CN208759384U - 一种圆盘类零件的定位机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种圆盘类零件的定位机构，包括：夹持模块，包括多个夹持件，用于从侧部对圆盘类零件进行夹紧，以对圆盘类零件的圆心进行定位；旋转模块，连接夹持模块，用于通过驱动夹持模块转动，带动圆盘类零件旋转；检测模块，用于对圆盘类零件的旋转角度进行检测。本实用新型可利用气动夹爪来夹紧圆盘类零件，定圆心速度快，结构简单；采用伺服电机带动圆盘类零件旋转角度精度高；同时，还可采用多层台阶式夹爪，可以在不更换任何零件的情况下，完成对多种尺寸圆盘类零件的定位。本实用新型可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。

Description

一种圆盘类零件的定位机构

技术领域

本实用新型涉及半导体行业自动化技术领域，更具体地，涉及一种用于对圆盘类零件进行精确定位的定位机构。

背景技术

在半导体行业的自动化制程中，经常需要将圆盘类的零件搬运到回转机构上，以便对此类圆盘类零件进行圆周方向的定位，以及让圆盘类零件围绕自身中心进行精确旋转。

现有对圆盘类零件进行定位的方式一般有两种：一种是利用搬运机构，在搬运机构上直接对圆盘类零件进行中心(圆心)定位，然后再将圆盘类零件搬运并放置在回转机构上，通过回转机构进行旋转角度的定位。然而，这种方式需要搬运机构与回转机构之间具有很高的相对精度。

另一种方式是利用搬运机构直接将圆盘搬运到一个中转平台上，然后由X-Y轴移动机构将回转中心移动到圆盘类零件的中心位置，再通过升降装置使回转中心与圆盘类零件进行接触回转，进行圆周方向上的定位。然而，这种方式经历的动作过程比较复杂，且整个动作流程花费的时间较长。

上述这两种对圆盘类零件进行定位的方式，对前后工序之间的配合要求都很高，因而存在很大的局限性；并且，在整个自动化流程中，还会对其余各工位的节拍产生牵制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种圆盘类零件的定位机构。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种圆盘类零件的定位机构，包括：

夹持模块，包括多个夹持件，用于从侧部对所述圆盘类零件进行夹紧，以对所述圆盘类零件的圆心进行定位；

旋转模块，连接夹持模块，用于通过驱动夹持模块转动，带动所述圆盘类零件旋转；

检测模块，用于对所述圆盘类零件的旋转角度进行检测。

进一步地，所述夹持件为夹爪，所述夹爪上设有多个夹持面，用于对不同尺寸的圆盘类零件进行夹紧。

进一步地，多个所述夹持面之间按由内向外位置依次增高的方式形成多层台阶。

进一步地，所述夹爪为气动夹爪，各所述气动夹爪连接同一气缸。

进一步地，所述气缸的中心连接旋转模块。

进一步地，所述旋转模块包括相连设置的电机和转轴，所述转轴连接气缸的中心。

进一步地，所述电机为伺服电机。

进一步地，所述检测模块包括传感器，通过所述传感器检测所述圆盘类零件旋转时的角度位置，来完成角度定位。

进一步地，所述传感器为激光传感器，通过所述激光传感器向所述圆盘类零件表面发射激光，对所述圆盘类零件表面设有的标记点进行检测，以对所述圆盘类零件的旋转角度进行检测。

进一步地，还包括计算单元，所述传感器连接计算单元。

本实用新型采用精简的设计机构，可以随意安装在半导体设备上，使设备集成圆盘类零件精确定位功能。也可以将本实用新型单独作为一个定位设备，完成圆周精确定位功能。此外，本实用新型利用气动夹爪来夹紧圆盘类零件，定圆心速度快，结构简单；采用伺服电机带动圆盘类零件旋转角度精度高。同时，本实用新型采用多层台阶式夹爪，可以在不更换任何零件的情况下，完成对多种尺寸圆盘类零件的定位。本实用新型可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。

