JPH06115783A

JPH06115783A - フィルム材の搬送装置

Info

Publication number: JPH06115783A
Application number: JP26594392A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Sakaguchi; 安男坂口; Tomohiro Noda; 朝裕野田; Yoshihiro Hirota; 吉拡弘田; Hiroshi Ishizuka; 洋石塚
Original assignee: ARUMETSUKUSU KK; Sumitomo Metal Mining Co Ltd; Almex Inc
Current assignee: ARUMETSUKUSU KK; Sumitomo Metal Mining Co Ltd; Almex Inc
Priority date: 1992-10-05
Filing date: 1992-10-05
Publication date: 1994-04-26
Anticipated expiration: 2018-01-20
Also published as: JP3369605B2

Abstract

(57)【要約】【目的】極薄で幅広のフィルム材を自動蛇行補正しつつ
円滑搬送する。【構成】振動付加手段（１０）と振動方向変更調整手段
（２０）と蛇行検出手段（３０）と蛇行補正制御手段
（４０）とを設け、搬送ローラ（２）に振動を付加して
搬送ローラ（２）とフィルム材（Ｆ）との摩擦抵抗を大
幅に軽減しかつ蛇行が生じた場合は付加する振動の方向
を変更調整して自動補正する構成とされている。また、
振動方向変更調整手段（２０）に代えて搬送ローラ傾斜
機構（５０）を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フィルム材の搬送装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】図６に、搬送ローラ間に張設されたフィ
ルム材をローラ駆動によって所定方向に搬送するフィル
ム材の搬送装置の一般的構成を示す。同図において、搬
送ローラ１，２，３間に張設されたフィルム材Ｆは、図
示しない駆動ローラによって所定方向（Ｙ方向）に搬送
され、例えば、表面処理槽等々に導かれる。なお、ロー
ラ１，２，３のいずれかが駆動ローラとされる場合もあ
るが、本質は変らない。

【０００３】かかる搬送装置では、同図に示すＸ１また
はＸ２方向にフィルム材Ｆが位置ずれする現象いわゆる
蛇行が生じ易い。高張力で高速搬送の場合には、フィル
ム材Ｆにかかる張力の大きな方に蛇行する。そこで、例
えば搬送ローラ２の軸線Ｚを垂直方向に傾斜させること
により、張力を調整して蛇行を補正する。すなわち、シ
ャフト部２Ｓを支承する軸受台（図示省略）を上下動さ
せて行う。図７に示す場合は、搬送ローラ２Ａ，２Ｂの
軸線Ｚａ，Ｚｂを水平方向に傾斜させることによって行
っている。

【０００４】ところで、フィルム材が図８（Ａ）に示す
ＦＰＣ（ＦｒｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕ
ｉｔ）素材１００の場合、ＦＰＣ素材１００は極薄（例
えば２５μｍ）の例えばポリミド樹脂膜１０２上に極薄
（例えば１μｍ）の銅箔１０１を蒸着により形成し、あ
るいは銅箔１０１上に樹脂１０２をコーティングするこ
とにより形成されている。また、ＦＰＣ完成化工程に備
えて、樹脂１０２用のレジスト１０２Ｒ及び銅箔１０１
用のレジスト１０１Ｒが塗布されている。かかるレジス
ト１０１Ｒ，１０２Ｒを一体化形成した場合でも、総厚
は１００μｍ程度である。

【０００５】因みに、完成化工程としては、レジスト１
０１Ｒの露光，エッチング工程、多数の電路１１１，１
１１からなるパターン１１０を形成するためのめっき工
程、レジスト１０１Ｒの露光，エッチングを含むボンデ
ィング用穴１０２Ｈの形成工程が挙げられる。かくし
て、完成ＦＰＣは、同（Ｂ）に示す形態とされる場合が
多い。

【０００６】また、かかる極薄のＦＰＣ素材１００で
は、例えば張力３００ｇ，速度０．３〜１．０ｍ／ｍｉ
ｎで搬送しなければならないから、図６，図７に示す従
来蛇行補正方法を実施することは非常に困難である。こ
のためバッチ処理する場合が多い。但し、ＦＰＣ素材１
００の図９（Ａ）に示す幅寸法Ｗｐを例えば３５ｍｍ以
下とすれば、装置精巧化により実施し得る。

