JPH06143178A - 微小物把握装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 微小物の把握を衝撃力を伴うことなく、高精
度に確実に行うことができ、コンパクトで占有スペース
が小である微小物把握装置を提供する。 【構成】 Ｘ状に交叉する１対の把握爪１、１と、前記
交叉する箇所で１対の把握爪１、１を枢支する枢軸２
と、枢軸２を支持する本体３と、本体３に回転可能に支
持され１対の把握爪１、１の基端部４、４に当接するカ
ム５と、前記基端部４、４の夫々をカム５に弾接させる
ためのバネ６、６と、本体３に支持されると共にカム５
を回転駆動する回転駆動体７とを備え、夫々の把握爪
１、１の先端部に内側に屈曲する微小物把握部８、８が
形成され、かつ１対の把握爪１、１の基端部の外径寸法
が微小物把握部８、８の外径寸法より大に構成されてい
ることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、微小電子部品等の微小
物を把握する装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、微小物把握装置は小型化する被把
握品を、高速、高精度で把握できると共にコンパクトな
構成とすることが要請されている。

【０００３】図２に示す従来例は、エアシリンダ式微小
物把握装置である。この従来例は、エアシリンダ２１の
下部両端に１対の把握爪２２、２２を枢軸２３、２３を
介して枢支し、エアシリンダ２１のピストン２４の上下
動を前記把握爪２２、２２の開閉動に変換して、微小物
ａを把握するように構成されたものである。

【０００４】図３に示す従来例は、真空吸着式微小物把
握装置である。この従来例は、吸着ノズル３１を、真空
発生源３２に接続し、微小物ａを吸着把握するものであ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで図２に示す従
来例においては、コンパクト化が困難なエアシリンダ構
造を備えると共に、開動作時に１対の把握爪２２、２２
が外方に拡がって装置全体の占有スペースが大きくなる
という問題がある。又この従来例はピストン２４の直進
動を、これとは直角方向に動く把握爪２２、２２の開閉
動に変換するものであり、把握爪２２、２２の開閉動を
微妙に制御することが困難であって、把握時に微小物ａ
に衝撃力が作用し易いという問題もある。

【０００６】他方、図３に示す従来例においては、微小
物ａの吸着面積が小さいため、吸着ノズル３１の保持力
が不足して、確実な把握が困難であるという問題点を有
している。又位置ズレが生じ易く、精度に欠けるという
問題点をも有している。

【０００７】本発明は上記従来例の諸問題点を解消した
微小物把握装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、Ｘ状に交叉する１対の把握爪と、前記交叉す
る箇所で１対の把握爪を枢支する枢軸と、枢軸を支持す
る本体と、本体に回転可能に支持され１対の把握爪の基
端部に当接するカムと、前記基端部の夫々をカムに弾接
させるためのバネと、本体に支持されると共にカムを回
転駆動する回転駆動体とを備え、夫々の把握爪の先端部
に内側に屈曲する微小物把握部が形成され、かつ１対の
把握爪の基端部の外径寸法が微小物把握部の外径寸法よ
り大に構成されていることを特徴とする。

【０００９】

【作用】本発明によると、カムの回転により１対の把握
爪を開閉動させる構造を採用しているので、エアシリン
ダ構造のものに比較して、回転駆動体を備えた本体の構
造をコンパクトにでき、特に１対の把握爪の基端部の外
径寸法を微小物把握部の外径寸法より大に構成している
ので、装置全体を本体の外径より概ね小とすることがで
きる結果、コンパクトで占有スペースが小である微小物
把握装置を提供することができる。

【００１０】又本発明によると、１対の把握爪の開閉動
をカムの回転により行い、カムのカム径の方向と１対の
把握爪の開閉方向とを同一方向とすることができると共
に微妙な開閉動制御が可能となるので、微小物の把握を
衝撃力を伴うことなく、確実に行うことができる。

