JPH0613425A - ワイヤクランプ装置及びワイヤクランプ方法 - Google Patents
ワイヤクランプ装置及びワイヤクランプ方法Info
- Publication number
- JPH0613425A JPH0613425A JP5084621A JP8462193A JPH0613425A JP H0613425 A JPH0613425 A JP H0613425A JP 5084621 A JP5084621 A JP 5084621A JP 8462193 A JP8462193 A JP 8462193A JP H0613425 A JPH0613425 A JP H0613425A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- clamping
- input voltage
- command input
- clamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/786—Means for supplying the connector to be connected in the bonding apparatus
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/851—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector the connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 棒状の本体１５と、一端をこの棒状の本体１
５の長手方向一端に接続されると共にこの本体１５の長
手方向外側へ延出させて設けられ、上記本体１５との接
続部である切欠ヒンジ部Ｅを支点にして開閉自在に設け
られたクランプ可動片２７と、このクランプ可動片２７
をクランプ方向に付勢するスプリング２８と、上記本体
１５内に収納され、長さ方向に変位することで上記クラ
ンプ可動片２７を駆動してクランプ作用を行わせる圧電
素子２１と、上記圧電素子に接続され、この圧電素子２
１に所定の指令入力電圧を印加する制御部２４とを有す
るものである。 【効果】 このような構成によれば、熟練を要すること
なく、任意に上記クランプ力およびこのワイヤにかかる
衝撃力を制御することができ、かつ小型軽量のワイヤク
ランプ装置を得ることができる。
５の長手方向一端に接続されると共にこの本体１５の長
手方向外側へ延出させて設けられ、上記本体１５との接
続部である切欠ヒンジ部Ｅを支点にして開閉自在に設け
られたクランプ可動片２７と、このクランプ可動片２７
をクランプ方向に付勢するスプリング２８と、上記本体
１５内に収納され、長さ方向に変位することで上記クラ
ンプ可動片２７を駆動してクランプ作用を行わせる圧電
素子２１と、上記圧電素子に接続され、この圧電素子２
１に所定の指令入力電圧を印加する制御部２４とを有す
るものである。 【効果】 このような構成によれば、熟練を要すること
なく、任意に上記クランプ力およびこのワイヤにかかる
衝撃力を制御することができ、かつ小型軽量のワイヤク
ランプ装置を得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、ワイヤボン
ディング装置、コイル巻線機、溶接機等に装備されるワ
イヤクランプ装置及びワイヤクランプ方法に関するもの
である。
ディング装置、コイル巻線機、溶接機等に装備されるワ
イヤクランプ装置及びワイヤクランプ方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体装置の製造に使用される
ワイヤボンディング装置においては、ワイヤボンディン
グを行うためにワイヤをクランプして繰出したり上記ワ
イヤに張力を付加したりする必要がある。このため、上
記ワイヤボンディング装置には上記ワイヤをクランプ・
アンクランプするワイヤクランプ装置が設けられてい
る。
ワイヤボンディング装置においては、ワイヤボンディン
グを行うためにワイヤをクランプして繰出したり上記ワ
イヤに張力を付加したりする必要がある。このため、上
記ワイヤボンディング装置には上記ワイヤをクランプ・
アンクランプするワイヤクランプ装置が設けられてい
る。
【０００３】従来、クランプ力を比較的容易に変更で
き、インデックス時間が短かく、小型軽量で応答時間の
速いワイヤクランプ装置として図１２に１で示すような
ものが考案、開示されている。
き、インデックス時間が短かく、小型軽量で応答時間の
速いワイヤクランプ装置として図１２に１で示すような
ものが考案、開示されている。
【０００４】図中２は先端にワイヤ挟持片３を有し、こ
のワイヤ挟持片３を対向させて設けられた一対のクラン
プ可動板である。このクランプ可動板２の後端部の中途
部は固定部４に接続されている。
のワイヤ挟持片３を対向させて設けられた一対のクラン
プ可動板である。このクランプ可動板２の後端部の中途
部は固定部４に接続されている。
【０００５】この接続部分は、切欠ヒンジ部Ａとなって
いて上記一対の可動板２、２はそれぞれの切欠ヒンジ部
Ａ、Ａを支点にしてクランプ・アンクランプ方向に回動
可能となっている。
いて上記一対の可動板２、２はそれぞれの切欠ヒンジ部
Ａ、Ａを支点にしてクランプ・アンクランプ方向に回動
可能となっている。
【０００６】また、図中５は上記クランプ可動板２をク
ランプ方向に付勢するスプリングなどの弾性体、６はこ
の弾性体５の弾性力を調整し、ワイヤクランプ力を変更
させるクランプ力制御部である。
ランプ方向に付勢するスプリングなどの弾性体、６はこ
の弾性体５の弾性力を調整し、ワイヤクランプ力を変更
させるクランプ力制御部である。
【０００７】また、上記可動板２の後端はＬ字形状のリ
ンク７の一端部に切欠ヒンジ部Ｂを介して接続されてい
る。また、このリンク７のＬ字屈曲部７ａは上記固定部
４に同じく切欠ヒンジ部Ｃを介して接続されている。
ンク７の一端部に切欠ヒンジ部Ｂを介して接続されてい
る。また、このリンク７のＬ字屈曲部７ａは上記固定部
４に同じく切欠ヒンジ部Ｃを介して接続されている。
【０００８】さらに、上記固定部４内には、圧電素子９
が設けられている。この圧電素子９は一端面を上記固定
部４に固定し、図に１０で示す電源駆動部により電圧を
印加されることで図に矢印（イ）で示す他端部方向に伸
縮するように設けられている。
が設けられている。この圧電素子９は一端面を上記固定
部４に固定し、図に１０で示す電源駆動部により電圧を
印加されることで図に矢印（イ）で示す他端部方向に伸
縮するように設けられている。
【０００９】上記圧電素子９の他端面は切欠ヒンジ部Ｄ
を介して上記リンク７の他端部に接続されている。した
がってこのワイヤクランプ装置１によれば、上記圧電素
子９を長さ（イ）方向に微小量変位させると、リンク７
が切欠ヒンジ部Ｃを支点にして図に矢印で示す方向にリ
ンク作動し、このリンク動作によって上記圧電素子９の
微小変位量が約数十倍に拡大されてクランプ可動板２、
２（挟持片３、３）をアンクランプ方向に作動させる。
を介して上記リンク７の他端部に接続されている。した
がってこのワイヤクランプ装置１によれば、上記圧電素
子９を長さ（イ）方向に微小量変位させると、リンク７
が切欠ヒンジ部Ｃを支点にして図に矢印で示す方向にリ
ンク作動し、このリンク動作によって上記圧電素子９の
微小変位量が約数十倍に拡大されてクランプ可動板２、
２（挟持片３、３）をアンクランプ方向に作動させる。
【００１０】またワイヤ１１をクランプする場合はクラ
