JPH06103209B2 - 空気流感知素子 - Google Patents
空気流感知素子Info
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- JPH06103209B2 JPH06103209B2 JP3207822A JP20782291A JPH06103209B2 JP H06103209 B2 JPH06103209 B2 JP H06103209B2 JP 3207822 A JP3207822 A JP 3207822A JP 20782291 A JP20782291 A JP 20782291A JP H06103209 B2 JPH06103209 B2 JP H06103209B2
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- JP
- Japan
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- substrate
- sensing element
- air flow
- heating
- element according
- Prior art date
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/40—Heating elements having the shape of rods or tubes
- H05B3/42—Heating elements having the shape of rods or tubes non-flexible
- H05B3/46—Heating elements having the shape of rods or tubes non-flexible heating conductor mounted on insulating base
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
- G01P5/10—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables
- G01P5/12—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables using variation of resistance of a heated conductor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は空気流量メータのための
感知素子に関する。
感知素子に関する。
【0002】
【従来の技術】自動車に使用する空気流量メータは定温
風速計型式のものが多い。このようなメータにおいて
は、感知素子は周囲の空気温度以上の一定温度差となる
ように電気的に加熱せしめられる。センサのまわりの空
気流により感知素子から熱が対流的に奪われ、その間、
感知素子内を流れる電流は対流により失われた熱と置換
する。空気流量が変化すると、必要な温度を維持するに
要する電流も空気流量の既知の関数として変化する。
風速計型式のものが多い。このようなメータにおいて
は、感知素子は周囲の空気温度以上の一定温度差となる
ように電気的に加熱せしめられる。センサのまわりの空
気流により感知素子から熱が対流的に奪われ、その間、
感知素子内を流れる電流は対流により失われた熱と置換
する。空気流量が変化すると、必要な温度を維持するに
要する電流も空気流量の既知の関数として変化する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】対流による熱損失は唯
一の損失メカニズムではないので、空気測定に不正確さ
が生じてしまう。周囲への熱放射や感知素子の支持体へ
の熱伝導により、熱が感知素子から奪われる。熱放射に
よる熱損失は感知素子の面積の関数であり、感知素子を
極めて小さくすることにより最少化できる。一方、熱伝
導による熱損失は、特にこの熱損失が空気流及び支持構
造体の温度変化に応じて変化するので、このようなメー
タの不正確さの原因となっていた。端部に端子取り付け
部を有する円筒状本体を備えた感知素子の場合、熱は感
