JPH06102076A - 磁性液用コリオリ質量流量計とそれを用いた磁性液の送液設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁性液用コリオリ質量流量計とそれを用いた
磁性液の送液設備を提供することである。 【構成】 少なくともＵ字導管、往復動部材及び検知手
段を備えてなるコリオリ質量流量計において、該Ｕ字導
管の内壁の中心線平均粗さ（Ｒａ）が１．０μｍ以下
（カットオフ値０．２５ｍｍ）であることを特徴とする
磁性液用コリオリ質量流量計及び、貯蔵タンク、前記コ
リオリ質量流量計及び塗布ヘッドがこの順に送液配管に
より連結されている磁性液の送液設備において、該コリ
オリ質量流量計のＵ字導管の内壁の中心線平均粗さ（Ｒ
ａ）が１．０μｍ以下であって、該貯蔵タンクから該塗
布ヘッドに至るまでの前記磁性液が接触する各送液設備
の内壁の中心線平均粗さ（Ｒａ）が前記コリオリ質量流
量計のＵ字導管の内壁の粗さより小さいことを特徴とす
る磁性液の送液設備。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、強磁性金属粉末を含む
磁性液用コリオリ質量流量計と前記コリオリ質量流量計
を含む磁性液の送液設備に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】各種磁気記録媒体に用いられる強磁性材
料としては、強磁性酸化鉄や酸化クロム等の金属酸化物
を主体とする強磁性粉末が使用されていたが、最近では
更に高密度記録化、短波長記録のために鉄やコバルト等
を主体とする強磁性金属粉末が多く使用されている。こ
の強磁性金属粉末を含む磁性液は、磁性液製造ラインで
製造されてから、送液設備を通って塗布工程に給送され
る。通常、送液設備では、定量ポンプにより磁性液や添
加剤等が送り出され、一定の混合が行われる。その際、
流量は流量計によって検知され、その測定値を定量ポン
プにフイードバックしながら混合が制御されるので、流
量計は重要な役割を持っている。

【０００３】送液設備で使用される流量計には、容積流
量計、電磁流量計、超音波流量計、質量流量計等があ
る。容積流量計と超音波流量計は、測定路の中に機械的
検出部や凹部を設けて流量を測定するものであり、磁性
液に通常、結合剤が含有されているため、高粘度でしか
も強磁性材料はその磁力により凝集し易く且つ付着して
くる為、耐久性及び保守の点から不適当である。また、
電磁流量計は起電力を検出して流量を測定するものであ
るが、磁性液は非水系の絶縁性材料の分散液であるため
に電気伝導度が極めて小さいので使用することができな
い。

【０００４】質量流量計は、コリオリの力にもとずいて
質量流量を測定し、固有周波数にもとずいて密度を測定
するものである。例えば、特公昭６０−３４６８３号公
報には、コリオリ質量流量計が開示されており、Ｕ字導
管を片持ばり状に支持部材に取り付け且つこのＵ字導管
を往復動部材で一定振動させつつ流体を流すとＵ字導管
はコリオリの力によって捩れが発生し、この捩れ量が中
を通過する流体の質量流量に比例する事を利用した質量
流量計である。上記の各種流量計の中でもコリオリ質量
流量計は測定精度、保守等に優れており、Ｕ字導管の外
で測定できるので液の流れを乱すことがなく、高粘度で
凝集を起こし易いチクソトロピー性の大きな磁性液の流
量測定並びに流量制御に好適であった。

【０００５】ところが、前記のように高密度記録化の要
求にともなって、強磁性金属粉末が磁性液に使用される
ようになるとその磁力が大きいために磁性液は送液設備
の内壁に付着し易く、貯蔵タンク、コリオリ質量流量計
を経て塗布ヘッドに至るまでに送液設備の洗浄をひんぱ
んに行わねばならなかった。特に送液設備のなかでもコ
リオリ質量流量計のＵ字導管の部分では流路の曲がりが
大きいので磁性液を付着し易く、付着によりＵ字導管の
質量が変化してしまい、その結果、固有周波数が変動
し、流量が適正に計測できなくなることがあった。そし
てその計測値がそのまま定量ポンプにフイードバックさ
れて塗布ヘッドの磁性液の供給を変動させ、厚みムラな
どの塗布精度の劣化をきたした。またＵ字導管等の内壁
に付着しその後硬化した異物が内壁から脱落し濾過装置
を通過して塗布ヘッドから出ることにより、磁気テープ
製品にドロップアウトの増大等の問題が生じることもあ
った。さらに、一度付着すると、有機溶剤に浸しても容
易に除去できず、質量流量計を解体し、Ｕ字導管をブラ
シ等で機械的に削り取る方法で除去することすらあっ
た。尚、Ｕ字導管の内壁をコーティングして磁性液の付
着を防止する方法もあるが、この方法では固有振動数が
変化するためＵ字導管の素材だけで構成する必要があり
採用できなかった。

