JPH06103615A - 光ディスク原盤露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 案内溝及びピット列への配置の不安定性を解
決し、クロストークが少なく生産性が高い光ディスク媒
体を作製することが可能な光ディスク原盤露光装置を提
供する。 【構成】 レーザ光源３から出射されたビームを強度変
調、信号変調した後、対物レンズ２３により集光して光
ディスク原盤２５上に照射することにより、案内溝及び
ピット列の露光を行う光ディスク原盤露光装置におい
て、レーザ光源３から出射されたビームの光路上に光偏
向器２０を配設し、この光偏向器２０を通過した光路上
に光ディスク原盤２５のテーブル移動方向とこの移動方
向とは逆方向との相互にビームスポットを変位させ案内
溝とピット列とを有する同心円を記録するビーム変位機
構２８を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクの製造を行
う光ディスク原盤露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、レーザ光源から出射されたビーム
を強度変調、信号変調した後、対物レンズにより集光し
て光ディスク原盤上に照射することにより、トラッキン
グ用案内溝間に信号変調されたピット列を有する光ディ
スクを作製する光ディスク原盤露光装置において、その
光ディスク原盤上に形成される案内溝とピット列を同心
円状に記録する方法がある。このような同心円記録の方
法としては、例えば、特開昭６３−１１２８３９号公報
に「光ディスク媒体の製造方法」なるタイトルで開示さ
れているものがある。これは、光ディスク原盤の１回転
中に、その原盤を搭載した移動テーブルの移動距離分だ
けその移動方向と逆方向へビームスポットを変位させる
ことにより、原盤の１回転おきに案内溝とピット列とを
形成し、これにより同心円記録を行うというものであ
る。この場合、光偏向器に回転と同期した鋸歯状波とし
て、瞬時に切換えを行い連続印加することにより１回転
で１トラックとなる。

【０００３】図４（ａ）はこのようにして作製された同
心円の光ディクスの表面状態を示すものであり、図４
（ｂ）はその１回転毎のビームの継ぎ目部１の様子を拡
大して示すものである。このように２ビームを一対とし
て同心円を連続して記録すると、光偏向器の立上りの遅
れ及びオーバーシュートによってその記録された案内溝
及びピット列は０．５μｍ〜３μｍの継ぎ目部１が発生
し、光変調器を組み合わせて記録を行うと図４（ｃ）に
示すように未記録部分２を有するようになり、これによ
り案内溝やピット列の配置の不安定性を生じる結果とな
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような不安定性を
解消するために、ディスク１回転で案内溝を、次の１回
転で送り位置をそれぞれ移動させ、さらに、次の１回転
でピット列を、次の１回転で送り位置をそれぞれ移動さ
せ、これにより１トラックの形成を行うことができ、ピ
ッチ１．６μｍ／周とすれば４回転で１トラックの形成
が可能となるが、しかし、このような場合には記録時間
が多くなる傾向にある。

【０００５】また、２ビームによる記録の場合において
も、ピッチ１．６μｍ／周であれば２回転で１トラック
となるため、光ディスク原盤への記録時間が２倍必要と
なり作業効率が悪くなる。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、レーザ光源から出射されたビームを強度変調、信号
変調した後、対物レンズにより集光して光ディスク原盤
上に照射することにより、案内溝及びピット列の露光を
行う光ディスク原盤露光装置において、前記レーザ光源
から出射されたビームの光路上に光偏向器を配設し、こ
の光偏向器を通過した光路上に前記光ディスク原盤のテ
ーブル移動方向とこの移動方向とは逆方向との相互にビ
ームスポットを変位させ前記案内溝と前記ピット列とを
有する同心円を記録するビーム変位機構を設けた。

【０００７】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、ビーム変位機構は、入射したビームを反
転させる奇数個の反転ミラーを有するようにした。

【０００８】

【作用】請求項１記載の発明においては、ビームスポッ
トをトラックの送り量分だけ戻すことなく光ディスク原
盤にレーザビームを照射できるため、光未露光部及び案
内溝、ピット列への配置に不安定性がなく、しかも、ク
ロストークが少なくトラックピッチと同一の送り速度を
得ることが可能となる。