知素子から端子取り付け部へ、そして取り付け部を装着
した支持体へ伝達される。空気流量が多い場合は、熱は
対流により端子取り付け部から奪われので、端子取り付
け部は支持体へ熱をさほど伝達しないが、空気流量が少
ない場合は、端子及び支持体が暖まる。従って、感知素
子は低空気流量では有効に大きくなり、空気流の関数に
対する電流は変化してしまう。このため、高空気流量で
の正確な作動のための動的範囲が制限される。この熱特
性により生じるメータの不正確さを回避するためには、
対流による熱損失を考慮するか、このような熱損失を阻
止するのが望ましい。
一の損失メカニズムではないので、空気測定に不正確さ
が生じてしまう。周囲への熱放射や感知素子の支持体へ
の熱伝導により、熱が感知素子から奪われる。熱放射に
よる熱損失は感知素子の面積の関数であり、感知素子を
極めて小さくすることにより最少化できる。一方、熱伝
導による熱損失は、特にこの熱損失が空気流及び支持構
造体の温度変化に応じて変化するので、このようなメー
タの不正確さの原因となっていた。端部に端子取り付け
部を有する円筒状本体を備えた感知素子の場合、熱は感
知素子から端子取り付け部へ、そして取り付け部を装着
した支持体へ伝達される。空気流量が多い場合は、熱は
対流により端子取り付け部から奪われので、端子取り付
け部は支持体へ熱をさほど伝達しないが、空気流量が少
ない場合は、端子及び支持体が暖まる。従って、感知素
子は低空気流量では有効に大きくなり、空気流の関数に
対する電流は変化してしまう。このため、高空気流量で
の正確な作動のための動的範囲が制限される。この熱特
性により生じるメータの不正確さを回避するためには、
対流による熱損失を考慮するか、このような熱損失を阻
止するのが望ましい。
【0004】このような感知素子の重要な特徴はその応
答時間である。空気流又は周囲温度の急激な変化は加熱
電流に迅速に反映させるべきである。感知素子が大きな
質量を有する場合、その温度変化は小さな質量の感知素
子ほど速くはない。感知素子の端子が熱伝導により加熱
せしめられたとき、端子は質量及び応答時間に有効に加
算される。従って、最適な応答時間を得るためにも、感
知素子から端子への熱損失を阻止することが必要とな
る。
答時間である。空気流又は周囲温度の急激な変化は加熱
電流に迅速に反映させるべきである。感知素子が大きな
質量を有する場合、その温度変化は小さな質量の感知素
子ほど速くはない。感知素子の端子が熱伝導により加熱
せしめられたとき、端子は質量及び応答時間に有効に加
算される。従って、最適な応答時間を得るためにも、感
知素子から端子への熱損失を阻止することが必要とな
る。
【0005】このような感知素子の熱特性を制御するこ
とが望ましいことは米国特許第4,587,842号明
細書において認識されている。この米国特許明細書に開
示されているように、ヒータコイルは、大質量の支持体
に巻かれ、その両端で、このヒータコイルと同じ温度に
制御された補助ヒータに結合されている。補助ヒータ
は、コイルから支持体への熱伝達を生じさせず応答時間
を迅速にさせるように、支持体の温度を維持する。
とが望ましいことは米国特許第4,587,842号明
細書において認識されている。この米国特許明細書に開
示されているように、ヒータコイルは、大質量の支持体
に巻かれ、その両端で、このヒータコイルと同じ温度に
制御された補助ヒータに結合されている。補助ヒータ
は、コイルから支持体への熱伝達を生じさせず応答時間
を迅速にさせるように、支持体の温度を維持する。
【0006】米国特許第4,559,814号明細書
は、感知素子のための管状支持体の端部に取り付けた端
子リードの吸熱効果、及び、これに起因する支持体及び
コイルの長さに沿っての温度変化を説明している。支持
体の中央部で抵抗を粗く巻き支持体の両端部で抵抗を密
に巻くことにより、均一な温度が得られる。支持体の端
部においては、抵抗は従来同様に密に巻かれる。この米
国特許明細書は、上記米国特許第4,587,842号
明細書と同様、リード又は端子への熱損失を阻止又は補
償する方法を教示していない。
は、感知素子のための管状支持体の端部に取り付けた端
子リードの吸熱効果、及び、これに起因する支持体及び
コイルの長さに沿っての温度変化を説明している。支持
