CN214269374U - 真空样品驱动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空样品驱动装置，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于真空腔室外的第二磁性部件；第二磁性部件和第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且第一磁性部件和第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；第二磁性部件为对第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；当第一磁性部件受第二磁性部件的磁场力变化时，第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动样品承载台移动，以驱动样品承载台上的样品移动到设定位置。本申请所提供的真空环境中的样品转运的装置，不需要将驱动电机、轴承等驱动设备封装于真空环境中，提高真空腔室的密封性和真空环境的洁净度。

Description

真空样品驱动装置

技术领域

本实用新型涉及真空加工控制技术领域，特别是涉及一种真空样品驱动装置。

背景技术

在半导体芯片、半导体外延片等各种高精密器件，在生产加工过程中，均要求在真空环境中完成。真空环境中要求高洁净度、隔绝氧气和水分、高精密度操作等。而在真空环境中对样品内进行加工操作过程中，不可避免的需要对样品进行转移、移动或回传等等操作，这就需要在维持真空环境的真空腔室内设置较为复杂的传动机械结构。

对于目前市面上有一些通过机械结构进行传动装置，存在的问题是，机械结构传动过程中并不能很好地保证机械结构的气密性。如果相关的密封胶没有及时补充，可能就会在运动时影响真空环境的气密性。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空样品驱动装置，能够在一定程度上保证真空腔室中的真空环境气密性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种真空样品驱动装置，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于所述真空腔室外的第二磁性部件；所述第二磁性部件和所述第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且所述第一磁性部件和所述第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；

其中，所述第二磁性部件为对所述第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；

当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力变化时，所述第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动所述样品承载台移动，以驱动所述样品承载台上的样品移动到设定位置。

可选地，所述第二磁性部件包括至少两组绕组线圈；当所述绕组线圈中的通电电流发生变化，各组所述绕组线圈的叠加磁场力发生变化。

可选地，所述第二磁性部件连接有驱动部件，用于驱动所述第二磁性部件相对于所述第一磁性部件运动，以改变所述第二磁性部件对所述第一磁性部件的磁场力。

可选地，所述第一磁性部件还连接有卡位部件，用于将所述第一磁性部件的可移动位置点限制在至少两个固定位置点。

可选地，所述卡位部件包括均具有凹凸结构的第一卡位部件和第二卡位部件，所述第一卡位部件和所述第二卡位部件的凹凸结构可相互配合卡接；所述第一卡位部件和所述第一磁性部件固定连接；

当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力变化时，所述第一卡位部件和所述第二卡位部件具有所述凹凸结构的两个表面相互贴合的相对移动。

可选地，还包括和所述第一磁性部件相连接的齿轮部件，和所述样品承载台固定连接的齿条部件；所述齿轮部件和所述齿条部件相互咬合；

所述第一磁性部件和所述齿轮部件相连接，当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力方向变化时，所述第一磁性部件带动所述齿轮部件旋转。

可选地，所述第二磁性部件包括至少两个磁铁，所述第二磁性部件和驱动部件相连接；所述驱动部件用于驱动各个所述磁铁在相同圆心相同半径的圆形轨迹上旋转运动；所述第一磁性部件位于所述圆心上。

可选地，所述真空腔室包括具有向所述真空腔室凸起的外凸腔壁，各个所述磁铁环绕所述外凸腔壁设置，所述第一磁性部件设置所述外凸腔壁内。

可选地，所述真空腔室为钢化玻璃腔室。

可选地，所述真空腔室的腔壁上沿所述第一磁性部件运动方向设置的刻度尺。

本实用新型所提供的一种真空样品驱动装置，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于真空腔室外的第二磁性部件；第二磁性部件和第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且第一磁性部件和第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；其中，第二磁性部件为对第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；当第一磁性部件受第二磁性部件的磁场力变化时，第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动样品承载台移动，以驱动样品承载台上的样品移动到设定位置。

本申请中在真空腔室的外部和内部分别设置可以相互磁耦合的第一磁性部件和第二磁性部件，也就是说第一磁性部件和第二磁性部件之间不需要通过直接接触连接即可相互施加作用力；由此，即可在真空腔室外部的大气环境中改变第二磁性部件对第一磁性部件的作用力，因为第二磁性部件对第一磁性部件的作用力发生变化，第一磁性部件受变化后的磁场力作用即可开始运动，进而带动承载样品的样品承载台移动，显然，只要将第二磁性部件的磁场力方向按照设定的方式变化，第二磁性部件也即可带动样品承载台移动到设定位置，进而实现样品转运。