【００１１】更に本発明によると、１対の把握爪によっ
て微小物を把握するので、微小物を位置ズレを生ずるこ
となく、高精度に把握することができる。

【００１２】

【実施例】本発明の実施例を図１を参照して説明する。

【００１３】本発明の実施例の微小物把握装置は、Ｘ状
に交叉する１対の把握爪１、１と、前記交叉する箇所で
１対の把握爪１、１を枢支する枢軸２と、枢軸２を支持
する本体３と、本体３に回転可能に支持され１対の把握
爪１、１の基端部４、４に当接するカム５と、前記基端
部４、４の夫々をカム５に弾接させるためのバネ６、６
と、本体３に支持されると共にカム５を回転駆動する回
転駆動体７とを備えている。

【００１４】１対の把握爪１、１の先端部の夫々には、
内側に屈曲する微小物把握部８、８が形成されている。
そして図１の（ａ）に示すように、１対の把握爪１、１
の基端部４、４の外径寸法が微小物把握部８、８の外径
寸法より大となるように構成されている。

【００１５】前記カム５のカム形状は、図１の（ｂ）に
示すように、基本形状が円形であり、点対称位置に１対
の把握爪１、１を閉動作させる突出外径部５ａが形成さ
れ、滑らかに把握爪１、１の閉動作を行えるようにして
いる。

【００１６】１対のバネ６、６は板バネで構成され、１
対の把握爪１、１の基端部４、４をカム５のカム周面に
常時弾圧させている。

【００１７】回転駆動体７は小型モータで構成され、そ
の出力軸７ａは、カプリング９を介してカム軸１０に接
続され、カム軸１０の先端に固着したカム５を回転させ
る。

【００１８】回転駆動体７の回転位置は、回転駆動体７
に取付けられた位置検出用円盤１１の回転位置を、検出
センサ１２によって検出することにより検出し、又この
回転位置の検出によって１対の把握爪１、１の開閉動を
検出することができる。

【００１９】本体３は円筒形に形成され、その上端に前
記回転駆動体７が取付けられ、前記カム軸１０が本体３
の中空部を貫通し、軸受１３を介して本体３に支持され
ている。前記回転駆動体７としては、小型モータの外、
空圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ等を用いるこ
とができる。

【００２０】１対の把握爪１、１の開閉動は、回転駆動
体７の駆動によりカム５を回転させることにより行なわ
れ、カム５のカム形状を適切な形状とすることにより、
微小物の把握動作を衝撃力を与えることなくスムースに
行なわせることができる。

【００２１】

【発明の効果】本発明によれば、微小物の把握を衝撃力
を伴うことなく、高精度に確実に行うことができ、コン
パクトで占有スペースが小である微小物把握装置を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示し、（ａ）はその全体の縦
断正面図、（ｂ）はカムの平面図である。

【図２】第１の従来例の縦断正面図である。

【図３】第２の従来例の正面図である。

【符号の説明】

１ 把握爪 ２ 枢軸 ３ 本体 ４ 基端部 ５ カム ６ バネ ７ 回転駆動体 ８ 微小物把握部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ状に交叉する１対の把握爪と、前記交
   叉する箇所で１対の把握爪を枢支する枢軸と、枢軸を支
   持する本体と、本体に回転可能に支持され１対の把握爪
   の基端部に当接するカムと、前記基端部の夫々をカムに
   弾接させるためのバネと、本体に支持されると共にカム
   を回転駆動する回転駆動体とを備え、夫々の把握爪の先
   端部に内側に屈曲する微小物把握部が形成され、かつ１
   対の把握爪の基端部の外径寸法が微小物把握部の外径寸
   法より大に構成されていることを特徴とする微小物把握
   装置。
2. 【請求項２】 カムは基本形状が円形であり、点対称位
   置に１対の把握爪を閉動作させる突出外径部が形成され
   ている請求項１記載の微小物把握装置。