JPH0615159A - 自動真空排気装置 - Google Patents
自動真空排気装置Info
- Publication number
- JPH0615159A JPH0615159A JP20198692A JP20198692A JPH0615159A JP H0615159 A JPH0615159 A JP H0615159A JP 20198692 A JP20198692 A JP 20198692A JP 20198692 A JP20198692 A JP 20198692A JP H0615159 A JPH0615159 A JP H0615159A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空容器を人手を介することなく自動的に真
空排気することができるとともに、長期間に亘り真空容
器内の真空度を一定に保つことができる自動真空排気装
置を提供する。 【構成】 真空容器１を真空排気する真空排気装置にお
いて、真空容器１の排気ポート１ａに連通されるエア作
動バルブ６と、エア作動バルブ６に連通される第１排気
口４とエア作動バルブ６に作動エアを供給する第１エア
供給口５とを有した真空容器側フランジ３と、真空容器
側フランジ３に接離可能に設けられた真空ポンプ側フラ
ンジ７とを備え、真空ポンプ側フランジ７は真空ポンプ
１４に連通されるとともに、第１排気口４と連通可能な
第２排気口９と、真空ポンプ１４に連通されるとともに
真空容器側フランジ３を吸引する吸引用排気口１０と、
エア供給源１８に連通されるとともに第１エア供給口５
に連通可能な第２エア供給口１１とを備えた。
空排気することができるとともに、長期間に亘り真空容
器内の真空度を一定に保つことができる自動真空排気装
置を提供する。 【構成】 真空容器１を真空排気する真空排気装置にお
いて、真空容器１の排気ポート１ａに連通されるエア作
動バルブ６と、エア作動バルブ６に連通される第１排気
口４とエア作動バルブ６に作動エアを供給する第１エア
供給口５とを有した真空容器側フランジ３と、真空容器
側フランジ３に接離可能に設けられた真空ポンプ側フラ
ンジ７とを備え、真空ポンプ側フランジ７は真空ポンプ
１４に連通されるとともに、第１排気口４と連通可能な
第２排気口９と、真空ポンプ１４に連通されるとともに
真空容器側フランジ３を吸引する吸引用排気口１０と、
エア供給源１８に連通されるとともに第１エア供給口５
に連通可能な第２エア供給口１１とを備えた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は自動真空排気装置に係
り、特に半導体製造プロセス等に使用される真空保管用
箱等の真空容器を自動的に真空排気することができる自
動真空排気装置に関する。
り、特に半導体製造プロセス等に使用される真空保管用
箱等の真空容器を自動的に真空排気することができる自
動真空排気装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体を形成する過程で、ウエハ
は、半導体プロセス装置に搬入される前や、工程の途中
で次の工程を待つ間、ウエハ表面の酸化等を防止するた
めに真空中で保管されることが多い。このような保管手
段として、例えば真空状態に保たれた真空保管箱が使用
されている。ところで、上記真空保管箱にあっては、ウ
エハが真空保管箱内に搬入された後、真空保管箱内を真
空にするため、もしくは、真空中で保管されている間に
真空保管箱内の真空度が低下した場合に真空度を向上さ
せるために真空排気装置によって真空排気する必要があ
る。
は、半導体プロセス装置に搬入される前や、工程の途中
で次の工程を待つ間、ウエハ表面の酸化等を防止するた
めに真空中で保管されることが多い。このような保管手
段として、例えば真空状態に保たれた真空保管箱が使用
されている。ところで、上記真空保管箱にあっては、ウ
エハが真空保管箱内に搬入された後、真空保管箱内を真
空にするため、もしくは、真空中で保管されている間に
真空保管箱内の真空度が低下した場合に真空度を向上さ
せるために真空排気装置によって真空排気する必要があ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、真空保管箱（以
下、真空容器と称す）を真空排気する場合、真空容器と
真空排気装置とを特殊な真空用クランプを使用して人手
を介して結合する必要があった。したがって、かねてか
ら人手を介することなく真空容器を自動的に真空排気す
