JPH0611652A - 光学顕微鏡 - Google Patents
光学顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0611652A JPH0611652A JP19155792A JP19155792A JPH0611652A JP H0611652 A JPH0611652 A JP H0611652A JP 19155792 A JP19155792 A JP 19155792A JP 19155792 A JP19155792 A JP 19155792A JP H0611652 A JPH0611652 A JP H0611652A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- polarizer
- half mirror
- analyzer
- insulating region
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気伝導体表面上に存在する絶縁性領域を選
択的に検出できるようにして絶縁性領域の存在認識の精
度を向上させる。 【構成】 光源４からの光をハーフミラー５により反射
させ、その反射光を対物レンズ６を通して試料８に照射
し、試料８からの反射光を対物レンズ６とハーフミラー
５とを通過させた後にその光をＣＣＤカメラ７で検出す
る光学顕微鏡において、光源４からの光を偏光するため
に光源４とハーフミラー５との間にポラライザ９を配設
し、且つハーフミラー５を通過した試料８からの反射光
を偏光できる位置に、ポラライザ９の偏光方向と直交す
るような偏光方向を有するアナライザ１０を配設する。
この場合、ポラライザ９及びアナライザ１０の偏光方向
を互いに直交させるために、ポラライザ９とアナライザ
１０とを互いに連動して回転させるドライバ１１を設け
ることが好ましい。
択的に検出できるようにして絶縁性領域の存在認識の精
度を向上させる。 【構成】 光源４からの光をハーフミラー５により反射
させ、その反射光を対物レンズ６を通して試料８に照射
し、試料８からの反射光を対物レンズ６とハーフミラー
５とを通過させた後にその光をＣＣＤカメラ７で検出す
る光学顕微鏡において、光源４からの光を偏光するため
に光源４とハーフミラー５との間にポラライザ９を配設
し、且つハーフミラー５を通過した試料８からの反射光
を偏光できる位置に、ポラライザ９の偏光方向と直交す
るような偏光方向を有するアナライザ１０を配設する。
この場合、ポラライザ９及びアナライザ１０の偏光方向
を互いに直交させるために、ポラライザ９とアナライザ
１０とを互いに連動して回転させるドライバ１１を設け
ることが好ましい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電気伝導体表面上に
存在する絶縁性領域の位置を容易に確認できる光学顕微
鏡に関する。
存在する絶縁性領域の位置を容易に確認できる光学顕微
鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より電気伝導体表面上の絶縁性領
域、例えば、微細な絶縁性領域が意図したように形成さ
れているか否か、或いはきずや亀裂あるいは残存レジス
トなどの絶縁性微小欠陥が存在しているか否かというこ
とを調べるために、光学顕微鏡を用いて、その光学像を
直接目視により、或いは画像処理してディスプレイに表
示させることにより検査することが一般的に行われてい
る。
域、例えば、微細な絶縁性領域が意図したように形成さ
れているか否か、或いはきずや亀裂あるいは残存レジス
トなどの絶縁性微小欠陥が存在しているか否かというこ
とを調べるために、光学顕微鏡を用いて、その光学像を
直接目視により、或いは画像処理してディスプレイに表
示させることにより検査することが一般的に行われてい
る。
【０００３】例えば、磁気テープや磁気ディスクなどの
磁気記録媒体に情報の記録、消去、読取りを行うための
磁気ヘッドは、例えば軟磁性材料のセンダストなどの合
金に所定のギャップを設けて、絶縁性材料であるガラス
で固定されている構造を有するが、従来より磁気ヘッド
のギャップ部分が適性に形成されているか否か、或いは
磁気ヘッドの摺動面にきずや亀裂などが存在していない
かを調べるために光学顕微鏡を用いて、その光学像をデ
ィスプレイに表示させて検査している。
磁気記録媒体に情報の記録、消去、読取りを行うための
磁気ヘッドは、例えば軟磁性材料のセンダストなどの合
金に所定のギャップを設けて、絶縁性材料であるガラス
で固定されている構造を有するが、従来より磁気ヘッド
のギャップ部分が適性に形成されているか否か、或いは
磁気ヘッドの摺動面にきずや亀裂などが存在していない
かを調べるために光学顕微鏡を用いて、その光学像をデ
ィスプレイに表示させて検査している。