本申请所提供的真空环境中的样品转运的装置，不需要将驱动电机、轴承等驱动设备封装于真空环境中，避免因为驱动设备自身密封性不足,以及轴承漏油等原因，降低真空环境的密封性和洁净度的问题，有利于提高真空加工样品的产品质量。

附图说明

为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的真空样品驱动装置的结构示意图；

图2为图1中局部部件结构示意图；

图3为本实施例提供的第二磁性部件布局的结构示意图；

图4为本实施例提供的第二磁性部件另一布局的结构示意图；

图5为本实施例提供的第二磁性部件又一布局的结构示意图。

具体实施方式

目前，常规真空腔室的驱动设备一般是在真空腔室的腔壁上设置通孔，将驱动设备固定在通孔位置，并通过法兰盘对该通孔位置和驱动设备之间进行密封连接，进而使得位于真空腔室外部的驱动设备可以通过通孔和真空腔室内部需要移动转运的样品之间相连接；再在真空腔室外部操作控制驱动设备驱动真空腔室内的样品移动，也就可以实现真空腔室内的样品转运。

对于上述常规的转运真空腔室中样品的方案而言，法兰盘的密封性随着使用时间的延长会逐渐降低，需要经常性的补胶，一旦补胶不及时，真空腔室内的真空度显然会下降；此外，驱动设备不可避免的需要使用轴承、油缸等部件，一旦存在油污溢出，会大大降低真空腔室内的洁净度，从而对在真空腔室内加工器件的加工质量产生影响。

为此，本申请中提供了一种在减小对真空腔室中的真空环境产生不利影响的基础上，实现对真空腔室内的样品转运的技术方案。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1和图2所示，图1为本申请实施例提供的真空样品驱动装置的结构示意图，图2为图1中局部部件结构示意图，该真空样品驱动装置可以包括：

设置于真空腔室1内并和样品承载台2相连接的第一磁性部件4；

设置于真空腔室1外的第二磁性部件5；

第二磁性部件5和第一磁性部件4之间通过磁场力相互磁耦合，且第一磁性部件4和第二磁性部件5之间的真空腔室1的腔壁11为一体结构；

其中，第二磁性部件5为对第一磁性部件4施加的磁场力可调的磁性件；

当第一磁性部件4受第二磁性部件5的磁场力变化时，第一磁性部件4受变化的磁场力驱动带动样品承载台2移动，以驱动样品承载台上2的样品3移动到设定位置。

基于磁性物体同性相斥异性相吸的常识可知，当两个相互吸引的磁性物体中的第一个磁性物体向远离第二各磁性物体的方向移动时，第二个磁性物体显然会向跟随第一个磁性物体移动方向运动；而对于两个相互排斥的磁性物体，当第一个磁性物体向靠近第二个磁性物体移动时第二个磁性物体会向远离第一个磁性物体方向运动。对于两个相互磁耦合的物体而言，其中一个物体运动，另一个物体会产生跟随运动，而产生跟随运动的本质时两个物体之间的磁场力发生变化。

由此，本申请中以此为依据，在真空腔室1的内部和外部分别设置第一磁性部件4和第二磁性部件5，且第一磁性部件4和第二磁性部件5之间相互磁耦合，而第一磁性部件4和第二磁性部件5之间的真空腔室1的腔壁11上无需设置通孔，该腔壁11为完整的一体结构；第一磁性部件4和第二磁性部件5甚至均可以直接不和腔壁11产生任何接触连接。那么在对位于真空腔室1外部的第二磁性部件5产生的磁场力的大小和方向进行控制进而改变其磁场力时，显然，第一磁性部件4受到的磁场力也会相应变化，进而使得第二磁性部件5受改变后的磁场力的驱动在真空腔室1内运动，而第二磁性部件5和承载样品3的样品承载台2相连接，当第二磁性部件5运动，即可带动样品承载台2移动，进而实现样品承载台2对样品3的转运。

由此可见，本申请中无需在真空腔室1中设置通孔，也无须将驱动电机、油缸等驱动设备置于和真空环境连通的环境中，在很大程度上提升了真空腔室1中真空环境的清洁度和密封性，进而保证了在真空腔室内加工样品的加工质量。

综上所述，本申请中利用两个磁性耦合的磁性部件之间可以通过非接触的方式产生相互作用力这一特性，在真空腔室的内部和外部分别设置第一磁性部件和第二磁性部件，进而通过控制位于大气环境中的第二磁性部件的磁场力实现对第一磁性部件的驱动，进而驱动样品载物台带动样品移动，在保证真空腔室内污染程度低、密封性好的真空环境的基础上，实现样品转运，提升了真空环境加工高精密度样品的加工质量。

