JP2005503564A - 改善された空間解像度を有する走査型squid顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、National Security Agency(国家安全保障機関)によって与えられた契約書番号MDA90499C2553の下に政府の支援でなされた。政府は、本発明の特定の権利を有する。
【0002】
(発明の分野)
本発明は、走査型SQUID(Superconducting Quantum Interference Device、超伝導量子干渉デバイス)顕微鏡などの磁気走査型デバイスに関し、より詳細には、走査型SQUID顕微鏡の空間解像度を改善するための装置および技術に関する。
【0003】
より詳細には、本発明は、対象物の物理特性の空間的に解像された画像を得るための走査型SQUID顕微鏡に関し、SQUIDセンサが、調査中の対象物の試験表面にほぼ垂直に配置され、かつSQUIDセンサが、対象物によって生成された磁界の接線方向成分を検出する。このように、SQUID顕微鏡の空間解像度は、SQUIDセンサの領域に制限されない。
【0004】
(発明の背景)
走査型SQUID顕微鏡は、SQUIDセンサとしても知られている超伝導量子干渉デバイスによって、材料およびデバイスの磁気特性を非侵襲測定により、様々な対象物の物理特性の空間的に解像された画像を得るために開発されかつ使用された。従来のSQUIDSを用いる磁気画像デバイスは、1ミリメートル以上の大きさの空間解像度を維持し、この空間解像度は、半導体/マイクロ電子機器試験に必要な顕微鏡的に画像を解像するには大きすぎる。さらに、これらのデバイスは、サンプルを真空に置く必要もある。液体または生化学的な標本などのいくつかのサンプルは、真空は許容されることはできず、したがって、現在、既存の低空間解像度SQUID画像形成の多くの焦点である、生体磁気の源を測定することは実際的ではない。
【0005】
米国特許第5491411号は、磁界測定に改良された空間解像度および磁界感度を提供することができる、わずかな電流および磁界における顕微鏡的な空間変動を画像形成する方法および装置を開示する。しかしながら、デバイスは、デュワー内にサンプルを配置する必要があり、サンプルが低温流体または真空にさらされるとき、サンプルの望まない破壊を結果として生じることがある。仮に、サンプルが、真空環境または低温媒体を許容できるとしても、サンプルを画像形成のために真空または低温空間に導入することは、いくらか面倒でありかつ時間のかかる作業である。
【0006】
問題は、米国特許第5894220号に開示されるサンプルの電気特性および磁気特性の顕微鏡的な画像形成のための装置によって、少なくとも部分的に解決された。デバイスは、低温媒体を含む第1部分と真空空間を囲む第2部分とを有するハウジングを含む。低温SQUIDセンサは、真空空間内に配置され、熱交換のためのハウジング内の低温媒体と流体連通する。測定のためのサンプルは、室温またはそれより高温のハウジングの外に配置され、ハウジングの壁に作られた薄い窓を通してSQUIDセンサによって「見られる」ことができる。低温SQUIDセンサの出力は、それがサンプル表面にわたって走査されるときに監視される。
【0007】
他の走査型SQUID顕微鏡は、国際出願第WO00/20879号に記載される。このデバイスにおいて、SQUIDセンサは、調査中のサンプル、特に電子回路の表面にわたって走査され、空間解像度を増大しかつサンプルの磁界および電界画像における雑音および縁部構造を取り除くために、測定されたデータは、空間フィルタリングおよびマスキング技術を受ける。
【0008】
上述された文献に開示された全ての走査型SQUID顕微鏡において、SQUIDセンサ・ループは、検出された磁界の垂直成分BZだけが測定されるように、サンプル面に平行な面にあるように向けられる。図1に示されるように、サファイヤの先端12(管18に取り付けられた)の最も低い点に固定されたSQUIDチップ10は、サンプル14の面に平行に配置される。サンプル14は、方向XおよびYに垂直に移動するので、SQUIDセンサは、サンプル14によって生成された磁界を検出する。特に、図2に示されるように、磁界Bが、この特定の例では軸Yに沿って延びる電流経路16によって生成される。電流経路16から距離Z0に配置されたSQUIDチップ10は、磁界Bの垂直成分BZを検出する。この技術に関連する問題は、得られたデータ点のそれぞれが、走査方向へのSQUIDセンサ投影領域にわたって平均化された磁界であるという事実から生じる。図3に示されるように、SQUIDセンサ10の全領域が、サンプルに向かって(下方に)面し、かつサンプル表面へのSQUIDセンサの投影領域が大きいので、空間解像度が、サンプル面上に投影したSQUIDセンサのサイズに制限される。