【０００４】図３に、このような光学顕微鏡を用いた従
来の検査システムを示す。このシステムは、基本的には
光学顕微鏡１と画像処理装置２及びそれを制御するため
のコンピューター３とから構成されており（図３
（ａ））、この中で光学顕微鏡１は、基本的に光源４、
ハーフミラー５、対物レンズ６及びＣＣＤカメラ７から
構成されている（図３（ｂ））。このような光学顕微鏡
１においては、光源４を発した光は実線矢印で示した方
向に進行し、ハーフミラー５に反射した後に対物レンズ
６を通過して試料８に照射する。試料８により反射した
光は点線矢印で示した方向に進行し、再び対物レンズ
６、ハーフミラー５を通過して画像検出のためのＣＣＤ
カメラ７に入射する（図３（ｂ））。ＣＣＤカメラ７に
入射した光学像情報は、コンピューター３により制御さ
れた画像処理装置２に表示される。
来の検査システムを示す。このシステムは、基本的には
光学顕微鏡１と画像処理装置２及びそれを制御するため
のコンピューター３とから構成されており（図３
（ａ））、この中で光学顕微鏡１は、基本的に光源４、
ハーフミラー５、対物レンズ６及びＣＣＤカメラ７から
構成されている（図３（ｂ））。このような光学顕微鏡
１においては、光源４を発した光は実線矢印で示した方
向に進行し、ハーフミラー５に反射した後に対物レンズ
６を通過して試料８に照射する。試料８により反射した
光は点線矢印で示した方向に進行し、再び対物レンズ
６、ハーフミラー５を通過して画像検出のためのＣＣＤ
カメラ７に入射する（図３（ｂ））。ＣＣＤカメラ７に
入射した光学像情報は、コンピューター３により制御さ
れた画像処理装置２に表示される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の光学顕微鏡を用いた場合には、電気伝導体表
面における絶縁性領域だけを選択的に観察することがで
きないために、その領域の境界が明確に認識できない場
合があり、絶縁性領域の存在認識の精度が低下するとい
う問題があった。特に絶縁性領域が微小になった場合に
はいっそうその傾向が高まるという問題があった。
うな従来の光学顕微鏡を用いた場合には、電気伝導体表
面における絶縁性領域だけを選択的に観察することがで
きないために、その領域の境界が明確に認識できない場
合があり、絶縁性領域の存在認識の精度が低下するとい
う問題があった。特に絶縁性領域が微小になった場合に
はいっそうその傾向が高まるという問題があった。
【０００６】この発明は、このような従来の技術的課題
を解決しようとするものであり、電気伝導体表面上に存
在する絶縁性領域を選択的に検出できるようにして絶縁
性領域の存在認識の精度を向上させることを目的とす
る。
を解決しようとするものであり、電気伝導体表面上に存
在する絶縁性領域を選択的に検出できるようにして絶縁
性領域の存在認識の精度を向上させることを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明者は、金属など
の電気伝導体表面上の絶縁性領域の境界に斜めに横切る
ように直線偏光が入射した場合に、反射光の偏光方向が
位相遅れのために入射光の偏光方向に対して９０°ズレ
るという現象を利用して、その偏光方向がズレた反射光
を選択的に検出することにより上述の目的が達成できる
ことを見出し、この発明を完成させるに至った。
の電気伝導体表面上の絶縁性領域の境界に斜めに横切る
ように直線偏光が入射した場合に、反射光の偏光方向が
位相遅れのために入射光の偏光方向に対して９０°ズレ
るという現象を利用して、その偏光方向がズレた反射光
を選択的に検出することにより上述の目的が達成できる
ことを見出し、この発明を完成させるに至った。
【０００８】即ち、この発明は、光源からの光をハーフ
ミラーにより反射させ、その反射光を対物レンズを通し
て試料に照射し、試料からの反射光を対物レンズとハー
フミラーとを通過させた後にその光を観察する光学顕微
鏡において、光源からの光を偏光するために光源とハー
フミラーとの間にポラライザを配設し、且つハーフミラ
ーを通過した試料からの反射光を偏光できる位置に、ポ
ラライザの偏光方向と直交するような偏向方向を有する
アナライザを配設することを特徴とする光学顕微鏡を提
供する。
ミラーにより反射させ、その反射光を対物レンズを通し
て試料に照射し、試料からの反射光を対物レンズとハー
フミラーとを通過させた後にその光を観察する光学顕微
鏡において、光源からの光を偏光するために光源とハー
フミラーとの間にポラライザを配設し、且つハーフミラ
ーを通過した試料からの反射光を偏光できる位置に、ポ
ラライザの偏光方向と直交するような偏向方向を有する
アナライザを配設することを特徴とする光学顕微鏡を提
供する。
【０００９】このように、この発明においてはポラライ
ザとアナライザとをそれらの偏光方向が互いに直交する
ように配設することを特徴とするが、この場合、ポララ
