JPH06122119A - 種棒切断方法 - Google Patents
種棒切断方法Info
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- JPH06122119A JPH06122119A JP4297761A JP29776192A JPH06122119A JP H06122119 A JPH06122119 A JP H06122119A JP 4297761 A JP4297761 A JP 4297761A JP 29776192 A JP29776192 A JP 29776192A JP H06122119 A JPH06122119 A JP H06122119A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 良質の種子結晶を得るため、素材である単結
晶インゴットの結晶方位を正確に検出し、これに基づい
て前記素材の切断方向を正確に調節することができるよ
うにする。 【構成】 治具１の２面１ａ，１ｃに素材４の外周を貼
着し、治具３に載置、固定した治具２に前記治具１の一
側の面を下にして載置した後、Ｘ線回折装置により素材
４の端面にブラッグ角でＸ線を照射する。前記Ｘ線回折
装置の検出器６による回折波強度が最大となるように、
治具２の４本の調整ボルト２ｅを操作して治具１の向き
を調節した上、治具２を切断機の基準面に固定して第１
の切断を行う。次に、治具１の他側の面を下にして治具
２に載置し、再度素材４の端面にＸ線を照射し、前記と
同様に検出器６による回折波強度が最大となるように調
整ボルト２ｅを操作して治具１の向きを調節した上、治
具２を切断機の基準面に固定して第２の切断を行う。
晶インゴットの結晶方位を正確に検出し、これに基づい
て前記素材の切断方向を正確に調節することができるよ
うにする。 【構成】 治具１の２面１ａ，１ｃに素材４の外周を貼
着し、治具３に載置、固定した治具２に前記治具１の一
側の面を下にして載置した後、Ｘ線回折装置により素材
４の端面にブラッグ角でＸ線を照射する。前記Ｘ線回折
装置の検出器６による回折波強度が最大となるように、
治具２の４本の調整ボルト２ｅを操作して治具１の向き
を調節した上、治具２を切断機の基準面に固定して第１
の切断を行う。次に、治具１の他側の面を下にして治具
２に載置し、再度素材４の端面にＸ線を照射し、前記と
同様に検出器６による回折波強度が最大となるように調
整ボルト２ｅを操作して治具１の向きを調節した上、治
具２を切断機の基準面に固定して第２の切断を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、種棒切断方法に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】チョクラルスキー法、フローティングゾ
ーン法等を用いてある結晶方位を有する単結晶を成長さ
せる場合、種子結晶を必要とする。種子結晶の製作に当
たっては良質の単結晶インゴットを用意し、その結晶方
位に合わせて切断加工を行い、更に、機械的なきず等の
ない清浄な表面とするため、化学エッチング処理等を施
して仕上げる。前記単結晶インゴットの切断加工に際
し、光像法により結晶方位を合わせている。
ーン法等を用いてある結晶方位を有する単結晶を成長さ
せる場合、種子結晶を必要とする。種子結晶の製作に当
たっては良質の単結晶インゴットを用意し、その結晶方
位に合わせて切断加工を行い、更に、機械的なきず等の
ない清浄な表面とするため、化学エッチング処理等を施
して仕上げる。前記単結晶インゴットの切断加工に際
し、光像法により結晶方位を合わせている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】単結晶インゴットの結
晶方位を検出する手段として光像法とＸ線回折法とが知
られているが、Ｘ線回折法を用いた場合、切断機に対し
て単結晶インゴットの結晶方位を正確に合わせる適当な
手段がないため、従来から光像法が用いられている。し
かしながら前記光像法は、単結晶インゴットの端面に光
のスポットを当て、その反射光映像を目視により確認し
ながら結晶方位を合わせているため、必ずしも正確に結
晶方位を調節することができず、切断された種棒の結晶