【０００６】

【発明が解決しょうとする課題】本発明は、上記従来技
術の問題点に鑑みてなされたものであり、磁性液の流量
が精度よく測定できる磁性液用コリオリ質量流量計及び
送液設備の内壁への付着を大幅に減少させた磁性液の送
液設備を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記発明の目的は、少な
くともＵ字導管、往復動部材及び検知手段を備えてなる
コリオリ質量流量計において、該Ｕ字導管の内壁の中心
線平均粗さ（Ｒａ）が１．０μｍ以下（カットオフ値
０．２５ｍｍ）であることを特徴とする磁性液用コリオ
リ質量流量計及び貯蔵タンク、コリオリ質量流量計及び
塗布ヘッドがこの順に送液配管により連結されている磁
性液の送液設備において、該コリオリ質量流量計のＵ字
導管の内壁の中心線平均粗さ（Ｒａ）が１．０μｍ以下
（カットオフ値０．２５ｍｍ）であって、該貯蔵タンク
から該塗布ヘッドに至るまでに前記磁性液が接触する送
液設備の内壁の中心線平均粗さ（Ｒａ）が前記コリオリ
質量流量計のＵ字導管の内壁の粗さより小さいことを特
徴とする磁性液の送液設備により達成される。

【０００８】本発明の磁性液用コリオリ質量流量計にお
けるＵ字導管の内壁の粗さが１．０μｍ以下とすること
により磁性液の付着が大幅に減少し流量検出部であるＵ
字導管自体の質量の変動を防止できるので流量精度が一
桁以上も向上し、厚みムラ等の塗布精度が向上する。前
記Ｕ字導管の内壁の粗さを１．０μｍ以下とする方法に
は各種の表面加工方法が考えられるが、前記Ｕ字導管が
細い湾曲形状であることから、電解研磨が最も好ましい
方法である。この電解研磨は微小突起を選択的になくし
鏡面とする加工で云わゆる、つやだしを目的とする加工
であり、この点でも本発明の磁性液用コリオリ質量流量
計で使用される特に磁力の強い強磁性金属粉末を用いた
凝集を起こし易い磁性液に対して効果がある。

【０００９】以下、図面を参照しつつ、本発明の磁性液
用コリオリ質量流量計を詳細に説明する。この磁性液用
コリオリ質量流量計は、磁性液が流れる流量検出部と検
出量を電気変換して流量に換算する遠隔電子計測装置に
より構成されている。

【００１０】図１は本発明の磁性液用コリオリ質量流量
計の流量検出部の一例を表す概略斜視図である。磁性液
が通過する流量検出部１は、支持部材３にＵ字導管２の
二つの開端付近の近傍を固定し、Ｕ字導管２を固有周波
数で一定振幅させるため保持板５に保持された往復動部
材４をＵ字導管２と連結し、振動しているＵ字導管２の
中を流れる流体によって生ずる捩れ量を検出する為の左
右一対の検知手段６ａ、６ｂが設けられ、磁性液をＵ字
導管２の入口７から出口８へと通過するように構成され
ている。磁性液は流量検出部１の入口７から矢印１０の
方向に入り、振動しているＵ字導管２の中を通過しっ
つ、Ｕ字導管２に捩りを生じさせながら出口８から矢印
１１の方向に流れて行く。Ｕ字導管２は湾曲形状の連続
したＵ字形の形状をしており、往復動部材４により支持
部材３を基点として丁度音叉が振動するように固有周波
数で一定振幅させられている。往復動部材４は電磁オシ
レーターが通常使用され、往復動部材４から出る振動は
保持板５を通じてＵ字導管２に伝達される。また図１に
示していないが遠隔電子計測装置内の駆動回路により電
磁石を駆動して電磁オシレーターは振動を発生する。Ｕ
字導管２の左右に設置され支持壁９に固定された一対の
検知手段６ａ、６ｂは電磁ピックアップを一般的に使用
し磁性液の流量に比例するＵ字導管２の捩れ量を計測
し、その値を電圧に換算する。図１には示していない
が、左右一対の検知手段６ａ、６ｂから発生した電圧の
電位差は遠隔電子計測装置により増幅、積算、指示、記
録、調整等が行われる。