【０００７】したがって、ＦＰＣ素材１００の場合、図
９（Ａ）に示す如く、パターン１１０を１列しか形成す
ることができない。換言すれば、同（Ｂ）に示す如く、
幅寸法Ｗが複数のパターン１１０を並行形成可能な例え
ば２５０ｍｍの幅広ＦＰＣ素材１１０（Ｆ）を蛇行防止
を図りつつ円滑搬送できるなら、ＦＰＣの生産性と品質
とを大幅に向上できること明白である。他の用途に供さ
れるフィルム材Ｆについても同様である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】かくして、極薄で幅広
のフィルム材を蛇行なく円滑に搬送する方法及び装置の
開発が強く求めらているが、幅広で極薄のフィルム材Ｆ
を低張力かつ低速で搬送する場合は張力が大きい方に移
動しないこと，張力を材質的に許容される最大値とする
と搬送ローラ（２）とフィルム材Ｆとの摩擦抵抗が増大
して搬送そのものが停止してしまうこと，剛性が小さい
ので中央部が緩み変形して搬送ローラ（２）に密着して
しまい搬送停止はもとよりフィルム材Ｆに皺や破損が発
生する等々の固有的技術事項が多く、未だに開発完成さ
れていないのが事情である。

【０００９】ここに、本発明の目的は、蛇行補正が容易
で円滑な搬送を安定して行えるフィルム材の搬送装置を
提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、従来蛇行補正
方法が張力増大化を原理原則とするものである以上、許
容される張力が一段と低下するフィルム材の極薄化及び
幅広化には妥協性が見いだせないことから、搬送ローラ
に振動を付加して搬送中のフィルム材との摩擦抵抗を軽
減し、かつこの低摩擦抵抗化を前提として作動する蛇行
補正手段を導入した構成である。

【００１１】すなわち、請求項１の発明に係るフィルム
材の搬送装置は、搬送ローラ間に張設されたフィルム材
をローラ駆動によって所定方向に搬送するフィルム材の
搬送装置において、前記搬送ローラに搬送ローラとフィ
ルム材との摩擦抵抗を軽減させるための振動を付加する
振動付加手段と、この振動付加手段に関与して搬送ロー
ラに付加する振動の方向を変更調整する振動方向変更調
整手段と、搬送中のフィルム材の蛇行を検出する蛇行検
出手段と、検出された蛇行を補正するように振動方向変
更調整手段を駆動制御する蛇行補正制御手段とを設けた
こと、を特徴とする。

【００１２】また、請求項２の発明に係るフィルム材の
搬送装置は、搬送ローラ間に張設されたフィルム材をロ
ーラ駆動によって所定方向に搬送するフィルム材の搬送
装置において、前記搬送ローラに搬送ローラとフィルム
材との摩擦抵抗を軽減させるための振動を付加する振動
付加手段と、搬送ローラの軸線を水平方向または垂直方
向に傾斜させる搬送ローラ傾斜機構と、搬送中のフィル
ム材の蛇行を検出する蛇行検出手段と、検出された蛇行
を補正するように搬送ローラ傾斜機構を駆動制御する蛇
行補正制御手段とを設けたこと、を特徴とする。

【００１３】

【作用】請求項１の発明によれば、搬送開始と同時に振
動付加手段を作動させて搬送ローラに振動を付加する
と、搬送ローラとフィルム材との摩擦抵抗が軽減され
る。したがって、小さな張力でも安定して搬送できる。
ここに、蛇行検出手段がフィルム材の蛇行を検出する
と、蛇行補正制御手段が振動方向変更調整手段を駆動制
御する。すなわち、搬送ローラに付加する振動の方向を
蛇行を打消すことのできる方向に変更調整する。する
と、フィルム材がその振動によって正規の位置に戻され
る。つまり、蛇行を自動補正できる。