体の中央部で抵抗を粗く巻き支持体の両端部で抵抗を密
に巻くことにより、均一な温度が得られる。支持体の端
部においては、抵抗は従来同様に密に巻かれる。この米
国特許明細書は、上記米国特許第4,587,842号
明細書と同様、リード又は端子への熱損失を阻止又は補
償する方法を教示していない。
【0007】本発明は改善した感知素子を提供すること
を目的とする。
を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段並びに作用効果】本発明に
よれば、低熱伝導材料でできた基体と;この基体のそれ
ぞれの端部に取り付けた第1及び第2の電気端子と;基
体上に位置すると共に電気端子に電気的に接続してい
て、基体上に加熱区域を提供すると共に加熱区域と各電
気端子との間に隔離区域をも提供するようになった加熱
素子と;を有し、使用時に、加熱素子が加熱区域で基体
を加熱し、隔離区域が加熱された基体を電気端子から隔
離するように作用することを特徴とする空気流感知素子
が提供される。
よれば、低熱伝導材料でできた基体と;この基体のそれ
ぞれの端部に取り付けた第1及び第2の電気端子と;基
体上に位置すると共に電気端子に電気的に接続してい
て、基体上に加熱区域を提供すると共に加熱区域と各電
気端子との間に隔離区域をも提供するようになった加熱
素子と;を有し、使用時に、加熱素子が加熱区域で基体
を加熱し、隔離区域が加熱された基体を電気端子から隔
離するように作用することを特徴とする空気流感知素子
が提供される。
【0009】本発明は、熱伝導による熱損失に起因する
重大な誤差を伴わず、端子又は支持体への熱損失を最少
にする空気流感知素子を提供できる。
重大な誤差を伴わず、端子又は支持体への熱損失を最少
にする空気流感知素子を提供できる。
【0010】
【実施例】高温素子風速計は感知素子のためのホイット
ストーンブリッジ構造をしばしば使用する。図1を参照
すると、ブリッジ10の一方の脚部に流れ感知抵抗Rh
を使用し、このブリッジの他方の脚部に周囲温度感知抵
抗Raを使用することは慣行である。ブリッジの下方ア
ーム部に設けた抵抗12がブリッジ構造を完成し、周囲
温度感知抵抗Raと直列の抵抗14はブリッジのバラン
ス及びキャリブレーション(校正)に使用する。
ストーンブリッジ構造をしばしば使用する。図1を参照
すると、ブリッジ10の一方の脚部に流れ感知抵抗Rh
を使用し、このブリッジの他方の脚部に周囲温度感知抵
抗Raを使用することは慣行である。ブリッジの下方ア
ーム部に設けた抵抗12がブリッジ構造を完成し、周囲
温度感知抵抗Raと直列の抵抗14はブリッジのバラン
ス及びキャリブレーション(校正)に使用する。
【0011】差動増幅器16の入力はブリッジの出力端
子18に接続し、出力はブリッジの入力端子20へ制御
電圧Vbを供給する。
子18に接続し、出力はブリッジの入力端子20へ制御
電圧Vbを供給する。
【0012】使用において、感知抵抗Rh、Raは測定
すべき空気流中にさらされる。流れ感知抵抗Rhを通っ
て流れる電流がこの抵抗を加熱してその抵抗値を増大さ
せ、この抵抗を通過する空気がこの抵抗から熱を奪って
これを冷却する。ブリッジの値は、流れ感知抵抗Rhが
周囲温度以上の所定の温度差になったときにブリッジが
バランスするように、選定してある。
すべき空気流中にさらされる。流れ感知抵抗Rhを通っ
て流れる電流がこの抵抗を加熱してその抵抗値を増大さ
せ、この抵抗を通過する空気がこの抵抗から熱を奪って
これを冷却する。ブリッジの値は、流れ感知抵抗Rhが
周囲温度以上の所定の温度差になったときにブリッジが
バランスするように、選定してある。
【0013】空気流変化が抵抗Rhの抵抗値を変化させ
る傾向を有するので、ブリッジはアンバランスになる傾
向があり、増幅器16は供給されたブリッジ電圧を修正
して、抵抗の温度差従ってブリッジのバランスを回復さ
せる。それ故、供給されたブリッジ電圧Vbは空気流に
応じて変化し、空気流量の測定に使用できる。
る傾向を有するので、ブリッジはアンバランスになる傾
向があり、増幅器16は供給されたブリッジ電圧を修正
して、抵抗の温度差従ってブリッジのバランスを回復さ
せる。それ故、供給されたブリッジ電圧Vbは空気流に
応じて変化し、空気流量の測定に使用できる。
