JPH06154694A - レジスト塗布装置 - Google Patents
レジスト塗布装置Info
- Publication number
- JPH06154694A JPH06154694A JP30840592A JP30840592A JPH06154694A JP H06154694 A JPH06154694 A JP H06154694A JP 30840592 A JP30840592 A JP 30840592A JP 30840592 A JP30840592 A JP 30840592A JP H06154694 A JPH06154694 A JP H06154694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cup
- resist
- spin cup
- substrate
- spin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 内部に基板を搭載して回転する回転ヘッドを
有し底部にレジストの廃液を溜める廃液溜りを設けたス
ピンカップと、スピンカップの上に搭載してスピンカッ
プの内部を密封する開閉可能なスピンカップ蓋と、スピ
ンカップから流れ出るレジストを貯蔵するドレンと、ド
レンと排気ファンとの間に設けられてスピンカップを封
止する電磁弁付きダンパと、回転ヘッドに搭載した基板
の上方の位置の外側に設けたインナリングとを備え、回
転塗布のとき、スピンカップ蓋と電磁弁付きダンパとに
よってスピンカップの内部を密封状態としてその雰囲気
をレジストの溶剤で充満させる。 【効果】 回転塗布によって飛散するレジストの乾燥を
防止しえ糸状のレジストの発生を阻止でき、基板から飛
散するレジストをインナリングに付着させて再飛散を防
止できる。従って基板に均一な膜厚のレジストを塗布す
ることが可能になる。
有し底部にレジストの廃液を溜める廃液溜りを設けたス
ピンカップと、スピンカップの上に搭載してスピンカッ
プの内部を密封する開閉可能なスピンカップ蓋と、スピ
ンカップから流れ出るレジストを貯蔵するドレンと、ド
レンと排気ファンとの間に設けられてスピンカップを封
止する電磁弁付きダンパと、回転ヘッドに搭載した基板
の上方の位置の外側に設けたインナリングとを備え、回
転塗布のとき、スピンカップ蓋と電磁弁付きダンパとに
よってスピンカップの内部を密封状態としてその雰囲気
をレジストの溶剤で充満させる。 【効果】 回転塗布によって飛散するレジストの乾燥を
防止しえ糸状のレジストの発生を阻止でき、基板から飛
散するレジストをインナリングに付着させて再飛散を防
止できる。従って基板に均一な膜厚のレジストを塗布す
ることが可能になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、印刷配線基板上にレジ
ストを塗布するためのレジスト塗布装置に関し、特に、
コンピュータ等の電子機器に使用するための大規模集積
回路を装着する高密度多層印刷配線基板の製造におい
て、配線パターンを形成するときに使用するレジスト塗
布装置に関する。
ストを塗布するためのレジスト塗布装置に関し、特に、
コンピュータ等の電子機器に使用するための大規模集積
回路を装着する高密度多層印刷配線基板の製造におい
て、配線パターンを形成するときに使用するレジスト塗
布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の大規模情報処理装置や高速通信装
置においては、信号の伝達速度が著しく高速化されてき
ており、これらの装置に使用される印刷配線基板（基
板）には、低い配線抵抗と低い分布容量とが要求されて
いる。従って、これらの要求を満足させるために、配線
の厚さを厚くして断面積を大きくすることによって配線
抵抗を低くすると共に、配線層の間の絶縁層の材料とし
て低誘電率の材料を用い、絶縁層の厚さをある程度厚く
することによって分布容量を低く抑える必要がある。
置においては、信号の伝達速度が著しく高速化されてき
ており、これらの装置に使用される印刷配線基板（基
板）には、低い配線抵抗と低い分布容量とが要求されて
いる。従って、これらの要求を満足させるために、配線
の厚さを厚くして断面積を大きくすることによって配線
抵抗を低くすると共に、配線層の間の絶縁層の材料とし
て低誘電率の材料を用い、絶縁層の厚さをある程度厚く
することによって分布容量を低く抑える必要がある。
【０００３】このような基板の従来の製造においては、
配線を形成するためのレジストや絶縁材料を、５μｍ以
上の厚さとなるように基板上に塗布している。
配線を形成するためのレジストや絶縁材料を、５μｍ以
上の厚さとなるように基板上に塗布している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の印刷配線基板の製造においては、５μｍ以上の厚さと
なるように基板上にレジストや絶縁材料を塗布している
が、このため、塗布材料として、分子量が多くかつ粘性
の高い材料を使用しなければならないため、回転塗布の