【００１４】また、請求項２の発明によれば、搬送開始
と同時に振動付加手段を作動させると、搬送ローラとフ
ィルム材との摩擦抵抗が軽減される。そして、蛇行検出
手段がフィルム材の蛇行を検出すると、蛇行補正制御手
段が搬送ローラ傾斜機構を駆動制御する。この搬送ロー
ラ傾斜機構は、従来例と同様構造であるが、搬送中のフ
ィルム材と搬送ローラとの摩擦抵抗が非常に小さくなっ
ているので、僅かな張力増大を掛けるだけで、フィルム
材の蛇行を自動補正できる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。（第１実施例）本搬送装置は、図１，図２に示す如く、
振動付加手段１０と振動方向変更調整手段２０と蛇行検
出手段３０と蛇行補正制御手段（４０）とを設け、搬送
ローラ２に振動を付加して搬送ローラ２とフィルム材Ｆ
との摩擦抵抗の軽減を図るとともに、その振動方向を変
更調整することにより蛇行を自動補正できるように構成
されている。

【００１６】図１において、搬送ローラ１，２，３は、
従来例（図６）の場合と同様に配設され、これら搬送ロ
ーラ間に張設されたフィルム材ＦをＹ方向に搬送ガイド
する。フィルム材Ｆは、図８で説明したＦＰＣ１００
（１０１，１０２）であり、厚さが５０μｍの極薄で、
幅寸法Ｗは図９（Ｂ）に示す如くパターン１１０をパタ
ーン幅寸法により３〜１０数個だけ並列形成することが
できる２５０ｍｍの幅広とされている。搬送速度は０．
５ｍ／ｍｉｎで、張力は３００ｇと設定されている。

【００１７】搬送ローラ２は、振動付加手段１０の導入
に備え、機枠９Ｆ，９Ｒにバネやゴムからなる複数の弾
性部材６を介して支承された軸受台５Ｆ，５Ｒに回転支
持されている。

【００１８】さて、振動付加手段１０は、搬送ローラ２
に振動を付加する手段であり、この実施例では回転型バ
イブレータとされ、かつ軸受台５Ｆ（５Ｒ）を介して振
動付加するように形成されている。通常的には、図３に
実線で示した垂直方向の振動を付加することができる。
この振動を付加することによって、搬送ローラ２とフィ
ルム材Ｆとの摩擦抵抗を大幅に軽減できる。したがっ
て、３００ｇの張力でも円滑搬送できる。

【００１９】次に、振動方向変更調整手段２０は、振動
付加手段１０に関与して搬送ローラ２に付加する振動の
方向を変更調整する手段で、この実施例ではバイブレー
タ（１０）の姿勢を変更させる構成とされている。

【００２０】すなわち、振動方向変更調整手段２０は、
図１，図２に示す如く、振動付加手段１０が取付けられ
た傾斜回動板２３と、シリンダ装置（シリンダ２１，ピ
ストンロッド２２）と、コントローラ２４からなる。傾
斜回動板２３は、軸受台５Ｆのブラケット７，７にピン
８で回動可能に装着されている。一方、シリンダ２１は
機枠９Ｆの下面に固着されているとともに、ピストンロ
ッド２２の先端は機枠９Ｆに上下動可能に貫通されかつ
傾斜回動板２３の突出部を担持する。したがって、ピス
トンロッド２２を、図１において上下方向に出没させれ
ば、振動付加手段１０の姿勢を変更させることができ
る。

【００２１】ここに、コントローラ２４は、シリンダ２
１（ピストンロッド２２）のポジションを上限位置Ｐｈ
と中間位置Ｐｎと下限位置Ｐｌとに切替えできる。中間
位置Ｐｎにあるときは傾斜回動板２３が水平状態にあ
り、振動付加手段１０は搬送ローラ２に図３に実線で示
した垂直方向の振動を付加できる。また、上限位置Ｐｈ
とすると、傾斜回動板２３が図１でピン８を中心に左回
動されるので、図３（Ｂ），（Ｃ）に点線で示す傾斜方
向Ｘ２Ｃの振動を付加できる。下限位置Ｐｌの場合は、
反対に２点鎖線で示す傾斜方向Ｘ１Ｃの振動となる。

【００２２】つまり、フィルム材Ｆが例えば図３
（Ｂ），（Ｃ）に示すＸ１方向に蛇行した場合、付加す
る振動の向きを実線で示す垂直方向から点線で示す方向
Ｘ２Ｃに変更すれば、その水平分力成分が蛇行を打消す
方向にフィルム材Ｆを移動させることができる。フィル
ム材ＦがＸ２方向に蛇行した場合には、傾斜方向Ｘ１Ｃ
に変更すればよい。もとより、垂直分力成分が、搬送ロ
ーラ２との摩擦抵抗軽減を維持する。

