JPH06120317A - 真空装置用ウエハ搬送機構 - Google Patents
真空装置用ウエハ搬送機構Info
- Publication number
- JPH06120317A JPH06120317A JP4094793A JP9479392A JPH06120317A JP H06120317 A JPH06120317 A JP H06120317A JP 4094793 A JP4094793 A JP 4094793A JP 9479392 A JP9479392 A JP 9479392A JP H06120317 A JPH06120317 A JP H06120317A
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- JP
- Japan
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- pair
- magnets
- superconductors
- vacuum
- hollow cooling
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明の目的は、ゴミの発生箇所を少なくし
て、ウエハを搬送することが可能であって、かつ、寿命
の長い真空装置用ウエハ搬送機構を提供するものであ
る。 【構成】この発明の真空装置用ウエハ搬送機構は、真空
槽の底面上又はこれより少し上方の真空槽内にリング状
に配設された中空の冷却槽と、この中空の冷却槽内に左
右対象に配設された一対の超電導体と、真空槽の底面よ
り下方の真空槽外に配設され、真空槽の底面に沿うよう
に移動することによって、一対の超電導体を中空の冷却
槽内で移動させる一対の駆動用磁石と、中空の冷却槽の
上方に配設され、一対の超電導体にピン止め力により浮
上拘束され、一対の超電導体の移動にしたがって移動す
る一対の浮上用磁石と、この浮上用磁石の各々に一端部
を取り付けられた取り付けられた一対のアームと、この
一対のアームの他端部に歯車により拘束結合された搬送
台とを備えたものである。
て、ウエハを搬送することが可能であって、かつ、寿命
の長い真空装置用ウエハ搬送機構を提供するものであ
る。 【構成】この発明の真空装置用ウエハ搬送機構は、真空
槽の底面上又はこれより少し上方の真空槽内にリング状
に配設された中空の冷却槽と、この中空の冷却槽内に左
右対象に配設された一対の超電導体と、真空槽の底面よ
り下方の真空槽外に配設され、真空槽の底面に沿うよう
に移動することによって、一対の超電導体を中空の冷却
槽内で移動させる一対の駆動用磁石と、中空の冷却槽の
上方に配設され、一対の超電導体にピン止め力により浮
上拘束され、一対の超電導体の移動にしたがって移動す
る一対の浮上用磁石と、この浮上用磁石の各々に一端部
を取り付けられた取り付けられた一対のアームと、この
一対のアームの他端部に歯車により拘束結合された搬送
台とを備えたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はウエハを搬送する真空
装置用ウエハ搬送機構に関するものである。
装置用ウエハ搬送機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空装置用ウエハ搬送機構には種
々のものがあり、その一例として、特開昭６０−１８３
７６号公報に記載されたものがある。同公報に記載され
た真空装置用ウエハ搬送機構は図５に示されている。同
図において、駆動アーム２１の一端部には歯車２１ａが
設けられ、また、駆動アーム２２の一端部には歯車２２
ａが設けられ、これらの歯車２１ａ、２２ａは歯合して
いる。駆動アーム２１の他端部にはピン２３を介して従
動アーム２４の一端部がピン結合され、また、駆動アー
ム２２の他端部にはピン２５を介して従動アーム２６の
一端部がピン結合されている。従動アーム２４の他端部
には歯車２４ａが設けられ、また、従動アーム２６の他
端部には歯車２６ａが設けられ、これらの歯車２４ａ、
