JPH06151483A - ダイ位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイ位置決め装置を小型化し、かつ自動ボン
ダにおける設置箇所の自由度を大きくする。 【構成】 スライダ１２に位置決め爪２４を設け、位置
決め台２０にはダイ２１を吸引するエアー孔２２を開口
する。スプリング１５によってスライダ１２を位置決め
台２０側へ付勢し、スライダ１２に設けたベアリング１
６をカム１１に当接させベアリング１６によりスライダ
１２を支持させる。モータ６によりカム１１を回転させ
ると、位置決め爪２４の延出端部がダイ２１の互いに隣
接する２つの側辺に当接し、位置決め台２０に当接する
までダイ２１を移動する。移動されるダイ２１は、エア
ー孔２２を中心に回転して姿勢を矯正されるととに所定
位置に移動（位置決め）される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、全自動ダイボンダに
使用するダイ位置決め装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、高精度のボンディングを行なう自
動ダイボンダは、チップトレイ等の上にあるダイをボン
ディング位置に直接搬送せず、ダイをチップトレイ等か
らダイ位置決め装置に搬送し、該ダイ位置決め装置によ
りダイの位置決めを正確に行なった後、ダイをダイ位置
決め装置からボンディング位置に搬送するようになって
いる。また、本出願人にあっては、このような自動ダイ
ボンダに使用される優れたダイ位置決め装置を案出し、
既にそれを公表している（実開昭６２−１１２１４７号
公報参照）。

【０００３】図４はかかるダイ位置決め装置３０を示す
ものである。このダイ位置決め装置３０は、モータ３１
によりねじ軸３２を回転して、ねじ軸３２に螺合された
左右一対のスライダ３３，３４を互いに近づくように移
動させ、そのスライダ３３，３４に、ばね３５，３６を
介して取り付けられた位置決め爪３７，３７をチャック
台３８上にて開閉作動させる構造となっている。そし
て、開閉作動する位置決め爪３７，３７によってダイ３
９を挾持し、これによりダイ３９をチャック台３８上の
所定位置に正確に位置決めすることができるのである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のダイ位置決め装置３０は、図４から明らかなよ
うに、チャック台３８の左右両側に位置決め爪３７，３
７をそれぞれ配置し、これら位置決め爪３７，３７をね
じ軸３２及びモータ３１と直列に連繋する構成であるた
め、位置決め爪３７，３７の開閉方向に沿って全体構造
が長大になっていた。このため、自動ダイボンダ全体の
小型化を図る上でダイ位置決め装置３０の長大さが問題
となり、また、ダイ位置決め装置を既存する自動ボンダ
に設置する場合には、配置箇所を限定されてしまうとい
う問題があった。

【０００５】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、より一層小型化され、かつ設置箇
所の自由度の大きなダイ位置決め装置の提供を目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明にあっては、ダイを吸引するエアー孔が開口す
る吸引プレートと、該吸引プレート上に載置された前記
ダイの互いに隣接する２つの側辺に当接される位置決め
爪と、該位置決め爪を所定位置にスライドさせる移動手
段とを備えている。また、前記移動手段が前記位置決め
爪のスライド量を決めるカムを備えたものであることが
望ましい。さらに、スライドされる前記位置決め爪を前
記所定位置に停止するストッパを備えたものとすること
が好ましい。

【０００７】

【作用】前記構成において、吸引プレート上にダイが置
かれるとエア孔によってダイが吸引プレート上に吸引さ
れる。すると移動手段によって位置決め爪が所定位置に
スライドされる。このとき、スライドする位置決め爪が
ダイの互いに隣接する２つの側辺に当接されるため、吸
引プレート上に吸引されたダイはその吸引箇所を中心に
適宜回動され、位置決め爪によって姿勢を矯正されなが
ら位置決め爪とともに移動して所定位置に移動（位置決
め）される。したがって、１つの位置決め爪によってダ
イの位置決めを正確に行うことができる。

【０００８】また、前記移動手段が位置決め爪のスライ
ド量を決めるカムを有する場合には、そのカムの輪郭曲
線によってスライドする位置決め爪の速度・加速度を調
整できる。さらに、スライドされる位置決め爪を所定位
置に停止させるストッパを備えている場合には、前記移
動手段側において位置決め爪のスライド量を厳密に制御
することなく、位置決め爪が確実に所定位置に停止され
る。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図にしたがって説
明する。すなわち、図１〜図３は本発明の一実施例であ
るダイ位置決め装置を示すものであって、基台１上には
移動手段であるカム機構２が設けられており、このカム
機構２は、動力部３とカム部４及びこれらを連繋するベ
ルト伝動部５により構成されている。前記動力部３は、
モータ６と該モータ６の回転を減速して出力するギヤボ
ックス７とからなり、モータ６をギヤボックス７に固定
したのち、このギヤボックス７を基台１に固定されてい
る。なお、ギヤボックス７の外部にはモータ６に連結さ
れた駆動軸８が突出されている（図２）。

