JPH06109820A - ３次元検出コイル - Google Patents
３次元検出コイルInfo
- Publication number
- JPH06109820A JPH06109820A JP25615492A JP25615492A JPH06109820A JP H06109820 A JPH06109820 A JP H06109820A JP 25615492 A JP25615492 A JP 25615492A JP 25615492 A JP25615492 A JP 25615492A JP H06109820 A JPH06109820 A JP H06109820A
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- JP
- Japan
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- detection coil
- dimensional
- axis
- dimensional detection
- coil
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Abstract
(57)【要約】
【構成】３次元検出コイルを実現するために、可撓性の
部材上に検出コイルを形成し、これを直方体上に組み立
て３次元の検出コイルを構成する。そしてこれを複数個
並べ接続方法を変えることで、複数の種類の２次微分検
出コイルを構成する。 【効果】容易にキャンセル率の良い３次元の１次微分検
出コイルを形成できる。また、本発明の検出コイルは直
方体または立方体のため、簡単に３次元のすべての方向
に位置精度良く配置でき、その配線によって複数の種類
の検出コイルを構成できる。
部材上に検出コイルを形成し、これを直方体上に組み立
て３次元の検出コイルを構成する。そしてこれを複数個
並べ接続方法を変えることで、複数の種類の２次微分検
出コイルを構成する。 【効果】容易にキャンセル率の良い３次元の１次微分検
出コイルを形成できる。また、本発明の検出コイルは直
方体または立方体のため、簡単に３次元のすべての方向
に位置精度良く配置でき、その配線によって複数の種類
の検出コイルを構成できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超伝導量子干渉素子（以
下ＳＱＵＩＤ）を用いた生体磁場計測装置における３次
元検出コイルに関する。
下ＳＱＵＩＤ）を用いた生体磁場計測装置における３次
元検出コイルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＳＱＵＩＤを用いた生体磁場計測
装置では一般に、磁束計の１次元の検出コイルは円筒型
のボビンに超伝導ワイヤを巻きつけた構造であった。こ
のボビンに巻いたループが２個（１対）あり、そのルー
プの巻き方の向きが反対にあるものを１次微分コイルと
呼ぶ。また、このループが２対あるのものを２次微分コ
イルと呼ぶ。このようにボビンに超伝導ワイヤを巻きつ
けた１次または２次微分コイルを用いて磁場信号を検出
してきた。また他の１次元の検出コイルは、一枚のたわ
み状の基板上にコイルを形成し円筒型のボビンに貼付る
ことで１次微分コイルを構成している（特開昭61−1225
85号公報）。このような構成で３次元の検出コイルを形
成することは困難である。３次元の検出コイルとして
は、直方体のブロックに超伝導ワイヤを巻きつけること
によって構成した例が知られている（特開平1−195384
号公報）。
装置では一般に、磁束計の１次元の検出コイルは円筒型
のボビンに超伝導ワイヤを巻きつけた構造であった。こ
のボビンに巻いたループが２個（１対）あり、そのルー
プの巻き方の向きが反対にあるものを１次微分コイルと
呼ぶ。また、このループが２対あるのものを２次微分コ
イルと呼ぶ。このようにボビンに超伝導ワイヤを巻きつ
けた１次または２次微分コイルを用いて磁場信号を検出
してきた。また他の１次元の検出コイルは、一枚のたわ
み状の基板上にコイルを形成し円筒型のボビンに貼付る
ことで１次微分コイルを構成している（特開昭61−1225
85号公報）。このような構成で３次元の検出コイルを形
成することは困難である。３次元の検出コイルとして
は、直方体のブロックに超伝導ワイヤを巻きつけること
によって構成した例が知られている（特開平1−195384
号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来法の超伝導ワイヤ
を円筒型のボビンに巻きつきける方法やたわみ状の検出
コイルを円筒型のボビンに貼付ける方法で３次元の検出
コイルを構成することは、ボビンが円筒型であるために
困難である。また、超伝導ワイヤを直方体のブロックに
巻きつけて３次元の検出コイルを作成する方法は、作成
に困難さが伴い量産も難しい。また、コイル面積の不均