イザ及びアナライザの偏光方向を互いに直交させるため
に、ポラライザとアナライザとを互いに連動して回転さ
せる手段を設けることが好ましい。
ザとアナライザとをそれらの偏光方向が互いに直交する
ように配設することを特徴とするが、この場合、ポララ
イザ及びアナライザの偏光方向を互いに直交させるため
に、ポラライザとアナライザとを互いに連動して回転さ
せる手段を設けることが好ましい。
【００１０】なお、この発明において使用するポラライ
ザ及びアナライザとしては一般的なポラライザ及びアナ
ライザを使用することができる。また、この発明におい
て、ポラライザとアナライザとを使用し、且つそれらの
偏光方向が所定の関係を保つようにする以外の発明の構
成は従来と同様とすることができる。
ザ及びアナライザとしては一般的なポラライザ及びアナ
ライザを使用することができる。また、この発明におい
て、ポラライザとアナライザとを使用し、且つそれらの
偏光方向が所定の関係を保つようにする以外の発明の構
成は従来と同様とすることができる。
【００１１】
【作用】この発明の光学顕微鏡においては、ポラライザ
とアナライザとをそれらの偏光方向が互いに直交するよ
うに配設するので、電気伝導体表面上の絶縁性領域を選
択的に観察することが可能となる。
とアナライザとをそれらの偏光方向が互いに直交するよ
うに配設するので、電気伝導体表面上の絶縁性領域を選
択的に観察することが可能となる。
【００１２】即ち、図２（ａ）に示すように、絶縁性領
域２１を有する電気伝導体表面２２に、実線矢印で示す
偏光方向を有する直線偏光Ａが入射した場合、電気伝導
体表面２２から直接反射する反射光Ｂは、点線矢印で示
す偏光方向を有する。
域２１を有する電気伝導体表面２２に、実線矢印で示す
偏光方向を有する直線偏光Ａが入射した場合、電気伝導
体表面２２から直接反射する反射光Ｂは、点線矢印で示
す偏光方向を有する。
【００１３】一方、直線偏光ａが、絶縁性領域２１の境
界を斜めに横切るように入射した場合には、その反射光
ｂの偏光方向は、入射光の偏光方向に対して９０°ズレ
た偏光方向となる。
界を斜めに横切るように入射した場合には、その反射光
ｂの偏光方向は、入射光の偏光方向に対して９０°ズレ
た偏光方向となる。
【００１４】このように絶縁性領域２１の境界を斜めに
横切るように入射した直線偏光の反射光の偏光方向がズ
レる理由を、絶縁性領域２１を拡大した図２（ｂ）に従
って説明する。例えば境界に対して４５°傾斜して入射
した直線偏光２３を、境界に対して平行な成分２３ａと
垂直な成分２３ｂとに分離して考えると、平行成分２３
ａは境界との相互作用により反射する際にその位相が１
８０°ズレるが、垂直成分２３ｂはズレない。従って、
その反射光２４は平行成分２４ａと垂直成分２４ｂとか
ら構成されることとなり、結果として反射光２４の偏光
方向は、入射光２３の偏光方向と直交するようになる。
横切るように入射した直線偏光の反射光の偏光方向がズ
レる理由を、絶縁性領域２１を拡大した図２（ｂ）に従
って説明する。例えば境界に対して４５°傾斜して入射
した直線偏光２３を、境界に対して平行な成分２３ａと
垂直な成分２３ｂとに分離して考えると、平行成分２３
ａは境界との相互作用により反射する際にその位相が１
８０°ズレるが、垂直成分２３ｂはズレない。従って、
その反射光２４は平行成分２４ａと垂直成分２４ｂとか
ら構成されることとなり、結果として反射光２４の偏光
方向は、入射光２３の偏光方向と直交するようになる。
【００１５】従って、入射光の偏光方向に対して直交す
るアナライザに反射光を入射させると、電気伝導体表面
２２で反射した反射光はカットされ、絶縁性領域２１の
境界を斜めに横切るように入射した光の反射光だけがア
ナライザを通過することができる。これにより、電気伝
導体表面上の絶縁性領域を選択的に観察することが可能
となる。
るアナライザに反射光を入射させると、電気伝導体表面
２２で反射した反射光はカットされ、絶縁性領域２１の
境界を斜めに横切るように入射した光の反射光だけがア
ナライザを通過することができる。これにより、電気伝
導体表面上の絶縁性領域を選択的に観察することが可能
となる。
【００１６】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に従ってより
具体的に説明する。なお、図において同一符号は同一も
しくは同等の構成要素を表している。
具体的に説明する。なお、図において同一符号は同一も
しくは同等の構成要素を表している。
【００１７】図１は、この発明の光学顕微鏡の概略図で
ある。同図に示すように、この光学顕微鏡は、基本的に
光源４、ポラライザ９、ハーフミラー５、対物レンズ
６、アナライザ１０、及びＣＣＤカメラ７から構成され
ている。この光学顕微鏡においては、光源４を発した光
は実線矢印で示した方向に進行し、ポラライザ９に入射
し、任意の方向の直線偏光となる。この偏光はハーフミ