【0014】流れ感知素子即ち加熱される抵抗Rhの第
1実施例を図2に示す。低熱伝導係数を有する管状即ち
中空の円筒状基体22の各端部には、導電性端部キャッ
プ即ち端子24が接着固定してある。端子24は流れ感
知抵抗Rhの外部へ延びるリード26を有し、これらの
リードは、抵抗Rhに電流を供給するための回路コネク
タでもある支持体28に結合される。
1実施例を図2に示す。低熱伝導係数を有する管状即ち
中空の円筒状基体22の各端部には、導電性端部キャッ
プ即ち端子24が接着固定してある。端子24は流れ感
知抵抗Rhの外部へ延びるリード26を有し、これらの
リードは、抵抗Rhに電流を供給するための回路コネク
タでもある支持体28に結合される。
【0015】加熱コイル30は加熱区域34を提供する
ように基体22の中央部で密に巻かれた抵抗性ワイヤ3
2を有する。加熱区域34の両側で、ワイヤは基体22
のまわりに粗く(大きなピッチで)巻かれ、そして端子
24のまわりに巻かれた端部巻き部分35で終端し、加
熱区域34と端子24との間に隔離区域36を形成す
る。代わりに、端部巻き部分35は端子24の下側で基
体22のまわりに巻いてもよい。
ように基体22の中央部で密に巻かれた抵抗性ワイヤ3
2を有する。加熱区域34の両側で、ワイヤは基体22
のまわりに粗く(大きなピッチで)巻かれ、そして端子
24のまわりに巻かれた端部巻き部分35で終端し、加
熱区域34と端子24との間に隔離区域36を形成す
る。代わりに、端部巻き部分35は端子24の下側で基
体22のまわりに巻いてもよい。
【0016】基体22が低熱伝導係数を有するため、隔
離区域36は加熱区域34から端子24及び支持体28
への顕著な熱の流れを阻止する。隔離区域36内の数個
のワイヤ巻き部分が基体22を殆ど加熱しないので、こ
の区域における熱損失は最少となる。従って、端子24
の吸熱源効果は相殺され、低流量でのメータ誤差を大幅
に減少又は排除できる。
離区域36は加熱区域34から端子24及び支持体28
への顕著な熱の流れを阻止する。隔離区域36内の数個
のワイヤ巻き部分が基体22を殆ど加熱しないので、こ
の区域における熱損失は最少となる。従って、端子24
の吸熱源効果は相殺され、低流量でのメータ誤差を大幅
に減少又は排除できる。
【0017】基体の1つの隔離区域36の軸方向断面を
示す図3を参照して熱の流れを分析する。この断面38
は長さL、表面積As及び横断面積Acを有する。熱
は、量Q1で断面内へ軸方向に伝達され、量Q2で断面
から対流放出され、量Q3で断面38から軸方向外部へ
伝達される。従って、Q1=Q2+Q3の関係が成立す
る。熱量Q1が入る端部での断面38の温度はT1であ
り、反対側端部での温度はT2である。断面の平均温度
をTmとし、空気の温度をTaとする。hを空気流量の
関数とすれば、Q2=hAs(Tm−Ta)なる関係が
成立する。
示す図3を参照して熱の流れを分析する。この断面38
は長さL、表面積As及び横断面積Acを有する。熱
は、量Q1で断面内へ軸方向に伝達され、量Q2で断面
から対流放出され、量Q3で断面38から軸方向外部へ
伝達される。従って、Q1=Q2+Q3の関係が成立す
る。熱量Q1が入る端部での断面38の温度はT1であ
り、反対側端部での温度はT2である。断面の平均温度
をTmとし、空気の温度をTaとする。hを空気流量の
関数とすれば、Q2=hAs(Tm−Ta)なる関係が
成立する。
【0018】基体材料の熱伝導係数をkとすれば、Q3
=kAc(T1−T2)/2L−Q2なる関係が成立す
ることが分かる。従って、端子の方への熱量Q3を減少
させるように横断面積Acを減少させることができる。
代わりに、熱伝導係数kを減少させても、長さLを増大
させてもよい。
=kAc(T1−T2)/2L−Q2なる関係が成立す
ることが分かる。従って、端子の方への熱量Q3を減少
させるように横断面積Acを減少させることができる。
代わりに、熱伝導係数kを減少させても、長さLを増大
させてもよい。
【0019】この実施例において、低い熱伝導係数は基
体として溶融シリカを使用することにより得られる。溶
融シリカは、373Kで1.7W/mK(メートル・ケ
ルビン当りのワット数)の熱伝達係数を有する。これに
対し、99.5%アルミナの場合は、373Kで29.
