JPH06151566A - オリフラ位置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置 - Google Patents
オリフラ位置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置Info
- Publication number
- JPH06151566A JPH06151566A JP29482192A JP29482192A JPH06151566A JP H06151566 A JPH06151566 A JP H06151566A JP 29482192 A JP29482192 A JP 29482192A JP 29482192 A JP29482192 A JP 29482192A JP H06151566 A JPH06151566 A JP H06151566A
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- wafer
- orientation flat
- flat position
- clamp
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ウエハ裏面への付着異物を少なくしたオリフ
ラ位置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置を提供す
る。 【構成】 半ドーナツ状のウエハクランプ２２と２３に
接続された複数個のクランプ軸２５をクランプ駆動手段
２６で動かすことにより、ウエハはウエハクランプにウ
エハエッジでクランプされる。このとき、ウエハクラン
プ２２と２３に各々備えられた半ドーナツ状の圧力セン
サーとウエハのエッジが接触する。これら圧力センサー
によるウエハエッジ内の圧力変動分布の各情報が圧力変
動分布認識手段２９に送られ、オリフラ位置を検出す
る。次にこのオリフラ位置を基準位置に移動させるため
の回転軸２７の回転角を回転角計算手段３０により決定
し、軸回転駆動手段２８でウエハクランプ２２と２３を
回転させることにより、オリフラ位置を基準位置に合わ
せる。
ラ位置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置を提供す
る。 【構成】 半ドーナツ状のウエハクランプ２２と２３に
接続された複数個のクランプ軸２５をクランプ駆動手段
２６で動かすことにより、ウエハはウエハクランプにウ
エハエッジでクランプされる。このとき、ウエハクラン
プ２２と２３に各々備えられた半ドーナツ状の圧力セン
サーとウエハのエッジが接触する。これら圧力センサー
によるウエハエッジ内の圧力変動分布の各情報が圧力変
動分布認識手段２９に送られ、オリフラ位置を検出す
る。次にこのオリフラ位置を基準位置に移動させるため
の回転軸２７の回転角を回転角計算手段３０により決定
し、軸回転駆動手段２８でウエハクランプ２２と２３を
回転させることにより、オリフラ位置を基準位置に合わ
せる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造においてウエ
ハ裏面付着異物を極力少なくするのに有効なオリフラ位
置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置である。
ハ裏面付着異物を極力少なくするのに有効なオリフラ位
置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置である。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体デバイスの高集積化に伴
い、ウエハの処理時に直接ウエハ表面に付着する異物の
みならず、オリフラ位置合わせ時、搬送時、処理時にウ
エハ裏面に付着する異物も、他工程の処理時に飛散しウ
エハ表面に再付着したり、他の装置のウエハとの接触部
を汚染したりすることから問題となっている。特にオリ
フラ位置検出およびオリフラ位置合わせ時のように、真
空チャック等のウエハを吸着する場合にはウエハ裏面に
非常に多くの異物が付着する。したがって、オリフラ検
出装置およびオリフラ位置合わせ装置において、ウエハ
裏面への付着異物を極力少なくすることが重要となって
いる。
い、ウエハの処理時に直接ウエハ表面に付着する異物の
みならず、オリフラ位置合わせ時、搬送時、処理時にウ
エハ裏面に付着する異物も、他工程の処理時に飛散しウ
エハ表面に再付着したり、他の装置のウエハとの接触部
を汚染したりすることから問題となっている。特にオリ
フラ位置検出およびオリフラ位置合わせ時のように、真
空チャック等のウエハを吸着する場合にはウエハ裏面に