方位の傾きが大きいことがある。そしてこのような種棒
を用いて製造された単結晶の結晶方位の傾きも大きくな
り、また、単結晶インゴット外周の凹凸も大きくなって
しまう。従って、光像法による従来の切断方法では種棒
の良品率も低い。本発明は上記従来の問題点に着目して
なされたもので、良質の種棒を得るため、種子結晶の素
材である単結晶インゴットの結晶方位を正確に検出し、
これに基づいて切断方向を正確に調節することができる
ような、種棒切断方法を提供することを目的としてい
る。
晶方位を検出する手段として光像法とＸ線回折法とが知
られているが、Ｘ線回折法を用いた場合、切断機に対し
て単結晶インゴットの結晶方位を正確に合わせる適当な
手段がないため、従来から光像法が用いられている。し
かしながら前記光像法は、単結晶インゴットの端面に光
のスポットを当て、その反射光映像を目視により確認し
ながら結晶方位を合わせているため、必ずしも正確に結
晶方位を調節することができず、切断された種棒の結晶
方位の傾きが大きいことがある。そしてこのような種棒
を用いて製造された単結晶の結晶方位の傾きも大きくな
り、また、単結晶インゴット外周の凹凸も大きくなって
しまう。従って、光像法による従来の切断方法では種棒
の良品率も低い。本発明は上記従来の問題点に着目して
なされたもので、良質の種棒を得るため、種子結晶の素
材である単結晶インゴットの結晶方位を正確に検出し、
これに基づいて切断方向を正確に調節することができる
ような、種棒切断方法を提供することを目的としてい
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る種棒切断方法は、単結晶インゴットの
結晶格子面間隔をｄとし、波長λのＸ線を前記結晶格子
面に対して角度θで照射したとき、ｓｉｎθ＝λ／２ｄ
となる条件〔ブラッグの条件〕を満たす位置に検出器を
配設し、前記単結晶インゴットの端面に波長λのＸ線を
照射したとき検出器による回折波強度が最大となるよう
に単結晶インゴットの軸の向きを調節した上、所定の間
隔で結晶格子面に直角方向に第１のインゴット切断を行
い、インゴットの軸を中心として前記単結晶インゴット
を９０°回転させた後、インゴットの端面に波長λのＸ
線を照射し、前記と同様に検出器による回折波強度が最
大となるように単結晶インゴットの軸の向きを調節した
上、所定の間隔で結晶格子面に直角方向に第２のインゴ
ット切断を行うことにより種棒を得る構成とし、このよ
うな構成において具体的には、アングルプレートからな
る治具１と、前記治具１を載置する底面と、この底面の
両端に垂直に立ち上がる対向面と、前記二つの対向面に
それぞれ２本ずつ配設された調整ボルトとによって構成
される治具２と、前記治具２を載置、固定する上部と、
Ｘ線回折装置に適合する基部とからなる治具３とを準備
し、治具１の直交する２面に単結晶インゴットの外周を
貼着し、治具３に載置、固定した治具２に前記治具１の
一側の面を下にして載置した後、単結晶インゴットの端
面にＸ線を照射し、Ｘ線回折装置の検出器による回折波
強度が最大となるように前記４本の調整ボルトを操作し
て治具１の向きを調節した上、治具２を切断機の基準面
に固定して第１のインゴット切断を行い、治具１の他側
の面を下にして治具２に載置し、再度単結晶インゴット
の端面にＸ線を照射し、前記と同様に検出器による回折
波強度が最大となるように前記４本の調整ボルトを操作
して治具１の向きを調節した上、治具２を切断機の基準
面に固定して第２のインゴット切断を行うものとする。
め、本発明に係る種棒切断方法は、単結晶インゴットの
結晶格子面間隔をｄとし、波長λのＸ線を前記結晶格子
面に対して角度θで照射したとき、ｓｉｎθ＝λ／２ｄ
となる条件〔ブラッグの条件〕を満たす位置に検出器を
配設し、前記単結晶インゴットの端面に波長λのＸ線を
照射したとき検出器による回折波強度が最大となるよう
に単結晶インゴットの軸の向きを調節した上、所定の間
隔で結晶格子面に直角方向に第１のインゴット切断を行
い、インゴットの軸を中心として前記単結晶インゴット
を９０°回転させた後、インゴットの端面に波長λのＸ
線を照射し、前記と同様に検出器による回折波強度が最
大となるように単結晶インゴットの軸の向きを調節した
上、所定の間隔で結晶格子面に直角方向に第２のインゴ