【0009】
国際出願第WO00/20879号に記載された走査型SQUID顕微鏡は、得られたデータをフィルタリングおよびマスキング電子装置を介して処理することによって、わずかに空間解像度を改善する。しかしながら、この技術は、過度な処理ハードウエアおよびソフトウエアを必要とし、サンプル面に対してSQUIDセンサの向きを平行にする制限を含む。
【0010】
従来技術において、負帰還ループまたはフラックス固定ループでSQUIDセンサを動作させることが知られている。再び図1を参照すると、フラックス固定ループを維持しまたは他の画像形成構成で必要な読み出し磁束を加えるために、磁束をSQUIDセンサに結合するために、3巻きコイル20がサファイヤ先端12の周りに巻かれる。SQUIDセンサとコイル20との間の相互インダクタンスを増加するために、米国特許第5894220号には、従来技術で知られているフォトリソグラフィ印刷技術を用いて、SQUIDチップに直接コイルを製造することが示唆されている。しかしながら、この示唆は、実際にはより困難である。なぜなら、前の段落で議論されたように、空間解像度とSQUIDチップのサイズとの間のトレード・オフに関連する制限を引き起こすSQUIDのより大きな領域を必要とするからである。
【0011】
さらに、SQUIDバイアスおよび読み出しワイヤ22は、SQUIDチップ10と処理装置24との間に結合される。図1に示されるように、ワイヤ22とSQUIDチップ10との間の接触は、製造するのが難しいことは当業者には明らかである。さらに、SQUIDチップのサイズに加えられる制限のために、接触ページがあまりにも小さく作られるなら、デバイスに対する接触抵抗は望ましくなく高くなることがある。
【0012】
したがって、従来技術で提案されたようなむしろ複雑な処理技術を使用する必要なくその空間解像度を増加するために、走査型SQUID顕微鏡技術への異なる方法が望まれることは明らかである。主題のシステムは、SQUIDのサイズに関連する制限を取り除き、かつ変調およびフィードバック・ラインを収容するためのSQUIDチップのより大きなサイズ、ならびにその上に配置される拡大された接触パッドをもたらすことに向けられる。
【0013】
(発明の概要)
したがって、本発明の目的は、増大された空間解像度を有する走査型SQUID顕微鏡を提供することである。
【0014】
本発明の他の目的は、空間解像度がSQUIDチップのサイズによって制限されない走査型SQUID顕微鏡を提供することである。
【0015】本発明のさらに他の目的は、SQUIDセンサが、走査方向においてSQUIDチップの領域にわたって検出した磁界の無視できる平均化を達成するように配置される走査型SQUID顕微鏡を提供することである。
【0016】
本発明のさらに他の目的は、サンプル面上へのSQUIDセンサの投影領域が無視でき、かつ空間解像度がSQUIDセンサのサイズに制限されないために、SQUIDセンサ面が、サンプル面に対して実質的に垂直に向けられる走査型SQUID顕微鏡を提供することである。
【0017】
本発明のさらに他の目的は、対象物の面に対して実質的に垂直なその配向のために、調査中の対象物によって生成される磁界の接線方向成分を検出する走査型SQUID顕微鏡を提供することである。
【0018】
本発明のさらに他の目的は、SQUIDチップのサイズの制限が無いために、同じ技術プロセスでSQUIDセンサを有する同じチップ上に変調およびフィードバック・ラインをパターニングすることを可能にし、かつSQUIDチップに対するバイアス/読み出しワイヤの都合よくまた低い結合抵抗を可能にする寸法で、SQUIDチップを製造することができる走査型SQUID顕微鏡を提供することである。
【0019】
本発明の教示によれば、対象物の物理特性の空間的に解像された画像を得るための走査型SQUID顕微鏡は、調査中の対象物の面に実質的に垂直に向けられたSQUIDチップを利用する。特に、SQUIDセンサは、基板上にパターニングされ、その基板平面は、対象物を含む調査中の表面と互いに垂直な関係で配置される。この方向において、対象面上へのSQUIDセンサの投影領域は無視でき、走査方向におけるセンサの領域にわたる検出された信号の平均化は、SQUIDセンサの全領域が調査中の対象物に対して下方の向きに面する従来の走査型SQUID顕微鏡と比較して無視できるほど小さい。このように、本発明のSQUID顕微鏡の空間解像度は、SQUIDセンサのサイズを制限しない。例えば、SQUIDセンサと対象物との間のZ=150ミクロンの分離で、本発明のSQUID顕微鏡から得られる空間解像度は、5ミクロンおよび2ミクロンのサンプリング・ステップについて、それぞれ約40ミクロンおよび20ミクロンであり、一方、同じ対象物とSQUIDセンサとの分離で、従来のSQUID顕微鏡から得られた空間解像度は、約80ミクロンであることが判った。