ンプ可動板２、２（挟持片３、３）が開いている状態
（アンクランプ状態）で上記圧電素子９の電源駆動部１
０をＯＦＦにすると、圧電素子９が元の長さに瞬時に復
帰すると同時に上記可動板２、２（挟持片３、３）が上
記弾性体５に引っ張られて閉じ、クランプ可動板２、２
の復元力と上記弾性体５の弾性力とで決定されたクラン
プ力で上記ワイヤ１１をクランプする。
ンプ可動板２、２（挟持片３、３）が開いている状態
（アンクランプ状態）で上記圧電素子９の電源駆動部１
０をＯＦＦにすると、圧電素子９が元の長さに瞬時に復
帰すると同時に上記可動板２、２（挟持片３、３）が上
記弾性体５に引っ張られて閉じ、クランプ可動板２、２
の復元力と上記弾性体５の弾性力とで決定されたクラン
プ力で上記ワイヤ１１をクランプする。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ワイヤ
クランプ装置１において、ワイヤ１１の径がかわる等し
て上記クランプ力の調整が必要になる場合がある。この
場合、上記弾性体５の弾性力を調整する必要があるが、
所望のクランプ力に調整するには実際にクランプ力を測
定しながらする必要があり、熟練を必要としていた。
クランプ装置１において、ワイヤ１１の径がかわる等し
て上記クランプ力の調整が必要になる場合がある。この
場合、上記弾性体５の弾性力を調整する必要があるが、
所望のクランプ力に調整するには実際にクランプ力を測
定しながらする必要があり、熟練を必要としていた。
【００１２】また、上記クランプ可動板２、２は上記弾
性体５の復元力によって閉じるが、このときワイヤ１１
にかかる衝撃力を変更することはできなかった。また、
より高速化が求められるボンディング装置等において
は、上記ワイヤ１１を被ボンディング部材に押し付ける
ボンディングツ−ルと一緒に上記クランプ装置１を移動
させる必要性があり、上述のようなクランプ装置１でも
まだ大型であるということがある。
性体５の復元力によって閉じるが、このときワイヤ１１
にかかる衝撃力を変更することはできなかった。また、
より高速化が求められるボンディング装置等において
は、上記ワイヤ１１を被ボンディング部材に押し付ける
ボンディングツ−ルと一緒に上記クランプ装置１を移動
させる必要性があり、上述のようなクランプ装置１でも
まだ大型であるということがある。
【００１３】一方、上記圧電素子９は周囲温度の変化に
より電圧を印加しなくても若干変位する。従来の装置１
では、この圧電素子９が温度により変位するとクランプ
力や挟持片３、３の隙間に誤差が生じていた。そして、
この誤差の調整は作業環境に合わせていちいち行う必要
があり作業性が悪いということがあった。
より電圧を印加しなくても若干変位する。従来の装置１
では、この圧電素子９が温度により変位するとクランプ
力や挟持片３、３の隙間に誤差が生じていた。そして、
この誤差の調整は作業環境に合わせていちいち行う必要
があり作業性が悪いということがあった。
【００１４】この発明はこのような事情に鑑みて成され
たもので、熟練を要することなく、任意に上記クランプ
力およびこのワイヤにかかる衝撃力を制御することがで
き、かつ小型軽量のワイヤクランプ装置およびワイヤク
ランプ方法を提供することを目的とするものである。
たもので、熟練を要することなく、任意に上記クランプ
力およびこのワイヤにかかる衝撃力を制御することがで
き、かつ小型軽量のワイヤクランプ装置およびワイヤク
ランプ方法を提供することを目的とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この発明の第１の手段
は、棒状の本体と、一端部をこの棒状の本体の長手方向
一端に接続されると共に他端部をこの本体の長手方向外
方へ延出させ、上記本体との接続部を支点にして開閉す
ることで他端部でワイヤをクランプするクランプ可動片
と、このクランプ可動片をクランプ方向に付勢するスプ
リングと、上記本体内に収納され、指令入力電圧が印加
されることで上記クランプ可動片の一端部を駆動してク
ランプ作用を行わせる駆動装置と、この駆動装置に接続
され、この駆動装置に所定の指令入力電圧を印加する制
御部とを有することを特徴とするワイヤクランプ装置で
ある。
は、棒状の本体と、一端部をこの棒状の本体の長手方向
一端に接続されると共に他端部をこの本体の長手方向外
方へ延出させ、上記本体との接続部を支点にして開閉す
ることで他端部でワイヤをクランプするクランプ可動片
と、このクランプ可動片をクランプ方向に付勢するスプ
リングと、上記本体内に収納され、指令入力電圧が印加
されることで上記クランプ可動片の一端部を駆動してク
ランプ作用を行わせる駆動装置と、この駆動装置に接続
され、この駆動装置に所定の指令入力電圧を印加する制
御部とを有することを特徴とするワイヤクランプ装置で
ある。
【００１６】第２の手段は、上記第１の手段において、
上記本体に固定され上記駆動装置の上記本体の長手方向
他端側の端面を保持する保持部材を設けた場合に、上記
本体の熱膨張をα、上記駆動装置の熱膨張をβ、上記保
持部材の熱膨張をγとしたならば、 α＝β＋γ となる材質で上記本体、駆動装置、保持部を形成するこ
とを特徴とするワイヤクランプ装置である。
上記本体に固定され上記駆動装置の上記本体の長手方向
他端側の端面を保持する保持部材を設けた場合に、上記
本体の熱膨張をα、上記駆動装置の熱膨張をβ、上記保
持部材の熱膨張をγとしたならば、 α＝β＋γ となる材質で上記本体、駆動装置、保持部を形成するこ
とを特徴とするワイヤクランプ装置である。
【００１７】第３の手段は、上記第１の手段において、
上記クランプ可動片に貼着され、ワイヤをクランプする
ことでこのクランプ可動片に生じる撓みを検出する検出
器を具備し、上記制御部は、この検出器からの検出信号
に基づいて上記駆動装置に印加する指令入力電圧を制御
することを特徴とするワイヤクランプ装置である。
上記クランプ可動片に貼着され、ワイヤをクランプする
ことでこのクランプ可動片に生じる撓みを検出する検出
器を具備し、上記制御部は、この検出器からの検出信号
に基づいて上記駆動装置に印加する指令入力電圧を制御
することを特徴とするワイヤクランプ装置である。
【００１８】第４の手段は、一対のワイヤ挟持片の間に
挿通されるワイヤを、指令入力電圧が印加されることで
作動する駆動装置により駆動されるクランプ可動片のク
ランプ作用によってクランプ・アンクランプするように
したワイヤクランプ方法において、あらかじめ、上記駆
動装置に印加する指令入力電圧と上記挟持片間の距離と
の関係および上記指令入力電圧とクランプ力との関係を
求めておき、この関係に基づいて、所定の径を有するワ
イヤに対して、アンクランプ時に所定の挟持片間隔が得
られる第１の指令入力電圧とクランプ時に所定のクラン
プ力が得られる第２の指令入力電圧を決定し、この決定
に基づいて上記指令入力電圧を制御することを特徴とす
るワイヤクランプ方法である。
挿通されるワイヤを、指令入力電圧が印加されることで
作動する駆動装置により駆動されるクランプ可動片のク
ランプ作用によってクランプ・アンクランプするように
したワイヤクランプ方法において、あらかじめ、上記駆
動装置に印加する指令入力電圧と上記挟持片間の距離と
の関係および上記指令入力電圧とクランプ力との関係を
求めておき、この関係に基づいて、所定の径を有するワ
イヤに対して、アンクランプ時に所定の挟持片間隔が得
られる第１の指令入力電圧とクランプ時に所定のクラン
プ力が得られる第２の指令入力電圧を決定し、この決定
に基づいて上記指令入力電圧を制御することを特徴とす