ット切断を行うことにより種棒を得る構成とし、このよ
うな構成において具体的には、アングルプレートからな
る治具１と、前記治具１を載置する底面と、この底面の
両端に垂直に立ち上がる対向面と、前記二つの対向面に
それぞれ２本ずつ配設された調整ボルトとによって構成
される治具２と、前記治具２を載置、固定する上部と、
Ｘ線回折装置に適合する基部とからなる治具３とを準備
し、治具１の直交する２面に単結晶インゴットの外周を
貼着し、治具３に載置、固定した治具２に前記治具１の
一側の面を下にして載置した後、単結晶インゴットの端
面にＸ線を照射し、Ｘ線回折装置の検出器による回折波
強度が最大となるように前記４本の調整ボルトを操作し
て治具１の向きを調節した上、治具２を切断機の基準面
に固定して第１のインゴット切断を行い、治具１の他側
の面を下にして治具２に載置し、再度単結晶インゴット
の端面にＸ線を照射し、前記と同様に検出器による回折
波強度が最大となるように前記４本の調整ボルトを操作
して治具１の向きを調節した上、治具２を切断機の基準
面に固定して第２のインゴット切断を行うものとする。
【０００５】
【作用】結晶格子面の間隔ｄの単結晶インゴットの端面
に、λ＝２ｄ・ｓｉｎθで示されるブラッグの条件を満
足する波長λのＸ線を照射角θで照射し、前記結晶格子
面における回折角がθとなるように単結晶インゴットの
軸の向きを調節したとき、回折波強度は最大となる。本
発明はこの現象を利用したものであり、上記構成によれ
ば、アングルプレートからなる治具１に種棒の素材とな
る単結晶インゴットの外周を貼着して固定し、この治具
１をＸ線回折装置を用いて前記ブラッグの条件を満足す
る方向に調節し、その状態で治具１を治具２に固定する
ことにしたので、治具２を切断機に取り付ければ単結晶
インゴットの結晶格子面に直角の方向に高精度で切断す
ることができる。そして、治具１を９０°回転して前記
操作を繰り返すことにより、極めて良質の種棒を得るこ
とができる。
に、λ＝２ｄ・ｓｉｎθで示されるブラッグの条件を満
足する波長λのＸ線を照射角θで照射し、前記結晶格子
面における回折角がθとなるように単結晶インゴットの
軸の向きを調節したとき、回折波強度は最大となる。本
発明はこの現象を利用したものであり、上記構成によれ
ば、アングルプレートからなる治具１に種棒の素材とな
る単結晶インゴットの外周を貼着して固定し、この治具
１をＸ線回折装置を用いて前記ブラッグの条件を満足す
る方向に調節し、その状態で治具１を治具２に固定する
ことにしたので、治具２を切断機に取り付ければ単結晶
インゴットの結晶格子面に直角の方向に高精度で切断す
ることができる。そして、治具１を９０°回転して前記
操作を繰り返すことにより、極めて良質の種棒を得るこ
とができる。
【０００６】
【実施例】以下に本発明に係る種棒切断方法の実施例に
ついて、図面を参照して説明する。本発明では、種棒の
素材となる単結晶インゴット（以下素材という）の結晶
方位を高精度で検出するために治具１、治具２、治具３
を用いる。治具１は図１に示すように、平行な面１ａ，
１ｂと、これらの面に垂直な面１ｃ，１ｄとを有するア
ングルプレートである。治具２は、図２に示すように断
面がコの字状のプレートで、対向する二つの面２ａ，２
ｂの間隔Ｌ2 は前記治具１の長さＬ1 より大きく、前記
二つの面２ａ，２ｂに平行な外側面２ｃ，２ｄにはそれ
ぞれ調整ボルト２ｅが底面２ｆに近接して２本ずつ取着
されている。治具３の形状は図３に示す通りで、対向す
る二つの面３ａ，３ｂの間隔Ｌ3 は治具２の底面長さＬ
4 より僅かに大きく、一側の面３ａに取付ボルト３ｃが
取着されている。なお、治具３の基部３ｄの形状ならび
に寸法は、Ｘ線回折装置に適合するように製作されてい
る。
ついて、図面を参照して説明する。本発明では、種棒の
素材となる単結晶インゴット（以下素材という）の結晶
方位を高精度で検出するために治具１、治具２、治具３
を用いる。治具１は図１に示すように、平行な面１ａ，
１ｂと、これらの面に垂直な面１ｃ，１ｄとを有するア
ングルプレートである。治具２は、図２に示すように断
面がコの字状のプレートで、対向する二つの面２ａ，２
ｂの間隔Ｌ2 は前記治具１の長さＬ1 より大きく、前記
二つの面２ａ，２ｂに平行な外側面２ｃ，２ｄにはそれ
ぞれ調整ボルト２ｅが底面２ｆに近接して２本ずつ取着
