JPH061172B2 - Ｉｃリ−ドフレ−ムの検査方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明はＩＣリードフレームのインナーリード部内に
おけるリード線相互間におよびリード部とアイランド部
間の短絡あるいは近接不良を検査判定するＩＣリードフ
レームの検査方法に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

ＩＣリードフレームはインナーリード部として半導体チ
ップを搭載するアイランド部と、半導体チップと金ワイ
ヤにて結ばれるリード部を有するものである。

ところで、このようなＩＣリードフレームは品質の安定
化が極めて重要であり、特にインナーリード部内でのリ
ード部とリード部の間およびリード部とアイランド部の
夫々の間隙は極めて狭いため、わずかな変形やバリなど
が原因でリード部同志あるいはリード部とアイランド部
間が短絡したり、あるいは必要以上に近接し絶縁不良を
生じ品質の劣化を招くことがあった。

そこで、従来これらの点について種々の検査方法が考え
られているが、これまではすべて作業員による目視検査
によっていた。

このためかかる検査作業には熟練を要求され、極めて作
業能率が悪く、しかもこのときの検査結果は作業員の主
観的なものになり易いため、特に近接などの判定結果は
バラツキが生じ検査精度が低下し、安定した検査結果が
得られない欠点があった。

〔発明の目的〕

この発明は上記欠点を除去するためになされたもので、
作業能率の向上を図り得るとともに検査精度の向上およ
び安定した検査結果を得られるＩＣリードフレームの検
査方法を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

この発明にかかるＩＣリードフレームの検査方法ではＩ
Ｃリードフレームのリード部およびアイランド部を有す
るインナーリード部内を画像情報として検出し、この画
像よりリード部およびアイランド部を夫々１つの島とみ
なし検出するとともにこの検出された島を画像処理して
規定画素数の幅だけ拡大し、この状態で、まず上記検出
された島数と予め正常のものに対応して規定された島数
との数値差を求めてこれにより短絡不良を検出し、次い
で上記検出された島数と上記規定画素数だけ拡大して得
られた島数との数値差を求めてこれにより近年不良を検
出し、あるいは上記規定画素数の幅だけ拡大して得られ
た島数と予め正常のものに対応して規定された島数との
数値差を求めてこれにより短絡不良を含む近接不良を検
出するようにしている。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例を図面に従い説明する。

第１図はＩＣリードフレームを示すもので、符号１で示
す該フレームには半導体チップを搭載するアイランド部
２と、半導体チップとの間を金ワイヤで結ばれるリード
部３を有するインナーリード部４を設けている。

このようなＩＣリードフレームを第２図に示すようにＣ
ＣＤカメラ５に対してセットし、インナーリード部４部
内の画像情報を検出する。そして、この画像情報を画像
処理装置６の画像入力回路６１にて２値化データに変換
したのち画像メモリ６２に入力し、これに記憶する。

この状態で画像演算処理部６３にて画像の演算処理を実
行する。

ここで、画像演算処理部６３は論理演算回路６３ａ、特
徴抽出回路６３ｂ、アフイン変換回路６３ｃを有するも
ので、まず、画像メモリ６２に記憶された画像データよ
り第１図に示したアイランド部２およびリード部３を夫
々１つの島と見なし、その島数を数える。この場合、短
絡不良があると島と島の間がつながり１つの島として数
えられる島数が減るようになる。

この状態で、１つの島として数えられた島数Ｍと予め正
常のものに対応して規定された島の数Ｎとの比較つまり
差 ｎ＝Ｎ−Ｍ を求め、このｎの値により短絡個所の有無を判定する。
すなわちｎ＝０の時は短絡個所がなく正常と判定し、Ｍ
がＮより小さい時短絡個所があり不良と判定する。

次に画像メモリ６２の画像データに対してアドレス制御
回路６４でのアドレス制御をもとに論理フィルタをかけ
ることにより見掛上入力画像を拡大する。

この場合の論理フィルタは原画像の任意のアドレス
（ｘ，ｙ）における画像メモリの値をｆ（ｘ，ｙ）、フ
ィルタリング後の（ｘ，ｙ）における画像メモリの値を
Ｆ（ｘ，ｙ）とすると、下式で与えられる。ここで、ｆ
（ｘ，ｙ）の値は０又は１である。

