JPH0596842A - カラーフイルターの製造方法 - Google Patents
カラーフイルターの製造方法Info
- Publication number
- JPH0596842A JPH0596842A JP28951091A JP28951091A JPH0596842A JP H0596842 A JPH0596842 A JP H0596842A JP 28951091 A JP28951091 A JP 28951091A JP 28951091 A JP28951091 A JP 28951091A JP H0596842 A JPH0596842 A JP H0596842A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- printing
- absolute humidity
- color
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Printing Methods (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板上へのカラーフィルター膜の印刷品質を
高めた印刷方法を提供する。 【構成】 ポリアミドを主体としたカラーフィルター材
料をフレキソ印刷により基板７上に塗布する工程におい
て、印刷雰囲気を絶対湿度０．００８Ｋｇ／Ｋｇ以下と
する。
高めた印刷方法を提供する。 【構成】 ポリアミドを主体としたカラーフィルター材
料をフレキソ印刷により基板７上に塗布する工程におい
て、印刷雰囲気を絶対湿度０．００８Ｋｇ／Ｋｇ以下と
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、印刷方式を用いたカラ
ーフィルターの製造方法に関し、特に液晶ディスプレイ
用カラーフィルターの製造方法に関するものである。
ーフィルターの製造方法に関し、特に液晶ディスプレイ
用カラーフィルターの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶ディスプレイ用カラーフィル
ターは、カラーフィルター材料をスピンコート法により
基板上に塗布した後、フォトリソ工程およびエッチング
工程を経て所望のパターンを形成している。この方式は
基板面内における塗布膜厚の均一性の観点から現在最も
多く用いられている方式である。
ターは、カラーフィルター材料をスピンコート法により
基板上に塗布した後、フォトリソ工程およびエッチング
工程を経て所望のパターンを形成している。この方式は
基板面内における塗布膜厚の均一性の観点から現在最も
多く用いられている方式である。
【０００３】一方、カラーフィルター材料のコストの観
点からは、フレキソ印刷により、カラーフィルター材料
を基板上に塗布する方法が検討されている。この印刷方
式では、カラーフィルターの形成方法として２つの方法
がある。１つは、カラーフィルター材料を基板上に印刷
した後にフォトリソ工程およびエッチング工程を経て所
望のカラーフィルターパターンを得る方法である。もう
１つは、カラーフィルター材料を基板上に印刷する場合
に、あらかじめ印刷版をカラーフィルターパターンと同
一に加工しておき、印刷のみでカラーフィルターパター
ンを形成する方法である。
点からは、フレキソ印刷により、カラーフィルター材料
を基板上に塗布する方法が検討されている。この印刷方
式では、カラーフィルターの形成方法として２つの方法
がある。１つは、カラーフィルター材料を基板上に印刷
した後にフォトリソ工程およびエッチング工程を経て所
望のカラーフィルターパターンを得る方法である。もう
１つは、カラーフィルター材料を基板上に印刷する場合
に、あらかじめ印刷版をカラーフィルターパターンと同
一に加工しておき、印刷のみでカラーフィルターパター
ンを形成する方法である。
【０００４】このように、カラーフィルター材料を基板
上に塗布する場合に、膜厚の均一性の観点からは、スピ
ンコート方式が好ましく、一方生産コストの観点から
は、印刷方式が好ましい方法として用いられている。
上に塗布する場合に、膜厚の均一性の観点からは、スピ
ンコート方式が好ましく、一方生産コストの観点から
は、印刷方式が好ましい方法として用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、フレキソ印刷によりポリアミドを主体とし