非常に多くの異物が付着する。したがって、オリフラ検
出装置およびオリフラ位置合わせ装置において、ウエハ
裏面への付着異物を極力少なくすることが重要となって
いる。
【０００３】以下図面を参照しながら、上記した従来の
オリフラ位置合わせ装置の一例について説明する。
オリフラ位置合わせ装置の一例について説明する。
【０００４】図４は従来のオリフラ位置合わせ装置の概
略図を示すものである。図４において、４１はウエハで
ある。４２はウエハチャック部で、ウエハ４１を吸着す
る。４３はウエハ支持台で、ウエハと接触する。４５は
ウエハチャック部４２を上下に移動もしくは回転させる
軸４４を備えた軸回転・上下移動駆動手段である。４６
はオリフラ位置を検出する反射型光センサーであり、ウ
エハ支持台４３に備えられている。４７は反射型光セン
サー４６からの情報を処理するオリフラ位置決定手段、
４８は認識されたオリフラ位置を基準位置に移動させる
ための回転角を決定する回転角計算手段である。
略図を示すものである。図４において、４１はウエハで
ある。４２はウエハチャック部で、ウエハ４１を吸着す
る。４３はウエハ支持台で、ウエハと接触する。４５は
ウエハチャック部４２を上下に移動もしくは回転させる
軸４４を備えた軸回転・上下移動駆動手段である。４６
はオリフラ位置を検出する反射型光センサーであり、ウ
エハ支持台４３に備えられている。４７は反射型光セン
サー４６からの情報を処理するオリフラ位置決定手段、
４８は認識されたオリフラ位置を基準位置に移動させる
ための回転角を決定する回転角計算手段である。
【０００５】以上のように構成されたオリフラ位置合わ
せ装置について、以下その動作について説明する。
せ装置について、以下その動作について説明する。
【０００６】まず、ウエハ４１がウエハ支持台４３にの
せられる。軸回転・上下移動駆動手段４５によりウエハ
チャック部４２と軸４４が上方に移動しウエハ４１に接
触し、ウエハチャック部４２によりウエハ４１を吸着す
る。さらに軸回転・上下移動駆動手段４５によりウエハ
チャック部４２と軸４４とウエハ４１が上方に移動し、
ウエハ４１がウエハ支持台４３から離される。またこの
状態で軸回転・上下移動駆動手段４５によりウエハチャ
ック部４２と軸４４とウエハ４１が回転し、ウエハ支持
台４３にある反射型光センサー４６でウエハエッジ周辺
の情報を得る。得られたセンサーからの情報をオリフラ
位置決定手段４７で処理し、オリフラ位置を決定する。
次にこのオリフラ位置を基準位置に移動させるための軸
４４の回転角を回転角計算手段４８により決定し、軸回
転・上下移動駆動手段４５によりオリフラ位置を基準位
置に合わせる。
せられる。軸回転・上下移動駆動手段４５によりウエハ
チャック部４２と軸４４が上方に移動しウエハ４１に接
触し、ウエハチャック部４２によりウエハ４１を吸着す
る。さらに軸回転・上下移動駆動手段４５によりウエハ
チャック部４２と軸４４とウエハ４１が上方に移動し、
ウエハ４１がウエハ支持台４３から離される。またこの
状態で軸回転・上下移動駆動手段４５によりウエハチャ
ック部４２と軸４４とウエハ４１が回転し、ウエハ支持
台４３にある反射型光センサー４６でウエハエッジ周辺
の情報を得る。得られたセンサーからの情報をオリフラ
位置決定手段４７で処理し、オリフラ位置を決定する。
次にこのオリフラ位置を基準位置に移動させるための軸
４４の回転角を回転角計算手段４８により決定し、軸回
転・上下移動駆動手段４５によりオリフラ位置を基準位
置に合わせる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、オリフラ位置の検出時およびオリフラ位
置合わせ時にウエハ裏面中心を回転中心としてウエハを
回転させる必要があり、安定性の面からウエハ裏面と相
当量の面積で接触あるいは吸着しなければならず、その
結果、ウエハ裏面に多量の異物が付着するという問題点
を有していた。
うな構成では、オリフラ位置の検出時およびオリフラ位
置合わせ時にウエハ裏面中心を回転中心としてウエハを
回転させる必要があり、安定性の面からウエハ裏面と相
当量の面積で接触あるいは吸着しなければならず、その
結果、ウエハ裏面に多量の異物が付着するという問題点
を有していた。
【０００８】本発明は上記問題点に鑑み、ウエハ裏面に
付着する異物を極力少なくできるオリフラ位置検出装置
およびオリフラ位置合わせ装置を提供するものである。
付着する異物を極力少なくできるオリフラ位置検出装置
およびオリフラ位置合わせ装置を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明のオリフラ位置検出装置は、ウエハエッジ付