【０００９】請求項２記載の発明においては、反転ミラ
ーによりビームを反転させることにより、光偏向器への
電圧印加により１つのビームを送り方向と反対方向に戻
した時、他の一つのビームはそれとは逆方向の位置に配
置することが可能となる。

【００１０】

【実施例】本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。ここでは、光ディスク原盤露光装置として、図１に
示すような４条のレーザビームを有する光学系を例にと
って説明する。レーザ光源としてのＡｒ（アルゴン）レ
ーザ３から出射されたビーム４は、ダイクロイックミラ
ー５、ハーフミラー６，７、ミラー８により分岐され、
それぞれビームａ〜ｄとなる。これらビームａ〜ｄは、
強度変調器９ａ〜９ｄ、信号変調器１０ａ〜１０ｄを通
過して、ミラー１１〜１３（ビームａはそのまま通過）
を介して、偏光ビームスプリッタ１４〜１６により合成
される。なお、各ビームの光路中には、後述する反転ミ
ラー２４を通過するための波長板１７や、各ビームに適
性光量が出るように波長板１８が配置されている。

【００１１】そして、それら合成されたビームａ〜ｄ
は、ミラー１９を介して、光偏向器２０に入射する。こ
れにより、ビームａ，ｂはダイクロイックミラー２１を
そのまま通過しさらに偏光ビームスプリッタ２２を経て
対物レンズ２３へと導かれ、一方のビームｃ，ｄはダイ
クロイックミラー２１により反射され、反射ミラー２４
を介して偏光ビームスプリッタ２２でビームａ，ｂと再
び合成され、対物レンズ２３へと導かれる。その後、合
成されたビームａ〜ｄは、対物レンズ２３により集光さ
れ光ディスク原盤２５上に照射されビームスポットを形
成する。この光ディスク原盤２５は、ターンテーブル２
６によりその裏面側が吸着され、その下方のモータ２７
により回転されるようになっている。これにより、光デ
ィスク原盤２５上に所望とする案内溝とピット列とを同
心円状に記録することができる。この場合、ビームａ，
ｂで案内溝とピット列との一対を記録し、ビームｃ，ｄ
で案内溝とピット列との一対を記録する。

【００１２】ここで、光偏向器２０の後段には、ダイク
ロイックミラー２１と、反射ミラー２４と、偏光ビーム
スプリッタ２２とによりなるビーム変位機構２８が配設
されている。また、この場合、反射ミラー２４は、奇数
個（ここでは、１個）配置されるようになっている。

【００１３】このような構成において、図２（ａ）はビ
ームａ，ｂの強度変調器９ａ，９ｂに印加する変調信号
の波形２９を示し、図２（ｂ）はビームｃ，ｄの強度変
調器９ｃ，９ｄに印加する変調信号の波形３０を示し、
図２（ｃ）は光偏向器２０に印加する変調信号の波形３
１を示すものである。これにより、強度変調器９ａ，９
ｂと強度変調器９ｃ，９ｄとは交互に印加され、光偏向
器２０は山形状の波形として連続して印加される。この
ような各印加条件のもとに光偏向器２０を通過したビー
ムａ〜ｄをビーム変位機構２８に導くことにより、光デ
ィスク原盤２５のテーブル移動方向とこの移動方向とは
逆方向との相互にビームスポットを変位させ、案内溝と
ピット列とを有する同心円を記録する。

【００１４】従って、このようなことから、ビームスポ
ットをトラックの送り量分だけ戻すことなく光ディスク
原盤２５にレーザビームを照射できるため、光未露光部
及び案内溝、ピット列への配置に従来のような不安定性
をなくすことができる。しかも、この場合、クロストー
クが少なくトラックピッチと同一の送り速度を得ること
ができ、１．６μｍ／周の送りでの同心円を記録でき、
生産性の高い光ディスクを作製することができる。