されている。治具３の形状は図３に示す通りで、対向す
る二つの面３ａ，３ｂの間隔Ｌ3 は治具２の底面長さＬ
4 より僅かに大きく、一側の面３ａに取付ボルト３ｃが
取着されている。なお、治具３の基部３ｄの形状ならび
に寸法は、Ｘ線回折装置に適合するように製作されてい
る。
【０００７】次に、種棒切断作業手順について説明す
る。 （１）図４に示すように、接着剤を用いて円柱状の素材
４を上記治具１の面１ａ，１ｃに貼着する。 （２）治具２を治具３に載せ、取付ボルト３ｃにより治
具２を治具３に固定した上、前記素材４を貼着した治具
１を治具２に載せる。この時、たとえば図１に示した治
具１の面１ｂを図２に示した治具２の底面２ｆ上に載置
し、治具２の調整ボルト２ｅは治具１が微動できるよう
に緩めておく。 （３）上記の状態で治具３をＸ線回折装置に取り付け
る。このとき、図５に示すようにＸ線管５およびＸ線の
回折波を検出する検出器６の取り付け角度は、基準面Ａ
に対して素材４のブラッグ角θとなるように調節されて
いる。 （４）図６に示すように、Ｘ線管５から素材４の端面に
波長λのＸ線を照射し、検出器６の検出値が最大になる
ように４本の調整ボルト２ｃを右または左方向に回転し
て治具１の向きを調節する。前記検出器６の検出値が最
大になったとき、素材４の結晶方位はブラッグの条件を
満足する方向に一致したことになり、結晶格子面４ａは
基準面Ａに平行になっている。 （５）治具１が４本の調整ボルト２ｃによって治具２に
固定されていることを確認した上、治具２を治具３から
取り外す。 （６）図７に示すように、治具１を固定した治具２の外
側面２ｃあるいは２ｄを切断機７の基準面７ａに密着さ
せて切断機７に取り付け、治具１に貼着された素材４を
所定の間隔で、スライスベースを残して切断する。 （７）図８に示すように治具２を切断機から取り外し、
調整ボルト２ｅを緩めて治具２から治具１を取り外す。
治具２を治具３に載せ、取付ボルト３ｃにより治具２を
治具３に固定する。 （８）素材４の軸心を回転軸として治具１を９０°回転
させ、面１ｄを治具２の底面２ｆ上に載置する。 （９）さきに述べた手順（３）〜（７）を繰り返す。 このようにして所定寸法に切り出された種棒の端面を種
棒の軸心に対して直角に切削し、種棒切断作業が完了す
る。更に化学エッチング処理等が施されて種棒が完成す
る。
る。 （１）図４に示すように、接着剤を用いて円柱状の素材
４を上記治具１の面１ａ，１ｃに貼着する。 （２）治具２を治具３に載せ、取付ボルト３ｃにより治
具２を治具３に固定した上、前記素材４を貼着した治具
１を治具２に載せる。この時、たとえば図１に示した治
具１の面１ｂを図２に示した治具２の底面２ｆ上に載置
し、治具２の調整ボルト２ｅは治具１が微動できるよう
に緩めておく。 （３）上記の状態で治具３をＸ線回折装置に取り付け
る。このとき、図５に示すようにＸ線管５およびＸ線の
回折波を検出する検出器６の取り付け角度は、基準面Ａ
に対して素材４のブラッグ角θとなるように調節されて
いる。 （４）図６に示すように、Ｘ線管５から素材４の端面に
波長λのＸ線を照射し、検出器６の検出値が最大になる
ように４本の調整ボルト２ｃを右または左方向に回転し
て治具１の向きを調節する。前記検出器６の検出値が最
大になったとき、素材４の結晶方位はブラッグの条件を
満足する方向に一致したことになり、結晶格子面４ａは
基準面Ａに平行になっている。 （５）治具１が４本の調整ボルト２ｃによって治具２に
固定されていることを確認した上、治具２を治具３から
取り外す。 （６）図７に示すように、治具１を固定した治具２の外
側面２ｃあるいは２ｄを切断機７の基準面７ａに密着さ
せて切断機７に取り付け、治具１に貼着された素材４を
所定の間隔で、スライスベースを残して切断する。 （７）図８に示すように治具２を切断機から取り外し、
調整ボルト２ｅを緩めて治具２から治具１を取り外す。
治具２を治具３に載せ、取付ボルト３ｃにより治具２を
治具３に固定する。 （８）素材４の軸心を回転軸として治具１を９０°回転
させ、面１ｄを治具２の底面２ｆ上に載置する。 （９）さきに述べた手順（３）〜（７）を繰り返す。 このようにして所定寸法に切り出された種棒の端面を種
棒の軸心に対して直角に切削し、種棒切断作業が完了す
る。更に化学エッチング処理等が施されて種棒が完成す
る。
