
マグネット６Ａと６Ｂに分けており、かつ界磁マグネッ
ト６−１，６のＮ極，Ｓ極の一磁極の幅をＴ幅に形成し
ているため、移動子３−１，３−２の移動方向における
Ｎ極，Ｓ極の一磁極の幅Ｔを３０ｍｍとした場合、図４
の可動マグネット形リニア直流ブラシレスモータ１−１
の場合は、図７に示すように界磁マグネット６−１はそ
の長手方向の長さは３００ｍｍで済むのに対して、この
可動マグネット形リニア直流ブラシレスモータ１−２の
場合の界磁マグネット６の場合には、２つの界磁マグネ
ット６Ａと６Ｂ間を上記条件：（１＋１／８）λの幅だ
け離して配設することになるので、（１＋１／８）λの
幅だけ、すなわち図８に示すように３５ｍｍ長い３３５
ｍｍのものになる。

【００２４】尚、界磁マグネット６−１，６ともこれを
固着したマグネットヨーク８−１，８−２は、その外側
の端部を界磁マグネット６−１，６−２よりも＋αだけ
長めに形成する。

【００２５】マグネットヨーク８の下面には、２組の界
磁マグネット６Ａと６Ｂの間隙に、樹脂、接着剤、銅、
アルミニウム等の非磁性体からなる界磁マグネット位置
決め部材１１が設けてある。

【００２６】以上のような２組の界磁マグネット６Ａと
６Ｂから構成された界磁マグネット６を持つ移動子３−
２と磁極判別素子７群及び電機子コイル５群からなるコ
アレスステータ電機子２との展開図は、図９に示すよう
に現すことができる。

【００２７】尚、磁極判別素子７としては、４端子ホー
ル素子を用いるものとし、２つの電源端子及び２つの出
力端子は、図示しない制御回路に接続する。

【００２８】制御回路の電源が閉成され、可動マグネッ
ト形リニア直流ブラシレスモータ１を動作可能な状態に
しておくと、界磁マグネット６Ａ，６ＢのＮ極，Ｓ極の
磁極を検出している磁極判別素子７からの出力に基づい
て、当該界磁マグネット６Ａ，６Ｂと対向している電機
子コイル５には、所定方向の通電がなされ、所定方向の
推力を得て移動子３は、図示しないエンコーダと制御回
路からの信号に制御されて所定方向に走り出す。

【００２９】可動マグネット形リニア直流ブラシレスモ
ータ１−２の場合、２組の５極の界磁マグネット６Ａと
６Ｂを略々（１＋１／８）λ幅（但し、λ＝Ｔ＋Ｔ／
８）の距離だけ移動子３の移動方向に位相をずらせて配
置形成した界磁マグネット６を用いているため、移動子
３−２が移動した場合に得られる推力（トルク）リップ
ルは、図１０に示すように得られる。

【００３０】図１０を参照して更に説明すると、いま電
機子コイル５群は互いにλ（Ｔ＋Ｔ／８）ピッチの、等
間隔配置に配置してコアレスステータ電機子２を形成
し、５極の界磁マグネット６Ａ，６Ｂそれぞれがコアレ
スステータ電機子２と相対的移動した場合、上記λの範
囲における５極の界磁マグネット６Ａ，６Ｂそれぞれに
よって得られる推力リップル曲線９Ａ，９Ｂは、図１０
に示すように互いに（１＋１／８）λだけ位相がずれて
得られる。２つの推力リップル曲線９Ａ，９Ｂによれ
ば、従来以前の可動マグネット形リニア直流ブラシレス
モータ１−１によって得られる図５に示す推力リップル
曲線９−１に比較して２倍のリップル数が得られるの
で、２つの推力リップル曲線９Ａ，９Ｂが合成された推
力リップル曲線は、従来の図５に示す推力リップル曲線
９−１に比較して１／２の滑らかな推力リップル特性に
なり、極めて滑らかな推力リップル特性の可動マグネッ
ト形リニア直流ブラシレスモータ１−２を得ることがで
きる。

【００３１】また従来の可動マグネット形リニア直流ブ
ラシレスモータ１−１によって得られる図５に示す推力
リップル曲線９−１に比較して２倍のリップル数が得ら
れるので、２つの推力リップル曲線９Ａ，９Ｂが合成さ
れた合成推力曲線１０も図１０に示すように、高い推力
レベルとなるためより大きな推力を得ることのできる可
動マグネット形リニア直流ブラシレスモータ１−２を得
ることができる。