近に接する所もしくはウエハエッジに接する所に円周状
に複数個配されたウエハの有無を認識する手段を備えた
ウエハエッジ周辺部もしくはウエハエッジと接するウエ
ハ支持台およびウエハクランプと、複数個のウエハの有
無の情報を処理しオリフラ位置を決定するオリフラ位置
認識手段という構成を備えたものである。
めに本発明のオリフラ位置検出装置は、ウエハエッジ付
近に接する所もしくはウエハエッジに接する所に円周状
に複数個配されたウエハの有無を認識する手段を備えた
ウエハエッジ周辺部もしくはウエハエッジと接するウエ
ハ支持台およびウエハクランプと、複数個のウエハの有
無の情報を処理しオリフラ位置を決定するオリフラ位置
認識手段という構成を備えたものである。
【００１０】また本発明のオリフラ位置合わせ装置は、
上記オリフラ位置検出装置に加えて、ウエハ支持台およ
びウエハクランプを回転させるための回転軸を備えた軸
回転駆動手段と、検出されたオリフラ位置を基準位置に
移動させるための回転角を決定する回転角計算手段とい
う構成を備えたものである。
上記オリフラ位置検出装置に加えて、ウエハ支持台およ
びウエハクランプを回転させるための回転軸を備えた軸
回転駆動手段と、検出されたオリフラ位置を基準位置に
移動させるための回転角を決定する回転角計算手段とい
う構成を備えたものである。
【００１１】
【作用】本発明は上記した構成によって、ウエハはウエ
ハ支持台およびウエハクランプとウエハエッジ周辺部あ
るいはウエハエッジのみで接触し、ウエハエッジ周辺部
あるいはウエハエッジの複数個の情報によりオリフラ位
置を認識することができる。また、ウエハはウエハを支
持するのに不安定なウエハ裏面中央付近と接触するもの
ではなく、ウエハ支持台およびウエハクランプとウエハ
エッジ周辺部あるいはウエハエッジ全体で接触した状態
でオリフラ位置を合わすことができる。したがって、ウ
エハ裏面とはウエハエッジ周辺部あるいはウエハエッジ
のみのわずかな面積と接触するだけでよく、ウエハ裏面
に付着する異物を極力少なくできることとなる。
ハ支持台およびウエハクランプとウエハエッジ周辺部あ
るいはウエハエッジのみで接触し、ウエハエッジ周辺部
あるいはウエハエッジの複数個の情報によりオリフラ位
置を認識することができる。また、ウエハはウエハを支
持するのに不安定なウエハ裏面中央付近と接触するもの
ではなく、ウエハ支持台およびウエハクランプとウエハ
エッジ周辺部あるいはウエハエッジ全体で接触した状態
でオリフラ位置を合わすことができる。したがって、ウ
エハ裏面とはウエハエッジ周辺部あるいはウエハエッジ
のみのわずかな面積と接触するだけでよく、ウエハ裏面
に付着する異物を極力少なくできることとなる。
【００１２】
【実施例】以下本発明の一実施例のオリフラ位置合わせ
装置について、図面を参照しながら説明する。
装置について、図面を参照しながら説明する。
【００１３】図１は本発明の実施例におけるオリフラ位
置合わせ装置の概略図を示すものである。図１におい
て、１１はウエハである。１２はウエハ支持台で、ウエ
ハエッジ周辺部と接触する。１４はウエハ支持台１２を
回転させる回転軸１３を備えた軸回転駆動手段である。
１５はオリフラ位置を検出するための先端にピン１６を
備えた圧力センサーで、ウエハ支持台１２のウエハエッ
ジ付近と接触する所に円周状に複数個配されている。１
７は圧力センサー１５からの情報を処理するオリフラ位
置決定手段、１８は認識されたオリフラ位置を基準位置
に移動させるための回転角を決定する回転角計算手段で
ある。
置合わせ装置の概略図を示すものである。図１におい
て、１１はウエハである。１２はウエハ支持台で、ウエ
ハエッジ周辺部と接触する。１４はウエハ支持台１２を
回転させる回転軸１３を備えた軸回転駆動手段である。
１５はオリフラ位置を検出するための先端にピン１６を
備えた圧力センサーで、ウエハ支持台１２のウエハエッ
ジ付近と接触する所に円周状に複数個配されている。１
７は圧力センサー１５からの情報を処理するオリフラ位
置決定手段、１８は認識されたオリフラ位置を基準位置
に移動させるための回転角を決定する回転角計算手段で
ある。
【００１４】以上のように構成されたオリフラ位置合わ
せ装置について、以下図１を用いてその動作を説明す
る。
せ装置について、以下図１を用いてその動作を説明す
る。
【００１５】まず、ウエハ１１はウエハ支持台１２にの
せられ、ウエハエッジ近傍と接する所に円周状に多数個
配された圧力センサー１５の先端のピン１６と点接触す
る。これら先端にピン１６を備えた圧力センサー１５の
圧力変動の各情報が圧力変動分布認識手段１７に送ら
れ、オリフラ位置を検出する。次にこのオリフラ位置を
基準位置に移動させるための回転軸１３の回転角を回転