【０００８】本発明による切断方法を用いて種棒切断を
行い、得られた種棒の結晶方位偏差角度を測定した。切
断した単結晶インゴットは２６個で、各インゴットから
１個の種棒を抜き取って結晶方位の傾き角を測定した結
果、平均値は４．７７分、標準偏差の推定値は３．１５
分であった。これに対し、従来の光像法を用いて切断し
た種棒の結晶方位偏差角度を上記と同一の方法で測定し
たところ、平均値は２１．４分、標準偏差の推定値は１
６．７３分であり、結晶方位偏差精度は飛躍的に向上し
た。また、工程能力指数も５倍以上に向上した。
行い、得られた種棒の結晶方位偏差角度を測定した。切
断した単結晶インゴットは２６個で、各インゴットから
１個の種棒を抜き取って結晶方位の傾き角を測定した結
果、平均値は４．７７分、標準偏差の推定値は３．１５
分であった。これに対し、従来の光像法を用いて切断し
た種棒の結晶方位偏差角度を上記と同一の方法で測定し
たところ、平均値は２１．４分、標準偏差の推定値は１
６．７３分であり、結晶方位偏差精度は飛躍的に向上し
た。また、工程能力指数も５倍以上に向上した。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、種
子結晶の素材である単結晶インゴットの端面にブラッグ
角でＸ線を照射し、回折波強度が最大となるように単結
晶インゴットの軸心の向きを調節した上、その状態を維
持したまま切断することにしたので、結晶格子面に直角
の方向に極めて正確に切断することができる。そして、
この手順をｘ，ｙ２方向について行うことにしたので、
従来の光像法に比べて結晶方位偏差が著しく小さい種棒
を得ることができる。このような極めて良質の種棒を使
用した場合、結晶方位偏差の小さい高品質の単結晶を製
造することが可能となる。また、種棒切断加工の歩留り
を飛躍的に向上させることができる。
子結晶の素材である単結晶インゴットの端面にブラッグ
角でＸ線を照射し、回折波強度が最大となるように単結
晶インゴットの軸心の向きを調節した上、その状態を維
持したまま切断することにしたので、結晶格子面に直角
の方向に極めて正確に切断することができる。そして、
この手順をｘ，ｙ２方向について行うことにしたので、
従来の光像法に比べて結晶方位偏差が著しく小さい種棒
を得ることができる。このような極めて良質の種棒を使
用した場合、結晶方位偏差の小さい高品質の単結晶を製
造することが可能となる。また、種棒切断加工の歩留り
を飛躍的に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】治具１の斜視図である。
【図２】治具２の斜視図である。
【図３】治具３の斜視図である。
【図４】治具３に治具２を固定し、単結晶素材を貼着し
た治具１を治具２に載せた状態を示す正面図である。
た治具１を治具２に載せた状態を示す正面図である。
【図５】Ｘ線管と検出器との位置関係を示す説明図であ
る。
る。
【図６】単結晶素材の結晶格子面の向きを調節した状態
を示す上面図である。
を示す上面図である。
【図７】治具２を切断機に取り付けた状態を示す上面図
である。
である。
【図８】一方向の切断を終了し、切断機から治具２を取
り外した状態を示す正面図である。
り外した状態を示す正面図である。
１，２，３ 治具 １ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ 面 ２ｅ 調整ボルト ２ｆ 底面 ３ｄ 基部 ４ 単結晶インゴット（素材） ４ａ 結晶格子面 ５ Ｘ線管 ６ 検出器 ７ 切断機 ７ａ 基準面
Claims (2)
- 【請求項１】 単結晶インゴットの結晶格子面間隔をｄ
とし、波長λのＸ線を前記結晶格子面に対して角度θで
照射したとき、ｓｉｎθ＝λ／２ｄとなる条件〔ブラッ
グの条件〕を満たす位置に検出器を配設し、前記単結晶
インゴットの端面に波長λのＸ線を照射したとき検出器
による回折波強度が最大となるように単結晶インゴット
の軸の向きを調節した上、所定の間隔で結晶格子面に直
角方向に第１のインゴット切断を行い、インゴットの軸
を中心として前記単結晶インゴットを９０°回転させた
後、インゴットの端面に波長λのＸ線を照射し、前記と
同様に検出器による回折波強度が最大となるように単結
晶インゴットの軸の向きを調節した上、所定の間隔で結