【００３２】以上のように改良された可動マグネット形
リニア直流ブラシレスモータ１−２は、非常に有用なも
のである。

【００３３】

【従来技術の欠点】しかしながら、当該可動マグネット
形リニア直流ブラシレスモータ１−２の性能を更に向上
させるためなどの理由で、もしも界磁マグネット６の種
類を変えた場合には、その種類によっては、その界磁マ
グネット６の重量もさることながら、その界磁マグネッ
ト６の磁路を十分に閉じるために厚みのある重量の重い
マグネットヨーク８−２を用いる必要が生じ、負荷負担
の大きな可動マグネット形リニア直流ブラシレスモータ
１−２になる欠点がある。

【００３４】またマグネットヨーク８−２は、上記した
理由から上記マグネットヨーク８−１よりも略（１＋１
／８）λ幅だけ長いものに形成しなければならないた
め、その長さ幅分だけ重量の重いマグネットヨーク８−
２を用いなければならず、ますます負荷負担の大きな可
動マグネット形リニア直流ブラシレスモータ１−２にな
る欠点を持つ。

【００３５】

【発明の目的】本発明の目的は、上記した可動マグネッ
ト形リニア直流ブラシレスモータ１−２の特徴を殺すこ
となく、当該リニア直流ブラシレスモータ１−２の移動
子３−２の負荷負担を軽くすること、及び２つのマグネ
ット６Ａと６Ｂの位置決めを容易にして、より性能の良
い可動マグネット形リニア直流ブラシレスモータを得る
ことにある。

【００３６】

【目的を達成するための手段】かかる本発明の目的は、
コアレスステータ電機子はそれぞれλ（但し、λ＝Ｔ＋
Ｔ／８。Ｔは界磁マグネットの一磁極の幅）ピッチの等
間隔配置で形成した電機子コイル群で形成し、上記移動
子のマグネットヨークを分割形成し、該分割マグネット
ヨークそれぞれに隣接する磁極が異極となるようにＴ幅
の等しい幅で着磁されたＮ極，Ｓ極の磁極をＰ個（Ｐは
２以上の整数）有する界磁マグネットを設けて分割移動
子を構成し、当該分割移動子はその界磁マグネットが互
いに他の分割移動子の界磁マグネットからそれぞれ（１
＋１／８）λ幅の距離だけ移動子の移動方向に位相をず
らせて配置形成し、上記分割移動子の分割マグネットヨ
ークよりも比重の軽い材質からなり２以上の分割移動子
を連結し一体的に移動可能にする分割移動子位置決め部
材を界磁マグネット間の間隙に設けることで達成でき
る。

【００３７】

【発明の作用】２組の５極の界磁マグネット６Ａと６Ｂ
を略々（１＋１／８）λ幅（但し、λ＝Ｔ＋Ｔ／８）の
距離だけ移動子３の移動方向に位相をずらせて配置形成
した界磁マグネット６を用いているため、移動子３が移
動した場合に得られる推力（トルク）リップルは、図１
０に示すように得られ、５極の界磁マグネット６Ａ，６
Ｂそれぞれがコアレスステータ電機子２と相対的移動し
た場合、上記λの範囲における５極の界磁マグネット６
Ａ，６Ｂそれぞれによって得られる推力リップル曲線９
Ａ，９Ｂのように互いに略（１＋１／８）λ位相がず
れ、極めて滑らかな推力リップル特性が得られるのみな
らず、２つの推力リップル曲線９Ａ，９Ｂが合成された
合成推力曲線１０も高い推力レベルとなるため、より大
きな推力を得ることのできる可動マグネット形リニア直
流ブラシレスモータ１となる。

【００３８】また移動子３は、２つの分割移動子３Ａと
３Ｂとを離して配設しており、その離れた部分には、マ
グネットヨーク及び界磁マグネットが存在しないため、
移動子３の重量を軽くでき、負荷負担の小さな可動マグ
ネット形リニア直流ブラシレスモータ１となる。

【００３９】

【実施例】図１は本発明の一実施例としての可動マグネ
ット形リニア直流ブラシレスモータ１の主要部を表す斜
視図で、図２は同可動マグネット形リニア直流ブラシレ
スモータ１の移動子３の主要部を表す分解斜視図で、図
３は図２の移動子３の側面図である。

【００４０】本発明の可動マグネット形リニア直流ブラ
シレスモータ１は、上記従来の可動マグネット形リニア
直流ブラシレスモータ１−１，１−２と異なるのは移動
子３の部分のみである。