一さによる均一磁場のキャンセル率の低下が問題となっ
ていた。
を円筒型のボビンに巻きつきける方法やたわみ状の検出
コイルを円筒型のボビンに貼付ける方法で３次元の検出
コイルを構成することは、ボビンが円筒型であるために
困難である。また、超伝導ワイヤを直方体のブロックに
巻きつけて３次元の検出コイルを作成する方法は、作成
に困難さが伴い量産も難しい。また、コイル面積の不均
一さによる均一磁場のキャンセル率の低下が問題となっ
ていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明においては、可撓性の部材上に検出コイルを図
２のように形成し、この配線基板を折り曲げて図１のよ
うな直方体の３次元の検出コイルを形成し、この検出コ
イルを複数個並べ、それぞれの３次元検出コイルを配線
することで、３軸方向の任意の１次または２次微分の検
出コイルを形成する。また、この接続の仕方を目的に応
じて選ぶことで複数の種類の１次または２次微分検出コ
イルの形成が可能である。
に本発明においては、可撓性の部材上に検出コイルを図
２のように形成し、この配線基板を折り曲げて図１のよ
うな直方体の３次元の検出コイルを形成し、この検出コ
イルを複数個並べ、それぞれの３次元検出コイルを配線
することで、３軸方向の任意の１次または２次微分の検
出コイルを形成する。また、この接続の仕方を目的に応
じて選ぶことで複数の種類の１次または２次微分検出コ
イルの形成が可能である。
【０００５】
【作用】本発明により、容易にキャンセル率の良い３次
元の検出コイルを形成できる。また、本発明の検出コイ
ルは直方体または立方体のため簡単に３次元のすべての
方向に位置精度良く配列ができ、その配線の仕方によっ
て複数の種類の検出コイルを構成することができる。
元の検出コイルを形成できる。また、本発明の検出コイ
ルは直方体または立方体のため簡単に３次元のすべての
方向に位置精度良く配列ができ、その配線の仕方によっ
て複数の種類の検出コイルを構成することができる。
【０００６】
【実施例】図１に３次元の検出コイルの構成図を示す。
各軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）方向に空間上の差分をとるために検
出コイルの配線を対向する面で反対向きに巻いている。
この空間で１回差分をとる１次微分型の検出コイルを直
方体状に構成することにより、Ｘ軸１，Ｙ軸２，Ｚ軸３
それぞれの３次元の磁場信号を検出できる。また、検出
コイル１，２，３上に４，５のコネクタ部を設ける。
各軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）方向に空間上の差分をとるために検
出コイルの配線を対向する面で反対向きに巻いている。
この空間で１回差分をとる１次微分型の検出コイルを直
方体状に構成することにより、Ｘ軸１，Ｙ軸２，Ｚ軸３
それぞれの３次元の磁場信号を検出できる。また、検出
コイル１，２，３上に４，５のコネクタ部を設ける。
【０００７】図２は図１の３次元検出コイルの展開図で
ある。図２のように検出コイルは一枚のフレキシブルな
基板上にＸ軸１，Ｙ軸２，Ｚ軸３を構成している。この
基板を点線部分で折り曲げて直方体状に張り合わせるこ
とで図１に示す３次元検出コイルを実現する。この時、
直方体のブロックに貼付けても良い。本実施例では図の
ように配線同士が交叉することなく形成することによっ
て基板作成を容易にしている。また各軸ごとにコネクタ
部を中央部に有する構造にし、２個以上の３次元検出コ
イルの接続を容易にしている。ただし、コネクタ部は必
ずしもこの位置に限るものではない。またこのフレキシ
ブルな基板の材質はポリアミド系などの可撓性材質を用
いており、検出コイルの材質はＰｂ，Ｎｂ系の超伝導体
で構成されている。この基板の作成方法は薄膜成形技術
を用いることで実現できる。
ある。図２のように検出コイルは一枚のフレキシブルな
基板上にＸ軸１，Ｙ軸２，Ｚ軸３を構成している。この
基板を点線部分で折り曲げて直方体状に張り合わせるこ
とで図１に示す３次元検出コイルを実現する。この時、
直方体のブロックに貼付けても良い。本実施例では図の
ように配線同士が交叉することなく形成することによっ
て基板作成を容易にしている。また各軸ごとにコネクタ
部を中央部に有する構造にし、２個以上の３次元検出コ
イルの接続を容易にしている。ただし、コネクタ部は必
ずしもこの位置に限るものではない。またこのフレキシ
ブルな基板の材質はポリアミド系などの可撓性材質を用
いており、検出コイルの材質はＰｂ，Ｎｂ系の超伝導体
で構成されている。この基板の作成方法は薄膜成形技術
を用いることで実現できる。
【０００８】次に図１に示す３次元検出コイルの複数個
の組合せによる多種類の検出コイルについて以下に示
す。ただし、ここで示すＢｘ，Ｂｙ，Ｂｚは測定磁場の