【0020】
対象物の走査の間、SQUIDセンサは、複数の位置で対象物によって生成された磁界を検出し、検出された磁界の接線方向成分に対応する信号を送る。
【0021】
走査型SQUID顕微鏡は、さらに、磁界読み取りがなされた位置に対応する信号を出力するための位置解釈ユニットを含む。画像形成手段が含まれ、画像形成手段は、位置解釈ユニットからの信号、ならびに磁界の接線方向成分に対応するSQUIDセンサからの信号を受信し、画像形成手段は、さらに、検出された磁界の接線方向成分から、対象物の物理特性の空間的に解像された画像を得る。
【0022】
SQUIDセンサは、当業者に知られている他の適切な材料も適用できるが、好ましくは、SrTiO3双結晶で作られた基板上にパターニングされた超伝導YBa2Cu3O7で形成される。SQUIDセンサは、顕微鏡の低温フィンガ先端に取り付けられ、特に調査中の対象物の表面に垂直な関係の先端の端部に延びる平坦な領域に取り付けられる。他の熱伝導非磁性材料を使用することができるが、先端は、好ましくはサファイヤで作られる。
【0023】
走査型SQUID顕微鏡は、低温媒体を含む第1のセクションと、真空空間を囲む第2のセクションとを有するハウジングを含む。透明窓が、ハウジングを囲む周囲大気から真空空間を分離するために、ハウジングの第2のセクションに形成される。そこに取り付けられたSQUIDセンサを備える低温フィンガ先端が、真空空間内に配置され、調査中の対象物が、周囲環境に配置され、透明窓によってSQUIDセンサから分離される。導管が、ハウジングの第1のセクションとサファイヤ先端との間に延び、SQUIDセンサとの熱交換のためにサファイヤ先端に低温媒体を送る。
【0024】
透明窓とSQUIDセンサとの間の相対配置を調整するために、ならびにSQUIDセンサと調査中の対象物との間の距離を調整するために、走査型SQUID顕微鏡にいくつかの手段が設けられる。
【0025】
好ましくは、調査中の対象物は、互いに対して相互に垂直な水平方向のXおよびY方向と、XおよびY方向に垂直なZ方向とに移動可能な走査ステージに配置される。
【0026】
垂直に向けられたSQUIDチップでは、SQUIDチップのサイズが、拡大されることができ、処理手段にSQUIDチップを結合するワイヤのためのより大きな接触面積を可能にして、SQUIDに対する接触抵抗を低減する。さらに、サファイヤ先端でのSQUIDチップの特定の配置のために、従来技術で知られているよりSQUIDチップへのワイヤの接続はかなりより容易である。
【0027】
SQUIDチップの向きのために、ならびにSQUID顕微鏡のサファイヤ先端に取り付けられる方法のために、より大きな基板領域は、同じ技術的プロセスで、SQUIDチップを備える同じ基板上での変調およびフィードバック・ラインのパターニングもより容易にする、SQUIDチップを可能にすることは重要である。
【0028】
本発明のこれらのおよび他の新規な特徴および利点は、添付の図面の以下のより詳細な記載からより完全に理解されよう。
【0029】
(好ましい実施形態の説明)
図4を参照すると、本発明の走査型SQUID顕微鏡30は、液体窒素36または他の任意の低温媒体を受けかつ保持するための冷却剤を含む部分34、ならびに室温から冷却剤を含む部分34を熱的に絶縁する真空空間38を収容するハウジング32を含む。したがってハウジング32は、約10−5トールに維持された真空空間38を有する変更されたデュワー・アセンブリである。ハウジング32は、その中心に実質的に配置された円形開口42を有する環状プレート40を含む。窓支持体44が、環状プレート40から離間し、窓支持体44は、プラスチック・フランジ46を支持し、プラスチック・フランジ46の端部にサファイヤ窓支持体48が固定され、透明でかつ薄い窓50が取り付けられた環状開口を有する。好ましくは、窓50は、サファイヤで形成され、約25ミクロンの厚みである。
【0030】
環状プレート40は、SQUIDセンサ56に対して窓50の動きを可能にするために、3本のねじ切られたロッド52(その2本だけが図4に示されている)を介して、水平方向調整環状ディスク54に接続される。SQUIDセンサ56に対して窓50を位置合わせするために、環状ディスク54に対する窓支持体44の移動を可能にするために、調整ねじ58が、環状ディスク54の側方から突き出る。
【0031】