ラー５に反射した後に対物レンズ６を通過して試料８に
照射する。試料８により反射した光は点線矢印で示した
方向に進行し、再び対物レンズ６、ハーフミラー５を通
過し、更にポラライザ９と直交する偏光方向を有するア
ナライザ１０に入射し、そこを通過した光、即ち、入射
光の偏光方向に対して直交する偏光方向を有する反射光
だけが画像検出のためのＣＣＤカメラ７に入射する。Ｃ
ＣＤカメラ７に入射した光学像情報は、図３（ａ）に示
すようなコンピューター３により制御された画像処理装
置２に表示される。
ある。同図に示すように、この光学顕微鏡は、基本的に
光源４、ポラライザ９、ハーフミラー５、対物レンズ
６、アナライザ１０、及びＣＣＤカメラ７から構成され
ている。この光学顕微鏡においては、光源４を発した光
は実線矢印で示した方向に進行し、ポラライザ９に入射
し、任意の方向の直線偏光となる。この偏光はハーフミ
ラー５に反射した後に対物レンズ６を通過して試料８に
照射する。試料８により反射した光は点線矢印で示した
方向に進行し、再び対物レンズ６、ハーフミラー５を通
過し、更にポラライザ９と直交する偏光方向を有するア
ナライザ１０に入射し、そこを通過した光、即ち、入射
光の偏光方向に対して直交する偏光方向を有する反射光
だけが画像検出のためのＣＣＤカメラ７に入射する。Ｃ
ＣＤカメラ７に入射した光学像情報は、図３（ａ）に示
すようなコンピューター３により制御された画像処理装
置２に表示される。
【００１８】この発明においては、ポラライザ９及びア
ナライザ１０の偏光方向を互いに直交させるために、そ
れらを互いに連動して回転させるための手段としてドラ
イバ１１を設けることが好ましい。このようなドライバ
１１を設けることにより、絶縁性領域の任意の方向の境
界の光学像情報を得ることができる、また、直線偏光を
３６０°回転させて絶縁性領域の全境界の光学像情報を
容易に蓄積でき、それを画像処理することにより明瞭に
絶縁性領域を表示させることができる。
ナライザ１０の偏光方向を互いに直交させるために、そ
れらを互いに連動して回転させるための手段としてドラ
イバ１１を設けることが好ましい。このようなドライバ
１１を設けることにより、絶縁性領域の任意の方向の境
界の光学像情報を得ることができる、また、直線偏光を
３６０°回転させて絶縁性領域の全境界の光学像情報を
容易に蓄積でき、それを画像処理することにより明瞭に
絶縁性領域を表示させることができる。
【００１９】なお、このように電気伝導体表面上の絶縁
性領域の境界を選択的に検出できるので、光学像情報を
光学的二値化することも容易に可能となる。
性領域の境界を選択的に検出できるので、光学像情報を
光学的二値化することも容易に可能となる。
【００２０】
【発明の効果】この発明によれば、電気伝導体表面上に
存在する絶縁性領域を選択的に検出できるようになり、
その結果、絶縁性領域の存在認識の精度を向上させるこ
とができる。
存在する絶縁性領域を選択的に検出できるようになり、
その結果、絶縁性領域の存在認識の精度を向上させるこ
とができる。
【図１】この発明の光学顕微鏡の概略図である。
【図２】絶縁性領域を有する電気伝導体表面の反射偏光
特性の説明図である。
特性の説明図である。
【図３】従来の電気伝導体表面上の絶縁性領域を存在を
確認するためのシステムの説明図である。
確認するためのシステムの説明図である。
１ 光学顕微鏡 ２ 画像処理装置 ３ コンピューター ４ 光源 ５ ハーフミラー ６ 対物レンズ ７ ＣＣＤカメラ ８ 試料 ９ ポラライザ １０ アナライザ １１ ドライバ
Claims (3)
- 【請求項１】 光源からの光をハーフミラーにより反射
させ、その反射光を対物レンズを通して試料に照射し、
試料からの反射光を対物レンズとハーフミラーとを通過
させた後にその光を観察する光学顕微鏡において、光源
からの光を偏光するために光源とハーフミラーとの間に
ポラライザを配設し、且つハーフミラーを通過した試料
からの反射光を偏光できる位置に、ポラライザの偏光方
向と直交するような偏光方向を有するアナライザを配設
することを特徴とする光学顕微鏡。 - 【請求項２】 ポラライザ及びアナライザの偏光方向を
互いに直交させるために、ポラライザとアナライザとを
互いに連動して回転させる手段を有する請求項１記載の
光学顕微鏡。 - 【請求項３】 試料が電気伝導体表面上に絶縁性領域を