るワイヤクランプ方法である。
【００１９】第５の手段は、上記第４の手段において、
上記第１の指令入力電圧から第２の指令入力電圧への制
御を所定時間で行うことを特徴とするワイヤクランプ方
法。である。
上記第１の指令入力電圧から第２の指令入力電圧への制
御を所定時間で行うことを特徴とするワイヤクランプ方
法。である。
【００２０】第６の手段は、一対のワイヤ挟持片の間に
挿通されるワイヤを、指令入力電圧が印加されることで
作動する駆動装置により駆動されるクランプ可動片のク
ランプ作用によってクランプ・アンクランプするように
したワイヤクランプ方法において、上記クランプ可動片
に、ワイヤクランプ時にこのクランプ可動片に生じる撓
みを検出する検出器を貼着すると共に、あらかじめワイ
ヤクランプ力と上記検出器からの検出信号との関係を求
めておき、上記検出器からの検出信号に基づいて所定の
クランプ力が得られる指令入力電圧を上記駆動装置に印
加することを特徴とするワイヤクランプ方法である。
挿通されるワイヤを、指令入力電圧が印加されることで
作動する駆動装置により駆動されるクランプ可動片のク
ランプ作用によってクランプ・アンクランプするように
したワイヤクランプ方法において、上記クランプ可動片
に、ワイヤクランプ時にこのクランプ可動片に生じる撓
みを検出する検出器を貼着すると共に、あらかじめワイ
ヤクランプ力と上記検出器からの検出信号との関係を求
めておき、上記検出器からの検出信号に基づいて所定の
クランプ力が得られる指令入力電圧を上記駆動装置に印
加することを特徴とするワイヤクランプ方法である。
【００２１】
【作用】第１、第３、第４、第６の手段によれば、ワイ
ヤクランプ装置を軽量小型に構成することができると共
に、指令入力電圧を制御することでワイヤの径に応じて
クランプ力を変更できる。第２の手段によれば、周囲の
温度変化によって、クランプ力が変化することが防止さ
れる。第５の手段によれば、クランプ時にこのワイヤに
加わる衝撃力を容易に制御することができる。
ヤクランプ装置を軽量小型に構成することができると共
に、指令入力電圧を制御することでワイヤの径に応じて
クランプ力を変更できる。第２の手段によれば、周囲の
温度変化によって、クランプ力が変化することが防止さ
れる。第５の手段によれば、クランプ時にこのワイヤに
加わる衝撃力を容易に制御することができる。
【００２２】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１〜図１０を
参照して説明する。まず、第１の実施例を図１〜図７を
参照して説明する。図１中右下がりの斜線で示すのは本
体１５である。この本体１５は、図１および図２に示す
ように、固定部１６と、この固定部１６に切欠ヒンジ部
Ｅを介して接続された可動部１７とからなる。上記可動
部１７は所定隙間を存して対向して設けられた一対の可
動片１８と、この可動片１８の後端部に設けられ、この
一対の可動片１８、１８どうしを切欠ヒンジ部Ｆを介し
て接続する駆動片１９とからなる。
参照して説明する。まず、第１の実施例を図１〜図７を
参照して説明する。図１中右下がりの斜線で示すのは本
体１５である。この本体１５は、図１および図２に示す
ように、固定部１６と、この固定部１６に切欠ヒンジ部
Ｅを介して接続された可動部１７とからなる。上記可動
部１７は所定隙間を存して対向して設けられた一対の可
動片１８と、この可動片１８の後端部に設けられ、この
一対の可動片１８、１８どうしを切欠ヒンジ部Ｆを介し
て接続する駆動片１９とからなる。
【００２３】上記可動片１８、１８には、この一対の可
動片１８、１８を閉方向に付勢するスプリング２８が設
けられている。また、上記可動片１８、１８に対応する
上記固定部１６内にはこの固定部１６の長さ方向に貫通
する貫通孔１６ａが形成されている。そして、この貫通
孔１６ａ内には、長さ方向に変位する圧電素子２１が、
その長さ方向の一端面を上記駆動片１９の後端面に当接
させた状態で設けられている。
動片１８、１８を閉方向に付勢するスプリング２８が設
けられている。また、上記可動片１８、１８に対応する
上記固定部１６内にはこの固定部１６の長さ方向に貫通
する貫通孔１６ａが形成されている。そして、この貫通
孔１６ａ内には、長さ方向に変位する圧電素子２１が、
その長さ方向の一端面を上記駆動片１９の後端面に当接
させた状態で設けられている。
【００２４】そして、この圧電素子２１の長さ方向他端
面は同じく上記貫通孔１６ａ内に挿入された押圧棒２２
（保持部材）の先端面に当接され、この押圧棒２２の後
端部は押しボルト２３、２３によって上記固定部１６に
固定されている。
面は同じく上記貫通孔１６ａ内に挿入された押圧棒２２
（保持部材）の先端面に当接され、この押圧棒２２の後
端部は押しボルト２３、２３によって上記固定部１６に
固定されている。
【００２５】また、上記圧電素子２１はドライバを介し
て制御部２４に接続されている。この制御部２４には記
憶部２５が接続されている。また、上記一対の可動片１
８、１８にはそれぞれ、先端部に挟持片２６が取り付け
られたクランプ可動片２７の後端部が取り付けられてい
る。上記挟持片２６は上記圧電素子２１に電圧が印加さ
れない状態ではお互いの挟持面どうしを当接させてい
る。
て制御部２４に接続されている。この制御部２４には記
憶部２５が接続されている。また、上記一対の可動片１
８、１８にはそれぞれ、先端部に挟持片２６が取り付け
られたクランプ可動片２７の後端部が取り付けられてい
る。上記挟持片２６は上記圧電素子２１に電圧が印加さ
れない状態ではお互いの挟持面どうしを当接させてい
る。
【００２６】図１（ｂ）に示すように、上記圧電素子２
１は電圧を印加されることで図に矢印で示す方向に伸
び、上記駆動片１９を駆動する。このことで、上記可動
片１８、１８およびクランプ可動片２７、２７は開方向
に駆動されるようになっている。
１は電圧を印加されることで図に矢印で示す方向に伸
び、上記駆動片１９を駆動する。このことで、上記可動
片１８、１８およびクランプ可動片２７、２７は開方向
に駆動されるようになっている。
【００２７】一方、このワイヤクランプ装置は、周囲の
温度変化によってクランプ力に誤差が生じるのを防止す
るために、上記本体１５の材質と、押圧棒２２の材質を
異ならしめている。
温度変化によってクランプ力に誤差が生じるのを防止す
るために、上記本体１５の材質と、押圧棒２２の材質を
異ならしめている。
【００２８】すなわち、周囲の温度変化による上記本体
１５の伸び（熱膨張）をα、圧電素子２１の伸びをβ、
上記押圧棒２２の伸びをγとすると、α＝β＋γとなる
ように上記押圧棒２２および本体１５の材質を選択す
る。例えば、上記押圧棒２２の材質としてはチタン、上
記本体１５の材質としてはアルミが選択される。
１５の伸び（熱膨張）をα、圧電素子２１の伸びをβ、
上記押圧棒２２の伸びをγとすると、α＝β＋γとなる
ように上記押圧棒２２および本体１５の材質を選択す
る。例えば、上記押圧棒２２の材質としてはチタン、上
記本体１５の材質としてはアルミが選択される。
【００２９】次にこのワイヤクランプ装置の制御方法に
ついて説明する。まず、このワイヤクランプ装置のアン
クランプ時の上記挟持片２６の間隔、ワイヤ１１のクラ
ンプ力およびワイヤクランプ時の衝撃力の制御について
図１および図３、図４を参照して説明する。
ついて説明する。まず、このワイヤクランプ装置のアン
クランプ時の上記挟持片２６の間隔、ワイヤ１１のクラ
ンプ力およびワイヤクランプ時の衝撃力の制御について
図１および図３、図４を参照して説明する。