る装置の開発が要望されていた。
下、真空容器と称す）を真空排気する場合、真空容器と
真空排気装置とを特殊な真空用クランプを使用して人手
を介して結合する必要があった。したがって、かねてか
ら人手を介することなく真空容器を自動的に真空排気す
る装置の開発が要望されていた。
【０００４】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、その目的とする処は、真空容器を人手を介すること
なく自動的に真空排気することができるとともに、長期
間に亘り真空容器内の真空度を一定に保つことができる
自動真空排気装置を提供することを目的とする。
で、その目的とする処は、真空容器を人手を介すること
なく自動的に真空排気することができるとともに、長期
間に亘り真空容器内の真空度を一定に保つことができる
自動真空排気装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため、本発明の自動真空排気装置は、真空容器を真空排
気する真空排気装置において、前記真空容器の排気ポー
トに連通されるエア作動バルブと、該エア作動バルブに
連通される第１排気口とエア作動バルブに作動エアを供
給する第１エア供給口とを有した真空容器側フランジ
と、該真空容器側フランジに接離可能に設けられた真空
ポンプ側フランジとを備え、該真空ポンプ側フランジは
真空ポンプに連通されるとともに、前記第１排気口と連
通可能な第２排気口と、前記真空ポンプに連通されると
ともに前記真空容器側フランジを吸引する吸引用排気口
と、エア供給源に連通されるとともに前記第１エア供給
口に連通可能な第２エア供給口とを備えたことを特徴と
するものである。
ため、本発明の自動真空排気装置は、真空容器を真空排
気する真空排気装置において、前記真空容器の排気ポー
トに連通されるエア作動バルブと、該エア作動バルブに
連通される第１排気口とエア作動バルブに作動エアを供
給する第１エア供給口とを有した真空容器側フランジ
と、該真空容器側フランジに接離可能に設けられた真空
ポンプ側フランジとを備え、該真空ポンプ側フランジは
真空ポンプに連通されるとともに、前記第１排気口と連
通可能な第２排気口と、前記真空ポンプに連通されると
ともに前記真空容器側フランジを吸引する吸引用排気口
と、エア供給源に連通されるとともに前記第１エア供給
口に連通可能な第２エア供給口とを備えたことを特徴と
するものである。
【０００６】
【作用】前述した構成からなる本発明によれば、真空容
器側フランジと真空ポンプ側フランジとを接触させた
後、真空ポンプ側フランジに形成された吸引用排気口か
ら真空ポンプによって排気を行い真空ポンプ側フランジ
と真空容器側フランジとを密着させ、この状態で、作動
エアを第２エア供給口及び第１エア供給口からエア作動
バルブに供給し、真空容器に設けられたエア作動バルブ
を開き、真空ポンプと真空容器とを第１排気口及び第２
排気口を介して連通させ、真空容器内の真空排気を行
う。真空容器内の真空度が一定値に達したら、真空容器
に設けられたエア作動バルブを閉じ、真空ポンプ側フラ
ンジの吸引用排気口及び第２排気口の真空破壊を行った
後、真空容器側フランジと真空ポンプ側フランジとを引
き離し、自動真空排気操作を終了する。これによって、
真空容器内を人手を介することなく自動的に真空排気す
ることができる。
器側フランジと真空ポンプ側フランジとを接触させた
後、真空ポンプ側フランジに形成された吸引用排気口か
ら真空ポンプによって排気を行い真空ポンプ側フランジ
と真空容器側フランジとを密着させ、この状態で、作動
エアを第２エア供給口及び第１エア供給口からエア作動
バルブに供給し、真空容器に設けられたエア作動バルブ
を開き、真空ポンプと真空容器とを第１排気口及び第２
排気口を介して連通させ、真空容器内の真空排気を行
う。真空容器内の真空度が一定値に達したら、真空容器
に設けられたエア作動バルブを閉じ、真空ポンプ側フラ
ンジの吸引用排気口及び第２排気口の真空破壊を行った
後、真空容器側フランジと真空ポンプ側フランジとを引
き離し、自動真空排気操作を終了する。これによって、
真空容器内を人手を介することなく自動的に真空排気す
ることができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明に係る自動真空排気装置の一実
施例を図１及び図２を参照して説明する。図１は自動真
空排気装置の基本構成を示す図であり、真空容器１は真
空容器１を定位置に固定するための固定具２を備えてい