有するものである請求項１記載の光学顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19155792A JPH0611652A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | 光学顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19155792A JPH0611652A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | 光学顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0611652A true JPH0611652A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=16276659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19155792A Pending JPH0611652A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | 光学顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611652A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01219026A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Ishihara Sangyo Kaisha Ltd | コバルト含有強磁性酸化鉄の製造方法 |
| DE4303422A1 (ja) * | 1992-02-05 | 1993-08-12 | Fuji Heavy Ind Ltd | |
| US6062201A (en) * | 1997-05-13 | 2000-05-16 | Denso Corporation | Fuel injection control for internal combustion engine |
| JP2002196258A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-12 | Asahi Optical Co Ltd | ビデオ型顕微鏡 |
| KR100405682B1 (ko) * | 2000-12-30 | 2003-11-14 | 현대자동차주식회사 | 가솔린 직접분사 엔진의 전자 제어 시스템 및 그의 연료압보상 제어방법 |
| JP2013036908A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Ricoh Co Ltd | 観察装置 |
| CN106707487A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-05-24 | 卡尔蔡司医疗技术股份公司 | 手术显微镜及使其在多种工作模式之间切换的装置 |
| WO2018207569A1 (ja) * | 2017-05-12 | 2018-11-15 | ソニー株式会社 | 撮像装置及び撮像方法 |
-
1992
- 1992-06-24 JP JP19155792A patent/JPH0611652A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01219026A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Ishihara Sangyo Kaisha Ltd | コバルト含有強磁性酸化鉄の製造方法 |
| DE4303422A1 (ja) * | 1992-02-05 | 1993-08-12 | Fuji Heavy Ind Ltd | |
| US6062201A (en) * | 1997-05-13 | 2000-05-16 | Denso Corporation | Fuel injection control for internal combustion engine |
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| KR100405682B1 (ko) * | 2000-12-30 | 2003-11-14 | 현대자동차주식회사 | 가솔린 직접분사 엔진의 전자 제어 시스템 및 그의 연료압보상 제어방법 |
| JP2013036908A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Ricoh Co Ltd | 観察装置 |
| CN106707487A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-05-24 | 卡尔蔡司医疗技术股份公司 | 手术显微镜及使其在多种工作模式之间切换的装置 |
| WO2018207569A1 (ja) * | 2017-05-12 | 2018-11-15 | ソニー株式会社 | 撮像装置及び撮像方法 |
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