【００３０】例えば、ワイヤ１１の径Ｄを２５μｍとす
る。まず、上記圧電素子２１に電圧Ｖmax を与え、クラ
ンプ可動片２７を駆動して図１（ｂ）に示すようにアン
クランプ状態にする。このときの挟持片２６の開き量を
Ｓmax とする。
る。まず、上記圧電素子２１に電圧Ｖmax を与え、クラ
ンプ可動片２７を駆動して図１（ｂ）に示すようにアン
クランプ状態にする。このときの挟持片２６の開き量を
Ｓmax とする。
【００３１】ついで、図３（ａ）のグラフに示すよう
に、上記圧電素子２１に与える指令入力電圧の値を徐々
に小さくして行くと、上記開き量は徐々に小さくなり電
圧Ｖ3 でＳ3 、Ｖ2 において開き量は上記ワイヤ１１の
径Ｄと等しくなり、上記ワイヤ１１をクランプする。
に、上記圧電素子２１に与える指令入力電圧の値を徐々
に小さくして行くと、上記開き量は徐々に小さくなり電
圧Ｖ3 でＳ3 、Ｖ2 において開き量は上記ワイヤ１１の
径Ｄと等しくなり、上記ワイヤ１１をクランプする。
【００３２】このような動作における、指令入力電圧と
ワイヤクランプ力との関係を図（ｂ）のグラフに示す。
電圧Ｖmax とＶ2 の間はワイヤ１１をクランプしていな
いから上記ワイヤ１１にかかるクランプ力Ｆは０であ
る。そして、Ｖ2 からクランプ力Ｆは徐々に上昇し、電
圧値０（圧電素子２１の変位が０）で最大クランプ力Ｆ
max （＝スプリング（弾性体）２８の付勢力）をとる。
このＦmax は例えば１２０グラムとする。
ワイヤクランプ力との関係を図（ｂ）のグラフに示す。
電圧Ｖmax とＶ2 の間はワイヤ１１をクランプしていな
いから上記ワイヤ１１にかかるクランプ力Ｆは０であ
る。そして、Ｖ2 からクランプ力Ｆは徐々に上昇し、電
圧値０（圧電素子２１の変位が０）で最大クランプ力Ｆ
max （＝スプリング（弾性体）２８の付勢力）をとる。
このＦmax は例えば１２０グラムとする。
【００３３】グラフで示すような関係はワイヤ１１の径
によって異なるが、ワイヤ１１の径により補正を行える
補正式をあらかじめ求めておくことにより対応すること
ができる。この補正式は例えば、ワイヤ１１の径２０μ
ｍ〜５０μｍの範囲で求めておく。
によって異なるが、ワイヤ１１の径により補正を行える
補正式をあらかじめ求めておくことにより対応すること
ができる。この補正式は例えば、ワイヤ１１の径２０μ
ｍ〜５０μｍの範囲で求めておく。
【００３４】この関係は、上記記憶部２５に記憶させて
おく。そして、上記制御部２４に必要なクランプ力およ
びワイヤ１１の径を入力することによってそれに適した
指令入力電圧を圧電素子２１に印加するよう上記ドライ
バに指令を出すようにする。
おく。そして、上記制御部２４に必要なクランプ力およ
びワイヤ１１の径を入力することによってそれに適した
指令入力電圧を圧電素子２１に印加するよう上記ドライ
バに指令を出すようにする。
【００３５】例えば、上記ワイヤ１１の径が２５μｍの
場合にはクランプ力としてＦ1 ＝４０グラムが必要であ
る。このクランプ力Ｆ1 は、指令入力電圧をＶ1 とする
ことによって得られる。また開き量Ｓ3 を１８０μｍに
設定したい場合には、電圧Ｖ3 を入力することによって
得られる。
場合にはクランプ力としてＦ1 ＝４０グラムが必要であ
る。このクランプ力Ｆ1 は、指令入力電圧をＶ1 とする
ことによって得られる。また開き量Ｓ3 を１８０μｍに
設定したい場合には、電圧Ｖ3 を入力することによって
得られる。
【００３６】したがって、上記制御部２４は、図４
（ａ）に示すように、アンクランプ時には上記圧電素子
に電圧Ｖ3 （第１の指令入力電圧）を、クランプ時には
電圧Ｖ1 （第２の指令入力電圧）を上記圧電素子に印加
する。このことで所望の開き量Ｓ3 、クランプ力Ｆ1 を
得ることができる。
（ａ）に示すように、アンクランプ時には上記圧電素子
に電圧Ｖ3 （第１の指令入力電圧）を、クランプ時には
電圧Ｖ1 （第２の指令入力電圧）を上記圧電素子に印加
する。このことで所望の開き量Ｓ3 、クランプ力Ｆ1 を
得ることができる。
【００３７】また、上記制御部２４は、クランプの瞬間
にワイヤ１１に加わる衝撃力を緩和するために、図４
（ｂ）に示すように、指令入力電圧をＶ3 からＶ1 に瞬
時に変化させるのではなく、Ｖ3 の近傍でその変化が緩
やかになるように制御する事ができる。すなわち、この
場合、上記制御部２４は、Ｖ3 からＶ1 への制御を所定
時間で行うことになる。
にワイヤ１１に加わる衝撃力を緩和するために、図４
（ｂ）に示すように、指令入力電圧をＶ3 からＶ1 に瞬
時に変化させるのではなく、Ｖ3 の近傍でその変化が緩
やかになるように制御する事ができる。すなわち、この
場合、上記制御部２４は、Ｖ3 からＶ1 への制御を所定
時間で行うことになる。
【００３８】このような構成によれば、ワイヤ１１の径
が変わってもスプリング力を調整する必要はなく、指令
入力電圧を変化させるだけで対応することができる。ま
た衝撃力を調整することができるのでワイヤ１１を破損
させることが少ない。さらに、このワイヤクランプ装置
は直線スティック形状でコンパクトに構成することがで
きるので、スペ−スが小さくなり設計の自由度が向上す
ると共に、軽量にすることができるので高速位置決めも
容易に行うことができる。このことにより、装置の小型
高速化を図ることが可能である。
が変わってもスプリング力を調整する必要はなく、指令
入力電圧を変化させるだけで対応することができる。ま
た衝撃力を調整することができるのでワイヤ１１を破損
させることが少ない。さらに、このワイヤクランプ装置
は直線スティック形状でコンパクトに構成することがで
きるので、スペ−スが小さくなり設計の自由度が向上す
ると共に、軽量にすることができるので高速位置決めも
容易に行うことができる。このことにより、装置の小型
高速化を図ることが可能である。
【００３９】さらに、上述のような構成によれば、周囲
温度の変化によって、各部材すなわち本体１５、圧電素
子２１、押圧棒２２に熱膨張が生じても、クランプ力Ｆ
に変化が生じることが防止される。このことによって、
周囲温度が変化しても、クランプ力Ｆを調整しなおす必
要がなくなるので、作業数が減ると共により良好なクラ
ンプを行うことができる効果がある。
温度の変化によって、各部材すなわち本体１５、圧電素
子２１、押圧棒２２に熱膨張が生じても、クランプ力Ｆ
に変化が生じることが防止される。このことによって、
周囲温度が変化しても、クランプ力Ｆを調整しなおす必
要がなくなるので、作業数が減ると共により良好なクラ
ンプを行うことができる効果がある。
【００４０】なお、上記第１の実施例では、上記一対の
クランプ可動片２７を両方とも可動としたが、図５に示
すように、一方を固定して他方のクランプ可動片２７の
みが動作するようにしても良い。
クランプ可動片２７を両方とも可動としたが、図５に示
すように、一方を固定して他方のクランプ可動片２７の
みが動作するようにしても良い。
【００４１】また、上記第１の実施例では、上記ワイヤ
１１に加わる衝撃力を電圧を緩やかに変位させることで
対応したが、これに限定されるものではなく、例えば、
図６に示すように指令入力電圧の変位を電圧Ｖ4 （Ｖ1
＜Ｖ4 ＜Ｖ3 ）で一旦止めるようにしても同様の効果を
得ることができる。
１１に加わる衝撃力を電圧を緩やかに変位させることで
対応したが、これに限定されるものではなく、例えば、
図６に示すように指令入力電圧の変位を電圧Ｖ4 （Ｖ1
＜Ｖ4 ＜Ｖ3 ）で一旦止めるようにしても同様の効果を
得ることができる。
【００４２】また、反対に、上記ワイヤ１１がより高い