角計算手段１８により決定し、軸回転駆動手段１４でウ
エハ１１の乗ったウエハ支持台１２を回転させることに
より、オリフラ位置を基準位置に合わせる。
せられ、ウエハエッジ近傍と接する所に円周状に多数個
配された圧力センサー１５の先端のピン１６と点接触す
る。これら先端にピン１６を備えた圧力センサー１５の
圧力変動の各情報が圧力変動分布認識手段１７に送ら
れ、オリフラ位置を検出する。次にこのオリフラ位置を
基準位置に移動させるための回転軸１３の回転角を回転
角計算手段１８により決定し、軸回転駆動手段１４でウ
エハ１１の乗ったウエハ支持台１２を回転させることに
より、オリフラ位置を基準位置に合わせる。
【００１６】以上のように本実施例のオリフラ合わせ装
置によれば、ウエハエッジ付近のみと接するウエハ支持
台に円周状に多数個配された圧力センサーを設けること
により、ウエハ裏面とほとんど接触することなくオリフ
ラ位置を検出することができる。また、ウエハを乗せた
ウエハエッジ付近のみと接するウエハ支持台を直接回転
させることにより、ウエハ裏面とほとんど接触すること
なくオリフラ位置を合わすことができる。
置によれば、ウエハエッジ付近のみと接するウエハ支持
台に円周状に多数個配された圧力センサーを設けること
により、ウエハ裏面とほとんど接触することなくオリフ
ラ位置を検出することができる。また、ウエハを乗せた
ウエハエッジ付近のみと接するウエハ支持台を直接回転
させることにより、ウエハ裏面とほとんど接触すること
なくオリフラ位置を合わすことができる。
【００１７】なお実施例１において、圧力センサーを他
の微小圧力変動測定手段、および反射型光センサーや透
過型光センサー等の光センサーに置き換えても、同様の
効果が得られる。
の微小圧力変動測定手段、および反射型光センサーや透
過型光センサー等の光センサーに置き換えても、同様の
効果が得られる。
【００１８】以下本発明の第２の実施例について図面を
参照しながら説明する。図２は本発明の第２の実施例を
示すオリフラ位置合わせ装置の概略図である。図３は図
２のA領域の拡大図である。図２および図３において、
２１はウエハである。２２および２３は半ドーナツ状の
第１のウエハクランプおよび第２のウエハクランプであ
り、ウエハ２１とウエハエッジと接触する。第１のウエ
ハクランプ２２および第２のウエハクランプ２３の内部
にはウエハと接する所に各々半ドーナツ状の圧力センサ
ー２４が備えられている。この第１のウエハクランプ２
２および第２のウエハクランプ２３は複数個のクランプ
軸２５によりクランプ駆動手段２６と接続され、ウエハ
２１をクランプあるいはリリースする。また、２７は回
転軸で、クランプ駆動手段２６とクランプ軸２５とウエ
ハクランプ２２および２３を回転させる。２８は軸回転
駆動手段で、回転軸２７と接続される。２９は圧力変動
認識手段で、圧力センサー２４からの情報を処理しオリ
フラ位置を認識する。３０は回転角計算手段で、圧力変
動分布認識手段２９で認識されたオリフラ位置を基準位
置に移動させるための回転角を決定する。
参照しながら説明する。図２は本発明の第２の実施例を
示すオリフラ位置合わせ装置の概略図である。図３は図
２のA領域の拡大図である。図２および図３において、
２１はウエハである。２２および２３は半ドーナツ状の
第１のウエハクランプおよび第２のウエハクランプであ
り、ウエハ２１とウエハエッジと接触する。第１のウエ
ハクランプ２２および第２のウエハクランプ２３の内部
にはウエハと接する所に各々半ドーナツ状の圧力センサ
ー２４が備えられている。この第１のウエハクランプ２
２および第２のウエハクランプ２３は複数個のクランプ
軸２５によりクランプ駆動手段２６と接続され、ウエハ
２１をクランプあるいはリリースする。また、２７は回
転軸で、クランプ駆動手段２６とクランプ軸２５とウエ
ハクランプ２２および２３を回転させる。２８は軸回転
駆動手段で、回転軸２７と接続される。２９は圧力変動
認識手段で、圧力センサー２４からの情報を処理しオリ
フラ位置を認識する。３０は回転角計算手段で、圧力変
動分布認識手段２９で認識されたオリフラ位置を基準位
置に移動させるための回転角を決定する。
【００１９】以上のように構成されたオリフラ合わせ装
置について、以下図２および図３を用いてその動作を説
明する。
置について、以下図２および図３を用いてその動作を説
明する。
【００２０】まず、第１のウエハクランプ２２と第２の
ウエハクランプ２３に接続された複数個のクランプ軸２
５をクランプ駆動手段２６で動かすことにより、ウエハ
２１は半ドーナツ状の第１のウエハクランプ２２と第２
のウエハクランプ２３にウエハエッジでクランプされ
る。このとき、第１のウエハクランプ２２と第２のウエ
ハクランプ２３に各々備えられた半ドーナツ状の圧力セ