各軸（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸）の方向成分である。
の組合せによる多種類の検出コイルについて以下に示
す。ただし、ここで示すＢｘ，Ｂｙ，Ｂｚは測定磁場の
各軸（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸）の方向成分である。
【０００９】図３は、図１の検出コイルでコネクタ部が
中央にある１次微分コイル（１回の空間的な差分）を二
つ使用して１次・２次微分コイルを実現したもので、図
４，図５はこの構造の概念図である。全く同じ形状の二
つの３次元検出コイルのＡ，Ａ′面（Ｙ軸コイル面）で
張り合わせてコネクタ部５を図４のように接続すると、
７，７′を出力とする図の矢印の向きの２次微分検出コ
イル（ｄ・ｄ・Ｂｙ／ｄｙ・ｄｙ）が構成できる。また
図５のように接続を変えると、図の矢印の向きのコイル
間距離が２倍である１次微分検出コイル（ｄ・Ｂｙ／ｄ
ｙ）が構成できる。
中央にある１次微分コイル（１回の空間的な差分）を二
つ使用して１次・２次微分コイルを実現したもので、図
４，図５はこの構造の概念図である。全く同じ形状の二
つの３次元検出コイルのＡ，Ａ′面（Ｙ軸コイル面）で
張り合わせてコネクタ部５を図４のように接続すると、
７，７′を出力とする図の矢印の向きの２次微分検出コ
イル（ｄ・ｄ・Ｂｙ／ｄｙ・ｄｙ）が構成できる。また
図５のように接続を変えると、図の矢印の向きのコイル
間距離が２倍である１次微分検出コイル（ｄ・Ｂｙ／ｄ
ｙ）が構成できる。
【００１０】図６は、図１の二つの検出コイルの同じ面
のＢ，Ｂ′面を図のように接続部４が向い合うように並
べた構成にしたものであり、図７，図８はその概念図で
ある。すなわち、接合部４の配線によって二つの種類の
微分コイルが構成できる。図７のような配線にすると２
倍の面積の１次微分コイル（２・ｄ・Ｂｚ／ｄｚ）が構
成でき、図８のように配線するとＹ軸とＺ軸の２次微分
コイル（ｄ・ｄ・Ｂｚ／ｄｙ・ｄｚ）が構成できる。つ
まり、この時、測定磁場のＺ方向成分（Ｂｚ）をＹ軸の
平面方向の微分とＺ軸方向の微分をしたことになる。
のＢ，Ｂ′面を図のように接続部４が向い合うように並
べた構成にしたものであり、図７，図８はその概念図で
ある。すなわち、接合部４の配線によって二つの種類の
微分コイルが構成できる。図７のような配線にすると２
倍の面積の１次微分コイル（２・ｄ・Ｂｚ／ｄｚ）が構
成でき、図８のように配線するとＹ軸とＺ軸の２次微分
コイル（ｄ・ｄ・Ｂｚ／ｄｙ・ｄｚ）が構成できる。つ
まり、この時、測定磁場のＺ方向成分（Ｂｚ）をＹ軸の
平面方向の微分とＺ軸方向の微分をしたことになる。
【００１１】図９のように図１の検出コイルを複数個並
べ、図のように配線を一つ飛ばしにすることで任意の場
所間の微分コイルが構成できる。このように任意の検出
コイルを図４，図５，図７，図８のように任意に接続す
ることにより、任意の場所間の２次または１次微分検出
コイルを構成することができる。
べ、図のように配線を一つ飛ばしにすることで任意の場
所間の微分コイルが構成できる。このように任意の検出
コイルを図４，図５，図７，図８のように任意に接続す
ることにより、任意の場所間の２次または１次微分検出
コイルを構成することができる。
【００１２】このように図１の３次元検出コイルを組み
合わせることで多種類の微分コイルが可能であるが、図
１の形状が最適なものとは限らない。例えば、図１の構
造と鏡像の関係にある３次元検出コイルを作成する。こ
れら２種類の検出コイルを組み合わせると各軸全ての接
続が容易になる。ただし、本実施例では全て２個の検出
コイルの組合せを考えているが、３個以上の組合せも考
えられる。
合わせることで多種類の微分コイルが可能であるが、図
１の形状が最適なものとは限らない。例えば、図１の構
造と鏡像の関係にある３次元検出コイルを作成する。こ
れら２種類の検出コイルを組み合わせると各軸全ての接
続が容易になる。ただし、本実施例では全て２個の検出
コイルの組合せを考えているが、３個以上の組合せも考
えられる。
【００１３】実施例ではフレキシブルな検出コイル基板
上に検出コイルの配線同士が交叉しないように構成した
が、このような構造に限るものではない。その例を以下
に述べる。
上に検出コイルの配線同士が交叉しないように構成した
が、このような構造に限るものではない。その例を以下
に述べる。
【００１４】図１０のように検出コイルの配線を二層構
造にすることもできる。ただし、図１０では図２のＹ軸
の検出コイルの部分だけを表している。この構造により
配線から発生する磁場を前述した平行線の配線の場合よ
り少なくすることができる。ただしこの場合、図のよう
に上部の配線と下部の配線を結ぶ場所８が必要になる。
また、本実施例では配線を２層構造にしたが、多重構造
にすることもできる。その他、図１１のように配線基板
の表面上と裏面上とにそれぞれ二つの検出コイルを別々