【００２３】また、蛇行検出手段３０は、搬送中のフィ
ルム材Ｆの蛇行を検出する手段で、図１〜図３に示す一
対の非接触型の位置検出センサ３１Ｆ，３１Ｒからな
る。センサ３１Ｆ（３１Ｒ）は、Ｘ１（Ｘ２）方向の蛇
行量が設定値以上となったときにＯＮとなり、あるデッ
トバンドを持った設定値以下となるとＯＦＦする。な
お、両位置検出センサー３１Ｆ，３１Ｒは、ＯＮ−ＯＦ
Ｆ方式とされているが、蛇行量に比例的なアナログ信号
を出力するように形成しても実施できる。

【００２４】図２に示す本搬送装置全体を駆動制御する
駆動制御盤４０は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ，入出力ポ
ート等を含み、図示しない駆動ローラ等を適時に適量だ
け駆動制御する。

【００２５】ここに、蛇行補正制御手段は、上記ＣＰ
Ｕ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等の構成要素とそれらの持つ機能を
利用して構築されており、蛇行検出手段３０（３１Ｆ，
３１Ｒ）でフィルム材Ｆの蛇行が検出されると、振動方
向変更調整手段２０（２１）を駆動制御して、その蛇行
を自動補正する。詳しくは、ＲＯＭに格納された図４に
示す補正プログラムに基づき、ＣＰＵが駆動制御する。
つまり、図３に示すＸ１方向の蛇行が生じ位置検出セン
サ３１ＦがＯＮする（ＳＴ１０のＹＥＳ）と、コントロ
ーラ２４に信号を送ってシリンダ２１のポジションを上
限位置Ｐｈとする（ＳＴ１１）。すると、バイブレータ
（１０）の付勢が変り、搬送ローラ２にＸ２Ｃ方向の振
動を付加する。したがって、フィルム材Ｆは、その水平
分力成分によってＸ２方向に移動されＸ１方向の蛇行を
自動補正できるわけである。この際、Ｘ２Ｃ方向の振動
の垂直分力成分が、搬送ローラ２とフィルム材Ｆとの摩
擦抵抗軽減を維持する。この際の摩擦抵抗は僅かに増大
するものの張力３００ｇでの円滑搬送を保障できる。

【００２６】この蛇行が自動補正されると、位置検出セ
ンサ３１ＦがＯＦＦとなる（ＳＴ１２のＹＥＳ）。する
と、ＣＰＵは、シリンダ２１のポジションを中間位置Ｐ
ｎと切替える（ＳＴ１３）。一方、図３でＸ２方向の蛇
行が生じた場合は、ＳＴ１４〜１６で補正される。な
お、図２に示すスイッチ４１は、自動補正指令信号を出
力する。

【００２７】次に、この第１実施例の作用を説明する。
駆動制御盤４０が駆動ローラを回転させると、フィルム
材Ｆは図１，図３に示すＹ方向に送られる。これと同時
的に、スイッチ４１を操作して自動補正指令を行う。

【００２８】すると、振動付加手段１０が、搬送ローラ
２に振動を付加するので、搬送ローラ２とフィルム材Ｆ
との摩擦抵抗を大幅に軽減できる。したがって、３００
ｇの小さな張力でも、フィルム材Ｆを円滑に搬送でき
る。また、２５０ｍｍと幅広でかつ極薄で面剛性の小さ
なフィルム材Ｆでも、振動により部分的、一時的に搬送
ローラ２から浮上されるので、搬送ローラ２に密着して
しまうことがない。

【００２９】ここに、蛇行検出手段３０（例えば位置検
出センサ３１Ｆ）が、図３に示すＸ１方向の蛇行を検出
する（図４のＳＴ１０のＹＥＳ）と、蛇行補正制御手段
（４０）が振動方向変更調整手段２０を駆動制御して、
図３（Ｂ），（Ｃ）に示す振動の向きをＸ２Ｃ方向に変
更調整する（ＳＴ１１）。したがって、フィルム材Ｆは
Ｘ２方向に戻されるので、Ｘ１方向の蛇行を自動補正で
きる。そして、位置検出センサ３１ＦがＯＦＦとなる
（ＳＴ１２のＹＥＳ）と、ＣＰＵがシリンダ２１のポジ
ションを中間位置Ｐｎに切替える（ＳＴ１３）。したが
って、搬送ローラ２には垂直方向の振動が付加される。