衝撃力に耐え得る場合には、高速応答を重視し、図７に
示すように、第１の指令入力電圧Ｖ3 から第２の指令入
力電圧Ｖ1 へ移行する過程において、一旦上記第１の指
令入力電圧Ｖ1 から第２の指令入力電圧Ｖ3 よりも低い
第３の指令入力電圧Ｖ4 に間で下げてから、第２の指令
入力電圧Ｖ3 に復帰させるようにする。このような制御
を行うことにより、上記指令入力電圧の変化よりも機械
的な変化の方が応答が遅いので、より高速な応答が得ら
れる効果がある。
衝撃力に耐え得る場合には、高速応答を重視し、図７に
示すように、第１の指令入力電圧Ｖ3 から第２の指令入
力電圧Ｖ1 へ移行する過程において、一旦上記第１の指
令入力電圧Ｖ1 から第２の指令入力電圧Ｖ3 よりも低い
第３の指令入力電圧Ｖ4 に間で下げてから、第２の指令
入力電圧Ｖ3 に復帰させるようにする。このような制御
を行うことにより、上記指令入力電圧の変化よりも機械
的な変化の方が応答が遅いので、より高速な応答が得ら
れる効果がある。
【００４３】さらに、上記第１の実施例では、上記クラ
ンプ装置はワイヤボンディング装置に用いていたが、こ
れに限定されるものではなく、巻線機、溶接機等に用い
るようにしても良い。
ンプ装置はワイヤボンディング装置に用いていたが、こ
れに限定されるものではなく、巻線機、溶接機等に用い
るようにしても良い。
【００４４】また、上記一実施例では、圧電素子２１が
縮むことでクランプ作用を行う装置であったが、これに
限定されるものではなく、反対に上記圧電素子２１が伸
長させることでクランプ作用を行うようにしてもよい。
ただし、この場合にはクランプ時の指令入力電圧の方が
アンクランプ時の指令入力電圧よりも大きくなる。
縮むことでクランプ作用を行う装置であったが、これに
限定されるものではなく、反対に上記圧電素子２１が伸
長させることでクランプ作用を行うようにしてもよい。
ただし、この場合にはクランプ時の指令入力電圧の方が
アンクランプ時の指令入力電圧よりも大きくなる。
【００４５】また、上記第１の実施例では、駆動装置と
して圧電素子２１を用いたが、これに限定されるもので
はなく、例えばリニアモ−タであっても略同様の効果を
得ることができる。
して圧電素子２１を用いたが、これに限定されるもので
はなく、例えばリニアモ−タであっても略同様の効果を
得ることができる。
【００４６】次に、この発明の第２の実施例について図
８〜図１０を参照して説明する。なお、上記第１の実施
例と同一の構成要素には、同一符号を付してその説明は
省略する。
８〜図１０を参照して説明する。なお、上記第１の実施
例と同一の構成要素には、同一符号を付してその説明は
省略する。
【００４７】この第２の実施例のワイヤクランプ装置
は、図８に示すように、上記第１の実施例と略同様の構
成を有する。このワイヤクランプ装置の一対のクランプ
可動片２７、２７のうち、一方のクランプ可動片２７の
外側面には、このクランプ可動片２７の撓み（歪み）を
検出する検出器３０が貼着されている。
は、図８に示すように、上記第１の実施例と略同様の構
成を有する。このワイヤクランプ装置の一対のクランプ
可動片２７、２７のうち、一方のクランプ可動片２７の
外側面には、このクランプ可動片２７の撓み（歪み）を
検出する検出器３０が貼着されている。
【００４８】この検出器３０は歪みゲ−ジであり、図９
（ｂ）に示すように、上記一対のクランプ可動片２７の
先端部にワイヤ挟持片２６を介してワイヤ１１がクラン
プされた場合に、上記クランプ可動片２７の長手方向中
途部にクランプ力に応じて生じる微小撓みを検出するこ
とができるようになっている。
（ｂ）に示すように、上記一対のクランプ可動片２７の
先端部にワイヤ挟持片２６を介してワイヤ１１がクラン
プされた場合に、上記クランプ可動片２７の長手方向中
途部にクランプ力に応じて生じる微小撓みを検出するこ
とができるようになっている。
【００４９】この検出器３０からの検出信号は、電圧信
号として取り出され、図８に示す増幅部３１に入力され
る。この増幅部３１は、上記検出信号の増幅および補正
を行い、その補正後の電圧を検出電圧として上記制御部
２４´に入力する。
号として取り出され、図８に示す増幅部３１に入力され
る。この増幅部３１は、上記検出信号の増幅および補正
を行い、その補正後の電圧を検出電圧として上記制御部
２４´に入力する。
【００５０】上記制御部２４´は、上記検出電圧の値か
ら、上記圧電素子２１に印加する指令入力電圧を決定
し、ドライバを介して、上記圧電素子２１を作動させる
ようになっている。
ら、上記圧電素子２１に印加する指令入力電圧を決定
し、ドライバを介して、上記圧電素子２１を作動させる
ようになっている。
【００５１】次に、このワイヤクランプ装置の制御につ
いて説明する。まず、図１０（ａ）に示すように、第１
の実施例と同様に（図３（ｂ））、上記圧電素子２１へ
の指令入力電圧とクランプ力との関係を求めておく。こ
の関係は上記記憶部２５に記憶させておく。
いて説明する。まず、図１０（ａ）に示すように、第１
の実施例と同様に（図３（ｂ））、上記圧電素子２１へ
の指令入力電圧とクランプ力との関係を求めておく。こ
の関係は上記記憶部２５に記憶させておく。
【００５２】次に、クランプ力と上記検出器３０からの
検出電圧との関係を求める。上記クランプ可動片２７
は、先端部に上記ワイヤ１１をクランプした場合には、
両端支持状態となるので、長手方向中央部付近の撓みが
最も大きい。また、上記クランプ力が大きくなるほどこ
の撓みは大きくなる。
検出電圧との関係を求める。上記クランプ可動片２７
は、先端部に上記ワイヤ１１をクランプした場合には、
両端支持状態となるので、長手方向中央部付近の撓みが
最も大きい。また、上記クランプ力が大きくなるほどこ
の撓みは大きくなる。
【００５３】したがって、上記クランプ力が大きくなる
にしたがって、上記検出電圧も大きくなり、その関係は
図１０（ｂ）に示すグラフで表される。この関係は、現
実に生じた撓みによるものであるから、ワイヤ１１の径
や上記指令入力電圧とは関係がない。
にしたがって、上記検出電圧も大きくなり、その関係は
図１０（ｂ）に示すグラフで表される。この関係は、現
実に生じた撓みによるものであるから、ワイヤ１１の径
や上記指令入力電圧とは関係がない。
【００５４】すなわち、クランプ力としてＦ1 が必要な
場合には、ワイヤ１１の径によらず、上記圧電素子２１
に検出電圧がｖ1 になるような指令入力電圧を印加すれ
ば良いこととなる。なお、同図（ｂ）に示す関係も記憶
部２５に記憶させておく。
場合には、ワイヤ１１の径によらず、上記圧電素子２１
に検出電圧がｖ1 になるような指令入力電圧を印加すれ
ば良いこととなる。なお、同図（ｂ）に示す関係も記憶
部２５に記憶させておく。
【００５５】次に、クランプ時の制御および動作につい
て説明する。例えば、クランプ力Ｆ1 でワイヤ１１をク
ランプする場合の動作を例に挙げて説明する。まず、上
記制御部２４´は、第１の実施例と同様に、上記圧電素
子２１に指令入力電圧Ｖmax （図３（ａ）に示す）を与
え、上記クランプ可動片２７を駆動して図９（ａ）に示
すようにアンクランプ状態にする。このときの上記挟持
片２６の開き量はＳmax である。
て説明する。例えば、クランプ力Ｆ1 でワイヤ１１をク
ランプする場合の動作を例に挙げて説明する。まず、上
記制御部２４´は、第１の実施例と同様に、上記圧電素
子２１に指令入力電圧Ｖmax （図３（ａ）に示す）を与
え、上記クランプ可動片２７を駆動して図９（ａ）に示
すようにアンクランプ状態にする。このときの上記挟持
片２６の開き量はＳmax である。