たカラーフィルター材料を基板上に塗布する場合に、印
刷時の環境が大きく印刷品位に影響する。特に温度およ
び湿度による印刷への影響が著しい。この温度変化によ
り左右されない指標として絶対湿度がある。絶対湿度が
徐徐に高くなっていくと印刷品位は徐徐に悪化してい
く。この品位は特に印刷されたカラーフィルター膜表面
の凹凸となって現れる。また、絶対湿度がさらに高くな
ると、印刷版上のカラーフィルター材料が基板に転写さ
れず、印刷が不可能になる場合があった。
来技術では、フレキソ印刷によりポリアミドを主体とし
たカラーフィルター材料を基板上に塗布する場合に、印
刷時の環境が大きく印刷品位に影響する。特に温度およ
び湿度による印刷への影響が著しい。この温度変化によ
り左右されない指標として絶対湿度がある。絶対湿度が
徐徐に高くなっていくと印刷品位は徐徐に悪化してい
く。この品位は特に印刷されたカラーフィルター膜表面
の凹凸となって現れる。また、絶対湿度がさらに高くな
ると、印刷版上のカラーフィルター材料が基板に転写さ
れず、印刷が不可能になる場合があった。
【０００６】本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされ
たものであって、基板上へのカラーフィルター膜の印刷
品質を高めた印刷方法の提供を目的とする。
たものであって、基板上へのカラーフィルター膜の印刷
品質を高めた印刷方法の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明によれば、ポリアミドを主体としたカラーフ
ィルター材料を、フレキソ印刷により基板上に塗布する
工程において、印刷機を囲むブース内またはクリーンル
ーム室内全体を絶対湿度０．００８Ｋｇ／Ｋｇ以下とし
て、品質の優れたカラーフィルター膜を印刷形成する。
め、本発明によれば、ポリアミドを主体としたカラーフ
ィルター材料を、フレキソ印刷により基板上に塗布する
工程において、印刷機を囲むブース内またはクリーンル
ーム室内全体を絶対湿度０．００８Ｋｇ／Ｋｇ以下とし
て、品質の優れたカラーフィルター膜を印刷形成する。
【０００８】
【作用】以下本発明の作用原理を説明する。
【０００９】図１に示すように、フレキソ印刷機２０お
よびプリベークを行うためのホットプレート４が除湿器
６と連通する部屋２１内に配置されている。この部屋２
１は除湿器６により除湿され常に絶対湿度０．００８Ｋ
ｇ／Ｋｇ以下の状態に保たれる。温度、相対湿度および
絶対湿度の関係は図２に示すとおりである。このように
管理された状況下において、図１に示した展色板３上に
ポリアミドを主体とした着色樹脂を滴下した後に、ドク
ターバーにより展色板３上にこの着色樹脂を広げる。そ
の後、印刷ロール１が回転し印刷版２に着色樹脂が転写
される。そして、この印刷版２に転写された着色樹脂は
再びガラス基板７上へと転写される。この工程を複数回
繰り返すことにより所望の膜厚のカラーフィルター膜が
形成できる。
よびプリベークを行うためのホットプレート４が除湿器
６と連通する部屋２１内に配置されている。この部屋２
１は除湿器６により除湿され常に絶対湿度０．００８Ｋ
ｇ／Ｋｇ以下の状態に保たれる。温度、相対湿度および
絶対湿度の関係は図２に示すとおりである。このように
管理された状況下において、図１に示した展色板３上に
ポリアミドを主体とした着色樹脂を滴下した後に、ドク
ターバーにより展色板３上にこの着色樹脂を広げる。そ
の後、印刷ロール１が回転し印刷版２に着色樹脂が転写
される。そして、この印刷版２に転写された着色樹脂は
再びガラス基板７上へと転写される。この工程を複数回
繰り返すことにより所望の膜厚のカラーフィルター膜が
形成できる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例を詳細に説明する。
【００１１】〔実施例１〕図１に示した低湿度印刷シス
テムを用いてカラーフィルター材料の印刷を行った。以
下実際のカラーフィルター形成プロセスに基づき図３を
用いて説明する。
テムを用いてカラーフィルター材料の印刷を行った。以
下実際のカラーフィルター形成プロセスに基づき図３を
用いて説明する。
【００１２】図３（ａ）に示すように、厚さ１．１ｍｍ