【００３０】しかして、この第１実施例によれば、振動
付加手段１０と振動方向変更調整手段２０と蛇行検出手
段３０と蛇行補正制御手段（４０）とを設け、搬送ロー
ラ２に振動を付加して搬送ローラ２とフィルム材Ｆとの
摩擦抵抗を大幅に軽減しかつ蛇行が生じた場合は付加す
る振動の方向を変更調整して自動補正する構成とされて
いるので、極薄で幅広のフィルム材Ｆでも小さな張力で
円滑に搬送することができる。よって、生産性と品質と
を大幅に向上できる。

【００３１】また、振動付加手段１０は、回転型のバイ
ブレータから形成されているので、小型かつ安価であり
具現化容易であるとともに、振動方向変更調整手段２０
はその姿勢を変更する構造とされているから、動力源が
１つですみかつ従来例の蛇行補正構造に比較して構造簡
単である。

【００３２】また、蛇行検出手段３０は、一対のＯＮ−
ＯＦＦ方式の位置検出センサ３１Ｆ，３１Ｒから形成さ
れているので、極薄のフィルム材Ｆでもその蛇行を正確
に検出できる。

【００３３】さらに、蛇行補正制御手段は、搬送装置全
体の駆動制御盤４０から構成されているので、信頼性が
高くかつ高速処理できるとともに、経済的負担を小さく
できる。なお、蛇行補正制御手段（４０）は、ＯＮ−Ｏ
ＦＦ制御に限定されず、蛇行量に応じて振動方向を連続
的に変更調整する方式としても実施できる。

【００３４】（第２実施例）この第２実施例は、図５に
示される。同図において、本搬送装置は、振動付加手段
１０と搬送ローラ傾斜機構５０と蛇行検出手段３０と蛇
行補正制御手段（４０）とを設け、搬送ローラ２に振動
を付加して搬送ローラ２とフィルム材Ｆとの摩擦抵抗を
軽減するとともに、これを前提としてフィルム材Ｆに加
える張力を調整して蛇行を自動補正するものと形成され
ている。

【００３５】すなわち、振動付加手段１０と蛇行検出手
段３０と蛇行補正制御手段（４０）とは、第１実施例の
場合と同様とされているが、振動方向変更調整手段２０
に代えて搬送ローラ傾斜機構５０を設け、搬送ローラ２
（軸線Ｚ）の垂直方向の傾斜角度を変更調整して蛇行補
正できるように形成されている。なお、従来例（図７）
のように、水平方向に傾斜させるように構成してもよ
い。

【００３６】つまり、従来例（図６）の場合には搬送ロ
ーラ２とフィルム材Ｆとの摩擦抵抗が大きかったので、
幅広のフィルム材Ｆを小さな張力（例えば３００ｇ）で
搬送する場合、張力増大化による蛇行補正方式ではさら
に摩擦抵抗が大きくなってしまうので、蛇行補正困難や
搬送不可能となってしまったが、本発明では摩擦抵抗が
大幅に軽減されているので、僅かの張力増大により蛇行
を補正できる実験則に基づき成されたものである。

【００３７】この搬送ローラ傾斜機構５０は、図５に示
す如く、シリンダ装置（シリンダ５１，ピストンロッド
５２）とコントローラ（２４）とからなり、ピストンロ
ッド５２の出没位置によって搬送ローラ２（軸線Ｚ）の
傾きを変更調整するものと形成されている。したがっ
て、蛇行補正制御手段（４０）は、第１実施例の場合が
図４に示す補正プログラムによって“振動の方向”を調
整するものと形成されていたのに対して、同様な補正プ
ログラムによりその対象を“搬送ローラ２の軸線Ｚの傾
き”を調整するものと形成されている。つまり、図２に
示す如く、第１実施例の場合と同様の構造となる。