0W/mKである。シリカは湿気が侵入した場合に破損
を招くような微細な割れ目を有するので、0.163W
/mKの熱伝導係数を有するポリアミドのコーティング
で割れ目をシールすべきである。
体として溶融シリカを使用することにより得られる。溶
融シリカは、373Kで1.7W/mK(メートル・ケ
ルビン当りのワット数)の熱伝達係数を有する。これに
対し、99.5%アルミナの場合は、373Kで29.
0W/mKである。シリカは湿気が侵入した場合に破損
を招くような微細な割れ目を有するので、0.163W
/mKの熱伝導係数を有するポリアミドのコーティング
で割れ目をシールすべきである。
【0020】横断面は、図2に示すような管状基体を使
用することにより、最小化できる。例えば、管の直径は
0.76mmであり、肉厚は0.05mmであり、長さ
は17.1mmである。例えば、加熱区域の長さは9.
7mmであり、各隔離区域の長さは1.7mmである。
ワイヤはニッケル合金でできており、0.005mmの
ポリアミドコーティングを伴った0.076mmの直径
を有する。各端子24は管の端部を2mmだけ覆う端部
キャップの形をしている。加熱素子は作動温度で3.7
5オームの抵抗を有する。
用することにより、最小化できる。例えば、管の直径は
0.76mmであり、肉厚は0.05mmであり、長さ
は17.1mmである。例えば、加熱区域の長さは9.
7mmであり、各隔離区域の長さは1.7mmである。
ワイヤはニッケル合金でできており、0.005mmの
ポリアミドコーティングを伴った0.076mmの直径
を有する。各端子24は管の端部を2mmだけ覆う端部
キャップの形をしている。加熱素子は作動温度で3.7
5オームの抵抗を有する。
【0021】管状の基体はセンサに対する迅速応答を補
助するような小さな熱断面及び小さな質量を有するが、
図4に示すような中実の円柱形ロッドを使用してもよ
い。低熱伝導係数のため、端子に対する熱損失は許容で
きるほどに低くすることができる。応答時間は管状基体
の場合ほど速くはないが、ロッドの方が強度は大きい。
この例においては、溶融シリカ製のロッドは0.03m
mの厚さのポリアミドコーティングを伴った0.69m
mの直径を有し、その長さは10mmである。加熱区域
の長さは3.7mmであり、各隔離区域36の長さは2
mmであり、端部は約2mmの長さを有する。ワイヤは
ニッケル合金でできており、0.005mmのポリマー
コーティングを伴った0.033mmの直径を有する。
各端部端子24は、ロッド22及びロッドの端部領域に
おけるワイヤ巻き部分35を覆う0.1mmの厚さのは
んだのコーティングを有する。熱感知抵抗は25オーム
の抵抗値を有する。
助するような小さな熱断面及び小さな質量を有するが、
図4に示すような中実の円柱形ロッドを使用してもよ
い。低熱伝導係数のため、端子に対する熱損失は許容で
きるほどに低くすることができる。応答時間は管状基体
の場合ほど速くはないが、ロッドの方が強度は大きい。
この例においては、溶融シリカ製のロッドは0.03m
mの厚さのポリアミドコーティングを伴った0.69m
mの直径を有し、その長さは10mmである。加熱区域
の長さは3.7mmであり、各隔離区域36の長さは2
mmであり、端部は約2mmの長さを有する。ワイヤは
ニッケル合金でできており、0.005mmのポリマー
コーティングを伴った0.033mmの直径を有する。
各端部端子24は、ロッド22及びロッドの端部領域に
おけるワイヤ巻き部分35を覆う0.1mmの厚さのは
んだのコーティングを有する。熱感知抵抗は25オーム
の抵抗値を有する。
【0022】図5に示す他の実施例では、加熱区域34
の密に巻かれたコイル30は少なくとも隔離区域36を
通して延び、端子24′により覆われる領域まで延びて
もよい。コイル30による隔離区域36の加熱を阻止す
るため、各箔状の端子24′は基体22のまわりに部分
的に巻かれ端部巻き部分にはんだ付けされた半円筒状部
分39を有する。また、各端子24′は端子部分39か
らコイル30上を加熱区域34内へ延びるフィンガ状の
箔分路40をも有する。分路40は隔離区域36内の巻
き部分をバイパスし、このため、隔離区域の加熱は生じ
ない。成分の1つとしてニッケルを含む分路40は低電
気抵抗を有するが、端子24′に対する熱損失を最少化
するのに十分低い熱伝導性を有する。
の密に巻かれたコイル30は少なくとも隔離区域36を
通して延び、端子24′により覆われる領域まで延びて
もよい。コイル30による隔離区域36の加熱を阻止す
るため、各箔状の端子24′は基体22のまわりに部分
的に巻かれ端部巻き部分にはんだ付けされた半円筒状部
分39を有する。また、各端子24′は端子部分39か
らコイル30上を加熱区域34内へ延びるフィンガ状の
箔分路40をも有する。分路40は隔離区域36内の巻
き部分をバイパスし、このため、隔離区域の加熱は生じ
ない。成分の1つとしてニッケルを含む分路40は低電
気抵抗を有するが、端子24′に対する熱損失を最少化
するのに十分低い熱伝導性を有する。
【0023】端子24′の両側に位置した突起41はリ
ード42まで延びてこれに溶着されている。
ード42まで延びてこれに溶着されている。