る。また真空容器１は真空容器側フランジ３を備えてお
り、この真空容器側フランジ３は第１排気口４と第１エ
ア供給口５とをそれぞれ備えている。そして、第１排気
口４は真空容器１の排気ポート１ａに連通されるエア作
動バルブ６に連通され、第１エア供給口５はエア配管３
２を介してエア作動バルブ６の駆動部６ａに連通されて
いる。
施例を図１及び図２を参照して説明する。図１は自動真
空排気装置の基本構成を示す図であり、真空容器１は真
空容器１を定位置に固定するための固定具２を備えてい
る。また真空容器１は真空容器側フランジ３を備えてお
り、この真空容器側フランジ３は第１排気口４と第１エ
ア供給口５とをそれぞれ備えている。そして、第１排気
口４は真空容器１の排気ポート１ａに連通されるエア作
動バルブ６に連通され、第１エア供給口５はエア配管３
２を介してエア作動バルブ６の駆動部６ａに連通されて
いる。
【０００８】また真空容器側フランジ３に対向して真空
ポンプ側フランジ７が設けられており、この真空ポンプ
側フランジ７はスライドレール８上に摺動可能に設置さ
れていて、真空容器側フランジ３に接離可能に構成され
ている。また真空ポンプ側フランジ７は真空容器側フラ
ンジ３の第１排気口４と連通可能な第２排気口９と、真
空容器側フランジ３を吸着または吸引するための吸引用
排気口１０と、真空容器側フランジ３の第１エア供給口
５に連通可能な第２エア供給口１１とを備えている。そ
して、第２排気口９は空圧バルブからなる第１開閉バル
ブ１２を介して真空配管１３によって真空ポンプ１４に
連通されている。吸引用排気口１０は第２開閉バルブ１
６を介して真空配管１３によって真空ポンプ１４に連通
されている。また、第１開閉バルブ１２及び第２開閉バ
ルブ１６の駆動部はエア供給源１８に接続されている
（図示せず）。第２エア供給口１１はエア配管３２によ
って電磁バルブからなる第３開閉バルブ１７を介してエ
ア供給源１８に連通されている。なお、エア供給源１８
はバルブ作動用の空気（エア）または窒素（Ｎ2 ）を供
給可能である。
ポンプ側フランジ７が設けられており、この真空ポンプ
側フランジ７はスライドレール８上に摺動可能に設置さ
れていて、真空容器側フランジ３に接離可能に構成され
ている。また真空ポンプ側フランジ７は真空容器側フラ
ンジ３の第１排気口４と連通可能な第２排気口９と、真
空容器側フランジ３を吸着または吸引するための吸引用
排気口１０と、真空容器側フランジ３の第１エア供給口
５に連通可能な第２エア供給口１１とを備えている。そ
して、第２排気口９は空圧バルブからなる第１開閉バル
ブ１２を介して真空配管１３によって真空ポンプ１４に
連通されている。吸引用排気口１０は第２開閉バルブ１
６を介して真空配管１３によって真空ポンプ１４に連通
されている。また、第１開閉バルブ１２及び第２開閉バ
ルブ１６の駆動部はエア供給源１８に接続されている
（図示せず）。第２エア供給口１１はエア配管３２によ
って電磁バルブからなる第３開閉バルブ１７を介してエ
ア供給源１８に連通されている。なお、エア供給源１８
はバルブ作動用の空気（エア）または窒素（Ｎ2 ）を供
給可能である。
【０００９】また第２排気口９と真空配管１３との間に
はバイパス配管２０が設けられており、このバイパス配
管２０にバイパスバルブ２１と微流量調整バルブ２２と
が設置されている。バイパスバルブ２１はエア供給源１
８に接続され（図示せず）、作動用のＮ2 又はエアが供
給されるようになっている。また第２排気口９には真空
計２４が設置されており、この真空計２４は第２排気口
９内の真空度を測定して真空度信号２５を出力するよう
になっている。更に第２排気口９及び吸引用排気口１０
内の真空破壊を行うためにリークバルブ２７及びリーク
バルブ２８がそれぞれ設置されている。真空排気を行う
ためには、清浄なＮ2 又は空気を導入する。
はバイパス配管２０が設けられており、このバイパス配
管２０にバイパスバルブ２１と微流量調整バルブ２２と
が設置されている。バイパスバルブ２１はエア供給源１
８に接続され（図示せず）、作動用のＮ2 又はエアが供
給されるようになっている。また第２排気口９には真空
計２４が設置されており、この真空計２４は第２排気口
９内の真空度を測定して真空度信号２５を出力するよう
になっている。更に第２排気口９及び吸引用排気口１０
内の真空破壊を行うためにリークバルブ２７及びリーク
バルブ２８がそれぞれ設置されている。真空排気を行う
ためには、清浄なＮ2 又は空気を導入する。
【００１０】また真空ポンプ側フランジ７には、真空容