ンサー２４とウエハ２１のエッジが接触する。これら圧
力センサー２４によるウエハエッジ内の圧力変動分布の
各情報が圧力変動分布認識手段２９に送られ、オリフラ
位置を検出する。次にこのオリフラ位置を基準位置に移
動させるための回転軸２７の回転角を回転角計算手段３
０により決定し、軸回転駆動手段２８でウエハ２１のク
ランプした第１のウエハクランプ２２と第２のウエハク
ランプ２３を回転させることにより、オリフラ位置を基
準位置に合わせる。
ウエハクランプ２３に接続された複数個のクランプ軸２
５をクランプ駆動手段２６で動かすことにより、ウエハ
２１は半ドーナツ状の第１のウエハクランプ２２と第２
のウエハクランプ２３にウエハエッジでクランプされ
る。このとき、第１のウエハクランプ２２と第２のウエ
ハクランプ２３に各々備えられた半ドーナツ状の圧力セ
ンサー２４とウエハ２１のエッジが接触する。これら圧
力センサー２４によるウエハエッジ内の圧力変動分布の
各情報が圧力変動分布認識手段２９に送られ、オリフラ
位置を検出する。次にこのオリフラ位置を基準位置に移
動させるための回転軸２７の回転角を回転角計算手段３
０により決定し、軸回転駆動手段２８でウエハ２１のク
ランプした第１のウエハクランプ２２と第２のウエハク
ランプ２３を回転させることにより、オリフラ位置を基
準位置に合わせる。
【００２１】以上のように本実施例のオリフラ合わせ装
置によれば、ウエハエッジのみと接する２つの半ドーナ
ツ状のウエハクランプの内部に半ドーナツ状の圧力セン
サーを各々設けることにより、ウエハ裏面と接触するこ
となくオリフラ位置を検出することができる。また、ウ
エハエッジのみと接する２つのウエハクランプを直接回
転させることにより、ウエハ裏面と接触することなくオ
リフラ位置を合わすことができる。
置によれば、ウエハエッジのみと接する２つの半ドーナ
ツ状のウエハクランプの内部に半ドーナツ状の圧力セン
サーを各々設けることにより、ウエハ裏面と接触するこ
となくオリフラ位置を検出することができる。また、ウ
エハエッジのみと接する２つのウエハクランプを直接回
転させることにより、ウエハ裏面と接触することなくオ
リフラ位置を合わすことができる。
【００２２】
【発明の効果】上記した構成によって、ウエハはウエハ
支持台およびウエハクランプとウエハエッジ周辺部ある
いはウエハエッジのみで接触し、ウエハエッジ周辺部あ
るいはウエハエッジの複数個の情報によりオリフラ位置
を認識することができる。また、ウエハはウエハ支持台
およびウエハクランプとウエハエッジ周辺部あるいはウ
エハエッジのみで接触した状態でオリフラ位置を合わす
ことができる。したがって、ウエハ裏面とはウエハエッ
ジ周辺部あるいはウエハエッジのみのわずかな面積と接
触し、ウエハ裏面に付着する異物を極力抑さえたオリフ
ラ位置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置を提供で
きる。
支持台およびウエハクランプとウエハエッジ周辺部ある
いはウエハエッジのみで接触し、ウエハエッジ周辺部あ
るいはウエハエッジの複数個の情報によりオリフラ位置
を認識することができる。また、ウエハはウエハ支持台
およびウエハクランプとウエハエッジ周辺部あるいはウ
エハエッジのみで接触した状態でオリフラ位置を合わす
ことができる。したがって、ウエハ裏面とはウエハエッ
ジ周辺部あるいはウエハエッジのみのわずかな面積と接
触し、ウエハ裏面に付着する異物を極力抑さえたオリフ
ラ位置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置を提供で
きる。
【図１】本発明の第１の実施例におけるオリフラ位置合
わせ装置の概略図
わせ装置の概略図
【図２】本発明の第２の実施例におけるオリフラ位置合
わせ装置の概略図
わせ装置の概略図
【図３】本発明の第２の実施例におけるウエハクランプ
付近（図２のA領域）の拡大図
付近（図２のA領域）の拡大図
【図４】従来のオリフラ位置合わせ装置の概略図
１１ ウエハ １２ ウエハ支持台 １３ 回転軸 １４ 軸回転駆動手段 １５ 圧力センサー １６ ピン １７ オリフラ位置決定手段 １８ 回転角計算手段 ２１ ウエハ ２２ 第１のウエハクランプ ２３ 第２のウエハクランプ ２４ 圧力センサー ２５ クランプ軸 ２６ クランプ駆動手段 ２７ 回転軸 ２８ 軸回転駆動手段 ２９ 圧力変動分布認識手段 ３０ 回転角計算手段 ４１ ウエハ ４２ ウエハチャック部 ４３ ウエハ支持台 ４４ 軸 ４５ 軸回転・上下移動駆動手段 ４６ 反射型光センサー ４７ オリフラ位置決定手段 ４８ 回転角計算手段
Claims (6)
- 【請求項１】ウエハエッジ付近と接する所に円周状に複
