JPH06164268A - モノリシックマイクロ波増幅器 - Google Patents

モノリシックマイクロ波増幅器

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Publication number
JPH06164268A
JPH06164268A JP4311973A JP31197392A JPH06164268A JP H06164268 A JPH06164268 A JP H06164268A JP 4311973 A JP4311973 A JP 4311973A JP 31197392 A JP31197392 A JP 31197392A JP H06164268 A JPH06164268 A JP H06164268A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
amplifier
lines
line
stereoscopically
balanced
Prior art date
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Pending
Application number
JP4311973A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuru Ishikawa
満 石川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPH06164268A publication Critical patent/JPH06164268A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 単体増幅器からバランス型増幅器への変換を
容易に可能とし、バランス型増幅器をバイアホールを用
いて立体的に構成することにより、従来のものと比較し
て小型のバランス型増幅器を得、また、必要に応じて実
施するインピーダンスマッチングを容易にできるように
することを目的とする。 【構成】 半導体基板1の両面に単体増幅器4a、4b
を形成し、必要に応じて主線路6a、7aに各々立体交
差した副線路10a、10bを押圧することにより、そ
れぞれの面に設けた入力側線路6aと6b及び出力側線
路7aと7bをバイアホール5、8により導通させ、以
上により立体的構成のバランス型増幅器を形成してい
る。また、増幅器の主線路6a、7aに各々立体交差し
た別の副線路9a、9bを押圧することによりインダク
タンス成分が付加され、インピーダンスマッチングがと
れるような構成にしてある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、マイクロ波を増幅す
るモノリシックマイクロ波増幅器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図4は、従来のバランス型モノリシック
マイクロ波増幅器を示すもので、1はガリウムヒ素等か
らなる半導体基板、2a、2bはこの基板1に設けられ
ている1対の増幅器、3a、3bはそれぞれの基板上に
設けられた入力側線路と出力側線路である。
【0003】入力側線路3aに入ったマイクロ波は分岐
され、各増幅器2a、2bにより増幅された後、再度結
合して出力側線路3bより出力される。従来モノリシッ
クマイクロ波増幅器においては、単体増幅器を製作した
後その電気的特性を測定し、その後新たにバランス型増
幅器を製作し評価するという工程をとっていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法では、バラ
ンス型増幅器を新たに製作する為の時間及び費用の損失
が大きく、また、従来の増幅器は以上のように線路・増
幅器を半導体基板の同一面上に形成するので、基板サイ
ズが単一増幅器と比較してかなり大きいものとなり、且
つインピーダンスマッチングが単一増幅器と比べとりに
くいなどの問題点があった。
【0005】この発明は上記のような課題を解消する為
になされたもので、単体増幅器からバランス型増幅器へ
の変更が容易にでき、かつ従来のバランス型増幅器と比
較してサイズを小さくすることと、インピーダンスマッ
チングの調整をしやすくすることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】半導体基板の両面に増幅
器を形成し、それぞれの面に設けた入力線路同士及び出
力線路同士を各々接続させる為の穴(以後バイアホール
と称する)を設け、必要に応じ、増幅器の主線路に立体
交差した副線路を押圧することにより単体増幅器から立
体的構成のバランス型増幅器を形成し、増幅器の小型化
を達成するとともに、増幅器の主線路に立体交差した別
の副線路を押圧することによりインピーダンスマッチン
グの調整が簡単にできるようにしたものである。
【0007】
【作用】この発明におけるモノリシックマイクロ波増幅
器は、必要に応じて主線路に立体交差した各副線路を押
圧することにより、単一増幅器と同サイズのバランス型
増幅器が容易に実現される。また、増幅器の主線路に立
体交差した上記とは別の副線路を調整用として設けたの
で、インダクタンス成分の付加が容易である。
【0008】
【実施例】実施例1.以下、この発明の一実施例を図に
ついて説明する。図1(a)は増幅器の一方の面の図、
図1(b)は他方の面の図、図2は増幅器の断面図、図
3は主線路に立体交差した副線路部分の断面図である。
図において、4aは基板の一方の面に形成された増幅
器、4bは他方の面に形成された増幅器、5は必要に応
じて増幅器の一方の面の入力側線路6aと他方の面の入
力側線路6bとを導通させる時に有効となる入力側バイ
アホール、8は同様に増幅器の一方の面の出力側線路7
aと他方の面の出力側線路7bとを導通させる時に有効
となる出力側バイアホール、9a、9bは増幅器の主線
路6a、7aに各々立体交差したインピーダンスマッチ
ング用副線路、10a、10bは同様に増幅器の主線路
6a、7aに各々立体交差したバランス型増幅器変換用
副線路である。
【0009】図1〜図3において、必要に応じて副線路
10を押圧して図3(d)のように入出力側各主線路6
a、7aに導通させると、入力側主線路6aに入力して
きたマイクロ波は、入力側バイアホール5により分配さ
れ、両面に存在する増幅器4a、4bに入力される。こ
こで増幅されたマイクロ波は、出力側バイアホール8に
より結合され、出力側主線路7aより出力される。ま
た、この増幅器を評価した結果インピーダンスマッチン
グをとる必要がある場合、上記と同様に副線路9a、9
bを押圧して入出力側各主線路6a、7aに導通させる
と、インダクタンス成分が付加されたことになり、イン
ピーダンスマッチング調整が非常に容易となる。
【0010】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、半導
体基板上にマイクロ波増幅器本体の主線路をまたぐ別の
単体増幅回路を有する副線路を設け、バランス型増幅器
を実現する必要がある時にこの副線路を上記主線路に対
して押圧してこれに電気的に接触させるようにしたの
で、バランス型増幅器の実現を容易に行うことができ、
低コスト化及び開発期間の短縮を達成できる効果があ
る。また、従来平面的に構成していたバランス型増幅器
をバイアホールを用いて立体的に構成することにより、
従来のものと比較して小型のバランス型増幅器を得るこ
とができ、そのうえ、必要に応じて主線路と電気的導通
可能か別の副線路を入出力各主線路に設けたので、イン
ピーダンスマッチングがとりやすくなる効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による増幅器両面のパターン図である。
【図2】図1に示した増幅器の断面図である。
【図3】上記増幅器の副線路部分の断面図である。
【図4】従来のバランス型増幅器のパターン図である。
【符号の説明】
1 半導体基板 2 増幅器 3 主線路 4 増幅器 5 入力側バイアホール 6 入力側主線路 7 出力側主線路 8 出力側バイアホール 9 副線路 10 副線路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体基板と、この基板の両面にそれぞ
    れ設けた増幅器と、上記基板の両方の面に設けた増幅器
    に対応して設けた入力線路と、この入力線路に対応して
    設けた出力線路と、前記基板の厚さ方向に貫通し、かつ
    基板両面に設けられている入力線路同士及び出力線路同
    士を互いに接続する為に設けた穴と、上記入出力各線路
    をまたいで設けられた調整用副線路とで構成したことを
    特徴とするモノリシックマイクロ波増幅器。
JP4311973A 1992-11-20 1992-11-20 モノリシックマイクロ波増幅器 Pending JPH06164268A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011024281A1 (ja) * 2009-08-27 2011-03-03 株式会社 東芝 ドハティアンプシステム及びこれを用いた送信機

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