晶格子面に直角方向に第２のインゴット切断を行うこと
により種棒を得ることを特徴とする種棒切断方法。 - 【請求項２】 アングルプレートからなる治具１と、 前記治具１を載置する底面と、この底面の両端に垂直に
立ち上がる対向面と、 前記二つの対向面にそれぞれ２本ずつ配設された調整ボ
ルトとによって構成される治具２と、 前記治具２を載置、固定する上部と、Ｘ線回折装置に適
合する基部とからなる治具３とを準備し、 治具１の直交する２面に単結晶インゴットの外周を貼着
し、治具３に載置、固定した治具２に前記治具１の一側
の面を下にして載置した後、単結晶インゴットの端面に
Ｘ線を照射し、Ｘ線回折装置の検出器による回折波強度
が最大となるように前記４本の調整ボルトを操作して治
具１の向きを調節した上、治具２を切断機の基準面に固
定して第１のインゴット切断を行い、治具１の他側の面
を下にして治具２に載置し、再度単結晶インゴットの端
面にＸ線を照射し、前記と同様に検出器による回折波強
度が最大となるように前記４本の調整ボルトを操作して
治具１の向きを調節した上、治具２を切断機の基準面に
固定して第２のインゴット切断を行うことを特徴とする
請求項１の種棒切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4297761A JP2909945B2 (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 種棒切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4297761A JP2909945B2 (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 種棒切断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06122119A true JPH06122119A (ja) | 1994-05-06 |
| JP2909945B2 JP2909945B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=17850834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4297761A Expired - Fee Related JP2909945B2 (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 種棒切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2909945B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009196028A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Seiko Instruments Inc | ウエハの作製方法 |
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| KR101289660B1 (ko) * | 2011-08-04 | 2013-07-25 | 비아이신소재 주식회사 | 사파이어 잉곳 가공용 지그 |
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| CN110341060A (zh) * | 2019-06-28 | 2019-10-18 | 河北远东通信系统工程有限公司 | 一种高精密双转角石英晶片的切割工艺 |
| CN114311350A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-04-12 | 天通控股股份有限公司 | 一种钽酸锂晶体头尾切割方法 |
-
1992
- 1992-10-09 JP JP4297761A patent/JP2909945B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2909945B2 (ja) | 1999-06-23 |
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