数個配されたウエハの有無を認識する手段を備えたウエ
ハエッジ付近の全体あるいは一部と接するウエハ支持台
と、前記ウエハの有無を認識する手段からの情報を処理
しオリフラ位置を決定するオリフラ位置決定手段を備え
たことを特徴とするオリフラ位置検出装置。 - 【請求項２】ウエハの有無を検出する手段として圧力セ
ンサーまたは微小圧力変動測定手段を使用した請求項１
記載のオリフラ位置検出装置。 - 【請求項３】ウエハの有無を検出する手段として反射型
光センサーまたは透過型光センサーを使用した請求項１
記載のオリフラ位置検出装置。 - 【請求項４】請求項１、請求項２または請求項３記載の
オリフラ位置検出装置に加え、ウエハ支持台を回転させ
るための回転軸を備えた軸回転駆動手段と、検出された
オリフラ位置を基準位置に移動させるための回転角を決
定する回転角計算手段を備えたことを特徴とするオリフ
ラ位置合わせ装置。 - 【請求項５】ウエハエッジと接する所に配された半ドー
ナツ状の圧力センサーまたは微小圧力変動測定手段を備
えた半ドーナツ状の第１のウエハクランプおよび第２の
ウエハクランプと、前記ウエハクランプに複数個のクラ
ンプ軸で接続されたウエハをクランプ・リリースするク
ランプ駆動手段と、ウエハエッジの圧力変動分布情報を
処理しオリフラ位置を決定する圧力変動分布認識手段を
備えたことを特徴とするオリフラ位置検出装置。 - 【請求項６】請求項６記載のオリフラ位置検出装置に加
え、ウエハクランプ、クランプ軸、クランプ駆動手段を
回転させるための回転軸を備えた軸回転駆動手段と、検
出されたオリフラ位置を基準位置に移動させるための回
転角を決定する回転角計算手段を備えたことを特徴とす
るオリフラ位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29482192A JPH06151566A (ja) | 1992-11-04 | 1992-11-04 | オリフラ位置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29482192A JPH06151566A (ja) | 1992-11-04 | 1992-11-04 | オリフラ位置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06151566A true JPH06151566A (ja) | 1994-05-31 |
Family
ID=17812690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29482192A Pending JPH06151566A (ja) | 1992-11-04 | 1992-11-04 | オリフラ位置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06151566A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1866958A2 (en) * | 2005-03-30 | 2007-12-19 | Brooks Automation, Inc. | High speed substrate aligner apparatus |
| US8545165B2 (en) | 2005-03-30 | 2013-10-01 | Brooks Automation, Inc. | High speed substrate aligner apparatus |
-
1992
- 1992-11-04 JP JP29482192A patent/JPH06151566A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1866958A2 (en) * | 2005-03-30 | 2007-12-19 | Brooks Automation, Inc. | High speed substrate aligner apparatus |
| EP1866958A4 (en) * | 2005-03-30 | 2010-04-21 | Brooks Automation Inc | HIGH SPEED APPARATUS FOR ALIGNING SUBSTRATES |
| US8545165B2 (en) | 2005-03-30 | 2013-10-01 | Brooks Automation, Inc. | High speed substrate aligner apparatus |
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