ときに飛散するレジストが乾燥して糸状となり、それが
回転中または回転停止中の基板の上に載って塗布不良を
惹起するという欠点を有している。
の印刷配線基板の製造においては、５μｍ以上の厚さと
なるように基板上にレジストや絶縁材料を塗布している
が、このため、塗布材料として、分子量が多くかつ粘性
の高い材料を使用しなければならないため、回転塗布の
ときに飛散するレジストが乾燥して糸状となり、それが
回転中または回転停止中の基板の上に載って塗布不良を
惹起するという欠点を有している。
【０００５】本発明の目的は、上述のような従来の印刷
配線基板の製造における問題を解消することができるレ
ジスト塗布装置を提供することにある。
配線基板の製造における問題を解消することができるレ
ジスト塗布装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のレジスト塗布装
置は、内部の中心に基板を搭載して回転する回転ヘッド
を有し底部にレジストの廃液を溜める廃液溜りを有する
スピンカップと、前記スピンカップの上に開閉可能に搭
載して前記スピンカップの内部を密封するスピンカップ
蓋と、前記スピンカップから流れ出るレジストを貯蔵す
るドレンと、前記ドレンと排気ファンとの間に設けられ
て前記スピンカップを封止する電磁弁付きダンパと、前
記回転ヘッドに搭載した前記基板の上方の外側の位置に
おいて前記スピンカップの内面に対して着脱自在に取付
けたインナリングとを備え、回転塗布のとき、前記スピ
ンカップ蓋と前記電磁弁付きダンパとによって前記スピ
ンカップの内部を密封状態としてその雰囲気を前記レジ
ストの溶剤で充満させるようにしたものであり、更に、
インナリングの内周部を外周部よりも上方に位置させる
ことによって前記インナリングを傾斜した状態でスピン
カップに取付け、インナリングの下面に粘着テープを貼
付したものである。
置は、内部の中心に基板を搭載して回転する回転ヘッド
を有し底部にレジストの廃液を溜める廃液溜りを有する
スピンカップと、前記スピンカップの上に開閉可能に搭
載して前記スピンカップの内部を密封するスピンカップ
蓋と、前記スピンカップから流れ出るレジストを貯蔵す
るドレンと、前記ドレンと排気ファンとの間に設けられ
て前記スピンカップを封止する電磁弁付きダンパと、前
記回転ヘッドに搭載した前記基板の上方の外側の位置に
おいて前記スピンカップの内面に対して着脱自在に取付
けたインナリングとを備え、回転塗布のとき、前記スピ
ンカップ蓋と前記電磁弁付きダンパとによって前記スピ
ンカップの内部を密封状態としてその雰囲気を前記レジ
ストの溶剤で充満させるようにしたものであり、更に、
インナリングの内周部を外周部よりも上方に位置させる
ことによって前記インナリングを傾斜した状態でスピン
カップに取付け、インナリングの下面に粘着テープを貼
付したものである。
【０００７】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００８】図１は本発明の一実施例を示す断面図であ
る。
る。
【０００９】図１において、スピンカップ５は、その内
部に基板６を搭載して回転する回転ヘッド８を有してお
り、基板６に塗布するためのディスペンスノズル２から
滴下するレジストと、内面を清掃するために使用するア
セトンやメチルエチルケトン等有機溶剤によって腐食さ
れない材質で形成されている。また、回転中に基板６が
回転ヘッド８のチャッキングからはずれて飛出した場合
にも耐えられる充分な強度を有している。
部に基板６を搭載して回転する回転ヘッド８を有してお
り、基板６に塗布するためのディスペンスノズル２から
滴下するレジストと、内面を清掃するために使用するア
セトンやメチルエチルケトン等有機溶剤によって腐食さ
れない材質で形成されている。また、回転中に基板６が
回転ヘッド８のチャッキングからはずれて飛出した場合
にも耐えられる充分な強度を有している。
【００１０】スピンカップ５の底部は、外側が下るよう
にゆるやかな傾斜を有しており、外周部は、常時数リッ
トルのレジストの廃液を溜めることができる廃液溜り９
となっている。スピンカップ５の外径が５００ｍｍの場
合は、１〜２リットルの廃液を溜めることができる。
にゆるやかな傾斜を有しており、外周部は、常時数リッ
トルのレジストの廃液を溜めることができる廃液溜り９
となっている。スピンカップ５の外径が５００ｍｍの場
合は、１〜２リットルの廃液を溜めることができる。
【００１１】この廃液溜り９の内側には、廃液を回収す
るための廃液口９ａが設けてあり、この廃液口９ａは、
スピンカップ５の下方に設けてあるドレン１０と連結し
ていいる。ドレン１０の上部は、排気ファン１２に連結
されており、ドレン１０と排気ファン１２との間には、
電磁弁付きダンパ１１が設けてある。
るための廃液口９ａが設けてあり、この廃液口９ａは、
スピンカップ５の下方に設けてあるドレン１０と連結し
ていいる。ドレン１０の上部は、排気ファン１２に連結
されており、ドレン１０と排気ファン１２との間には、
電磁弁付きダンパ１１が設けてある。