の独立して形成する事も可能である。またこの時、図１
２のように表面のコイルと裏面のコイルとを独立に構成
せず、一つのコイルを形成することも可能である。図１
２の実施例では巻き方が逆向きであるが同じ向きのもの
でも良い。
造にすることもできる。ただし、図１０では図２のＹ軸
の検出コイルの部分だけを表している。この構造により
配線から発生する磁場を前述した平行線の配線の場合よ
り少なくすることができる。ただしこの場合、図のよう
に上部の配線と下部の配線を結ぶ場所８が必要になる。
また、本実施例では配線を２層構造にしたが、多重構造
にすることもできる。その他、図１１のように配線基板
の表面上と裏面上とにそれぞれ二つの検出コイルを別々
の独立して形成する事も可能である。またこの時、図１
２のように表面のコイルと裏面のコイルとを独立に構成
せず、一つのコイルを形成することも可能である。図１
２の実施例では巻き方が逆向きであるが同じ向きのもの
でも良い。
【００１５】
【発明の効果】本発明により、容易にキャンセル率の良
い３次元の検出コイルを形成できる。また、本発明の検
出コイルは直方体または立方体のため簡単に３次元のす
べての方向に位置精度良く配列ができ、その配線の仕方
によって複数の種類の１次または２次微分検出コイルを
構成できる。
い３次元の検出コイルを形成できる。また、本発明の検
出コイルは直方体または立方体のため簡単に３次元のす
べての方向に位置精度良く配列ができ、その配線の仕方
によって複数の種類の１次または２次微分検出コイルを
構成できる。
【図１】本発明の一実施例の３次元検出コイルの斜視
図。
図。
【図２】本発明の一実施例の検出コイル基板の展開図。
【図３】本発明の他の実施例の微分検出コイルの斜視
図。
図。
【図４】図３の微分検出コイルの概念図。
【図５】図３の微分検出コイルの概念図。
【図６】本発明の他の実施例の微分検出コイルの斜視
図。
図。
【図７】図６の微分検出コイルの概念図。
【図８】図６の微分検出コイル概念図。
【図９】本発明の他の実施例の任意微分検出コイルの斜
視図。
視図。
【図１０】本発明の他の実施例の検出コイルの２層構造
の説明図。
の説明図。
【図１１】本発明の他の実施例の検出コイルの２段構造
の説明図。
の説明図。
【図１２】本発明の他の実施例の検出コイルの２重構造
の説明図。
の説明図。
１…検出コイル、２…検出コイル、３…検出コイル、４
…コネクタ部、５…コネクタ部、６…コネクタ部、７，
７′…出力、８…上段，下段の配線のつなぎ目。
…コネクタ部、５…コネクタ部、６…コネクタ部、７，
７′…出力、８…上段，下段の配線のつなぎ目。
Claims (6)
- 【請求項１】超伝導量子干渉素子を用いた生体磁場計測
装置の検出コイルにおいて、フレキシブルな基板上に複
数個の超伝導体によって構成される検出コイルを形成
し、前記各検出コイル面の法線方向が３軸いずれかの方
向に向いている構造を有することを特徴とする３次元検
出コイル。 - 【請求項２】請求項１において、前記各検出コイルに接
続端子を設けた３次元検出コイル。 - 【請求項３】請求項１において、前記検出コイルは一つ
ながりの超伝導体の配線で構成され、前記検出コイルが
対となる２の倍数個のループを有するように配線を行
い、前記ループの各ループ対の巻き方が反対向きになる
構成にする３次元検出コイル。 - 【請求項４】請求項１，２または３において、３次元検
出コイルを２個以上配置して配線することにより、任意
の検出コイル面の法線方向の差分をとる３次元検出コイ
ル。 - 【請求項５】請求項１，２または３において、前記検出
コイルの構成が平行線構造あるいは２層構造あるいは多
層構造あるいは表裏構造である３次元検出コイル。 - 【請求項６】請求項１において、前記超伝導量子干渉素
子を、直接、前記検出コイルに接続するかまたは前記超
伝導量子干渉素子と前記検出コイルとを薄膜技術により
同基板上に構成することにより、前記超伝導量子干渉素
子と前記検出コイルとの一体型の検出コイルを構成する
３次元検出コイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25615492A JPH06109820A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | ３次元検出コイル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25615492A JPH06109820A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | ３次元検出コイル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06109820A true