【００１０】前記カム部４は、軸受９，９で枢支したカ
ム軸１０と、該カム軸１０に固定したカム１１と、該カ
ム１１の従動子として機能するスライダ１２とからなっ
ている。このうち、スライダ１２は、基台１に固定した
ガイドブロック１３上をスライドできるようになってお
り、基台１に立設された支柱１４とスプリング１５を介
して連結されている。さらに、スライダ１２にはベアリ
ング１６が設けられており、このベアリング１６が前記
スプリング１５のばね力でカム１１へ押圧されている。
すなわち、カム１１がスプリング１５の付勢に抗してス
ライダ１２を支持するとともに、該スライダ１２の位置
を規制しているのである。そして、前記ベルト伝動部５
は、ギヤボックス７から突出する前記駆動軸８の先端に
は固定された駆動側プーリ１７と、前記カム軸１０の一
端に固定された従動側プーリ１８と、これら双方のプー
リ１７，１８に掛け渡されたベルト１９とから構成され
ている。

【００１１】一方、基台１には、前記スライダ１２が付
勢された側に吸入プレートである位置決め台２０が立設
されている。この位置決め台２０は、その上端面を平滑
に形成され、かつスライダ１２側の側面２０ａを、図示
しない搬送装置によって搬送されるダイ２１の角部の輪
郭に合致する形状に形成されるとともに、前記上端面に
はダイ２１を吸着するエアー孔２２が所定位置に開口さ
れている。なお、エアー孔２２は、エアノズル２３を介
して図外のコンプレッサ等に連通されている。

【００１２】他方、前述したスライダ１２の上部には位
置決め台２０に向かって延出する位置決め爪２４が固定
されている。この位置決め爪２４は、その延出端部を前
記ダイ２１の角部の輪郭、すなわち位置決め台２０の前
記側面２０ａに合致する形状に形成されている。また、
位置決め爪２４は、スプリング１５のばね力でスライダ
１２が位置決め台２０側に移動されたとき、その延出端
部が位置決め台２０の上端部（側面２０ａ）に当接する
とともに、その上面が位置決め台２０の上端面よりもや
や上方に位置するように取付位置を予め設定されてい
る。

【００１３】なお、前述したカム軸１０の他端部にはス
リット板２６が固定されており、スリット板２６の近傍
にはセンサ２５が配設されている。このセンサ２５は、
発光部２５ａと受光部２５ｂとを備えており、前記スリ
ット板２６と組み合わされ、カム軸１０を所定回転位置
で停止させるために使用される。

【００１４】以上の構成からなる本実施例において、図
外のチップトレイ等から搬送されてきたダイ２１が吸着
プレート２０上に置かれると、図外のコンプレッサ等が
作動され、位置決め台２０のエアー孔２２からエアーが
吸引されるため、ダイ２１は位置決め台２０の上面に吸
着される。このとき、モータ６が通電され、カム機構２
が作動する。すなわち、モータ６の回転がギャボックス
７で減速され、その減速された駆動軸８の回転がベルト
伝動部５を介してカム軸１０に伝えられる。また、カム
１１は始動時にその大径部分がスライダ１２のベアリン
グ１６に接しており（図１に示した状態）、ベアリング
１６との接触位置がカム軸１０の回転とともに小径側へ
移動する、これによってスライダ１２は位置決め台２０
側へ移動され、やがて位置決め爪２４が位置決め台２０
の側面２０ａに当接される。

【００１５】このとき、スライドする位置決め爪２４は
その延出端部がダイ２１の角部の輪郭、すなわち互いに
隣接する２つの辺に当接する形状であるため、位置決め
台２０の上端面に吸引されたダイ２１はエアー孔２２を
中心に適宜回動されて、位置決め爪２４によって姿勢を
矯正されながら位置決め爪２４とともに移動され、これ
により所定位置に確実に案内される（位置決めされ
る）。したがって、１つの位置決め爪２４のみによって
ダイ２１の位置決めを行うことができる。

【００１６】一方、カム１１が１８０度回転すると、カ
ム１１の最小径部分とベアリング１６との間には隙間が
生じるようになっており、位置決め爪２４はスプリング
１５の弾性力で吸着プレート２０の側面２０ａに押圧さ
れる。すなわち、本実施例においては、位置決め台２０
が吸引プレートとストッパとの双方を実現しているので
ある。さらににカム１１が回転すると、ベアリング１６
に接触するカム１１の径が増大するため、スライダ１２
及び位置決め爪２４は、スプリング１５の力に抗して吸
着プレート２０から離れる方向へスライドし、元の位置
に復帰して停止する。その後、ダイ２１はボンディング
位置へ搬送される。なお、かかる際、エアー孔２２から
のエアーの吸引（ダイ２１の吸着）が停止するようにな
っている。

【００１７】以上のように本実施例は、位置決め台２０
上にエアーで吸着したダイ２１を一個の位置決め爪２４
により正確に位置決めできるため、位置決め爪を２個対
向配置する従来例に比較し、構成を簡素化することがで
き、全体構造を小型化することができる。しかも、従来
のようにダイ２１を位置決め爪２４で挾圧することがな
いため、位置決め時にダイ２１に不要な力が作用しない
という効果がある。