冷却剤を送る可撓性ベローズ・チューブ60が、ハウジング32内で中心にかつ長手方向に延び、ステンレス鋼ベローズ62、銅または真鍮チューブ64、および好ましくはサファイヤ先端66を形成する熱伝導ロッドを含む。ステンレス鋼ベローズ62は、ハウジング32の冷却剤を含む部分34を備える端部68と連絡する。ベローズ62の端部70は、真空空間38内に配置され、かつグロメット72の内側フランジの頂部に取り付けられる。チューブ64の端部74は、グロメット72の内側フランジの底部に据えられかつはんだ付けされ、したがって、ステンレス鋼ベローズ62と連絡する。チューブ64は、ハウジング32の真空空間38を通して、さらに環状プレート40の開口42を通して延びる。サファイヤ先端66が、チューブ64の第2の端部76に配置されかつエポキシでそこに固定され、サファイヤ先端66は、SQUIDチップ56のために熱伝導基板として作用する。図5に最も良く示されているように、サファイヤ先端66の端部80は、サファイヤ先端66の長手方向軸に平行に延びる、平坦なまたは平面の側方表面82に製造される。SQUIDチップ56は、平坦な側方表面82に粘着式に取り付けられ、走査型SQUID顕微鏡30の動作中に平坦な側方表面82に固定して保持される。
【0032】
もう一度図4を参照すると、冷却剤を含む部分34からの低温媒体36は、SQUIDチップと液体窒素との間の熱交換を可能にするために、ステンレス鋼ベローズ62およびチューブ64を通してサファイヤ先端66に供給される。
【0033】
SQUIDチップと窓50との間の距離は、2mmから3mmであることができ、またはその距離は、互いに対して隣接されることができる。走査型SQUID顕微鏡30の構造は、SQUIDチップの温度を77°Kに維持することを可能にし、一方、SQUIDチップ56と、調査中の対象物としても本明細書で呼ばれる室温サンプル84との間のわずかな分離を可能にする。
【0034】
低温液体が、ステンレス鋼ベローズ62および銅チューブ64を通過するとき、これらの要素が収縮することがある。しかしながら、そのような変形は、サファイヤ先端66またはSQUIDチップ56のどちらの位置も、窓に近接することを防げないが、これは、窓位置が調整ナット86によって垂直方向に調整されることができるという事実のためである。
【0035】
サンプル84が、図4に概略的に示される走査ステージ84上に、走査型SQUID顕微鏡30のハウジング32の外側に配置され、走査ステージ84は、3つの互いに垂直な方向X、Y、およびZに移動可能である。好ましくは、ステージがモータで動かされ、約1ミクロンまたはそれより良好な精度の位置を提供する。そのような走査ステージ88および移動機構は、当業者には知られており本明細書には詳細には記載しない。ステージ88は、XおよびY方向にステージ88を駆動するためのステップ・モータ90によって移動される。SQUIDセンサから可能な限り離れて(約50cm)モータ90を配置すること、およびモータ90によって生成される望ましくない磁界からSQUIDセンサを遮蔽するために、渦電流磁気遮蔽でそれらを囲むことが好ましい。モータ90は、マイクロメータに機械的に結合される。しかしながら、モータ90は、磁気的に雑音を発生するステップ・モータであり、マイクロメータが十分な位置精度を提供するので、マイクロメータが使用される。
【0036】
好ましくは、モータを動作するための制御ソフトウエアおよび周辺機器を備えるコンピュータまたはプロセッサ92が、本発明の走査型SQUID顕微鏡において走査ステージ88を動作するために使用される。
【0037】
より詳細には、熱伝導サファイヤ先端66は、約1インチの長さで0.25インチの直径であることができる。SQUIDチップ56は、図5および図8に最も良く示されるように、500ミクロンの厚みのSrTiO3双結晶基板96上にパターニングされた、単一の200nm厚みのYBa2Cu3O7層94からなることができる。SQUIDセンサ98は、約10ミクロンの幅および約40ミクロンの高さを有する内側孔を備え、30ミクロンの幅および60ミクロンの高さを有する外側概略寸法を備える一般的な矩形形状を有する。
【0038】
変調およびフラックス・フィードバック・ライン100は、従来技術で知られているフォトリソグラフィ印刷技術を用いて、同じ基板96上にSQUIDセンサ98近くにパターニングされる。SQUIDセンサ98と、変調およびフィードバック・ライン100のパターンが、基板96上に形成された後、基板96は、約1.5mmの幅で5mmの長さを備える実質的に矩形の片に切り出される。SQUIDチップ56は、図5に最も良く示されるように、平坦な側方表面82に固定された基板96を備えるサファイヤ先端66に接着される。エポキシが硬化した後、サファイヤ先端66が窓50内に取り付けられることができるために、SQUIDチップ56の端部104は、研磨されて約800ミクロンまたはそれより狭い幅にされる。このプロセス中、SQUIDチップの端部104は研磨して戻され、SQUIDは、好ましくは数ミクロン内でチップの端部に可能な限り近接される。
【0039】