【００４１】本発明の可動マグネット形リニア直流ブラ
シレスモータ１は、上記従来の可動マグネット形リニア
直流ブラシレスモータ１−２の移動子３−２同様に移動
子３の移動方向における長さと同じ長さのものとなる。

【００４２】しかしながら、可動マグネット形リニア直
流ブラシレスモータ１の移動子３が持つマグネットヨー
ク８（分割マグネットヨーク８Ａと８Ｂで構成する）
は、図２及び図３に示すように全体として上記可動マグ
ネット形リニア直流ブラシレスモータ１−１の移動子８
−１が持つマグネットヨーク８−１の長さと同じ長さに
構成できる。すなわち上記可動マグネット形リニア直流
ブラシレスモータ１−２の移動子３−２に用いたマグネ
ットヨーク８−２に比較して上記条件；（１＋１／８）
λ幅の長さ分だけ短くできるので、その分だけ重量の軽
いマグネットヨーク８となり、移動子３の重量を軽くで
きるので、負荷負担のを小さくした可動マグネット形リ
ニア直流ブラシレスモータ１を構成できる。

【００４３】これは本発明の可動マグネット形リニア直
流ブラシレスモータ１が、従来の可動マグネット形リニ
ア直流ブラシレスモータ１−２と同じように２組の界磁
マグネット６Ａと６Ｂを用いて界磁マグネット６を形成
しているにもかかわらず、上記従来の可動マグネット形
リニア直流ブラシレスモータ１−１のマグネットヨーク
８−１をその長手方向における中心位置で２つに分割し
て、２つの分割マグネットヨーク８Ａ、８Ｂを形成し、
２つの分割マグネットヨーク８Ａ，８Ｂを上記条件；
（１＋１／８）λの長さだけ移動子３の長手方向にずら
せて配置するため、その長さだけ可動マグネット形リニ
ア直流ブラシレスモータ１−２のマグネットヨーク８−
２よりもその長手方向における長さを短くできることに
よる。

【００４４】すなわち、２つの分割マグネットヨーク８
Ａと８Ｂを移動子３の長手方向に連接した場合の長さ
は、ちょうど可動マグネット形リニア直流ブラシレスモ
ータ１−１のマグネットヨーク８−１と同じ長さに形成
できる。

【００４５】以上のように形成した２つの分割マグネッ
トヨーク８Ａ，８Ｂそれぞれには、互いに隣り配置に位
置する側の分割マグネットヨーク８Ａ，８Ｂの端部に、
上記界磁マグネット６Ａ，６Ｂの端部を一致させてコア
レスステータ電機子２と対向する分割マグネットヨーク
８Ａ，８Ｂ面に界磁マグネット６Ａ，６Ｂを接着固定し
て２つの分割移動子３Ａ，３Ｂを形成する。

【００４６】ここに２つの分割移動子３Ａと３Ｂは、一
体化して一体に移動する移動子３に形成する必要がある
ことと、推力及び推力リップル特性の向上を図るため
に、２つの界磁マグネット６Ａと６Ｂとを移動子３の長
手方向において上記条件：（１＋１／８）λの幅だけ位
置決め配設する必要がある。

【００４７】２つの界磁マグネット６Ａと６Ｂとを移動
子３の長手方向に上記条件：（１＋１／８）λの幅だけ
離して位置させる為には、上記２つの分割移動子３Ａと
３Ｂとを正しく位置決めして一体化する必要がある。

【００４８】そこで、この可動マグネット形リニア直流
ブラシレスモータ１では、上記分割マグネットヨーク８
Ａと８Ｂ間に入り込む、長手方向の幅が（１＋１／８）
λの幅の位置決め突起１２を下端部に形成した凸状の分
割移動子位置決め部材１３を用い、この位置決め部材１
３の位置決め突起１２を分割マグネットヨーク８Ａと８
Ｂ間に嵌着し、位置決め部材１３の両鍔１４を分割マグ
ネットヨーク８Ａと８Ｂの上面に係合させると共に、接
着固定、螺子止め固定などの適宜な手段にて固定するこ
とで、２つの分割移動子３と３Ｂとを連結一体化して、
一体して移動する分割移動子連結部に界磁マグネット６
が存在しない移動子３を構成する。