【００５６】ついで、上記制御部２４´は、図１０
（ａ）に示すグラフに基づいて、クランプ力Ｆ1 に対応
する目標指令入力電圧Ｖ1 を定める。そして、上記ドラ
イバを介して、上記圧電素子２１に与える指令入力電圧
の値を電圧Ｖ1 に向かって小さくしていく。なお、機構
の動作は上記電圧の変化より若干遅れたものになる。
（ａ）に示すグラフに基づいて、クランプ力Ｆ1 に対応
する目標指令入力電圧Ｖ1 を定める。そして、上記ドラ
イバを介して、上記圧電素子２１に与える指令入力電圧
の値を電圧Ｖ1 に向かって小さくしていく。なお、機構
の動作は上記電圧の変化より若干遅れたものになる。
【００５７】一方上記制御部２４は、上記圧電素子２１
を作動させるのと同時に、上記増幅部３１を介して上記
検出器３０からの検出電圧を監視する。そして、上記制
御部２４´は、図１０（ｂ）に示すグラフに基づき、上
記検出電圧がクランプ力Ｆ1 に対応するｖ1 に一致する
ように、上記圧電素子２１に印加する上記目標指令入力
電圧を微調整（変更）する。
を作動させるのと同時に、上記増幅部３１を介して上記
検出器３０からの検出電圧を監視する。そして、上記制
御部２４´は、図１０（ｂ）に示すグラフに基づき、上
記検出電圧がクランプ力Ｆ1 に対応するｖ1 に一致する
ように、上記圧電素子２１に印加する上記目標指令入力
電圧を微調整（変更）する。
【００５８】そして、上記検出信号がｖ1 になったなら
ば、上記指令入力電圧をそのときの値で維持する。この
ことで、上記ワイヤ１１は、所望のクランプ力Ｆ1 でク
ランプされる。
ば、上記指令入力電圧をそのときの値で維持する。この
ことで、上記ワイヤ１１は、所望のクランプ力Ｆ1 でク
ランプされる。
【００５９】このような構成によれば、上記第１の実施
例と略同様の効果を得ることができ、さらに、上記クラ
ンプ力をリアルタイムで監視することができるので、よ
り正確なクランプ力を生じさせることができる効果があ
る。
例と略同様の効果を得ることができ、さらに、上記クラ
ンプ力をリアルタイムで監視することができるので、よ
り正確なクランプ力を生じさせることができる効果があ
る。
【００６０】なお、この発明は、この第２の実施例に限
定されるものではなく、上記第１の実施例と同様に、発
明の要旨を変更しない範囲で種々変形可能である。ま
た、上記第２の実施例において、上記圧電素子を制御す
るための回路として図１１に示すような構成のものを用
いるようにしても良い。なお、図中３３は、コンパレ−
タである。このような構成によれば、クランプ力を一定
にする制御をより応答性良く行うことができる効果があ
る。
定されるものではなく、上記第１の実施例と同様に、発
明の要旨を変更しない範囲で種々変形可能である。ま
た、上記第２の実施例において、上記圧電素子を制御す
るための回路として図１１に示すような構成のものを用
いるようにしても良い。なお、図中３３は、コンパレ−
タである。このような構成によれば、クランプ力を一定
にする制御をより応答性良く行うことができる効果があ
る。
【００６１】
【発明の効果】以上述べたように、この発明の第１の構
成は、棒状の本体と、一端部をこの棒状の本体の長手方
向一端に接続されると共に他端部をこの本体の長手方向
外方へ延出させ、上記本体との接続部を支点にして開閉
することで他端部でワイヤをクランプするクランプ可動
片と、このクランプ可動片をクランプ方向に付勢するス
プリングと、上記本体内に収納され、指令入力電圧が印
加されることで上記クランプ可動片の一端部を駆動して
クランプ作用を行わせる駆動装置と、この駆動装置に接
続され、この駆動装置に所定の指令入力電圧を印加する
制御部とを有するワイヤクランプ装置である。
成は、棒状の本体と、一端部をこの棒状の本体の長手方
向一端に接続されると共に他端部をこの本体の長手方向
外方へ延出させ、上記本体との接続部を支点にして開閉
することで他端部でワイヤをクランプするクランプ可動
片と、このクランプ可動片をクランプ方向に付勢するス
プリングと、上記本体内に収納され、指令入力電圧が印
加されることで上記クランプ可動片の一端部を駆動して
クランプ作用を行わせる駆動装置と、この駆動装置に接
続され、この駆動装置に所定の指令入力電圧を印加する
制御部とを有するワイヤクランプ装置である。
【００６２】第１の構成によれば、本体とクランプ可動
片を直線上に構成することができるので小型で軽量なワ
イヤクランプ装置を得ることができる効果がある。ま
た、第２の構成は、上記第１の構成において、上記本体
に固定され上記駆動装置の上記本体の長手方向他端側の
端面を保持する保持部材を設けた場合に、上記本体の熱
膨張をα、上記駆動装置の熱膨張をβ、上記保持部材の
熱膨張をγとしたならば、 α＝β＋γ となる材質で上記本体、駆動装置、保持部を形成したワ
イヤクランプ装置である。
片を直線上に構成することができるので小型で軽量なワ
イヤクランプ装置を得ることができる効果がある。ま
た、第２の構成は、上記第１の構成において、上記本体
に固定され上記駆動装置の上記本体の長手方向他端側の
端面を保持する保持部材を設けた場合に、上記本体の熱
膨張をα、上記駆動装置の熱膨張をβ、上記保持部材の
熱膨張をγとしたならば、 α＝β＋γ となる材質で上記本体、駆動装置、保持部を形成したワ
イヤクランプ装置である。
【００６３】第２の構成によれば、周囲温度の変化によ
りクランプ力に誤差が生じるのを有効に防止することが
できるので、クランプ力を調整する必要がなく、より良
好なクランプ動作を行うことができる効果がある。
りクランプ力に誤差が生じるのを有効に防止することが
できるので、クランプ力を調整する必要がなく、より良
好なクランプ動作を行うことができる効果がある。
【００６４】第３の構成は、上記第１の構成において、
上記クランプ可動片にワイヤクランプ時にこのクランプ
可動片に生じる撓みを検出する検出器を貼着し、上記制
御部は、この検出器からの検出信号に基づいて上記駆動
装置に印加する指令入力電圧を制御するワイヤクランプ
装置である。
上記クランプ可動片にワイヤクランプ時にこのクランプ
可動片に生じる撓みを検出する検出器を貼着し、上記制
御部は、この検出器からの検出信号に基づいて上記駆動
装置に印加する指令入力電圧を制御するワイヤクランプ
装置である。
【００６５】第３の構成によれば、クランプ力をリアル
タイムで監視することができるので、より正確なクラン
プ力でワイヤをクランプすることができる効果がある。
第４の構成は、一対のワイヤ挟持片の間に挿通されるワ
イヤを、指令入力電圧が印加されることで作動する駆動
装置により駆動されるクランプ可動片のクランプ作用に
よってクランプ・アンクランプするようにしたワイヤク
ランプ方法において、あらかじめ、上記駆動装置に印加
する指令入力電圧と上記挟持片間の距離との関係および
上記指令入力電圧とクランプ力との関係を求めておき、
この関係に基づいて、所定の径を有するワイヤに対し
て、アンクランプ時に所定の挟持片間隔が得られる第１
の指令入力電圧とクランプ時に所定のクランプ力が得ら
れる第２の指令入力電圧を決定し、この決定に基づいて
上記指令入力電圧を制御することを特徴とするワイヤク
ランプ方法である。
タイムで監視することができるので、より正確なクラン
プ力でワイヤをクランプすることができる効果がある。
第４の構成は、一対のワイヤ挟持片の間に挿通されるワ
イヤを、指令入力電圧が印加されることで作動する駆動
装置により駆動されるクランプ可動片のクランプ作用に
よってクランプ・アンクランプするようにしたワイヤク
ランプ方法において、あらかじめ、上記駆動装置に印加