のガラス基板７上にクロムを成膜し、フォトリソ、エッ
チングにより遮光層９およびアライメントマーク１０を
形成する。クロムの膜厚は約１０００Å である。その
後、図１に示した印刷機２０（例えばオングストロー
マ、日本写真印刷製品）を用いて印刷を行った。第一色
目としては、感光性ポリアミド樹脂中に赤色顔料を分散
させたもの（例えばＰＡ−１０１２Ｒ−５００宇部興産
社製品）を用いた。印刷環境は２１℃、相対湿度４５
％、絶対湿度０，００７Ｋｇ／Ｋｇ（図２参照）とし
た。以上の条件で赤色フィルター層１１を３回印刷によ
り設けた（図３（ｂ））。そしてホットプレート４を用
いて８０℃×１０分のプリベークを行い１．６μm の膜
厚を得た。このプリベーク中の環境は印刷時と同一に保
たれている。その後、マスクアライナー（図示しない）
でフォトマスク１６を介して３００ｍＪ／ｃｍ2 のエネ
ルギーで露光し所望の位置を光硬化させて現像液に不溶
なものとする（図３（Ｃ））。その後、専用現像液（例
えばＰＡ−ＡＤ宇部興産社製品）を用いて未硬化部分を
溶解除去した後ＩＰＡによりリンス処理を行う。そして
ポストベークはクリーンオーブン中で２００℃×１ｈｒ
行う。これにより第１色目の赤色が形成される（図３
（ｄ））。同様にして緑色層１２、青色層１３、透明層
１４を順次形成する（図３（ｅ））。材料としては、Ｐ
Ａ−１０１２Ｇ−５００、ＰＡ−１０１２Ｂ−５００、
ＰＡ−１０００Ｃ−５００（宇部興産社製品）を用い
た。塗布膜厚、露光エネルギーおよびベーク温度は赤色
層と同一である。
のガラス基板７上にクロムを成膜し、フォトリソ、エッ
チングにより遮光層９およびアライメントマーク１０を
形成する。クロムの膜厚は約１０００Å である。その
後、図１に示した印刷機２０（例えばオングストロー
マ、日本写真印刷製品）を用いて印刷を行った。第一色
目としては、感光性ポリアミド樹脂中に赤色顔料を分散
させたもの（例えばＰＡ−１０１２Ｒ−５００宇部興産
社製品）を用いた。印刷環境は２１℃、相対湿度４５
％、絶対湿度０，００７Ｋｇ／Ｋｇ（図２参照）とし
た。以上の条件で赤色フィルター層１１を３回印刷によ
り設けた（図３（ｂ））。そしてホットプレート４を用
いて８０℃×１０分のプリベークを行い１．６μm の膜
厚を得た。このプリベーク中の環境は印刷時と同一に保
たれている。その後、マスクアライナー（図示しない）
でフォトマスク１６を介して３００ｍＪ／ｃｍ2 のエネ
ルギーで露光し所望の位置を光硬化させて現像液に不溶
なものとする（図３（Ｃ））。その後、専用現像液（例
えばＰＡ−ＡＤ宇部興産社製品）を用いて未硬化部分を
溶解除去した後ＩＰＡによりリンス処理を行う。そして
ポストベークはクリーンオーブン中で２００℃×１ｈｒ
行う。これにより第１色目の赤色が形成される（図３
（ｄ））。同様にして緑色層１２、青色層１３、透明層
１４を順次形成する（図３（ｅ））。材料としては、Ｐ
Ａ−１０１２Ｇ−５００、ＰＡ−１０１２Ｂ−５００、
ＰＡ−１０００Ｃ−５００（宇部興産社製品）を用い
た。塗布膜厚、露光エネルギーおよびベーク温度は赤色
層と同一である。
【００１３】最後に保護膜１５の形成は、透明層１４と
同一の材料を用い同様の印刷条件により１．６μm の膜
厚に形成する。その後、８０℃×１０分のプリベークを
行い、紫外線ＵＶにより１０００ｍＪ／ｃｍ2のエネル
ギーで全面露光する。その 後、２５０℃×１ｈｒの条
件でクリーンオーブン中で加熱することにより４色カラ
ーフィルターを得る（図３（ｆ））。
同一の材料を用い同様の印刷条件により１．６μm の膜
厚に形成する。その後、８０℃×１０分のプリベークを
行い、紫外線ＵＶにより１０００ｍＪ／ｃｍ2のエネル
ギーで全面露光する。その 後、２５０℃×１ｈｒの条
件でクリーンオーブン中で加熱することにより４色カラ
ーフィルターを得る（図３（ｆ））。
【００１４】このようにして得られたカラーフィルター
は膜厚の均一性および膜の表面状態において優れたもの
であった。
は膜厚の均一性および膜の表面状態において優れたもの
であった。
【００１５】〔実施例２〕以下本発明の別の実施例を詳
細に説明する。
細に説明する。
【００１６】図１に示した低湿度印刷システムでホット
プレートの環境のみを管理しないでカラーフィルター材
料の印刷およびプリベークを行った。以下、実際のカラ