SQUIDチップ上への直接に変調およびフィードバック・ライン100の製造は、SQUIDセンサ98とライン100との間の増大された相互インダクタンスを提供し、したがって、フラックス固定ループを維持するため、または本発明の走査型SQUID顕微鏡の画像形成回路に必要な読み出しフラックスを与えるために、SQUIDに結合する磁気フラックスを増強する。基板96が十分に大きい(1.5mm×5mm)ので、SQUIDセンサ98と変調およびフィードバック・ライン100がその上に無い領域は、バイアスおよび読み出しワイヤ102をより容易に接触させ、かつデバイスの接触抵抗を実質的に低減する、より大きな接触領域120を提供するための十分大きな領域を構成することは当業者には明らかである。
【0040】
再び図4を参照すると、画像形成のための顕微鏡を設定するとき、窓50および基板96の端部104は、調整ナット86またはねじ58によって窓50を移動することによって位置合わせされる。窓50が、SQUIDすなわちチップ56に対して同じ高さにされたとき、走査ステージ88上のサンプル84は、窓50に対して同じ高さにされ、サンプルとSQUIDセンサとの間の分離が、走査中変化しないことを確実にし、ならびにサンプルとSQUIDセンサとの間の小さな分離を達成する。この動作は、図4に示されるように、手動的にまたはコンピュータ92の制御のもとに自動的に、Z方向にステージ88を移動することによって実行される。この動作は、当業者に知られており、本明細書で詳細には議論されることを意図しない。
【0041】
サンプル84の物理特性の画像を得るために、個別のラスタ・スキャン・ラインが、サンプルを例えばX方向にSQUIDセンサで走査することによって取得され、一方、X座標(モータ制御ボード114から読まれる)および測定された関連する磁界(SQUID読み取り電子装置106から読まれる)が、同時にコンピュータ92に記録される。プロセスは、さらに、サンプル84の表面の2次元画像を構成するために、サンプルをY方向に走査することによってY値のシーケンスに関して繰り返される。
【0042】
例えば、図6に示されるように、サンプル84が電流経路108を有するマイクロ電子装置回路である場合には、電流経路108に沿って流れる電流Iは、磁界Bを生成する。XY平面(走査面)に垂直に向けられたその基板を有するSQUIDチップ56は、サンプル84の表面110から距離Z0に位置し、まずX方向に走査され、それから表面110に沿ってY方向に走査される。走査の間、SQUIDセンサは、従来技術の走査型SQUID顕微鏡において、サンプルによって生成される磁界の垂直成分BZの方向に対向するとき、磁界Bの接線方向成分BXを検出する。走査型SQUID顕微鏡の空間解像度は、サンプル面に投影するSQUIDセンサの領域にわたって平均化された検出磁界に依存する。図7および図5に最も良く示されるように、サンプル表面110上へのSQUIDセンサ98の投影は、無視でき、かつほぼ200nmのSQUIDチップの基板96上に堆積されたYBa2Cu3O7の層の厚みによってのみ決定される。したがって、本発明の走査型SQUID顕微鏡における空間解像度は、実質的にSQUIDチップのサイズに無関係であり、SQUIDチップのサイズは、従来技術のSQUIDチップとは反対に、1.5mm×5mmなどのSQUIDチップの実質的により大きい領域の利点を有することを可能にする。SQUIDチップの実質的により大きい領域のために、SQUIDセンサ98と同じチップ上に変調およびフィードバック・ライン100を製造するが可能である。また、基板96上により大きい接触パッド120を製造することが可能であり、したがってデバイスの接触抵抗を低減し、バイアスおよび読み取りワイヤ102との接触をより容易に実装することができる。
【0043】
図7は、SQUIDセンサが、サンプルをX方向に走査したときの、走査のX方向におけるX値に対する二乗された電流密度を示す。空間解像度は、電流経路108を介して流れる電流Iによって生成された二乗された電流密度ピーク112の「最大値の半分での全幅(whole width at half maximum:FWHM)」として定義される。さらなる段落で議論されるように、図7に示されるように定義される本発明の走査型SQUID顕微鏡の空間解像度は、サンプル面に平行に向けられたSQUIDチップを使用する従来の走査型SQUID顕微鏡の空間解像度より高い。
【0044】
再び図4を参照すると、サンプル84の物理特性の画像取得の間、走査ステージ88の位置は、ステップ・モータ90の読み取り位置によって決定される。コンピュータ92の制御プログラムは、コンピュータ92に搭載されることができるモータ・コントローラ・ボード114から直接に、ステップ・モータ位置を読み取ることができる。同時に、読み出し電子装置106は、SQUIDセンサ98からデータを取得する。
【0045】