【００３８】しかして、この第２実施例によれば、極薄
で幅広のフィルム材Ｆを円滑搬送できる等の第１実施例
の場合と同様の作用効果を奏することができる他、蛇行
補正手段が従来例と同様な搬送ローラ傾斜機構５０から
構成されているが搬送ローラ２とフィルム材Ｆとの摩擦
抵抗が非常に小さいので、シリンダ装置（５１，５２）
を小型・軽量化でき、組立等が一段と容易となる。

【００３９】なお、以上の第１及び第２実施例では、搬
送ローラ２に振動付加手段１０等々を設けていたが、他
の搬送ローラ１，３，他あるいは全ての搬送ローラ１，
２，３，他に装着して実施することができる。

【００４０】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、振動付加手段
と振動方向変更調整手段と蛇行検出手段と蛇行補正制御
手段とを設け、搬送ローラに振動を付加して搬送ローラ
とフィルム材との摩擦抵抗を大幅に軽減しかつ蛇行が生
じた場合は付加する振動の方向を変更調整して自動補正
する構成とされているので、極薄で幅広のフィルム材Ｆ
でも小さな張力で円滑に搬送することができる。よっ
て、生産性と品質とを大幅に向上できる。

【００４１】また、請求項２の発明によれば、振動付加
手段と搬送ローラ傾斜機構と蛇行検出手段と蛇行補正制
御手段とを設け、搬送ローラに振動を付加して搬送ロー
ラとフィルム材との摩擦抵抗を軽減するとともに、これ
を前提として搬送ローラの軸線を傾斜させることにより
フィルム材に加える張力を調整して蛇行を自動補正する
ものと形成されているので、請求項１の発明の場合と同
様に円滑搬送できる他、搬送ローラ傾斜機構を小型で小
容量とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す外観斜視図である。

【図２】同じく、蛇行補正制御手段を説明するためのブ
ロック図である。

【図３】同じく、蛇行補正原理を説明するための図であ
る。

【図４】同じく、蛇行補正動作を説明するためのフロー
チャートである。

【図５】本第２実施例を示す外観斜視図である。

【図６】従来例（１）を説明するための外観斜視図であ
る。

【図７】従来例（２）を説明するための外観斜視図であ
る。

【図８】本発明及び従来例のフィルム材の一例を説明す
る縦断面図である。

【図９】同じく、平面図である。

【符号の説明】

１，２，３搬送ローラ５Ｆ，５Ｒ軸受台６弾性部材７ブラケット８ピン９Ｆ，９Ｒ機枠１０振動付加手段２０振動方向変更調整手段２１シリンダ２２ピストンロッド２３傾斜回動板２４コントローラ３０蛇行検出手段３１Ｆ，３１Ｒ位置検出センサ４０駆動制御盤（蛇行補正制御手段）４１スイッチ５０搬送ローラ傾斜機構５１シリンダ５２ピストンロッドＦフィルム材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者石塚洋東京都羽村市緑ケ丘１−14−14

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送ローラ間に張設されたフィルム材を
ローラ駆動によって所定方向に搬送するフィルム材の搬
送装置において、前記搬送ローラに搬送ローラとフィルム材との摩擦抵抗
を軽減させるための振動を付加する振動付加手段と、こ
の振動付加手段に関与して搬送ローラに付加する振動の
方向を変更調整する振動方向変更調整手段と、搬送中の
フィルム材の蛇行を検出する蛇行検出手段と、検出され
た蛇行を補正するように振動方向変更調整手段を駆動制
御する蛇行補正制御手段とを設けたこと、を特徴とする
フィルム材の搬送装置。
【請求項２】搬送ローラ間に張設されたフィルム材を
ローラ駆動によって所定方向に搬送するフィルム材の搬
送装置において、前記搬送ローラに搬送ローラとフィルム材との摩擦抵抗
を軽減させるための振動を付加する振動付加手段と、搬
送ローラの軸線を水平方向または垂直方向に傾斜させる
搬送ローラ傾斜機構と、搬送中のフィルム材の蛇行を検
出する蛇行検出手段と、検出された蛇行を補正するよう
に搬送ローラ傾斜機構を駆動制御する蛇行補正制御手段
とを設けたこと、を特徴とするフィルム材の搬送装置。