【００１１】以上のような構造を有する本発明の磁性液
用コリオリ質量流量計におけるＵ字導管の内壁の中心線
平均粗さ（Ｒａ）は１．０μｍ以下（カットオフ値０．
２５ｍｍ）であり、好ましくは０．７μｍ以下である。
またこの内壁の粗さ加工は導管の内壁という形状の制約
があるため、例えば電解研磨で実施可能である。そして
内壁の中心線平均粗さ（Ｒａ）が１．０μｍを越えると
内壁表面の微細な凹凸に磁性液が付着し始めＵ字導管の
質量が変わるので好ましくない。

【００１２】従来のコリオリ質量流量計に使用されてい
るＵ字導管の内壁の粗さは特に磁性液用として特別加工
されたものでなく、ＪＩＳ Ｇ３４４７で規定されてい
る４００番の研磨仕上げのＳＵＳ３１６Ｌを使用してお
り、その実測値は１．５〜２．０μｍであり、磁性液の
付着に対しては不充分な粗さであった。

【００１３】本発明の磁性液用コリオリ質量流量計にお
けるＵ字導管の材料は、ベリリュウム、銅、なましたア
ルミニュウム、ステンレスのような弾性を持つ管状材料
で作るのがよく、望ましくは、ステンレスである。尚、
Ｕ字導管は外部からの振動による影響を防止するため二
重の平行なＵ字導管とし流入する磁性液を均等に二分し
てＵ字導管に流しても良い。

【００１４】本発明の磁性液の送液設備としては、貯蔵
タンク、攪拌装置、定量ポンプ、コリオリ質量流量計、
送液配管、混合機、濾過装置、塗布ヘッド等があり、こ
れらの内部を通過する磁性液が直接付着する内壁の中心
線平均粗さ（Ｒａ）はコリオリ質量流量計のＵ字導管の
内壁の粗さより小さいことである。そして送液設備にお
いて磁性液が内壁に付着した後、付着した物が脱落する
と、塗布ヘッド直前の濾過装置のフイルターの目詰まり
が多くなりフイルターの交換頻度が増えたり、たまたま
濾過装置を通過して非磁性支持体上に塗布されてしまう
とドロップアウトの増加等の磁気テープの品質不良が生
じることもあった。この為、送液設備の内壁においても
コリオリ質量流量計のＵ字導管の内壁と同様、重要な問
題であり、この問題は送液設備の内壁の粗さを制御する
ことにより可能なことが分かった。さらに、この内壁の
中心線平均粗さの上限値はコリオリ質量流量計のＵ字導
管の内壁の粗さを基準にすれば良いことが分かった。前
述のＵ字導管の内壁の粗さと同様に送液配管は電解研磨
により実施でき、送液配管以外の送液設備においては機
械研磨等で実施可能である。

【００１５】本発明における磁性液の送液設備の一例を
ブロック図である図２により詳細に説明する。強磁性材
料を結合剤中に分散させて成る磁性液１２は、送液配管
１３ａを通過して貯蔵タンク１４ａに貯蔵され、攪拌装
置１５ａにより強磁性材料が凝集しないように攪拌され
る。一方、結合剤は、貯蔵タンク１４ｂに貯蔵され、必
要に応じて攪拌装置１５ｂにより攪拌される。前記磁性
液１２と結合剤は、各々の送液配管１３ｂ、１３ｃ、を
通過して各々の定量ポンプ１６ａ、１６ｂ、に送液さ
れ、各々の送液配管１３ｄ、１３ｅを通過して、各々の
コリオリ質量流量計１−１ａ、１−１ｂのＵ字導管を通
過して磁性液の流量が測定される。ついでこれら成分は
各々の送液配管１３ｆ、１３ｇを経て必要に応じて設け
られた混合機１７で混合され、送液配管１３ｈを通過し
バッファタンク１８に一次的に貯蔵される。該バッファ
タンク１８内でこれらの成分は攪拌装置１５ｃにより均
一に混合され、送液配管１３ｉを経て定量ポンプ１６ｃ
から送液配管１３ｊを通過しコリオリ質量流量計１−１
ｃ、送液配管１３ｋ、濾過装置１９を経て、送液配管１
３ｌ、塗布ヘッド２０に連続的に供給される。図２に示
していないが、潤滑剤、研磨材、帯電防止剤等の添加剤
は、前述の結合剤の送液設備と同様に必要に応じて本発
明の送液設備に追加してもよい。以上の工程に於いて、
各コリオリ質量流量計１−１ａ、１−１ｂ、１−１ｃ、
の流量は定量ポンプ１６ａ、１６ｂ、１６ｃにフイード
バック（図２の矢印で示す方向）され磁性液の流量が制
御される。なお以降の工程は図２に示していないが塗布
工程に入り、塗布ヘッドから出る磁性液は非磁性支持体
上に塗布され所定の幅にスリットされて磁気テープが製
造される。