SQUID出力とステージ88の位置との両方は、デジタルの形態に変換され、コンピュータ92に記録される。データが、コンピュータ92の制御プログラムを使用して取得されると、データは画像に変換される。その未加工の形態において、画像データは、各N×M個の点で1つ以上の関連する磁界値を有する、M個のライン走査(X値)が交差した一組のN個のライン走査(Y値)からなる。画像を提供するために、データは、まず空間的に調整される、すなわち矩形空間グリッドに線形に補間される。それから画像表現プログラムが使用され、各グリッド点に対してグレー・レベルが割り当てられる。制御プログラムは、従来技術で良く知られており、さらなる詳細は議論しない。制御プログラムは、読み出し電子装置106によって読まれたSQUIDセンサの出力と同期して、モータ・コントローラ114から受信した位置信号を処理し、例えばサンプル84などの表面から出された磁界などの、対象物の物理特性の空間的に解像された画像をそれから導く。
【0046】
本発明のSQUID顕微鏡で得られた空間解像度が、SQUIDチップのサイズに制限されないことを示す計算およびシミュレーションがなされた。図9のグラフは、従来技術のSQUID顕微鏡と本発明のSQUID顕微鏡から得られた空間解像度の比較を示す。グラフにおいて、以下の段落で議論する磁気反転技術を加えた後で得られた空間解像度は、SQUID分離に対するサンプルに対してプロットされた。空間解像度は、図6に示されるように、サンプル84のワイヤ108を通して流れる電流によって生成された電流密度の二乗ピークの「最大値の半分での全幅(FWHM)」として定義される。
【0047】
図9において、線i(水平線)は、横寸法100ミクロンを有するSQUIDセンサの空間解像度に対応する。線iiは、5ミクロンのデータ・サンプリング・ステップを有する、従来技術のSQUID顕微鏡からの空間解像度を示す。従来技術に関しては、SQUID分離に対するサンプルが20ミクロンに低減されても、空間解像度は、約80ミクロンに制限されかつSQUIDセンサの100ミクロンのサイズによって制限されることが示された。線iiiおよびivは、それぞれ5ミクロンおよび2ミクロンのデータ・サンプリング・ステップを有する、本発明のSQUID顕微鏡に関する空間解像度を示す。これら2つの線のX方向における空間解像度は、SQUIDのサイズによって制限されない。例えば、Z=150ミクロンの分離で、約80ミクロンである従来技術のSQUID顕微鏡から得られる空間解像度と比較して、本発明のSQUID顕微鏡から得られた空間解像度は、それぞれ5ミクロンおよび2ミクロンのサンプリング・ステップに対して40ミクロンおよび20ミクロンである。
【0048】
図9にプロットされたデータを得るために、SQUIDセンサで得られた磁界データから電流経路を抽出することができる磁界反転技術が適用される。磁界反転技術の原理は、磁界に対する電流密度に関連するBiot−Savartの法則に基づく。2つの主な磁界反転技術が、フーリエ変換の適用および測定された磁界に対する空間フィルタリングに向けられる。雑音の低減およびデータのエッジ効果は、国際特許出願WO00/20879に開示されるフィルタなどの適切な信号処理フィルタを使用することによって排除されることができる。
【0049】
磁気反転技術において、電流経路は、分離zのSQUIDサンプルよりはるかに小さい厚さdのシート内に制限されることが仮定される。Biot−Savartの法則から、
Bz=(x,y,z)およびBx(x,y,z)は、以下のように記述される。
【数1】
ここで、μ0は自由空間の透磁率であり、JxおよびJyはそれぞれ電流密度のxおよびy成分である。
【0050】
変換原理は、式(1)および(2)を以下のようにフーリエ空間で表現されることを可能にする。
【数2】
ここで、bz(kx,ky,z)、jxx(kx,ky)、およびjy(kx,ky)は、それぞれ磁界の2次元フーリエ変換、および電流密度である。kxおよびkyは、空間周波数ベクトルkの成分である。
【0051】
従来技術のSQUID顕微鏡の場合において、磁界B(x,y,z)のz成分が検出され、したがってbz(kx,ky,z)は、従来のSQUID顕微鏡から得られるデータのフーリエ変換である。式(3)において、jx(kx,ky)およびjy(kx,ky)は未知である。しかしながら、電流密度の変換を使用して、追加の式が得られ、bz(kx,ky,z)の項におけるjx(kx,ky)およびjy(kx,ky)を以下のように記述することができる。
【数3】
【0052】
望ましくない雑音およびデータのエッジ効果を除去するために、信号処理フィルタを式(5)および(6)に適用することができる。逆フーリエすることで、各二乗された成分の総和である電流密度の二乗が見出される。
【0053】