２６ａは歯合している。従動アーム２４の他端部の歯車
２４ａの回転中心にはピン２７を介して移動台２９がピ
ン結合され、また、従動アーム２６の他端部の歯車２６
ａの回転中心にはピン２８を介して移動台２９がピン結
合されている。このような構成にすることによって、駆
動アーム２１、２２と、従動アーム２４、２６とで四辺
形のリンク機構が形成されている。なお、駆動アーム２
１の一端部の歯車２１ａには駆動用歯車３０が歯合して
いる。また、移動台２９の上にはウエハ（図示せず）が
載せられ、移動台２９の移動とともに搬送されるように
なっている。
々のものがあり、その一例として、特開昭６０−１８３
７６号公報に記載されたものがある。同公報に記載され
た真空装置用ウエハ搬送機構は図５に示されている。同
図において、駆動アーム２１の一端部には歯車２１ａが
設けられ、また、駆動アーム２２の一端部には歯車２２
ａが設けられ、これらの歯車２１ａ、２２ａは歯合して
いる。駆動アーム２１の他端部にはピン２３を介して従
動アーム２４の一端部がピン結合され、また、駆動アー
ム２２の他端部にはピン２５を介して従動アーム２６の
一端部がピン結合されている。従動アーム２４の他端部
には歯車２４ａが設けられ、また、従動アーム２６の他
端部には歯車２６ａが設けられ、これらの歯車２４ａ、
２６ａは歯合している。従動アーム２４の他端部の歯車
２４ａの回転中心にはピン２７を介して移動台２９がピ
ン結合され、また、従動アーム２６の他端部の歯車２６
ａの回転中心にはピン２８を介して移動台２９がピン結
合されている。このような構成にすることによって、駆
動アーム２１、２２と、従動アーム２４、２６とで四辺
形のリンク機構が形成されている。なお、駆動アーム２
１の一端部の歯車２１ａには駆動用歯車３０が歯合して
いる。また、移動台２９の上にはウエハ（図示せず）が
載せられ、移動台２９の移動とともに搬送されるように
なっている。
【０００３】このような真空装置用ウエハ搬送機構にお
いては、駆動用歯車３０が図中の矢印の方向に右回転す
ると、これと歯合する歯車２１ａは左回転し、駆動アー
ム２１が左回転するようになる。また、歯車２１ａの左
回転により、これと歯合する歯車２２ａは右回転し、駆
動アーム２２が右回転するようになる。そして、駆動ア
ーム２１の左回転に伴って従動アーム２４が回転すると
共に、駆動アーム２２の右回転に伴って従動アーム２６
も回転し、移動台２９が歯車２１ａ、２２ａの方向に移
動される。なお、駆動用歯車３０が上記と反対に左回転
すると、移動台２９は歯車２１ａ、２２ａより遠ざかる
方向に移動するようになる。
いては、駆動用歯車３０が図中の矢印の方向に右回転す
ると、これと歯合する歯車２１ａは左回転し、駆動アー
ム２１が左回転するようになる。また、歯車２１ａの左
回転により、これと歯合する歯車２２ａは右回転し、駆
動アーム２２が右回転するようになる。そして、駆動ア
ーム２１の左回転に伴って従動アーム２４が回転すると
共に、駆動アーム２２の右回転に伴って従動アーム２６
も回転し、移動台２９が歯車２１ａ、２２ａの方向に移
動される。なお、駆動用歯車３０が上記と反対に左回転
すると、移動台２９は歯車２１ａ、２２ａより遠ざかる
方向に移動するようになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空装置用ウエ
ハ搬送機構は、上記のように歯車２１ａ、２２ａを歯合
したり、あるいは、駆動アーム２１、２２と従動アーム
２４、２６をピン２３、２５を介して結合しているの
で、移動台２９を移動させるときにはこれらの部分より
摩擦によるゴミが発生したり、また、歯車２１ａ、２２
ａやピン２３、２５が磨耗したりして、寿命が短くなる
等の問題が起きた。
ハ搬送機構は、上記のように歯車２１ａ、２２ａを歯合
したり、あるいは、駆動アーム２１、２２と従動アーム
２４、２６をピン２３、２５を介して結合しているの
で、移動台２９を移動させるときにはこれらの部分より
摩擦によるゴミが発生したり、また、歯車２１ａ、２２
ａやピン２３、２５が磨耗したりして、寿命が短くなる