器側フランジ３との間のシールを行うためのシールリン
グ２９と第１エア供給口５及び第２エア供給口１１との
間のシールを行うためのシールリング３０と、第１排気
口４と第２排気口９との間のシールを行うためのシール
リング３１とが設けられている。
器側フランジ３との間のシールを行うためのシールリン
グ２９と第１エア供給口５及び第２エア供給口１１との
間のシールを行うためのシールリング３０と、第１排気
口４と第２排気口９との間のシールを行うためのシール
リング３１とが設けられている。
【００１１】次に前述のように構成された自動真空排気
装置の作用を説明する。真空ポンプ１４は常時排気動作
を続けている。図２に示されるように真空ポンプ側フラ
ンジ７をスライドレール８上を移動させて真空容器側フ
ランジ３に接触させる。その後、第２開閉バルブ１６を
開き、吸引用排気口１０と真空ポンプ１４とを連通さ
せ、真空容器側フランジ３を真空ポンプ側フランジ７に
向かって吸引し、真空容器側フランジと真空ポンプ側フ
ランジ７とを密着させる。
装置の作用を説明する。真空ポンプ１４は常時排気動作
を続けている。図２に示されるように真空ポンプ側フラ
ンジ７をスライドレール８上を移動させて真空容器側フ
ランジ３に接触させる。その後、第２開閉バルブ１６を
開き、吸引用排気口１０と真空ポンプ１４とを連通さ
せ、真空容器側フランジ３を真空ポンプ側フランジ７に
向かって吸引し、真空容器側フランジと真空ポンプ側フ
ランジ７とを密着させる。
【００１２】両フランジ３，７が密着した後、パイパス
バルブ２１を開き、エア作動バルブ６と第１開閉バルブ
１２との間の真空排気を行う。なお、バイパスバルブ２
１による排気はスロー排気である。これによって、第２
排気口９における真空度が所定値に達したことを真空計
２４が検出すると、真空度信号２５を出力し、これによ
って第３開閉バルブ１７を開き、エア供給源１８から第
２エア供給口１１及び第１エア供給口５を介してエア作
動バルブ６の駆動部６ａにエアを供給し、エア作動バル
ブ６を開く。
バルブ２１を開き、エア作動バルブ６と第１開閉バルブ
１２との間の真空排気を行う。なお、バイパスバルブ２
１による排気はスロー排気である。これによって、第２
排気口９における真空度が所定値に達したことを真空計
２４が検出すると、真空度信号２５を出力し、これによ
って第３開閉バルブ１７を開き、エア供給源１８から第
２エア供給口１１及び第１エア供給口５を介してエア作
動バルブ６の駆動部６ａにエアを供給し、エア作動バル
ブ６を開く。
【００１３】一定時間経過後、第１開閉バルブ１２を開
き、真空容器１と真空ポンプ１４とを連通させて、真空
容器１内の本格的な真空排気を行う。真空計２４により
検出された第２排気口９内の真空度が一定値に達した
ら、真空度信号２５によって第３開閉バルブ１７を閉じ
てエア作動バルブ６を閉じ、真空容器１内の真空排気を
停止する。その後、リークバルブ２７及びリークバルブ
２８を開き、第２排気口９及び吸引用排気口１０内の真
空破壊を行った後、真空ポンプ側フランジ７を真空容器
側フランジ３から引き離し、真空容器１内の真空排気操
作を終了する。
き、真空容器１と真空ポンプ１４とを連通させて、真空
容器１内の本格的な真空排気を行う。真空計２４により
検出された第２排気口９内の真空度が一定値に達した
ら、真空度信号２５によって第３開閉バルブ１７を閉じ
てエア作動バルブ６を閉じ、真空容器１内の真空排気を
停止する。その後、リークバルブ２７及びリークバルブ
２８を開き、第２排気口９及び吸引用排気口１０内の真
空破壊を行った後、真空ポンプ側フランジ７を真空容器
側フランジ３から引き離し、真空容器１内の真空排気操
作を終了する。
【００１４】このように本実施例によれば、真空容器側
フランジ３に対して真空ポンプ側フランジ７を密着させ
て、各種開閉バルブを開閉することにより、真空容器１
内の真空排気が自動的に行われる。そして、真空容器１
内の真空度が低下した場合に、同様な操作によって真空
容器１内の真空排気を行い、再び真空容器１内の真空度
を一定の値に高めることができる。
フランジ３に対して真空ポンプ側フランジ７を密着させ
て、各種開閉バルブを開閉することにより、真空容器１
内の真空排気が自動的に行われる。そして、真空容器１
内の真空度が低下した場合に、同様な操作によって真空
容器１内の真空排気を行い、再び真空容器１内の真空度
を一定の値に高めることができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、真
空容器内の真空排気を人手を介することなく任意の時間