附图说明

图1是本实用新型一较佳实施例的一种圆盘类零件的定位机构的立面结构示意图。

图2是本实用新型一较佳实施例的一种圆盘类零件的定位机构的侧面结构示意图。

图3是本实用新型一较佳实施例的一种圆盘类零件的定位机构的定位动作示意图。

图4是本实用新型一较佳实施例的一种夹爪的结构示意图。

图中1.夹持件/夹爪/气动夹爪，2.圆盘类零件，3.传感器/激光传感器，4.电机/伺服电机。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。

在以下本实用新型的具体实施方式中，请参阅图1，图1是本实用新型一较佳实施例的一种圆盘类零件的定位机构的立面结构示意图。如图1所示，本实用新型的一种圆盘类零件的定位机构，包括：夹持模块，旋转模块，检测模块几个主要组成部分。

请参阅图1。夹持模块包括多个夹持件1，例如图中示意性显示的三个夹持件1。夹持件1围绕设置在圆盘类零件2的外周方位，并可以各夹持件1所形成的中心为圆心，向内侧及外侧方向作径向运动，以便从侧部对圆盘类零件2进行夹紧，并进而对圆盘类零件2的圆心进行定位。

请参阅图4，图4是本实用新型一较佳实施例的一种夹爪的结构示意图。如图4所示，夹持件1可采用夹爪1的形式。图中显示了其中一个夹爪1的结构。在夹爪1上可加工出多个竖直的夹持面；并且，同一个夹爪1上，不同的夹持面分别处于对应不同尺寸的圆盘类零件2外周的位置，从而可以只用一个夹爪1实现对不同尺寸的圆盘类零件2进行夹紧。

上述每个夹爪1的多个夹持面之间可按由内向外位置依次增高的方式排列，并依次通过水平的圆盘类零件放置平面连接起来，形成图示多层台阶的结构。通过采用多层台阶式夹爪1，可以在不更换任何零件的情况下，完成对多种尺寸圆盘类零件2的夹持及定位。

请参阅图2并结合参阅图4，图2是本实用新型一较佳实施例的一种圆盘类零件的定位机构的侧面结构示意图。如图2所示，夹持模块还包括一个气缸，而夹爪1可采用气动夹爪1。各气动夹爪1可通过缸杆连接至气缸。气动夹爪1可通过紧固件与缸杆进行安装连接。采用气缸控制的气动夹爪1作为夹持件1，可以实现快速的同步运动。

同时，由于圆盘类零件2旋转时是由气动夹爪1夹持住的，可以有效地防止旋转时圆盘类零件2打滑和受到离心力影响而产生偏心的情况。

气缸的中心底部与旋转模块相连接。

请参阅图2并结合参阅图1。旋转模块连接夹持模块，用于通过驱动夹持模块转动，带动圆盘类零件2旋转。旋转模块可包括相连设置的电机4和转轴；其中，转轴连接在气缸的中心底部上，这样，通过启动电机4，使转轴转动，就可驱动气缸转动，带动气动夹爪1转动，从而带动圆盘类零件2同步旋转。

作为一优选的实施方式，电机4可采用伺服电机4。伺服电机4带动圆盘类零件2旋转时的角度精度高，可以达到高精度圆周定位的效果。

请参阅图2并结合参阅图1。检测模块用于对圆盘类零件2的旋转角度进行检测。检测模块包括传感器3，通过传感器3检测圆盘类零件2旋转时的角度位置，来完成角度定位。

作为一优选的实施方式，传感器3可采用激光传感器3。通过激光传感器3向圆盘类零件2表面发射激光，对圆盘类零件2表面设有的标记点进行检测，就可以对圆盘类零件2的旋转角度进行精确检测。