等の問題が起きた。
【０００５】この発明の目的は、上記問題を解決して、
ゴミの発生を少なくし、ウエハを搬送することが可能で
あって、かつ、寿命の長い真空装置用ウエハ搬送機構を
提供することである。
ゴミの発生を少なくし、ウエハを搬送することが可能で
あって、かつ、寿命の長い真空装置用ウエハ搬送機構を
提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の真空装置用ウエハ搬送機構は、真空槽の
底面上又はこれより少し上方の真空槽内にリング状に配
設された中空の冷却槽と、この中空の冷却槽内に左右対
称に配設された一対の超電導体と、真空槽の底面より下
方の真空槽外に配設され、真空槽の底面に沿うように移
動することによって、上記一対の超電導体を上記中空の
冷却槽内で移動させる駆動用磁石と、上記中空の冷却槽
の上方に配設され、上記一対の超電導体にピン止め力に
より浮上拘束され、上記一対の超電導体の移動にしたが
って移動する一対の浮上用磁石と、この一対の浮上用磁
石の各々に一端部を取り付けられた一対のアームと、こ
の一対のアームの他端部に歯車により拘束結合された搬
送台とを備えたものである。
に、この発明の真空装置用ウエハ搬送機構は、真空槽の
底面上又はこれより少し上方の真空槽内にリング状に配
設された中空の冷却槽と、この中空の冷却槽内に左右対
称に配設された一対の超電導体と、真空槽の底面より下
方の真空槽外に配設され、真空槽の底面に沿うように移
動することによって、上記一対の超電導体を上記中空の
冷却槽内で移動させる駆動用磁石と、上記中空の冷却槽
の上方に配設され、上記一対の超電導体にピン止め力に
より浮上拘束され、上記一対の超電導体の移動にしたが
って移動する一対の浮上用磁石と、この一対の浮上用磁
石の各々に一端部を取り付けられた一対のアームと、こ
の一対のアームの他端部に歯車により拘束結合された搬
送台とを備えたものである。
【０００７】
【作用】この発明においては、一対の超電導体を駆動用
磁石および浮上用磁石に垂直に重なるようにして冷却
し、一対の駆動用磁石を真空槽の底面に向かって上昇さ
せる。すると、超電導体は駆動用磁石の磁束をピン止め
し、超電導体が中空の冷却槽内において磁気浮上する。
超電導体の磁気浮上により、浮上用磁石もその磁束がピ
ン止めされ、中空の冷却槽と僅かな隙間をもって磁気浮
上するようになる。その後、駆動用磁石を円軌道を描く
ように右回転および左回転させると、アームがそれに伴
って回転し、搬送台が直線運動をする。このとき、浮上
用磁石は自転するような力が作用するがねこの回転方向
には磁束の変化がないため、円滑に動き、従来この部分
に用いられていたピンを除くことができる。
磁石および浮上用磁石に垂直に重なるようにして冷却
し、一対の駆動用磁石を真空槽の底面に向かって上昇さ
せる。すると、超電導体は駆動用磁石の磁束をピン止め
し、超電導体が中空の冷却槽内において磁気浮上する。
超電導体の磁気浮上により、浮上用磁石もその磁束がピ
ン止めされ、中空の冷却槽と僅かな隙間をもって磁気浮
上するようになる。その後、駆動用磁石を円軌道を描く
ように右回転および左回転させると、アームがそれに伴
って回転し、搬送台が直線運動をする。このとき、浮上
用磁石は自転するような力が作用するがねこの回転方向
には磁束の変化がないため、円滑に動き、従来この部分
に用いられていたピンを除くことができる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例の真空装置用ウエ
ハ搬送機構は図１、図２および図３に示されており、こ
れらの図において、真空槽１の底面１ａ下方の大気側に
は、底面１ａと僅かな隙間をもって底面１ａに沿って移
動する一対の駆動用磁石２ａ、２ｂが左右対称に配設さ
れている。真空槽１の底面１ａより少し上方の真空槽１
内には中空の冷却槽３がリング状、即ち、ドーナツ状に
配設されている。中空の冷却槽３内には一対の円板状の
超電導体４ａ、４ｂが左右対称になるように移動自在に
配設され、超電導体４ａ、４ｂが一対の駆動用磁石２