する指令入力電圧と上記挟持片間の距離との関係および
上記指令入力電圧とクランプ力との関係を求めておき、
この関係に基づいて、所定の径を有するワイヤに対し
て、アンクランプ時に所定の挟持片間隔が得られる第１
の指令入力電圧とクランプ時に所定のクランプ力が得ら
れる第２の指令入力電圧を決定し、この決定に基づいて
上記指令入力電圧を制御することを特徴とするワイヤク
ランプ方法である。
【００６６】第４の構成によれば、ワイヤの径が変更し
ても、熟練を要することなく容易にその径にみあったア
ンクランプ、クランプ状態を得ることができる効果があ
る。
ても、熟練を要することなく容易にその径にみあったア
ンクランプ、クランプ状態を得ることができる効果があ
る。
【００６７】さらに、第５の構成は、上記第４の構成の
ワイヤクランプ方法において、上記第１の指令入力電圧
から第２の指令入力電圧への制御を所定時間で行うもの
である。
ワイヤクランプ方法において、上記第１の指令入力電圧
から第２の指令入力電圧への制御を所定時間で行うもの
である。
【００６８】第５の構成によれば、クランプのときにワ
イヤに加わる衝撃力を制御することができるので、ワイ
ヤを破損させることが少なくなる効果がある。第６の構
成は、一対のワイヤ挟持片の間に挿通されるワイヤを、
指令入力電圧が印加されることで作動する駆動装置によ
り駆動されるクランプ可動片のクランプ作用によってク
ランプ・アンクランプするようにしたワイヤクランプ方
法において、上記クランプ可動片に、ワイヤクランプ時
にこのクランプ可動片に生じる撓みを検出する検出器を
貼着すると共に、あらかじめワイヤクランプ力と上記検
出器からの検出信号との関係を求めておき、上記検出器
からの検出信号に基づいて所定のクランプ力が得られる
指令入力電圧を上記駆動装置に印加するワイヤクランプ
方法である。
イヤに加わる衝撃力を制御することができるので、ワイ
ヤを破損させることが少なくなる効果がある。第６の構
成は、一対のワイヤ挟持片の間に挿通されるワイヤを、
指令入力電圧が印加されることで作動する駆動装置によ
り駆動されるクランプ可動片のクランプ作用によってク
ランプ・アンクランプするようにしたワイヤクランプ方
法において、上記クランプ可動片に、ワイヤクランプ時
にこのクランプ可動片に生じる撓みを検出する検出器を
貼着すると共に、あらかじめワイヤクランプ力と上記検
出器からの検出信号との関係を求めておき、上記検出器
からの検出信号に基づいて所定のクランプ力が得られる
指令入力電圧を上記駆動装置に印加するワイヤクランプ
方法である。
【００６９】第６の構成によれば、クランプ力をリアル
タイムで観察しつつ上記ワイヤをクランプすることがで
きるので、より良好にワイヤをクランプすることができ
る効果がある。
タイムで観察しつつ上記ワイヤをクランプすることがで
きるので、より良好にワイヤをクランプすることができ
る効果がある。
【図１】（ａ）、（ｂ）は、この発明の第１の実施例を
示す縦断面図。
示す縦断面図。
【図２】同じく、斜視図。
【図３】（ａ）は指令入力電圧と挟持片の開き量の関係
を示すグラフ、（ｂ）は指令入力電圧とクランプ力の関
係を示すグラフ。
を示すグラフ、（ｂ）は指令入力電圧とクランプ力の関
係を示すグラフ。
【図４】（ａ）、（ｂ）はアンクランプ状態からクラン
プ状態へ移行する時の指令入力電圧と時間との関係を示
すグラフ。
プ状態へ移行する時の指令入力電圧と時間との関係を示
すグラフ。
【図５】第１の実施例の他の実施例を示す縦断面図。
【図６】同じく他の実施例を示すアンクランプ状態から
クランプ状態へ移行する時の指令入力電圧と時間との関
係を示すグラフ。
クランプ状態へ移行する時の指令入力電圧と時間との関
係を示すグラフ。
【図７】同じく他の実施例を示すアンクランプ状態から
クランプ状態へ移行する時の指令入力電圧と時間との関
係を示すグラフ。
クランプ状態へ移行する時の指令入力電圧と時間との関
係を示すグラフ。
【図８】この発明の第２の実施例を示す縦断面図。
【図９】同じく、（ａ）はアンクランプ状態を示す縦断
面図、（ｂ）はクランプ状態を示す縦断面図。
面図、（ｂ）はクランプ状態を示す縦断面図。
【図１０】同じく、（ａ）は指令入力電圧とクランプ力
の関係を示すグラフ、（ｂ）はクランプ力と検出器から
の検出電圧の関係を示すグラフ。
の関係を示すグラフ、（ｂ）はクランプ力と検出器から
の検出電圧の関係を示すグラフ。
【図１１】第２の実施例の他の実施例を示す縦断面図。
【図１２】従来例を示す縦断面図。
１１…ワイヤ、１５…本体、２１…圧電素子（駆動装
置）、２２…押圧棒（保持部材）、２４…制御部、２６
…挟持片、２７…クランプ可動片、２８…スプリング、
３０…検出器、Ｖ3 …第１の指令入力電圧、Ｖ1 …第２
の指令入力電圧。
置）、２２…押圧棒（保持部材）、２４…制御部、２６
…挟持片、２７…クランプ可動片、２８…スプリング、
３０…検出器、Ｖ3 …第１の指令入力電圧、Ｖ1 …第２
の指令入力電圧。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保 哲也 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】 棒状の本体と、一端部をこの棒状の本体
の長手方向一端に接続されると共に他端部をこの本体の
長手方向外方へ延出させ、上記本体との接続部を支点に
して開閉することで他端部でワイヤをクランプするクラ
ンプ可動片と、このクランプ可動片をクランプ方向に付
勢するスプリングと、上記本体内に収納され、指令入力
電圧が印加されることで上記クランプ可動片の一端部を
駆動してクランプ作用を行わせる駆動装置と、この駆動
装置に接続され、この駆動装置に所定の指令入力電圧を
印加する制御部とを有することを特徴とするワイヤクラ
ンプ装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のワイヤクランプ装置にお
いて、上記本体に固定され上記駆動装置の上記本体の長
手方向他端側の端面を保持する保持部材を設けた場合
に、上記本体の熱膨張をα、上記駆動装置の熱膨張を
β、上記保持部材の熱膨張をγとしたならば、 α＝β＋γ となる材質で上記本体、駆動装置、保持部を形成するこ
とを特徴とするワイヤクランプ装置。 - 【請求項３】 請求項１記載のワイヤクランプ装置にお
いて、上記クランプ可動片にワイヤクランプ時にこのク
ランプ可動片に生じる撓みを検出する検出器を貼着し、
上記制御部は、この検出器からの検出信号に基づいて上
記駆動装置に印加する指令入力電圧を制御することを特
徴とするワイヤクランプ装置。 - 【請求項４】 一対のワイヤ挟持片の間に挿通されるワ
イヤを、指令入力電圧が印加されることで作動する駆動
装置により駆動されるクランプ可動片のクランプ作用に
よってクランプ・アンクランプするようにしたワイヤク
ランプ方法において、 あらかじめ、上記駆動装置に印加する指令入力電圧と上
記挟持片間の距離との関係および上記指令入力電圧とク
ランプ力との関係を求めておき、この関係に基づいて、
所定の径を有するワイヤに対して、アンクランプ時に所
定の挟持片間隔が得られる第１の指令入力電圧とクラン
プ時に所定のクランプ力が得られる第２の指令入力電圧
を決定し、この決定に基づいて上記指令入力電圧を制御
することを特徴とするワイヤクランプ方法。 - 【請求項５】 請求項４記載のワイヤクランプ方法にお
いて、 上記第１の指令入力電圧から第２の指令入力電圧への制
御を所定時間で行うことを特徴とするワイヤクランプ方
法。 - 【請求項６】 一対のワイヤ挟持片の間に挿通されるワ