ーフィルター形成プロセスに基づき図３を用いて説明す
る。
プレートの環境のみを管理しないでカラーフィルター材
料の印刷およびプリベークを行った。以下、実際のカラ
ーフィルター形成プロセスに基づき図３を用いて説明す
る。
【００１７】図３（ａ）に示すように、厚さ１．１ｍｍ
のガラス基板７上にクロムを成膜し、フォトリソ、エッ
チングにより遮光層９およびアライメントマーク１０を
形成する。クロムの膜厚は約１０００Å である。その
後、図１に示した印刷機２０（例えばオングトローマ、
日本写真印刷製品）を用いて印刷を行った。第１色目と
しては感光性ポリアミド樹脂中に赤色顔料を分散させた
もの（例えばＰＡ−１０１２Ｒ−５００宇部興産社製
品）を用いた。印刷環境は２５℃、相対湿度４０％、絶
対湿度０．００７８Ｋｇ／Ｋｇ（図２参照）とした。以
上の条件で赤色フィルター層１１を３回印刷により設け
た（図３（ｂ））。そしてホットプレート４を用いて８
０℃×１０分のプリベークを行い１．６μm の膜厚を得
た。このプリベーク中の環境は印刷時とは異なってい
る。その後、マスクアライナーでフォトマスクを介して
３００ｍＪ／ｃｍ2のエネルギーで露光し、所望の位置
を光 硬化させて、現像液に不溶なものとする（図３
（ｃ））。その後、専用現像液（例えばＰＡ−ＡＤ宇部
興産社製品）を用いて未硬化部分を溶解除去した後、Ｉ
ＰＡによりリンス処理を行う。そしてポストベークはク
リーンオーブン中で２００℃×１ｈｒ行う。これにより
第１色目の赤色層１１が形成される（図３（ｄ））。同
様にして緑色層１２、青色層１３、透明層１４を順次形
成する（図３（ｅ））。材料としては、ＰＡ−１０１２
Ｇ−５００、ＰＡ−１０１２Ｂ−５００、ＰＡ−１００
０Ｃ−５００（宇部興産社製品）を用いた。塗布膜厚、
露光エネルギーおよびベーク温度は赤色層１１と同一で
ある。
のガラス基板７上にクロムを成膜し、フォトリソ、エッ
チングにより遮光層９およびアライメントマーク１０を
形成する。クロムの膜厚は約１０００Å である。その
後、図１に示した印刷機２０（例えばオングトローマ、
日本写真印刷製品）を用いて印刷を行った。第１色目と
しては感光性ポリアミド樹脂中に赤色顔料を分散させた
もの（例えばＰＡ−１０１２Ｒ−５００宇部興産社製
品）を用いた。印刷環境は２５℃、相対湿度４０％、絶
対湿度０．００７８Ｋｇ／Ｋｇ（図２参照）とした。以
上の条件で赤色フィルター層１１を３回印刷により設け
た（図３（ｂ））。そしてホットプレート４を用いて８
０℃×１０分のプリベークを行い１．６μm の膜厚を得
た。このプリベーク中の環境は印刷時とは異なってい
る。その後、マスクアライナーでフォトマスクを介して
３００ｍＪ／ｃｍ2のエネルギーで露光し、所望の位置
を光 硬化させて、現像液に不溶なものとする（図３
（ｃ））。その後、専用現像液（例えばＰＡ−ＡＤ宇部
興産社製品）を用いて未硬化部分を溶解除去した後、Ｉ
ＰＡによりリンス処理を行う。そしてポストベークはク
リーンオーブン中で２００℃×１ｈｒ行う。これにより
第１色目の赤色層１１が形成される（図３（ｄ））。同
様にして緑色層１２、青色層１３、透明層１４を順次形
成する（図３（ｅ））。材料としては、ＰＡ−１０１２
Ｇ−５００、ＰＡ−１０１２Ｂ−５００、ＰＡ−１００
０Ｃ−５００（宇部興産社製品）を用いた。塗布膜厚、
露光エネルギーおよびベーク温度は赤色層１１と同一で
ある。
【００１８】最後に保護膜１５の形成は透明層１４と同
一の材料を用い同様の印刷条件により１．６μm の膜厚
に形成する。その後、８０℃×１０分のプリベークを行
い、紫外線ＵＶにより１０００ｍＪ／ｃｍ2のエネルギ
ーで全面露光する。その後 、２５０℃×１ｈｒの条件
でクリーンオーブン中で加熱することにより４色カラー
フィルターを得る（図３（ｆ））。
一の材料を用い同様の印刷条件により１．６μm の膜厚
に形成する。その後、８０℃×１０分のプリベークを行
い、紫外線ＵＶにより１０００ｍＪ／ｃｍ2のエネルギ
ーで全面露光する。その後 、２５０℃×１ｈｒの条件
でクリーンオーブン中で加熱することにより４色カラー
フィルターを得る（図３（ｆ））。
【００１９】このようにして得られたカラーフィルター
は、膜厚の均一性および膜の表面状態に関し、実施例１
の場合に近い優れたものとなる。
は、膜厚の均一性および膜の表面状態に関し、実施例１