ａ、２ｂの位置と対向している。また、中空の冷却槽３
内には冷却媒体が注入され、超電導体４ａ、４ｂが冷却
されるようになっている。中空の冷却槽３の上方には一
対の浮上用磁石５ａ、５ｂが超電導体４ａ、４ｂと対向
するように移動自在に配設されている。一対の浮上用磁
石５ａ、５ｂの各々には取付部材６ａ、６ｂが固定さ
れ、取付部材６ａには左部のアーム７ａの一端部が結合
され、また、取付部材６ｂには右部のアーム７ｂの一端
部が結合されている。左部のアーム７ａと右部のアーム
７ｂの各他端部には歯車８ａ、８ｂが設けられており、
歯車８ａ、８ｂとが噛み合った状態で、搬送台９がピン
１０ａ、１０ｂにより歯車８ａ、８ｂに拘束結合されて
いる。搬送台９上にはウエハ１１が載せられるようにな
っている。
しながら説明する。この発明の実施例の真空装置用ウエ
ハ搬送機構は図１、図２および図３に示されており、こ
れらの図において、真空槽１の底面１ａ下方の大気側に
は、底面１ａと僅かな隙間をもって底面１ａに沿って移
動する一対の駆動用磁石２ａ、２ｂが左右対称に配設さ
れている。真空槽１の底面１ａより少し上方の真空槽１
内には中空の冷却槽３がリング状、即ち、ドーナツ状に
配設されている。中空の冷却槽３内には一対の円板状の
超電導体４ａ、４ｂが左右対称になるように移動自在に
配設され、超電導体４ａ、４ｂが一対の駆動用磁石２
ａ、２ｂの位置と対向している。また、中空の冷却槽３
内には冷却媒体が注入され、超電導体４ａ、４ｂが冷却
されるようになっている。中空の冷却槽３の上方には一
対の浮上用磁石５ａ、５ｂが超電導体４ａ、４ｂと対向
するように移動自在に配設されている。一対の浮上用磁
石５ａ、５ｂの各々には取付部材６ａ、６ｂが固定さ
れ、取付部材６ａには左部のアーム７ａの一端部が結合
され、また、取付部材６ｂには右部のアーム７ｂの一端
部が結合されている。左部のアーム７ａと右部のアーム
７ｂの各他端部には歯車８ａ、８ｂが設けられており、
歯車８ａ、８ｂとが噛み合った状態で、搬送台９がピン
１０ａ、１０ｂにより歯車８ａ、８ｂに拘束結合されて
いる。搬送台９上にはウエハ１１が載せられるようにな
っている。
【０００９】このような実施例において、中空の冷却槽
３内に冷却媒体を注入して、超電導体４ａ、４ｂを冷却
し、駆動用磁石２ａ、２ｂの磁束および浮上用磁石５
ａ、５ｂの磁束を超電導体４ａ、４ｂにピン止めさせ
る。その後、真空槽１の底面１ａ下方の大気側に配設さ
れた一対の駆動用磁石２ａ、２ｂを底面１ａに向かって
上昇させると、超電導体４ａ、４ｂがピン止め力により
中空の冷却槽３内において磁気浮上する。超電導体４
ａ、４ｂの磁気浮上により、浮上用磁石５ａ、５ｂもピ
ン止め力により中空の冷却槽３と僅かな隙間をもって、
磁気浮上するようになる。その後、駆動用磁石２ａ、２
ｂを図４に示されるように円軌道を描くように同時に右
回転および左回転させると、アーム７ａ、７ｂがそれに
伴って回転し、搬送台９が直線運動をする。図２は真空
装置用ウエハ搬送機構が縮んでいるときの搬送台９の位
置、図３は真空装置用ウエハ搬送機構が伸びているとき
の搬送台９の位置を示している。また、アーム７ａ、７
ｂが図２の状態で、駆動用磁石２ａ、２ｂを同方向に回
転させると、アーム７ａ、７ｂはその方向に回転してウ
エハ１１の搬送方向を変えることができる。
３内に冷却媒体を注入して、超電導体４ａ、４ｂを冷却
し、駆動用磁石２ａ、２ｂの磁束および浮上用磁石５
ａ、５ｂの磁束を超電導体４ａ、４ｂにピン止めさせ
る。その後、真空槽１の底面１ａ下方の大気側に配設さ
れた一対の駆動用磁石２ａ、２ｂを底面１ａに向かって
上昇させると、超電導体４ａ、４ｂがピン止め力により
中空の冷却槽３内において磁気浮上する。超電導体４
ａ、４ｂの磁気浮上により、浮上用磁石５ａ、５ｂもピ
ン止め力により中空の冷却槽３と僅かな隙間をもって、
磁気浮上するようになる。その後、駆動用磁石２ａ、２
ｂを図４に示されるように円軌道を描くように同時に右
回転および左回転させると、アーム７ａ、７ｂがそれに
伴って回転し、搬送台９が直線運動をする。図２は真空