下面将对真空样品驱动装置的各个具体部件进行详细论述。对于位于真空腔室1外部的第二磁性部件2而言，要实现第二磁性部件2的磁场力的变化，可以采用多种不同的形式。

在本申请的一种可选地实施例中，第二磁性部件2包括至少两组绕组线圈；当绕组线圈中的通电电流发生变化，各组绕组线圈的叠加磁场力发生变化。

参考图3，图3为本实施例提供的第二磁性部件布局的结构示意图。在图3中，第一绕组线圈51和第二绕阻线圈52的磁场方向相互垂直，第一磁性部件4位于两个绕阻线圈产生的叠加磁场中，以第一绕阻线圈51和第二绕阻线圈52都对第一磁性部件4为吸引力为例。显然，当通过改变线圈电流使得第一绕阻线圈51在第一磁性部件4位置的磁场力逐渐增大，而第二绕阻线圈52在第一磁性部件4位置的磁场力逐渐减小时，即可控制第一磁性部件4以自身所在位置为中心，沿图2中顺时针方向旋转，反之，当第一绕阻线圈51的磁场力减小而第二绕阻线圈52的磁场力增大，则第一磁性部件4可以逆时针旋转。

例如，可以将第一绕组线圈51和第二绕阻线圈52均通入大小相等的正弦交流电，且电流相位差为π/2，第一绕组线圈51和第二绕阻线圈52的叠加磁场力的大小不变而方向则顺时针方向或逆时针方向旋转，由此即可使得第一磁性部件4持续保持顺时针旋转和逆时针旋转。

当然，对于第二磁性部件5而言，也并不必然仅仅包括两个绕组线圈，还可以是三个、四个甚至更多，各个绕组线圈可以环绕第一磁性部件4呈圆环形设置，第一磁性部件4位于圆环形圆心。可以理解的是，要实现第一磁性部件4旋转运动，不同数量的绕组线圈的不同排布方式，接入绕组线圈的交流电流的相位差也应当适当的改变。例如，三个绕阻线圈中相邻绕阻线圈相对于第一磁性部件的圆心角为120度，相应地，接入的正弦交流电的相位差也应当为2π/3，对于其他数量的绕组线圈的排布方式以及接通电流的方式可以以上述实施例为参照做适应性的改变，对此本实施例不再详细赘述。

上述实施例中，多个绕组线圈对第一磁性部件4的运动控制是旋转运动，在实际应用过程中，第一磁性部件4带动样品承载台的运动并不必然为旋转运动，还可以是平移直线运动。

如图4所示，图4为本实施例提供的第二磁性部件另一布局的结构示意图。图4中第一磁性部件4设置在两个绕组线圈的两端，与此同时，可以为第一磁性部件4设置滑道9；当两个绕组线圈在沿滑道9方向的磁场力均向左，则第一磁性部件4沿滑道向左滑动，反之，当两个绕组线圈在沿滑道方向的磁场力均向右，则第一磁性部件4沿滑道向右滑动。

由此可见，本申请中采用改变绕阻线圈的线圈电流的方式，既可以实现第一磁性部件4的旋转运动又能够实现第一磁性部件4的平移运动。而第一磁性部件4具体是按照旋转运动实现样品承载台2带动样品3转运还是按照直线运动实现样品承载台2带动样品3转运，和第一磁性部件4与样品承载台2之间的连接方式确定。

对于第二磁性部件5，除了可以采用绕组线圈之外，还可以采用多个磁体。可选地，在本申请的另一可选地实施例中，还可以进一步包括：

第二磁性部件连接有驱动部件，用于驱动第二磁性部件相对于第一磁性部件运动，以改变第二磁性部件对第一磁性部件的磁场力。

参考图2中，第二磁性部件5包括环绕第一磁性部件4设置的多个磁铁，各个磁铁固定在环形支架50上，该环形支架50和驱动部件相连接，通过驱动部件驱动环形支架50带动磁铁旋转，从而带动位于环形支架中心的第一磁性部件4旋转，进而实现第一磁性部件4的旋转运动。

如图5所示，图5为本实施例提供的第二磁性部件又一布局的结构示意图。图5中，第二磁性部件5和第一磁性部件4之间间隔一个真空腔室1的腔壁11，第二磁性部件5对第一磁性部件4具有吸引力的作用，随着第二磁性部件5的左右移动，第一磁性部件4即可随之发生随动。