の場合に近い優れたものとなる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、印刷時の絶対湿度
および好ましくはプリベーク時の絶対湿度を０．００８
Ｋｇ／Ｋｇ以下に管理することにより、ポリアミドを主
体としたカラーフィルター材料の印刷が高品位なレベル
で可能となる。よって基板面内の膜厚の均一性および膜
の表面状態に優れたカラーフィルターが得られるため、
セルギャップ精度および液晶の配向が向上し、表示品質
の優れた液晶カラーパネルが得られる。
および好ましくはプリベーク時の絶対湿度を０．００８
Ｋｇ／Ｋｇ以下に管理することにより、ポリアミドを主
体としたカラーフィルター材料の印刷が高品位なレベル
で可能となる。よって基板面内の膜厚の均一性および膜
の表面状態に優れたカラーフィルターが得られるため、
セルギャップ精度および液晶の配向が向上し、表示品質
の優れた液晶カラーパネルが得られる。
【００２１】また、印刷方式に関し、材料の使用量が抑
えられるので大幅なコストダウンができる。
えられるので大幅なコストダウンができる。
【図１】 本発明が適用される絶対湿度管理システムの
概略構成図である。
概略構成図である。
【図２】 相対湿度、温度および絶対湿度の関係を表し
た図である。
た図である。
【図３】 （ａ）〜（ｆ）は、カラーフィルター形成プ
ロセスにおける基板および膜の断面を工程順に示した工
程説明図である。
ロセスにおける基板および膜の断面を工程順に示した工
程説明図である。
１；印刷ロール、２；印刷版、３；展色版、４；ホット
プレート、５；ヘパフィルター、６；除湿器、７；ガラ
ス基板、９；遮光層、１０；アライメントマーク、１
１；赤色フィルター層、１２；緑色フィルター層、１
３；青色フィルター層、１４；透明（白色）フィルター
層、１５；保護膜、１６；フォトマスク。
プレート、５；ヘパフィルター、６；除湿器、７；ガラ
ス基板、９；遮光層、１０；アライメントマーク、１
１；赤色フィルター層、１２；緑色フィルター層、１
３；青色フィルター層、１４；透明（白色）フィルター
層、１５；保護膜、１６；フォトマスク。
Claims (3)
- 【請求項１】 ポリアミドを主体としたカラーフィルタ
ー材料をフレキソ印刷により基板上に塗布する工程にお
いて、印刷雰囲気を絶対湿度０．００８Ｋｇ／Ｋｇ以下
としたことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項２】 ポリアミドを主体としたカラーフィルタ
ー材料をフレキソ印刷により基板上に塗布する印刷工程
と、該基板のプリベーク工程と、前記カラーフィルター
材料に対し所望のパターンを露光する露光工程と、ポス
トベーク工程とからなるカラーフィルターの製造方法に
おいて、前記印刷工程の雰囲気を絶対湿度０．００８Ｋ
ｇ／Ｋｇ以下としたことを特徴とするカラーフィルター
の製造方法。 - 【請求項３】 前記プリベーク工程の雰囲気を絶対湿度
０．００８Ｋｇ／Ｋｇ以下としたことを特徴とする請求
項２のカラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28951091A JPH0596842A (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | カラーフイルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28951091A JPH0596842A (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | カラーフイルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0596842A true JPH0596842A (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=17744204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28951091A Pending JPH0596842A (ja) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | カラーフイルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0596842A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5714197A (en) * | 1991-06-20 | 1998-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for forming patterned films using a flexographic apparatus having a temperature control device embedded in a substrate support |
-
1991
- 1991-10-09 JP JP28951091A patent/JPH0596842A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5714197A (en) * | 1991-06-20 | 1998-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for forming patterned films using a flexographic apparatus having a temperature control device embedded in a substrate support |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0596842A (ja) | カラーフイルターの製造方法 | |
| JP2012013840A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JP3685821B2 (ja) | 液晶パネル用スペーサーの形成方法 | |
| JP5446729B2 (ja) | 基板加熱装置 | |
| JPH0954209A (ja) | カラーフィルタの形成方法 | |
| JPH01270003A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| KR940007570A (ko) | 액정표시장치(lcd)용 칼라필터 및 그 제조방법 | |
| JPH05303014A (ja) | カラーフィルターの修正法 | |
| JP2001222003A (ja) | パターン形成方法およびカラーフィルタ | |
| JPH05224013A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JP3033632B2 (ja) | カラーフィルターおよび液晶表示素子の製造方法 | |
| JPH01307703A (ja) | カラーフィルタの製造法 | |
| JP2004046114A (ja) | 色層形成方法および同方法により得られるカラーフィルタ | |
| JPH03136021A (ja) | カラー液晶パネルの製造方法 | |
| KR100334012B1 (ko) | 액정디스플레이용컬러필터의제조방법 | |
| JPH05224015A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPH0843618A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JP2626668B2 (ja) | 表面着色体の製造方法 | |
| JPH0954210A (ja) | カラーフィルタの形成方法 | |
| JPH0743514A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH06118222A (ja) | カラーフィルターのパターン形成方法 | |
| JPH02103503A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH04151103A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPH07191212A (ja) | カラーフィルター形成法 | |
| JPH0990114A (ja) | カラーフィルターの形成方法 |