【0024】図6は他の実施例を示し、この実施例にお
いては、コイル30の代わりに抵抗層44を使用し、こ
の層は基体22上に設けたプラチナフィルムでよい。加
熱区域34において、層44は、例えばレーザーによ
り、らせんパターン46に切断されて、所望の高抵抗を
提供するが、隔離区域36においては、層44は中実
で、所望の低抵抗を提供する。
いては、コイル30の代わりに抵抗層44を使用し、こ
の層は基体22上に設けたプラチナフィルムでよい。加
熱区域34において、層44は、例えばレーザーによ
り、らせんパターン46に切断されて、所望の高抵抗を
提供するが、隔離区域36においては、層44は中実
で、所望の低抵抗を提供する。
【図1】従来の空気流メータ回路の概略回路図である。
【図2】本発明の1実施例に係る空気流感知素子の断面
図である。
図である。
【図3】基体内の熱の流れを示す、図2の空気流感知素
子の一部の断面図である。
子の一部の断面図である。
【図4】本発明の第2実施例に係る空気流感知素子の部
分断面図である。
分断面図である。
【図5】本発明の第3実施例に係る空気流感知素子の部
分斜視図である。
分斜視図である。
【図6】本発明の第4実施例に係る空気流感知素子の部
分側面図である。
分側面図である。
22 基体 24 電気端子 30 加熱素子 34 加熱区域 35 端部巻き部分 36 隔離区域 40 分路 44 抵抗層 46 らせんパターン
Claims (11)
- 【請求項1】 低熱伝導材料でできた基体(22)と;
この基体のそれぞれの端部に取り付けた第1及び第2の
電気端子(24)と;前記基体上に位置すると共に前記
電気端子に電気的に接続していて、同基体上に加熱区域
(34)を提供すると共に同加熱区域と前記各電気端子
との間に隔離区域(36)をも提供するようになった加
熱素子(30)と;を有する空気流感知素子において、
使用時に、前記加熱素子が前記加熱区域で前記基体を加
熱し、前記隔離区域が加熱された基体を前記電気端子か
ら隔離するように作用することを特徴とする空気流感知
素子。 - 【請求項2】 前記加熱素子(30)が第1連結部分
(36)及び第2連結部分(35)を有し、これら各連
結部分が対応する前記隔離区域と前記電気端子とを橋渡
して前記加熱素子を同電気端子に接続することを特徴と
する請求項1の空気流感知素子。 - 【請求項3】 前記加熱素子(30)が、前記加熱区域
で前記基体に密に巻かれた部分(34)と前記隔離区域
で該基体に粗く巻かれた部分(36)とを有するワイヤ
コイル(30)を具備することを特徴とする請求項2の
空気流感知素子。 - 【請求項4】 前記隔離区域内の前記加熱素子の部分を
電気的に短絡させる手段(40)を更に備えたことを特
徴とする請求項2又は3の空気流感知素子。 - 【請求項5】 前記加熱素子が前記基体を覆い前記各電
気端子(24)に連結した抵抗性フィルム(44、4
6)を有し、同抵抗性フィルムが、前記加熱区域におい
て実質上らせん状の高抵抗部分(46)を有すると共
に、前記各隔離区域において低抵抗部分(44)を有す
ることを特徴とする請求項1又は2の空気流感知素子。 - 【請求項6】 前記基体が実質上円筒状であることを特
徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の空気流感
知素子。 - 【請求項7】 前記基体が溶融シリカ製のロッドででき
ていることを特徴とする請求項6の空気流感知素子。 - 【請求項8】 前記基体が溶融シリカ製の管でできてい
ることを特徴とする請求項6の空気流感知素子。 - 【請求項9】 前記基体が前記電気端子に機械的に連結
され、使用時に、同電気端子により支持されるようにな
っていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか
に記載の空気流感知素子。 - 【請求項10】 前記電気端子が吸熱源として作用する
ことを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の
空気流感知素子。 - 【請求項11】 前記基体と前記加熱素子とのうちの一
方又は両方をポリアミドでコーティングしたことを特徴
とする請求項1ないし10のいずれかに記載の空気流感
知素子。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/570,107 US5094105A (en) | 1990-08-20 | 1990-08-20 | Optimized convection based mass airflow sensor |
US570107 | 1995-12-11 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04254716A JPH04254716A (ja) | 1992-09-10 |
JPH06103209B2 true JPH06103209B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=24278253