【００１６】本発明の送液設備における塗布ヘッドは、
スロット先端から磁性液を連続的に送り出すエクストル
ージョン型塗布ヘッドであり、従来公知の他の塗布方式
での送液設備にも使用できる。

【００１７】本発明の磁性液用コリオリ質量流量計及び
磁性液の送液設備で給送される磁性液は、強磁性材料、
結合剤を主体とするものであり、さらに添加剤（例えば
潤滑剤、研磨材、帯電防止剤等）を有機溶剤により混連
分散して得られるものである。強磁性微粉末には、強磁
性酸化鉄微粉末、Ｃｏドープの強磁性酸化鉄微粉末、強
磁性二酸化クロム微粉末、強磁性合金粉末バリウムフェ
ライト等があり、強磁性金属粉末には、主にＦｅ、Ｃ
ｏ、Ｎｉ等よりなる金属あるいは合金微粉末等の従来公
知の各種強磁性金属粉末を挙げることが出来る。

【００１８】本発明の磁性液用コリオリ質量流量計及び
それを用いた磁性液の送液設備は、磁性液の強磁性材料
が強磁性金属粉末であるとその効果が有効に発揮され
る。すなわち、従来の強磁性材料の抗磁力は通常３００
〜８００Ｏｅ程度の比較的磁力が小さかったが、強磁性
金属粉末の抗磁力は一般に１０００〜１８００Ｏｅと磁
力が大きくなり粉末粒子同志が凝集して内壁に付着し易
かったからである。

【００１９】本発明の磁性液用コリオリ質量流量計及び
それを用いた磁性液の送液設備において磁性液に使用さ
れる強磁性金属粉末としては、その粒子サイズは、望ま
しくは、ＢＥＴ法による比表面積が３０〜６０ｍ²／ｇ
であって、Ｘ線回折法から求められる結晶粒子サイズが
１００〜３００オングストロームである。その粒子の針
状比（平均粒子長／平均幅）は５以上であることが望ま
しい。また強磁性金属粉末を含む磁性液の粘度として
は、１５０〜２００ポイズが望ましい。

【００２０】本発明の磁性液用コリオリ質量流量計及び
それを用いた磁性液の送液設備において磁性液に使用さ
れる結合剤は、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、反応型樹
脂等、特に制限なく従来公知の種々のものを使用でき
る。

【００２１】本発明の磁性液用コリオリ質量流量計及び
それを用いた磁性液の送液設備において磁性液に使用さ
れる溶媒は、有機溶剤が望ましく、任意の比率で混合使
用することができる。以下にその具体例を示すと、アセ
トン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等
のケトン系；メタノール、エタノール、プロパノール等
のアルコール系あるいは従来公知の各種有機溶剤が使用
できる。

【００２２】前記強磁性材料、結合剤、添加剤、有機溶
媒等からなる磁性液の作製における分散、混合の方法は
任意であり、従来公知の方法が適用できる。例えば、磁
性液を幾つかの組成物に分けた後で混合することが出来
る。混練分散に当たっては各種の混練機が使用される。
例えば、二本ロールミル、三本ロールミル、ボールミ
ル、ペブルミル、トロンミル、サンドグラインダー、ゼ
グバリ（Ｓｚｅｇｖａｒｉ）、アトライター、高速イン
ペラー分散機、高速ストーンミル、高速衝撃ミル、ディ
スパー、ニーダー、高速ミキサー、ホモジナイザー、超
音波分散機などを用いることができる。