これにより第３図(a)に示すように画像メモリ上の
（ｘ，ｙ）アドレスを中心に３×３のエリア内について
処理が行なわれ、かかるエリア内のどこか１点でも
“１”の値があれば第３図(b)に示すようにフィルタリ
ング後の画像Ｆ（ｘ，ｙ）は１となる。

このような処理すべての入力画像メモリについて行なう
ことにより原画像を周囲に１画素分だけ拡大する。そし
て、次に、このフィルタリング後の画像をもとに上述の
処理を行ない、以下、同様の処理を所定回数繰返すこと
により繰り返し回数分の画素数だけ入力画像を拡大す
る。

この場合、正常な状態では拡大しても島と島の間がつな
がらない程度の拡大幅を予め規定し、この規定幅だけ入
力画像を拡大し、このときの島の数Ｍ′を数える。

この状態で、上述した島数Ｍとの差 ｎ′＝Ｍ−Ｍ′ を求め、このｎ′の値により近接不良個所の有無を判定
する。つまりｎ′＝０のときは近接不良個所がなく正常
と判定し、Ｍ′がＭより小さい時近接不良個所有りと判
定する。

ここで、上述した正常なものに対応する島数Ｎとの差 ｎ″＝Ｎ−Ｍ′ を求めれば、このｎ″の値により短絡不良とともに近接
不良個所の有無が同時に判定される。つまりｎ″＝０の
時は短絡不良も近接不良もなく正常と判定されＭ′がＮ
より小さい時短絡不良を含む近接不良個所有りと判定さ
れる。

なお、第２図では画像入力回路６１および画像メモリ６
２の内容は適宜画像出力回路６５を介してモニタ７に表
示される。

したがって、このような方法によればＩＣリードフレー
ムのインナーリード部内での短絡および近接不良を熟練
した作業員による目視に頼ることなく自動的に検査する
ことができるので、かかる検査のための作業能率を飛躍
的に向上させることができる。また。このときの検査結
果は作業員の主観に左右されない客観的なものになるた
め検査結果にバラツキが生じることがなく、検査精度の
向上を図り得るとともに安定した結果を得られることに
なる。

なお、この発明は上記実施例にのみ限定されず要旨を変
更しない範囲で適宜変形して実施できる。

〔発明の効果〕

この発明によればＩＣリードフレームのインナーリード
部内でのリード部相互間およびリード部とアイランド部
の間の短絡および近接不良を自動的に検査することがで
きるのでかかる検査のための作業能率の向上を図ること
ができる。また、このときの検査結果は客観的な結果と
して得られるのでバラツキを生じることがなく、検査精
度の向上を図り得るとともに安定した結果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に適用されるＩＣリードフレームを示
す概略的構成図、第２図および第３図(a),(b)はこの発
明の一実施例を説明するための図である。 １…ＩＣリードフレーム、２…アイランド部、３…リー
ド部、４…インナーリード部、５…ＣＣＤカメラ、６…
画像処理装置、６１…画像入力回路、６２…画像メモ
リ、６３…画像演算処理部、６４…アドレス制御回路、
６５…画像出力回路、７…モニタ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ＩＣリードフレームのリード部およびアイ
   ランド部を有するインナーリード部内を画像として検出
   する工程と、 この工程において検出された画像よりリード部およびア
   イランド部を１つの島とみなし検出する工程と、 この工程にて検出された島を画像処理し規定画素数の幅
   だけ拡大する工程と、 上記検出された島数と予め正常のものに対応して規定さ
   れた島数との数値差を求めてこれにより短絡不良を検出
   するとともに上記検出された島数と上記規定画素数の幅
   だけ拡大して得られた島の数の数値差を求めてこれによ
   り近接不良を検出し、あるいは予め正常のものに対応し
   て規定された島数と上記規定画素数の幅だけ拡大して得
   られた島の数との数値差を求めてこれにより短絡不良を
   含む近接不良を検出する工程と を具備したことを特徴とするＩＣリードフレームの検査
   方法。
2. 【請求項２】上記短絡不良および近接不良を検出する工
   程は上記検出された島数が予め正常のものに対応して規
   定された島数より小さい時、短絡不良を検出するととも
   に上記規定画素数の幅だけ拡大して得られた島数が上記
   検出された島数より小さい時、近接不良を検出し、ある
   いは上記規定画素数の幅だけ拡大して得られた島数が予
   め正常のものに対応して規定された島数より小さい時、
   短絡不良を含む近接不良を検出するようにした特許請求
   の範囲第１項記載のＩＣリードフレームの検査方法。