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3207822A Expired - Lifetime JPH06103209B2 (ja) | 1990-08-20 | 1991-08-20 | 空気流感知素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5094105A (ja) |
JP (1) | JPH06103209B2 (ja) |
DE (1) | DE4125380A1 (ja) |
GB (1) | GB2248114A (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2643665B2 (ja) * | 1991-06-13 | 1997-08-20 | 日本エム・ケー・エス 株式会社 | 流量センサ |
DE4219551C2 (de) * | 1991-06-13 | 1996-04-18 | Mks Japan Inc | Massenströmungssensor |
JPH05215583A (ja) * | 1992-02-04 | 1993-08-24 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱式流量センサ |
JP2842729B2 (ja) * | 1992-04-30 | 1999-01-06 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
JPH0674804A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱式流量センサ |
JP3493116B2 (ja) * | 1996-05-24 | 2004-02-03 | 株式会社リコー | 流量測定装置及び流量測定方法 |
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JP2007248136A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Hitachi Ltd | 熱式ガス流量測定装置 |
US10151772B2 (en) | 2015-01-23 | 2018-12-11 | Embry-Riddle Aeronautical Univeristy, Inc. | Hot wire anemometer |
DE102017116408A1 (de) | 2017-07-20 | 2019-01-24 | Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co. Kg | Thermisches Durchflussmessgerät |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4279147A (en) * | 1980-01-10 | 1981-07-21 | Djorup Robert Sonny | Directional heat loss anemometer transducer |
JPS56106159A (en) * | 1980-01-28 | 1981-08-24 | Hitachi Ltd | Production of sensor for detecting flow speed and flow rate |
JPS5826221A (ja) * | 1981-08-10 | 1983-02-16 | Hitachi Ltd | 内燃機関の空気流量測定装置 |
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JPS59162413A (ja) * | 1983-03-07 | 1984-09-13 | Hitachi Ltd | 熱式流量計 |
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-
1990
- 1990-08-20 US US07/570,107 patent/US5094105A/en not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-07-16 GB GB9115319A patent/GB2248114A/en not_active Withdrawn
- 1991-07-31 DE DE4125380A patent/DE4125380A1/de not_active Ceased
- 1991-08-20 JP JP3207822A patent/JPH06103209B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4125380A1 (de) | 1992-02-27 |
GB9115319D0 (en) | 1991-08-28 |
GB2248114A (en) | 1992-03-25 |
JPH04254716A (ja) | 1992-09-10 |
US5094105A (en) | 1992-03-10 |
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