【００１２】スピンカップ５の内部の中央に設けてある
回転ヘッド８には、基板６を搭載したときにその位置決
めを行う基板ガイド７が設けてあり、この基板ガイド７
の上方の位置の外側に、インナリング３が設けてある。
インナリング３は、内周側が上方となり、外周側が下方
となるように傾斜しており、その外周をスピンカップ５
の内周に着脱自在に取付けられている。インナリング３
の下面には、粘着テープ４が貼着されている。スピンカ
ップ５の外径が５００ｍｍの場合は、インナリング３の
外周の位置を基板６と位置とほぼ同じにし、傾斜角度を
約３０度とすることにより、回転塗布の飛散するレジス
トの殆どすべてを受け止めることができ、粘着テープ４
によって受け止めたレジストの再飛散を防止できる。ス
ピンカップ５の上には、開閉可能なスピンカップ蓋１が
設けられており、このスピンカップ蓋１によってスピン
カップ５の内部が密封される。
回転ヘッド８には、基板６を搭載したときにその位置決
めを行う基板ガイド７が設けてあり、この基板ガイド７
の上方の位置の外側に、インナリング３が設けてある。
インナリング３は、内周側が上方となり、外周側が下方
となるように傾斜しており、その外周をスピンカップ５
の内周に着脱自在に取付けられている。インナリング３
の下面には、粘着テープ４が貼着されている。スピンカ
ップ５の外径が５００ｍｍの場合は、インナリング３の
外周の位置を基板６と位置とほぼ同じにし、傾斜角度を
約３０度とすることにより、回転塗布の飛散するレジス
トの殆どすべてを受け止めることができ、粘着テープ４
によって受け止めたレジストの再飛散を防止できる。ス
ピンカップ５の上には、開閉可能なスピンカップ蓋１が
設けられており、このスピンカップ蓋１によってスピン
カップ５の内部が密封される。
【００１３】このように構成したレジスト塗布装置によ
って基板６に対してレジストを塗布するときは、次のよ
うに動作する。
って基板６に対してレジストを塗布するときは、次のよ
うに動作する。
【００１４】まず、スピンカップ蓋１を開け、回転ヘッ
ド８の基板ガイド７に基板６を搭載する。このとき、基
板６がきちんと基板ガイド７に載っていることを確認す
るため、瞬間的な吸着テストを行う。基板６がきちんと
基板ガイド７に載っていることを確認できたときは、デ
ィスペンスノズル２から適量のレジストを滴下し、スピ
ンカップ蓋１を閉じる。
ド８の基板ガイド７に基板６を搭載する。このとき、基
板６がきちんと基板ガイド７に載っていることを確認す
るため、瞬間的な吸着テストを行う。基板６がきちんと
基板ガイド７に載っていることを確認できたときは、デ
ィスペンスノズル２から適量のレジストを滴下し、スピ
ンカップ蓋１を閉じる。
【００１５】この動作が終了すると同時に、電磁弁付き
ダンパ１１を閉じて、スピンカップ５内の雰囲気を廃液
溜り９からのレジストの溶剤で充満させる。次に、約１
秒の立上がり時間で回転ヘッド８の回転速度を５００ｒ
ｐｍとして１０秒間の低速回転塗布を行ってレジストを
基板６の表面全体に一様に広げた後、更に約１秒の立上
がり時間で回転ヘッド８の回転速度を１９００ｒｐｍと
して高速回転塗布を行うことによって余分なレジストを
振切り、最後に、約３秒の立下がり時間で回転ヘッド８
の回転を停止させて終了する。
ダンパ１１を閉じて、スピンカップ５内の雰囲気を廃液
溜り９からのレジストの溶剤で充満させる。次に、約１
秒の立上がり時間で回転ヘッド８の回転速度を５００ｒ
ｐｍとして１０秒間の低速回転塗布を行ってレジストを
基板６の表面全体に一様に広げた後、更に約１秒の立上
がり時間で回転ヘッド８の回転速度を１９００ｒｐｍと
して高速回転塗布を行うことによって余分なレジストを
振切り、最後に、約３秒の立下がり時間で回転ヘッド８
の回転を停止させて終了する。
【００１６】このとき、スピンカップ５内の雰囲気は、
レジストの溶剤で充満されているため、回転塗布によっ
て飛散するレジストの乾燥が防止されるため、糸状のレ
ジストの発生を阻止される。また、飛散したレジスト
は、インナリング３の下面に貼着されている粘着テープ
４に付着するため、再び飛散して基板６に付着しるのも
防止される。この結果、均一な膜厚のレジストを塗布す
ることができる。
レジストの溶剤で充満されているため、回転塗布によっ
て飛散するレジストの乾燥が防止されるため、糸状のレ
ジストの発生を阻止される。また、飛散したレジスト
は、インナリング３の下面に貼着されている粘着テープ
４に付着するため、再び飛散して基板６に付着しるのも
防止される。この結果、均一な膜厚のレジストを塗布す
ることができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のレジスト
塗布装置は、内部に基板を搭載して回転する回転ヘッド
を有し底部にレジストの廃液を溜める廃液溜りを設けた
スピンカップと、スピンカップの上に搭載してスピンカ
ップの内部を密封する開閉可能なスピンカップ蓋と、ス
ピンカップから流れ出るレジストを貯蔵するドレンと、
ドレンと排気ファンとの間に設けられてスピンカップを
封止する電磁弁付きダンパと、回転ヘッドに搭載した基