JPH06109820A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17288662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25615492A Pending JPH06109820A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | ３次元検出コイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06109820A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005503564A (ja) * | 2001-09-14 | 2005-02-03 | ユニヴァーシティー オブ メリーランド， カレッジ パーク | 改善された空間解像度を有する走査型ｓｑｕｉｄ顕微鏡 |
| JP2007108083A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気検出コイルおよび磁場計測装置 |
| JP2018113439A (ja) * | 2016-12-23 | 2018-07-19 | バイオセンス・ウエブスター・（イスラエル）・リミテッドＢｉｏｓｅｎｓｅ Ｗｅｂｓｔｅｒ （Ｉｓｒａｅｌ）， Ｌｔｄ． | 単層プリント回路上の三軸センサ |
| JP2019109237A (ja) * | 2017-12-15 | 2019-07-04 | バイオセンス・ウエブスター・（イスラエル）・リミテッドＢｉｏｓｅｎｓｅ Ｗｅｂｓｔｅｒ （Ｉｓｒａｅｌ）， Ｌｔｄ． | 改良されたｔａｓセンサ |
| CN110233019A (zh) * | 2019-05-21 | 2019-09-13 | 中国人民解放军海军工程大学 | 多层pcb结构三维磁场线圈 |
| JP2020034285A (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 国立大学法人金沢大学 | 磁界空間分布検出装置 |
| JP2020148629A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 株式会社東芝 | センサチップ |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP25615492A patent/JPH06109820A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005503564A (ja) * | 2001-09-14 | 2005-02-03 | ユニヴァーシティー オブ メリーランド， カレッジ パーク | 改善された空間解像度を有する走査型ｓｑｕｉｄ顕微鏡 |
| JP2007108083A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気検出コイルおよび磁場計測装置 |
| JP4571570B2 (ja) * | 2005-10-14 | 2010-10-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 磁気検出コイルおよび磁場計測装置 |
| US7912530B2 (en) | 2005-10-14 | 2011-03-22 | Hitachi High-Technologies Corporation | Magnetic detection coil and apparatus for measurement of magnetic field |
| JP2018113439A (ja) * | 2016-12-23 | 2018-07-19 | バイオセンス・ウエブスター・（イスラエル）・リミテッドＢｉｏｓｅｎｓｅ Ｗｅｂｓｔｅｒ （Ｉｓｒａｅｌ）， Ｌｔｄ． | 単層プリント回路上の三軸センサ |
| JP2019109237A (ja) * | 2017-12-15 | 2019-07-04 | バイオセンス・ウエブスター・（イスラエル）・リミテッドＢｉｏｓｅｎｓｅ Ｗｅｂｓｔｅｒ （Ｉｓｒａｅｌ）， Ｌｔｄ． | 改良されたｔａｓセンサ |
| JP2020034285A (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 国立大学法人金沢大学 | 磁界空間分布検出装置 |
| JP2020148629A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 株式会社東芝 | センサチップ |
| CN110233019A (zh) * | 2019-05-21 | 2019-09-13 | 中国人民解放军海军工程大学 | 多层pcb结构三维磁场线圈 |
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