本発明のX−SQUID顕微鏡の場合、磁界Bx(x,y,z)のx成分が検出され、したがって、bz(kx,ky,z)は、X−SQUIDから得られたデータのフーリエ変換である。式(4)は、ただ1つの未知のjy(kx,ky)を有するので、式(4)は式(3)より複雑ではない。bx(kx,ky)の項におけるjy(kx,ky)は、以下の式のように記述される。
【数4】
望ましくない雑音およびデータのエッジ効果を除去するために、信号処理フィルタを式(7)に適用することもできる。特に式(2)から、電流密度のy成分だけがBx(x,y,z)を生成し、式(7)でフーリエ変換からの信号は、kx方向に大部分は沿うであろう。したがって、適切な信号処理フィルタは、kx方向に沿う信号を維持し、かつ大部分は雑音であるkx軸から外れた信号を排除する。フィルタリングされた式(7)の逆フーリエ変換は、Jy(x,y)を得ることを可能にする。電流密度の二乗は、X−SQUIDに関するJy(x,y)の二乗であることに留意されたい。
【0054】
上記の分析は、SQUIDがポイント・センサであり、SQUID内に結合される磁束が、まさに1つの位置(x,y,z)での場のためであることを仮定している。しかしながら、実際の全てのSQUIDは、ゼロではないピックアップ・ループ面積を有し、SQUIDループにおける全磁束を得るために、そのピックアップ・ループ面積にわたって磁界が積分されなければならない。この積分は、本質的に、SQUIDループの面積にわたる平均磁界に比例するSQUID出力を結果として生じるプロセスである。SQUIDループの面積にわたる平均磁界に比例する場合には、z−SQUIDの場合では、この平均化は、上記磁気反転技術により取り除かれない電流源をぼやけさせる。しかしながら、x−SQUIDの場合には、SQUID本体のわたる平均化によるぼんやりさせる効果は、上記式(7)を以下の関係に置き換えることによって、x方向において取り除かれることができる。
【数5】
ここで、bx(kx,ky,z)は、(SQUIDフィードバック出力の出力に直接関係する)SQUIDループのわたって平均化された磁界のフーリエ変換であり、hは、z方向におけるSQUIDループの高さであり、zは、電流搬送領域とSQUIDの最も近接するエッジとの間の垂直方向距離である。これは、SQUIDがz方向を向いた場合のように、SQUIDサイズによって完全に制限されない空間解像度を有する、電流密度画像を生成することを最終的に可能にするx−SQUIDに関する関係(8)の存在である。
【0055】
したがって、調査中のサンプルの面に実質的に垂直なSQUIDセンサの向きのために、空間解像度がSQUIDチップのサイズに制限されない画像の強調された空間解像度が達成されるのは明らかである。走査型SQUID顕微鏡の新規な構造のため、1つの技術的プロセスにおいてSQUIDセンサが有する同じ基板上に変調およびフィードバック・ラインを直接製造することによって、増加された空間解像度が得られるだけでなく、SQUIDセンサ自体の改善も見出されることができる。したがって、SQUIDセンサと変調およびフィードバック・ラインとの間の相互インダクタンスを増加させ、ならびに走査型SQUID顕微鏡の全体構成を単純化する。SQUIDチップのより大きな領域のために、より大きな接触パッドは、デバイスの低減された接触抵抗と、SQUIDチップに対するバイアスおよび読み出しワイヤの結合の単純化とを提供する。
【0056】
本発明は、その特定の形態および実施形態に関連して記載されたが、上述された以外の様々な変形形態が、本発明の精神および範囲を逸脱することなくできることが理解される。全て特許請求の範囲に規定された本発明の精神または範囲から逸脱することなく、例えば、等価な要素が、特に示されかつ記載された要素に置き換えられることができ、特定の特徴が、他の特徴と無関係に使用されることができ、特定の場合には、要素の特定の位置は、逆転されまたは挿入されることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】
従来技術のZ−SQUID顕微鏡の概略図である。
【図2】
調査中の対象物の走査平面に対して平行に向けられた従来技術のZ−SQUIDセンサの概略図である。
【図3】
走査方向に、Z−SQUIDの領域にわたって平均化された従来技術のSQUIDセンサによって検出された磁界の図示である。
【図4】
本発明の走査型SQUID顕微鏡の長手方向断面を示す。
【図5】
取り付けられたSQUIDセンサを備える本発明の走査型SQUID顕微鏡の低温フィンガ・サファイヤ先端の概略図である。
【図6】
調査中の対象物に対する本発明のSQUIDセンサの面間の相対配置を概略的に示す。
【図7】
走査方向に投影されたSQUIDセンサの領域にわたって平均化され検出された磁界の概略図である。