检测模块还可包括计算单元，传感器3连接计算单元。计算单元可用于对来自传感器3的检测信号进行计算，获得圆盘类零件2的高精度圆周定位数据。

请参阅图3，图3是本实用新型一较佳实施例的一种圆盘类零件的定位机构的定位动作示意图。如图3所示，其显示本实用新型是一种由气动夹爪1将圆盘类零件2夹住，再由伺服电机4带动圆盘类零件2旋转，激光传感器3对圆盘类零件2角度进行检测的精确定位机构。

本实用新型工作时，在初始位置时如图3所示，初始状态时气动夹爪1处于张开状态，圆盘类零件2可以直接放置在夹爪1上。在定位过程中，当气动夹爪1夹紧时，气动夹爪1会将圆盘类零件2的圆心定位在跟气动夹爪1的气缸同心，以确定圆心位置，从而达到定心的功能。然后，在夹紧状态下，伺服电机4带动气动夹爪1旋转，圆盘类零件2上面的激光传感器3会对圆盘类零件2表面上的标记点进行检测；当检测到后，会将这个位置标记下来，以确定圆盘类零件2的角度位置，完成圆周及角度定位，为后续的相关工作做好准备。

整个过程中通过气动夹爪1将圆盘类零件2夹住，可避免旋转时圆盘类零件2受离心力作用出现圆心偏移现象。

本实用新型利用气动夹爪来夹紧圆盘类零件，定圆心速度快，结构简单；同时，本实用新型采用多层台阶式夹爪，可以在不更换任何零件的情况下，完成对多种尺寸圆盘类零件的定位。并且，采用伺服电机带动圆盘类零件旋转角度精度高。

本实用新型采用精简的设计机构，其整个机构可作为一个标准整体模块，方便集成到自动化制程中。例如，本实用新型可以随意安装在半导体设备上，使设备集成圆盘类零件精确定位功能。也可以将本实用新型单独作为一个定位设备，完成圆周精确定位功能。

本实用新型可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。

以上所述的仅为本实用新型的优选实施例，所述实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种圆盘类零件的定位机构，其特征在于，包括：

夹持模块，包括多个夹持件，用于从侧部对所述圆盘类零件进行夹紧，以对所述圆盘类零件的圆心进行定位；

旋转模块，连接夹持模块，用于通过驱动夹持模块转动，带动所述圆盘类零件旋转；

检测模块，用于对所述圆盘类零件的旋转角度进行检测。

2.根据权利要求1所述的圆盘类零件的定位机构，其特征在于，所述夹持件为夹爪，所述夹爪上设有多个夹持面，用于对不同尺寸的圆盘类零件进行夹紧。

3.根据权利要求2所述的圆盘类零件的定位机构，其特征在于，多个所述夹持面之间按由内向外位置依次增高的方式形成多层台阶。

4.根据权利要求2所述的圆盘类零件的定位机构，其特征在于，所述夹爪为气动夹爪，各所述气动夹爪连接同一气缸。

5.根据权利要求4所述的圆盘类零件的定位机构，其特征在于，所述气缸的中心连接旋转模块。

6.根据权利要求5所述的圆盘类零件的定位机构，其特征在于，所述旋转模块包括相连设置的电机和转轴，所述转轴连接气缸的中心。

7.根据权利要求6所述的圆盘类零件的定位机构，其特征在于，所述电机为伺服电机。

8.根据权利要求1所述的圆盘类零件的定位机构，其特征在于，所述检测模块包括传感器，通过所述传感器检测所述圆盘类零件旋转时的角度位置，来完成角度定位。

9.根据权利要求8所述的圆盘类零件的定位机构，其特征在于，所述传感器为激光传感器，通过所述激光传感器向所述圆盘类零件表面发射激光，对所述圆盘类零件表面设有的标记点进行检测，以对所述圆盘类零件的旋转角度进行检测。

10.根据权利要求8或9所述的圆盘类零件的定位机构，其特征在于，还包括计算单元，所述传感器连接计算单元。