イヤを、指令入力電圧が印加されることで作動する駆動
装置により駆動されるクランプ可動片のクランプ作用に
よってクランプ・アンクランプするようにしたワイヤク
ランプ方法において、 上記クランプ可動片に、ワイヤクランプ時にこのクラン
プ可動片に生じる撓みを検出する検出器を設けると共
に、あらかじめワイヤクランプ力と上記検出器からの検
出信号との関係を求めておき、上記検出器からの検出信
号に基づいて所定のクランプ力が得られる指令入力電圧
を上記駆動装置に印加することを特徴とするワイヤクラ
ンプ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5084621A JPH0613425A (ja) | 1992-04-17 | 1993-04-12 | ワイヤクランプ装置及びワイヤクランプ方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9810192 | 1992-04-17 | ||
| JP4-98101 | 1992-04-17 | ||
| JP5084621A JPH0613425A (ja) | 1992-04-17 | 1993-04-12 | ワイヤクランプ装置及びワイヤクランプ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0613425A true JPH0613425A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=26425622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5084621A Pending JPH0613425A (ja) | 1992-04-17 | 1993-04-12 | ワイヤクランプ装置及びワイヤクランプ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613425A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020036875A (ko) * | 2000-11-11 | 2002-05-17 | 서경석 | 와이어 본더용 와이어 클램핑 장치 |
| KR100440781B1 (ko) * | 2002-08-16 | 2004-07-19 | 삼성테크윈 주식회사 | 와이어 클램프 |
| KR100562741B1 (ko) * | 2005-11-28 | 2006-03-20 | 홍성결 | 와이어 성형장치 |
| TWI553755B (zh) * | 2013-11-14 | 2016-10-11 | 先進科技新加坡有限公司 | 導線夾具和施加預載力至壓電驅動器的方法與裝置 |
| CN108375998A (zh) * | 2018-03-15 | 2018-08-07 | 宁波尚进自动化科技有限公司 | 一种具有摩擦力的线夹开关状态控制方法及系统 |
| KR20190017984A (ko) * | 2016-06-15 | 2019-02-20 | 가부시키가이샤 신가와 | 와이어 클램프 장치의 캘리브레이션 방법 및 와이어 본딩 장치 |
-
1993
- 1993-04-12 JP JP5084621A patent/JPH0613425A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020036875A (ko) * | 2000-11-11 | 2002-05-17 | 서경석 | 와이어 본더용 와이어 클램핑 장치 |
| KR100440781B1 (ko) * | 2002-08-16 | 2004-07-19 | 삼성테크윈 주식회사 | 와이어 클램프 |
| KR100562741B1 (ko) * | 2005-11-28 | 2006-03-20 | 홍성결 | 와이어 성형장치 |
| TWI553755B (zh) * | 2013-11-14 | 2016-10-11 | 先進科技新加坡有限公司 | 導線夾具和施加預載力至壓電驅動器的方法與裝置 |
| KR20190017984A (ko) * | 2016-06-15 | 2019-02-20 | 가부시키가이샤 신가와 | 와이어 클램프 장치의 캘리브레이션 방법 및 와이어 본딩 장치 |
| CN108375998A (zh) * | 2018-03-15 | 2018-08-07 | 宁波尚进自动化科技有限公司 | 一种具有摩擦力的线夹开关状态控制方法及系统 |
| CN108375998B (zh) * | 2018-03-15 | 2024-05-17 | 宁波尚进自动化科技有限公司 | 一种具有摩擦力的线夹开关状态控制方法及系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3005784B2 (ja) | ワイヤクランパ | |
| US20040173036A1 (en) | Simulation apparatus | |
| US5435477A (en) | Wire clampers | |
| JPH11289780A (ja) | 電気機械変換素子を用いた駆動装置 | |
| JPH0613425A (ja) | ワイヤクランプ装置及びワイヤクランプ方法 | |
| JP7441172B2 (ja) | コンプライアンス弾性部材および重量補償弾性部材を有するサーボ弾性アクチュエータシステムを備えるワークピース加工装置 | |
| JP3079503B2 (ja) | クランプ装置 | |
| JP3629022B2 (ja) | スポット溶接ガン及びスポット溶接ガンの加圧力制御方法 | |
| JP2981948B2 (ja) | ワイヤクランパ | |
| JPH02292607A (ja) | 磁歪トランスデューサの移動制御装置 | |
| JPH11300662A (ja) | マイクロ・ピンセット | |
| JP3864240B2 (ja) | 溶接方法 | |
| JP2006500224A (ja) | 曲げ機械 | |
| US6513696B1 (en) | Wedge bonding head | |
| US20200016685A1 (en) | Method and apparatus to form a workpiece employing vibration welding | |
| JPH07153788A (ja) | ワイヤクランプ装置、ワイヤクランプ方法およびワイヤボンディング装置 | |
| JPH10328886A (ja) | 薄板シートの加工用保持装置及び保持方法 | |
| JPH06241779A (ja) | 微小位置決め装置 | |
| JPH0839474A (ja) | 把持装置 | |
| JP2885753B2 (ja) | ワイヤクランプ機構およびこれを用いたワイヤボンディング装置 | |
| JP2743394B2 (ja) | ワイヤクランプ方法及び装置 | |
| JP2003039117A (ja) | 引張り曲げ加工方法とそのための装置 | |
| JP3308452B2 (ja) | ロールフィーダのクランプ・レリース装置 | |
| JP3298783B2 (ja) | ワイヤボンディング装置用ワイヤカットフィード装置 | |
| US6422012B1 (en) | Actuator and positioning device |