装置用ウエハ搬送機構が縮んでいるときの搬送台９の位
置、図３は真空装置用ウエハ搬送機構が伸びているとき
の搬送台９の位置を示している。また、アーム７ａ、７
ｂが図２の状態で、駆動用磁石２ａ、２ｂを同方向に回
転させると、アーム７ａ、７ｂはその方向に回転してウ
エハ１１の搬送方向を変えることができる。
【００１０】ところで、上記実施例では、駆動用磁石、
超電導体、浮上用磁石等は一対になっているが、その代
わりに、片方だけであってもよい。
超電導体、浮上用磁石等は一対になっているが、その代
わりに、片方だけであってもよい。
【００１１】
【発明の効果】この発明においては、中空の冷却槽と対
向しなが円軌道を描くように右回転および左回転する駆
動用磁石により超電導体をピン止め力により浮上拘束さ
せ、更に、浮上用磁石をピン止め力により浮上拘束さ
せ、そして、駆動用磁石を円軌道を描くように右回転お
よび左回転させ、アームの回転により、搬送台を直線運
動させるようにしているので、従来の駆動機構による駆
動部および関節部からのゴミの発生を防いで、ウエハを
搬送することが可能になると共に、寿命の長いものを得
ることが出来るようになる。
向しなが円軌道を描くように右回転および左回転する駆
動用磁石により超電導体をピン止め力により浮上拘束さ
せ、更に、浮上用磁石をピン止め力により浮上拘束さ
せ、そして、駆動用磁石を円軌道を描くように右回転お
よび左回転させ、アームの回転により、搬送台を直線運
動させるようにしているので、従来の駆動機構による駆
動部および関節部からのゴミの発生を防いで、ウエハを
搬送することが可能になると共に、寿命の長いものを得
ることが出来るようになる。
【図１】この発明の実施例の断面図
【図２】この発明の実施例真空装置用ウエハ搬送機構が
縮んでいるときの搬送台の位置を示す説明図
縮んでいるときの搬送台の位置を示す説明図
【図３】この発明の実施例真空装置用ウエハ搬送機構が
伸びているときの搬送台の位置を示す説明図
伸びているときの搬送台の位置を示す説明図
【図４】この発明の実施例に用いられている一対の駆動
用磁石の運動を示す説明図
用磁石の運動を示す説明図
１・・・・・・・・・・・真空槽 １ａ・・・・・・・・・・真空槽の底面 ２ａ、２ｂ・・・・・・・駆動用磁石 ３・・・・・・・・・・・中空の冷却槽 ４ａ、４ｂ・・・・・・・超電導体 ５ａ、５ｂ・・・・・・・浮上用磁石 ６ａ、６ｂ・・・・・・・取付部材 ７ａ、７ｂ・・・・・・・アーム ８ａ、８ｂ・・・・・・・歯車 ９・・・・・・・・・・・搬送台 １０ａ、１０ｂ・・・・・ピン １１・・・・・・・・・・ウエハ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１０月２日
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例の断面図
【図２】この発明の実施例の真空装置用ウエハ搬送機構
が縮んでいるときの搬送台の位置を示す説明図
が縮んでいるときの搬送台の位置を示す説明図
【図３】この発明の実施例の真空装置用ウエハ搬送機構
が伸びているときの搬送台の位置を示す説明図
が伸びているときの搬送台の位置を示す説明図
【図４】この発明の実施例に用いられている一対の駆動
用磁石の運動を示す説明図
用磁石の運動を示す説明図
【図５】従来の真空装置用ウエハ搬送機構を示す説明図
【符号の説明】 １・・・・・・・・・・・真空槽 １ａ・・・・・・・・・・真空槽の底面 ２ａ、２ｂ・・・・・・・駆動用磁石 ３・・・・・・・・・・・中空の冷却槽 ４ａ、４ｂ・・・・・・・超電導体 ５ａ、５ｂ・・・・・・・浮上用磁石 ６ａ、６ｂ・・・・・・・取付部材 ７ａ、７ｂ・・・・・・・アーム ８ａ、８ｂ・・・・・・・歯車 ９・・・・・・・・・・・搬送台 １０ａ、１０ｂ・・・・・ピン １１・・・・・・・・・・ウエハ
Claims (1)
- 【請求項１】真空槽の底面上又はこれより少し上方の真
空槽内にリング状に配設された中空の冷却槽と、この中
空の冷却槽内に左右対称に配設された一対の超電導体
と、真空槽の底面より下方の真空槽外に配設され、真空