に自動的に真空排気を行うことができ、真空排気作業の
省力化を図ることができる。
空容器内の真空排気を人手を介することなく任意の時間
に自動的に真空排気を行うことができ、真空排気作業の
省力化を図ることができる。
【図１】本発明に係る自動真空排気装置の一実施例を示
す基本構成図である。
す基本構成図である。
【図２】図１の動作説明図である。
１ 真空容器 ３ 真空容器側フランジ ４ 第１排気口 ５ 第１エア供給口 ６ エア作動バルブ ７ 真空ポンプ側フランジ ８ スライドレール ９ 第２排気口 １０ 吸引用排気口 １１ 第２エア供給口 １２ 第１開閉バルブ １４ 真空ポンプ １６ 第２開閉バルブ １７ 第３開閉バルブ １８ エア供給源 ２１ バイパスバルブ ２４ 真空計 ２７，２８ リークバルブ ２９，３０，３１ シールリング
Claims (2)
- 【請求項１】 真空容器を真空排気する真空排気装置に
おいて、前記真空容器の排気ポートに連通されるエア作
動バルブと、該エア作動バルブに連通される第１排気口
とエア作動バルブに作動エアを供給する第１エア供給口
とを有した真空容器側フランジと、該真空容器側フラン
ジに接離可能に設けられた真空ポンプ側フランジとを備
え、該真空ポンプ側フランジは真空ポンプに連通される
とともに、前記第１排気口と連通可能な第２排気口と、
前記真空ポンプに連通されるとともに前記真空容器側フ
ランジを吸引する吸引用排気口と、エア供給源に連通さ
れるとともに前記第１エア供給口に連通可能な第２エア
供給口とを備えたことを特徴とする自動真空排気装置。 - 【請求項２】 前記第２排気口と前記真空ポンプとの間
には第１開閉バルブが設けられ、前記吸引用排気口と前
記真空ポンプとの間には第２開閉バルブが設けられ、前
記第２エア供給口と前記エア供給源との間には第３開閉
バルブが設けられ、真空排気時には第２開閉バルブ、第
３開閉バルブ、第１開閉バルブの順で各バルブを開くこ
とを特徴とする請求項１記載の自動真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20198692A JPH0615159A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | 自動真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20198692A JPH0615159A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | 自動真空排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0615159A true JPH0615159A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=16450049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20198692A Pending JPH0615159A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | 自動真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0615159A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003107215A1 (ja) * | 2002-06-13 | 2003-12-24 | 富士通株式会社 | 負荷分散処理システム |
| JP2013122282A (ja) * | 2011-12-12 | 2013-06-20 | Ebara Corp | 真空容器の自動開閉機構 |
-
1992
- 1992-07-06 JP JP20198692A patent/JPH0615159A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003107215A1 (ja) * | 2002-06-13 | 2003-12-24 | 富士通株式会社 | 負荷分散処理システム |
| JP2013122282A (ja) * | 2011-12-12 | 2013-06-20 | Ebara Corp | 真空容器の自動開閉機構 |
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