【図8】
SQUIDチップ上で、SQUIDセンサおよび変調/フィードバック・ラインが同じ技術的プロセスでパターニングされた、SQUIDチップ表面の平面図である。
【図9】
従来技術および本発明の走査型SQUID顕微鏡の空間解像度間の比較を示す図である。
Claims (14)
- 対象物の物理特性の空間的に解像された画像を得るための走査型SQUID顕微鏡であって、
試験中の少なくとも1つの表面に、実質的に垂直に配置された基板上にパターニングされたSQUIDセンサを備え、前記対象物が前記表面上に取り付けられ、
前記SQUIDセンサが、試験中の前記少なくとも1つの表面における少なくとも1つの相対位置における前記対象物によって生成される磁界を検出し、前記相対位置で検出された前記磁界に対応する出力信号を生成する、走査型SQUID顕微鏡。 - 前記出力信号データを電流密度データに変換するコンピュータ手段をさらに備え、前記コンピュータ手段が、前記SQUIDセンサの寸法に関係なく電流密度画像を提供する手段を含む請求項1に記載の走査型SQUID顕微鏡。
- 前記SQUIDセンサが、前記対象物によって生成された磁界の接線方向成分を検出する請求項1に記載の走査型SQUID顕微鏡。
- (a)前記少なくとも1つの相対位置に対応する位置信号を出力するための位置解釈手段と、
(b)前記位置解釈手段からの前記位置信号を受信し、前記SQUIDセンサからの前記出力信号を受信し、かつ前記対象物の物理特性の前記空間的に解像された画像をそれから導き出すための画像手段とをさらに備える請求項1に記載の走査型SQUID顕微鏡。 - その上に前記対象物を載せる走査ステージと、
前記SQUIDセンサの前記基板に実質的に垂直に延びる走査面を形成する、少なくとも第1および第2の互いに垂直な方向に、前記走査ステージに沿って前記対象物を再配置するための手段とをさらに備える請求項1に記載の走査型SQUID顕微鏡。 - 前記SQUIDセンサと前記対象物の試験中の前記少なくとも1つの表面との間の距離を調整するための手段をさらに備える請求項1に記載の走査型SQUID顕微鏡。
- 前記基板上にパターニングされた変調/フィードバック・ラインをさらに備える請求項1に記載の走査型SQUID顕微鏡。
- 前記SQUIDセンサが超電導YBa2CU3O7で形成され、前記基板がSrTiO3で作られる請求項1に記載の走査型SQUID顕微鏡。
- 前記対象物の試験中の前記表面に実質的に垂直に延びる、実質的に平坦な領域を含む熱伝導先端をさらに備え、前記SQUIDセンサが、前記熱伝導先端の前記平坦な領域に固定される請求項1に記載の走査型SQUID顕微鏡。
- さらに、冷却媒体を含む第1のセクションおよび真空空間を囲む第2のセクションを含むハウジングと、
前記ハウジングの前記第2のセクションに形成され、かつ前記ハウジングを囲む周囲雰囲気に配置された前記対象物から前記真空空間を分離する透明窓とを備え、そこに固定された前記SQUIDセンサを有する前記熱伝導先端が、前記透明窓に隣接する前記ハウジングの前記第2のセクションに配置され、
さらに、前記SQUIDセンサと熱交換するためにそこに前記冷却媒体を送るために、前記ハウジングの前記第1のセクションと前記熱伝導先端との間の延びる導管と、
前記透明窓と前記SQUIDセンサとの間の相対配置を調整するための手段とを備える請求項9に記載の走査型SQUID顕微鏡。 - 前記対象物が、マイクロ電子装置回路を含み、試験中の前記表面が、前記磁界を生成する少なくとも1つの電流経路を含む請求項1に記載の走査型SQUID顕微鏡。
- 磁界を生成する対象物の物理特性の空間的に解像された画像を得るための方法であって、
走査ステージ上に前記対象物を配置するステップと、
その面と前記対象物の試験中の表面との間の実質的に相互に垂直な関係で、SQUIDセンサを配置するステップと、
前記対象物の試験中の前記表面の複数の位置で、前記対象物によって生成された磁界の接線方向成分を検出するために、前記対象物の試験中の前記表面を、前記実質的に垂直にそこに向けられたSQUIDセンサで走査するステップと、
前記複数の位置で検出された磁界に対応する前記SQUIDセンサの出力を、前記位置に対応するそれぞれの位置信号と組み合わせて処理するステップと、
それらから前記対象物の物理特性の空間的に解像された画像を導き出すステップとを含む方法。 - 前記SQUIDセンサと前記対象物との間の距離を調整するステップをさらに含む請求項12に記載の方法。
- 基板上に前記SQUIDセンサをパターニングするステップと、
前記基板上の変調/フィードバック・ラインを前記SQUIDセンサと実質的に同時にパターニングするステップとをさらに含む請求項13に記載の方法。
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