槽の底面に沿うように移動することによって、上記一対
の超電導体を上記中空の冷却槽内で移動させる駆動用磁
石と、上記中空の冷却槽の上方に配設され、上記一対の
超電導体にピン止め力により浮上拘束され、上記一対の
超電導体の移動にしたがって移動する一対の浮上用磁石
と、この一対の浮上用磁石の各々に一端部を取り付けら
れた一対のアームと、この一対のアームの他端部に歯車
により拘束結合された搬送台とを備えた真空装置用ウエ
ハ搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4094793A JPH06120317A (ja) | 1992-03-20 | 1992-03-20 | 真空装置用ウエハ搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4094793A JPH06120317A (ja) | 1992-03-20 | 1992-03-20 | 真空装置用ウエハ搬送機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06120317A true JPH06120317A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=14119958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4094793A Pending JPH06120317A (ja) | 1992-03-20 | 1992-03-20 | 真空装置用ウエハ搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06120317A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100391000B1 (ko) * | 2001-06-30 | 2003-07-12 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 노광 장치 |
| JP2008001496A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Kochi Univ Of Technology | 移動ユニット |
| CN107074453A (zh) * | 2014-07-02 | 2017-08-18 | 费斯托股份有限两合公司 | 具有带有超导的磁性轴承的滚筒的输送系统 |
| US20220130701A1 (en) * | 2020-01-12 | 2022-04-28 | Tokyo Electron Limited | Substrate transfer apparatus, substrate transfer method, and substrate processing system |
| KR20220102108A (ko) * | 2021-01-12 | 2022-07-19 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반송 장치, 기판 반송 방법, 및 기판 처리 시스템 |
| US20230377927A1 (en) * | 2019-11-29 | 2023-11-23 | Tokyo Electron Limited | Substrate transfer apparatus and substrate processing system |
-
1992
- 1992-03-20 JP JP4094793A patent/JPH06120317A/ja active Pending
Cited By (7)
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|---|---|---|---|---|
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