基于上述论述，可知通过控制第二磁性部件5的磁场力的方向或者大小的变化，即可实现第一磁性部件4的旋转运动或者是平移移动。

基于上述任意实施例，考虑到因为第一磁性部件4和第二磁性部件5之间是非接触式的作用力，在第一磁性部件4随着第二磁性部件5的磁场力变化而运动时，不可避免的导致运动的滞后性，甚至发生磁滞现象，最终，当第二磁性部件5的磁场力已经停止变化时，第一磁性部件4可能无法精准的达到预定位置，或者在预定位置反复振荡运动，导致样品转运精度降低。为此，在本申请的一种可选地实施例中，还可以包括：

第一磁性部件4还连接有卡位部件，用于将第一磁性部件4的可移动位置点限制在至少两个固定位置点。

以样品3仅仅只在两个固定位置点之间来回转运为例，如图4所示，可以在第一磁性部件4的预定轨迹上设置两个挡块。以图4为例，当需要第一磁性部件4需要移动到左侧挡块91的位置时，使得该第一磁性部件4稳定的停留在贴合左侧挡块91的位置。同理，也可以采用类似的方式控制第一磁性部件4移动到右侧挡块92。且对于第一磁性部件4旋转运动的实施例中，同样采用类似的方式，设置挡块，限制第一磁性部件4旋转角度范围。

当样品3需要转运到多个固定位置点时，就需要在第一磁性部件4的可移动方向上设置多个限制点。

在本申请的一种可选地实施例中，卡位部件包括均具有凹凸结构的第一卡位部件71和第二卡位部件72，第一卡位部件71和第二卡位部件72的凹凸结构可相互配合卡接；第一卡位部件71和第一磁性部件72固定连接；

当第一磁性部件4受第二磁性部件5的磁场力变化时，第一卡位部件71和第二卡位部件72具有凹凸结构的两个表面相互贴合的相对移动。

如图5所示，第一卡位部件71和第一磁性部件4相连接，第一卡位部件71上设置有凸起结构，第二卡位部件72上设置有凹陷结构，第一卡位部件71具有凸起结构的表面贴合第二卡位部件72具有凹陷结构的表面。

当第二磁性部件5驱动第一磁性部件4移动过程中，第一卡位部件71也相对于第二卡位部件72移动，且在移动过程中第一卡位部件71的凸起结构可以依次卡入第二卡位部件72的凹陷结构，进而实现对第一磁性部件4的限位。

另外，当第一磁性部件4沿直线移动运动时，则第二卡位部件72为条形部件，当第一磁性部件4旋转运动时，则第二卡位部件72为环绕第二磁性部件5的环形部件。

如图5所示，第一卡位部件71和第二卡位部件72之间的凹凸结构可以相互卡接，即可在一定程度上使得第一卡位部件71和第二卡位部件72相互配合卡接时，对第一磁性部件4的位置进行限制，避免因为磁滞现象造成第一磁性部件4的振荡运动，进而提高控制第一磁性部件4运动位置的精度。

如前所述，在实际应用中第一磁性部件4是旋转运动还是平移移动，和第一磁性部件4与样品承载台3的连接方式相关。对于第一磁性部4件平移运动的实施例中，第一磁性部件4与样品承载台3之间只需要固定连接即可；当第一磁性部件4旋转运动时，则需要通过第一磁性部件4旋转运动实现样品承载台3的平移运动。

在本申请的另一可选地实施例中，还可以进一步地包括：

和第一磁性部件4相连接的齿轮部件61，和样品承载台3固定连接的齿条部件62；齿轮部件61和齿条部件62相互咬合；

第一磁性部件4和齿轮部件61相连接，当第一磁性部件4受第二磁性部件5的磁场力方向变化时，第一磁性部件4作用带动齿轮部件61旋转。

参考图2，随着第一磁性部件4的旋转，可以通过传动杆8带动齿轮部件61旋转，齿轮部件61和齿条部件62相互咬合，从而实现齿条部件62平移，进而带动齿条部件62上的样品承载台3平移，进而实现样品承载台3的样品2转运。且齿轮部件61和齿条部件62之间相互咬合，也能够在一定程度上对第一磁性部件4的运动产生一定的限位作用，避免第一磁性部件4因为磁滞问题而在旋转了预定角度后产生振荡运动。

如前所述，要实现第一磁性部件4的旋转运动存在多种方式，如图2所示，第二磁性部件5包括至少两个磁铁，第二磁性部件5和驱动部件相连接；驱动部件用于驱动各个磁铁在相同圆心相同半径的圆形轨迹上旋转运动；第一磁性部件4位于圆心上。