【００４９】尚、本発明の目的の一つは、移動子３の重
量を軽くし、可動マグネット形リニア直流ブラシレスモ
ータ１の負荷負担を小さくすることにあるので、上記分
割移動子位置決め部材１３は、その位置決め突起１２の
厚みを分割マグネットヨーク８Ａ，８Ｂの厚み程度のも
のに形成し、また材質としては、分割マグネットヨーク
８Ａ，８Ｂを形成する素材よりも軽く、界磁マグネット
８Ａと６Ｂとが磁気的に閉じにくい材質のもの、例えば
アルミニウム材、銅材あるいは樹脂材等の非磁性体で形
成すると都合良い。

【００５０】

【発明の効果】本発明の可動マグネット形リニア直流モ
ータによれば、移動子の重量を軽くでき、また推力及び
推力リップル特性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例としての可動マグネット形リ
ニア直流ブラシレスモータの主要部を表す斜視図であ
る。

【図２】同可動マグネット形リニア直流ブラシレスモー
タの移動子の主要部を表す分解斜視図である。

【図３】図２の移動子の側面図である。

【図４】多極多相型の可動マグネット形リニア直流ブラ
シレスモータの第１の従来例の概略分解斜視図である。

【図５】可動マグネット形リニア直流ブラシレスモータ
の第１の従来例によって得られる推力リップル曲線の説
明図である。

【図６】可動マグネット形リニア直流ブラシレスモータ
の第２の従来例の主要部を表す斜視図である。

【図７】可動マグネット形リニア直流ブラシレスモータ
の第１の従来例に用いられる界磁マグネットの説明図で
ある。

【図８】可動マグネット形リニア直流ブラシレスモータ
の第２の従来例に用いられる界磁マグネットの説明図で
ある。

【図９】可動マグネット形リニア直流ブラシレスモータ
の第２の従来例の２組の界磁マグネットと電機子コイル
群からなるコアレスステータ電機子との展開図である。

【図１０】可動マグネット形リニア直流ブラシレスモー
タの第２の従来例によって得られる推力リップル曲線及
び合成推力曲線の説明図である。

【符号の説明】

１，１−１，１−２ 可動マグネット形リニア直流ブラ
シレスモータ ２ コアレスステータ電機子 ３，３−１，３−２ 移動子 ３Ａ，３Ｂ 分割移動子 ４ プリント配線基板 ５ 電機子コイル ５ａ 推力の発生に寄与する導体部 ５ｂ 推力の発生に寄与しない導体部 ６，６Ａ，６Ｂ，６−１ 界磁マグネット ７ 磁極判別素子 ８，８−１，８−２ マグネットヨーク ８Ａ，８Ｂ 分割マグネットヨーク ９Ａ，９Ｂ，９−１ 推力リップル曲線 １０ 合成推力曲線 １１ 界磁マグネット位置決め部材 １２ 位置決め突起 １３ 分割移動子位置決め部材 １４ 鍔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神尾 尚 東京都墨田区太平四丁目１番１号 株式会 社精工舎内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 移動子の走行方向に沿ってステータ電機
   子を備えた固定子と、該ステータ電機子と対向するマグ
   ネットヨーク面に隣配置の磁極が異極となるようにＮ
   極，Ｓ極の磁極をＰ個（Ｐは２以上の整数）設けて形成
   した界磁マグネットを備え上記ステータ電機子と相対的
   に移動する移動子とを有する可動マグネット形リニア直
   流モータにおいて、上記ステータ電機子はそれぞれ略λ
   （但し、λ＝Ｔ＋Ｔ／８：Ｔは界磁マグネットの一磁極
   の幅）ピッチで実質的に等間隔に配置された電機子コイ
   ル群からなり、上記移動子のマグネットヨークは分割形
   成されており、該分割マグネットヨークそれぞれに隣接
   する磁極が異極となるようにＴ幅の等しい幅で着磁され
   たＮ極，Ｓ極の磁極をＰ個（Ｐは２以上の整数）有する
   界磁マグネットにより分割移動子が形成され、当該分割
   移動子はその界磁マグネットが互いに他の分割移動子の
   界磁マグネットからそれぞれ略（１＋１／８）λ幅の距
   離だけ移動子の移動方向に位相をずらせて配置形成され
   ており、上記分割移動子の分割マグネットヨークよりも
   比重の軽い材質からなり２以上の分割移動子を連結し一
   体的に移動可能にする分割移動子位置決め部材が上記界
   磁マグネット間の間隙に設けられていることを特徴とす
   る可動マグネット形リニア直流モータ。