板の上方の位置の外側に設けたインナリングとを備え、
回転塗布のとき、スピンカップ蓋と電磁弁付きダンパと
によってスピンカップの内部を密封状態としてその雰囲
気をレジストの溶剤で充満させることにより、回転塗布
によって飛散するレジストの乾燥を防止しえ糸状のレジ
ストの発生を阻止でき、基板から飛散するレジストをイ
ンナリングに付着させて再飛散を防止できるという効果
があり、従って基板に均一な膜厚のレジストを塗布する
ことが可能になるという効果がある。
塗布装置は、内部に基板を搭載して回転する回転ヘッド
を有し底部にレジストの廃液を溜める廃液溜りを設けた
スピンカップと、スピンカップの上に搭載してスピンカ
ップの内部を密封する開閉可能なスピンカップ蓋と、ス
ピンカップから流れ出るレジストを貯蔵するドレンと、
ドレンと排気ファンとの間に設けられてスピンカップを
封止する電磁弁付きダンパと、回転ヘッドに搭載した基
板の上方の位置の外側に設けたインナリングとを備え、
回転塗布のとき、スピンカップ蓋と電磁弁付きダンパと
によってスピンカップの内部を密封状態としてその雰囲
気をレジストの溶剤で充満させることにより、回転塗布
によって飛散するレジストの乾燥を防止しえ糸状のレジ
ストの発生を阻止でき、基板から飛散するレジストをイ
ンナリングに付着させて再飛散を防止できるという効果
があり、従って基板に均一な膜厚のレジストを塗布する
ことが可能になるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
１ スピンカップ蓋 ２ ディスペンスノズル ３ インナリング ４ 粘着テープ ５ スピンカップ ６ 基板 ７ 基板ガイド ８ 回転ヘッド ９ 廃液溜り ９ａ 廃液口 １０ ドレン １１ 電磁弁付きダンパ １２ 排気ファン
Claims (3)
- 【請求項１】 内部の中心に基板を搭載して回転する回
転ヘッドを有し底部にレジストの廃液を溜める廃液溜り
を有するスピンカップと、前記スピンカップの上に開閉
可能に搭載して前記スピンカップの内部を密封するスピ
ンカップ蓋と、前記スピンカップから流れ出るレジスト
を貯蔵するドレンと、前記ドレンと排気ファンとの間に
設けられて前記スピンカップを封止する電磁弁付きダン
パと、前記回転ヘッドに搭載した前記基板の上方の外側
の位置において前記スピンカップの内面に対して着脱自
在に取付けたインナリングとを備えることを特徴とする
レジスト塗布装置。 - 【請求項２】 インナリングの内周部を外周部よりも上
方に位置させることによって前記インナリングを傾斜し
た状態でスピンカップに取付けたことを特徴とする請求
項１記載のレジスト塗布装置。 - 【請求項３】 インナリングの下面に粘着テープを貼付
したことを特徴とする請求項１または請求項２記載のレ
ジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30840592A JPH06154694A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | レジスト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30840592A JPH06154694A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | レジスト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06154694A true JPH06154694A (ja) | 1994-06-03 |
Family
ID=17980669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30840592A Withdrawn JPH06154694A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | レジスト塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06154694A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009039617A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-26 | Yasuhiko Aoyama | スピンコーター |
-
1992
- 1992-11-18 JP JP30840592A patent/JPH06154694A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009039617A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-26 | Yasuhiko Aoyama | スピンコーター |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000201 |