进一步地，可以将第一磁性部件4和第二磁性部件5之间的真空腔室1的腔壁11设置为具有向真空腔室1外凸起的外凸腔壁10，第二磁性部件5的各个磁铁环绕外凸腔壁10设置，第一磁性部件5设置在外凸腔壁10内。

图1中该外凸腔壁10为圆柱型凸起的腔壁结构，第一磁性部件4通过传动杆8延伸设置在外凸腔壁10中，而第二磁性部件5包括多个磁铁，通过环形支架50环绕第二磁性部件5设置，当驱动部件驱动第二磁性5部件旋转时，即可随时各个磁铁的旋转驱动第二磁性部件5旋转，第二磁性部件5通过固定连接的传动杆8，带动齿轮结构61旋转，进而驱动齿条结构62旋转，齿条结构62带动样品载物台3移动，进而实现样品2的转运。

需要说明的是，对于本申请中任意实施例中的第一磁性部件4，均可以采用磁铁，永磁体或其他可受磁场力驱动的部件，对此本申请中不做具体限制。

基于上述任意实施例，考虑到第一磁性部件4和第二磁性部件5是基于二者之间的磁耦合实现相互作用的，为了避免金属的真空腔室1的腔壁11在二者之间磁场变化过程中产生电磁感应，影响第一磁性部件4和第二磁性部件5之间的相互作用力，在本申请的一种可选地实施例中，还可以进一步地包括：真空腔室1为钢化玻璃腔室。当然，在实际应用过程中，也可以仅仅将第一磁性部件4和第二磁性部件5之间的腔壁44设置程钢化玻璃腔壁。

因为钢化玻璃为可透光材料，透过钢化玻璃可以清楚看到第一磁性部件4的运动位置，为此，在本申请的另一可选地实施例中，还可以进一步地包括：真空腔室1的腔壁11上沿第一磁性部件4运动方向设置的刻度尺。

基于该刻度尺，可以更清楚确定第一磁性部件4是否运动到设定位置，如果没有达到设定位置，则可以在此通过第二磁性部件5对第一磁性部件4的位置进行调整，从而提高样品3转运的控制精度。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。另外，本申请实施例提供的上述技术方案中与现有技术中对应技术方案实现原理一致的部分并未详细说明，以免过多赘述。

本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种真空样品驱动装置，其特征在于，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于所述真空腔室外的第二磁性部件；所述第二磁性部件和所述第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且所述第一磁性部件和所述第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；

其中，所述第二磁性部件为对所述第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；

当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力变化时，所述第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动所述样品承载台移动，以驱动所述样品承载台上的样品移动到设定位置。

2.如权利要求1所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述第二磁性部件包括至少两组绕组线圈；当所述绕组线圈中的通电电流发生变化，各组所述绕组线圈的叠加磁场力发生变化。

3.如权利要求1所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述第二磁性部件连接有驱动部件，用于驱动所述第二磁性部件相对于所述第一磁性部件运动，以改变所述第二磁性部件对所述第一磁性部件的磁场力。

4.如权利要求1所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述第一磁性部件还连接有卡位部件，用于将所述第一磁性部件的可移动位置点限制在至少两个固定位置点。

5.如权利要求4所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述卡位部件包括均具有凹凸结构的第一卡位部件和第二卡位部件，所述第一卡位部件和所述第二卡位部件的凹凸结构可相互配合卡接；所述第一卡位部件和所述第一磁性部件固定连接；

当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力变化时，所述第一卡位部件的凹凸结构和所述第二卡位部件的凹凸结构的两个表面相互贴合的相对移动。

6.如权利要求1所述的真空样品驱动装置，其特征在于，还包括和所述第一磁性部件相连接的齿轮部件，和所述样品承载台固定连接的齿条部件；所述齿轮部件和所述齿条部件相互咬合；

所述第一磁性部件和所述齿轮部件相连接，当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力方向变化时，所述第一磁性部件带动所述齿轮部件旋转。

7.如权利要求6所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述第二磁性部件包括至少两个磁铁，所述第二磁性部件和驱动部件相连接；所述驱动部件用于驱动各个所述磁铁在相同圆心相同半径的圆形轨迹上旋转运动；所述第一磁性部件位于所述圆心上。

8.如权利要求7所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述真空腔室包括具有向所述真空腔室凸起的外凸腔壁，各个所述磁铁环绕所述外凸腔壁设置，所述第一磁性部件设置在所述外凸腔壁内。

9.如权利要求1至8任一项所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述真空腔室为钢化玻璃腔室。

10.如权利要求9所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述真空腔室的腔壁上沿所述第一磁性部件运动方向设置刻度尺。

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