【００１８】また、スライダ１２をカム機構２によって
スライドさせる構成であることから、カム１１の輪郭曲
線を工夫することにより位置決め爪２４の速度・加速度
を調整できる。したがって、位置決め爪２４が位置決め
台２０に当接する時点の速度を他の時点よりも小さくす
ることにより、位置決め爪２４が位置決め台２０に当接
する際の衝撃を緩和してダイ２１の慣性による擦れを防
止しすることができ、その結果、ダイ２１の位置決め速
度を低下させることなく、一層正確なダイ２１の位置決
めを行うことができる。

【００１９】さらに、本実施例ではスライドされる位置
決め爪２４がストッパ、本実施例では位置決め台２０、
によって所定位置に停止される構造であることから、前
記カム機構２、又は他の移動手段側において位置決め爪
２４のスライド量を厳密に調整することなく、位置決め
爪２４を確実に所定位置に停止できる。したがって、位
置決め爪２４をスライドさせる機構を簡単な構造にする
ことができる。

【００２０】なお、本実施例では、位置決め台２０をス
トッパとして機能させるもののみを示したが、これに限
られることなく、例えばガイドブロック１３にストッパ
を設け、そのストッパにスライダ１２を当接させるよう
にしてもよい。またその際には、ストッパをスライダ１
２（位置決め爪２４）の作動方向に移動できるようにし
ておけば、大きさ等が異なる他のダイに対処することも
できる。

【００２１】また、本実施例では、ダイ２１の姿勢を矯
正しつつ位置決めする位置決め爪２４の延出端部が、ダ
イ２１の角部の輪郭に合致する形状に形成されたものを
示したが、これに限らず位置決め爪２４（延出段部）
を、ダイ２１の互いに隣接する２つの側辺に当接する他
の形状、例えばダイ２１側に２つの突起を設けた形状と
してもよい。

【００２２】

【発明の効果】以上の説明したように本発明は、吸引プ
レート上に載置されたダイをエアー孔によって吸引する
とともに、ダイが有する互いに隣接する２つの側辺に当
接する位置決め爪を移動手段によって所定位置に移動さ
せるとこによって、前記ダイの姿勢を矯正しつつ所定位
置に移動、すなわち位置決めする構成としたことから、
１つの位置決め爪によってダイの位置決めを正確に行う
ことができる。よって、位置決め爪を二個対向配置する
従来のもののように、位置決め爪の作動方向に沿って装
置が長大化することがなく、かつ構成を簡素化すること
ができるため、より一層小型化され、かつ設置箇所の自
由度の大きなダイ位置決め装置を提供することが可能と
なる。しかも、位置決め爪で挾圧することがないため、
位置決め時にダイに不要な力が作用しないという効果も
ある。

【００２３】また、前記移動手段が位置決め爪のスライ
ド量を制御するカムを有するものとしたことから、カム
の輪郭曲線によって位置決め爪の速度・加速度を調整で
きる。よって、所定位置に達する時点の位置決め爪のス
ライド速度を他の時点よりも低くするように前記輪郭曲
線を設定することにより、ダイの位置決め速度を低下さ
せることなく、より一層正確にダイの位置決めを行うこ
とができる。

【００２４】さらに、スライドされる位置決め爪を所定
位置に停止させるストッパを備えたものにおいては、前
記移動手段側において位置決め爪のスライド量を厳密に
制御させる必要がない。よって、移動手段側の構成を簡
素化することができ、これによっても装置自体の小型化
を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すダイ位置決め装置の外
観斜視図である。

【図２】スリット板及びセンサを取り除いた状態を示す
図１のＡ方向矢視図（正面図）である。

【図３】図１のＢ方向矢視図（平面図）である。

【図４】従来のダイ位置決め装置の外観斜視図である。

【符号の説明】

２ カム機構（移動手段） ３ 動力部（カム機構） ４ カム部（カム機構） ５ ベルト伝動部（カム機構） １１ カム ２０ 位置決め台（吸引プレート、ストッパ） ２０ａ （位置決め台の）側面 ２１ ダイ ２２ エアー孔 ２４ 位置決め爪

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ダイを吸引するエアー孔が開口する吸引
   プレートと、 該吸引プレート上に載置された前記ダイの互いに隣接す
   る２つの側辺に当接される位置決め爪と、 該位置決め爪を所定位置にスライドさせる移動手段と、
   を備えたことを特徴とするダイ位置決め装置。
2. 【請求項２】 前記移動手段が前記位置決め爪のスライ
   ド量を決めるカムを備えたことを特徴とする請求項１記
   載のダイ位置決め装置。
3. 【請求項３】 スライドされる前記位置決め爪を前記所
   定位置に停止するストッパを備えたことを特徴とする請
   求項１又は２記載のダイ位置決め装置。