【００１５】図３は、光偏向器２０により偏向されたビ
ームが、ビーム変位機構２８に入射する位置関係を示す
ものである。図３（ａ）は図１の構成配置例を示すもの
である。この場合、ビームａ，ｂは光偏向器２０で実線
から破線に偏向され、ダイクロイックミラー２１、偏光
ビームスプリッタ２２を通過して、対物レンズ２３へと
導かれる。一方、ビームｃ，ｄは光偏向器２０で実線か
ら破線に偏向され、ダイクロイックミラー２１で反射さ
れ、１個の反射ミラー２４で偏向方向が反転し、偏光ビ
ームスプリッタ２２で合成される。また、図３（ｂ）は
反射ミラー２４を２個配置した時の例を示すものであ
り、このような偶数個配置した場合には、合成されたビ
ーム位置は反転しない。さらに、図３（ｃ）は図３
（ａ）の応用例であり、反射ミラー２４を奇数個（３
個）配置した時の例を示すものである。この場合にも、
ビームの位置関係を反転させて対物レンズ２３に入射さ
せることができる。

【００１６】従って、このようにビームを反転させる反
転ミラー２４を奇数個有することによって、光偏向器２
０への印加電圧により１つのビームを送り方向と反対方
向に戻した時、もう一方のビームをそれとは逆方向の位
置に配置させることが可能となる。なお、上述した実施
例は４条のビームａ〜ｄを用いた例であったが、この他
に例えば、２条のビームを用いてトラックピッチ１．６
μｍ／周の同心円をビームａとビームｃとによって０．
８μｍ／周の送りで原盤作製を行うようにしてもよい。

【００１７】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、レーザ光源から
出射されたビームを強度変調、信号変調した後、対物レ
ンズにより集光して光ディスク原盤上に照射することに
より、案内溝及びピット列の露光を行う光ディスク原盤
露光装置において、前記レーザ光源から出射されたビー
ムの光路上に光偏向器を配設し、この光偏向器を通過し
た光路上に前記光ディスク原盤のテーブル移動方向とこ
の移動方向とは逆方向との相互にビームスポットを変位
させ前記案内溝と前記ピット列とを有する同心円を記録
するビーム変位機構を設けたので、ビームスポットをト
ラックの送り量分だけ戻すことなく光ディスク原盤にビ
ームを照射できるため、光未露光部及び案内溝、ピット
列への配置に不安定性がなく、しかも、クロストークが
少なくトラックピッチと同一の送り速度を得ることがで
き、これにより生産性の高い光ディスク媒体を作製する
ことができるものである。

【００１８】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、ビーム変位機構は、入射したビームを反転
させる奇数個の反転ミラーを有するようにしたので、光
偏向器への電圧印加により１つのビームを送り方向と反
対方向に戻した時、他の一つのビームをそれとは逆方向
の位置に配置することができ、光ディスク作製の適用範
囲を広げることができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である光ディスク原盤露光装
置を示す構成図である。

【図２】変調信号波形を示す波形図である。

【図３】ビーム偏向された光路状態を示す光路図であ
る。

【図４】従来における同心円の光ディスクの形状を示す
説明図である。

【符号の説明】

３ レーザ光源 ２０ 光偏向器 ２３ 対物レンズ ２４ 反転ミラー ２５ 光ディスク原盤 ２６ テーブル ２８ ビーム変位機構

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光源から出射されたビームを強度
   変調、信号変調した後、対物レンズにより集光して光デ
   ィスク原盤上に照射することにより、案内溝及びピット
   列の露光を行う光ディスク原盤露光装置において、前記
   レーザ光源から出射されたビームの光路上に光偏向器を
   配設し、この光偏向器を通過した光路上に前記光ディス
   ク原盤のテーブル移動方向とこの移動方向とは逆方向と
   の相互にビームスポットを変位させ前記案内溝と前記ピ
   ット列とを有する同心円を記録するビーム変位機構を設
   けたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
2. 【請求項２】 ビーム変位機構は、入射したビームを反
   転させる奇数個の反転ミラーを有することを特徴とする
   請求項１記載の光ディスク原盤露光装置。