【００２３】

【実施例】以下に示す実施例及び比較例において、
「部」との表現は特に制限のない場合には「重量部」を
表すものである。 （実施例１）図２の磁性液の送液設備において磁性液用
コリオリ質量流量計のＵ字導管の内壁は次に述べる処理
行い、送液設備に流す磁性液は下記の組成物を使用し
た。前記Ｕ字導管の内壁の処理は電解研磨を行い、電解
研磨後のその内壁の中心線平均粗さが、東京精密（株）
製サーフコム卓上バイソレーターを使用して、０．７μ
ｍ（カットオフ値０．２５ｍｍ）とした。尚、Ｕ字導管
の材料にはＳＵＳ３１６Ｌのステンレス管を使用した。 〈磁性液用組成物〉 強磁性金属粉末 １００部 結合剤樹脂 スルホン酸基含有塩化ビニル系樹脂 １２部 スルホン酸基含有ポリウレタン樹脂 ８部 α−アルミナ（平均粒子径０．２μｍ） １０部 カーボンブラック（平均粒子径０．０３μｍ） １部 メチルエチルケトン ８０部 シクロヘキサノン ８０部 トルエン ４０部 上記の磁性液用組成物をサンドミルを用いて、充分に混
練分散処理した後、更に、ポリイソシアネート（バイエ
ル社製ディスモジュールＬ−７５）を６部、ステアリン
酸２部とブチルステアレート２部を溶解したメチルエチ
ルケトン溶液５０部を加えて、更に高速せん断分散して
磁性液を得た。上記磁性液は図２の送液設備にさらに添
加剤を結合剤と同様に加えており、塗布ヘッドに対し磁
性液を１５Ｋｇ／分で１ｈｒ流し、最も流量変動の大き
い塗布ヘッド直前のコリオリ質量流量計１−１ｃの流量
を測定した。この流量は電圧信号に変換されており、電
圧変動としてペンレコーダー等の記録計に１Ｈｒ記録さ
れる。この記録紙から実流量に相当する電圧測定値から
設定流量に相当する設定電圧を引いた絶対値の最大値を
変動流量とした

【００２４】（実施例２）実施例１において、コリオリ
質量流量計のＵ字導管を電解研磨してその内壁の中心線
平均粗さが１．０μｍ（カットオフ値０．２５ｍｍ）の
ものに代えた以外は実施例１と同一の条件でコリオリ質
量流量計１−１ｃの変動流量を測定した。

【００２５】（実施例３）実施例１において、コリオリ
質量流量計のＵ字導管と送液配管のこれらの内壁を電解
研磨しこれらの内壁の中心線平均粗さが０．７μｍ（カ
ットオフ値０．２５ｍｍ）とした簡易型の送液設備（管
径１インチ、送液配管の全容量７．３リットル）を使用
して、磁性液を１５Ｋｇ／分で１ｈｒ流した後、洗浄液
を１０リットル／分で流し、目視により塗布ヘッドでの
洗浄液が透明になるまでの使用洗浄液量を測定した。簡
易型の送液設備としては、図２においてバッファタン
ク、攪拌装置、送液配管、定量ポンプ、送液配管、コリ
オリ質量流量計、送液配管、濾過装置、送液配管、塗布
ヘッドまでの送液設備を使用した。

【００２６】（実施例４）実施例３において、コリオリ
質量流量計のＵ字導管と送液配管のこれらの内壁を電解
研磨しこれらの内壁の中心線平均粗さが１．０μｍ（カ
ットオフ値０．２５ｍｍ）のものに代えた以外は実施例
３と同一の条件で送液配管の洗浄を行い、使用洗浄液量
を測定した。

【００２７】（比較例１）実施例１において、コリオリ
質量流量計のＵ字導管を電解研磨しないでその内壁の中
心線平均粗さが１．５μｍ（カットオフ値０．２５ｍ
ｍ）のものに代えた以外は実施例１と同一の条件でコリ
オリ質量流量計１−１ｃの変動流量を測定した。

【００２８】（比較例２）実施例１において、コリオリ
質量流量計のＵ字導管を電解研磨しないでその内壁の中
心線平均粗さが２．０μｍ（カットオフ値０．２５ｍ
ｍ）のものに代えた以外は実施例１と同一の条件でコリ
オリ質量流量計１−１ｃの変動流量を測定した。

【００２９】（比較例３）実施例３において、コリオリ
質量流量計のＵ字導管と送液配管のこれらの内壁を電解
研磨しないでこれら内壁の中心線平均粗さが２．０μｍ
（カットオフ値０．２５ｍｍ）のものに代えた以外は実
施例３と同一の条件で送液配管の洗浄を行い、使用洗浄
液量を測定した。

【００３０】（比較例４）実施例３において、コリオリ
質量流量計のＵ字導管と送液配管のこれらの内壁を電解
研磨しないでこれら内壁の中心線平均粗さが２．５μｍ
（カットオフ値０．２５ｍｍ）のものに代えた以外は実
施例３と同一の条件で送液配管の洗浄を行い、使用洗浄
液量を測定した。

【００３１】以上の実施例及び比較例において、コリオ
リ質量流量計１−１ｃの変動流量から流量精度（＝変動
流量／設定流量，｜実流量−設定流量｜＝変動流量）を
算出し１００％表示した結果を図３のグラフに示してあ
り、流量精度が１桁も改善されていることが分かる。ま
た図４のグラフに示す使用洗浄液量では約４割近くも減
少して作業時間だけでなく洗浄液の節約にもなってい
る。

【００３２】

【発明の効果】コリオリ質量流量計のＵ字導管の内壁の
粗さを細かくすることにより磁性液の付着が減少し、Ｕ
字導管の質量の変動がなくなりコリオリ質量流量計の流
量精度が大幅に向上した。その結果、定量ポンプの磁性
液の吐出量が一定となり、塗布ムラ等の磁気テープ製品
の不良が減少し生産効率の向上が図れた。さらに送液設
備内の各々の送液配管に対しても内壁の粗さをコリオリ
質量流量計のＵ字導管の内壁の粗さより細かくすること
でコリオリ質量流量計も含め有機溶剤を流すだけのクリ
ーニングが可能となり、解体して内壁を機械的に削るこ
ともなく短時間で且つ容易に実施でき作業能率の大幅な
向上も図れた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁性液用コリオリ質量流量計の流量検
出部の概略斜視図である。

【図２】本発明の磁性液の送液設備に使用されるブロッ
ク図である。

【図３】本発明の実施例及び比較例において、コリオリ
質量流量計のＵ字導管の内壁の中心線平均粗さ（μｍ）
に対して流量精度（＝変動流量／設定流量）を１００％
表示でプロットしたグラフである。

【図４】本発明の実施例及び比較例において、送液配管
の内壁の中心線平均粗さ（μｍ）に対して使用洗浄液量
（リットル）をプロットしたグラフである。

【符号の説明】

１ 流量検出部 １−１ａ、ｂ、ｃ コリオリ質量流量計 ２ Ｕ字導管 ３ 支持部材 ４ 往復動部材 ５ 保持板 ６ａ、６ｂ 検知手段 ７ 入口 ８ 出口 ９ 支持壁 １０ 磁性液の流れる方向 １１ 磁性液の流れる方向 １２ 磁性液 １３ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ
送液配管 １４ａ、ｂ、 貯蔵タンク １５ａ、ｂ、ｃ 攪拌装置 １６ａ、ｂ、ｃ 定量ポンプ １７ 混合機 １８ バッファタンク １９ 濾過装置 ２０ 塗布ヘッド

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくともＵ字導管、往復動部材及び検
   知手段を備えてなるコリオリ質量流量計において、該Ｕ
   字導管の内壁の中心線平均粗さ（Ｒａ）が１．０μｍ以
   下（カットオフ値０．２５ｍｍ）であることを特徴とす
   る磁性液用コリオリ質量流量計。
2. 【請求項２】 前記磁性液は強磁性金属粉末と結合剤を
   主体とする分散液である特許請求の範囲第１項記載の磁
   性液用コリオリ質量流量計。
3. 【請求項３】 貯蔵タンク、コリオリ質量流量計及び塗
   布ヘッドがこの順に送液配管により連結されている磁性
   液の送液設備において、該コリオリ質量流量計のＵ字導
   管の内壁の中心線平均粗さ（Ｒａ）が１．０μｍ以下
   （カットオフ値０．２５ｍｍ）であって、該貯蔵タンク
   から該塗布ヘッドに至るまでに前記磁性液が接触する前
   記送液設備の内壁の中心線平均粗さ（Ｒａ）が前記コリ
   オリ質量流量計のＵ字導管の内壁の粗さより小さいこと
   を特徴とする磁性液の送液設備。