JPH059328B2

JPH059328B2 -

Info

Publication number: JPH059328B2
Application number: JP59148222A
Authority: JP
Inventors: Masami Fujimoto
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1984-07-17
Filing date: 1984-07-17
Publication date: 1993-02-04
Also published as: JPS6127830A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、半導体ウエハ、フオトマスク、液晶
表示装置のガラス基板等の薄板材の基板を搬送す
る際における基板の搬送方向転換装置に関する。

（従来技術）従来、基板をベルトで搬送し、搬送方向を、水
平面内で、ほぼ90°転換する装置は、たとえば米
国特許第4181214号明細書、又は特開昭58−48934
号公報等に開示され、公知となつている。

前者は、一方向から第１のベルトで搬送されて
きた基板を、光センサで検知し、その方向に対
し、ほぼ直角方向に交差した第２の搬送ベルトを
上昇させて、基板を、第１の搬送ベルトから第２
の搬送ベルトに移し、搬送方向を転換させる装置
である。

後者は、互いに交差している第１、第２の搬送
ベルトにおいて、一方のベルトの上面の高さを、
他方のベルトの上面高さに対して、たとえば±１
mmだけ昇降できるようにして、一方のベルトに載
置されて搬送された基板を、１mm高い他方の交差
したベルトに、乗り上げるようにする装置であ
る。

（従来技術の問題点）こうした従来技術においては、次のような問題
点があり、不都合を生じていた。

すなわち、第１に、搬送手段であるベルトの交
差部において、搬送される基板の位置が、搬送方
向転換後の搬送手段について搬送方向に向かつて
の左右方向の中心に正確に位置決めされていない
ため、搬送方向転換後の搬送手段の両側に、基板
に摺接するガイドを設けて位置決めしなければな
らなかつた。しかし、このときに基板の周縁とガ
イドとの摺接により、基板の周縁またはガイドの
側面が削られて微細な塵埃が発生し、基板の表面
に付着して表面を汚染する問題があつた。

第２に、ガイドと基板との接触時に、基板が破
損することがあつた。

第３に、搬送の向きが、一方の搬送手段から他
方の搬送手段への一方向のみに限定されており、
搬送方向を逆向きに変えることができない。単
に、搬送手段の駆動方向を変えただけでは、搬送
手段の交差部における基板の位置が、搬送方向転
換後の搬送手段について搬送方向に向かつての左
右方向の中心に正確に位置決めできない。

（発明の目的）本発明は、搬送方向が直角に交差する２つの搬
送手段の間で、基板の搬送方向を転換して移載す
る装置において、その２つの搬送手段のいずれか
らいずれへも基板を搬送でき、かつ、いずれから
いずれへ基板を搬送する場合でも、基板を搬送方
向転換後の搬送手段について、搬逆方向に向かつ
て左右方向の中心に正確に位置決めすることがで
き、しかも、基板を破損させることなく、確実
に、清浄な状態で搬送方向を転換することができ
る装置を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段）上記の目的を達成するために、本発明は、次の
とおりに構成されている。

搬送方向が直角に交差しており、それぞれが正
逆両方向へ搬送可能な第１の搬送手段及び第２の
搬送手段と、いずれか一方の搬送手段によつて基板が前記両
搬送手段の交差部へ搬送されてきたことを検出し
て、基板を搬入した搬送手段の駆動を停止させる
検知手段と、前記両搬送手段による前記交差部への基板搬入
時の基板の各進行方向にそれぞれ対応して、前記
交差部の当該進行方向前方側の位置に搬入側搬送
手段の搬送面に出没可能に設けられ、前記いずれ
か一方の搬送手段によつて前記交差部に搬入され
た基板の前縁部に当接することにより、当該基板
を他方の搬送手段の搬送方向に向かつて左右方向
中央に停止させる複数個のストツパと、前記いずれか一方の搬送手段による前記交差部
への基板搬入時には、搬入される基板の進行方向
側のストツパのみを当該一方の搬送手段の搬送面
よりも上昇させ、他方の搬送手段による基板搬出
時には、搬出される基板の進行方向側のストツパ
を当該他方の搬送手段の搬送面よりも下降させる
ストツパ昇降手段と、前記第１の搬送手段の搬送面と前記第２の搬送
手段の搬送面とを、前記交差部への基板搬入時に
は、搬入側搬送手段の搬送面を搬出側搬送手段の
搬送面よりも高くし、前記交差部からの基板搬出
時には、搬出側搬送手段の搬送面を搬入側搬送手
段の搬送面よりも高くするように、相対的に昇降
させる搬送面昇降手段とを備えて、基板を、第１の搬送手段と第２の搬送手段との
いずれからいずれへでも、かつ、可逆的に搬送し
得るようにしたことを特徴とする基板の搬送方向
転換装置。

（作用と補足説明）第１の搬送手段から第２の搬送手段へ基板を移
載して搬送方向を転換する場合には、まず、前も
つて第２の搬送手段の搬送面を第１の搬送手段の
搬送面よりも低くしておく。第１の搬送手段によ
つて基板が両搬送手段の交差部へ搬入されてくる
と、検知手段が基板を搬入した第１の搬送手段の
駆動を停止させる。このとき、搬入される基板の
進行方向側のストツパは、ストツパ昇降手段によ
り第１の搬送手段の搬送面よりも上昇しており、
基板の前縁部がそのストツパと当接して、基板
は、第２の搬送手段の製造方向に向かつての左右
方向中央に位置決めされて停止する。

次いで、搬送面昇降手段が、第２の搬送手段の
搬送面を第１の搬送手段の搬送面よりも高く上昇
させ、第２の搬送手段が駆動されて搬送方向が転
換される。このとき、搬出される基板の進行方向
側のストツパは、ストツパ昇降手段により、第２
の搬送手段の搬送面よりも低く下降している。

また、第２の搬送手段から第１の搬送手段へ基
板を移載して搬送方向へ転換する場合には、ま
ず、前もつて第１の搬送手段の搬送面を第２の搬
送手段の搬送面よりも低くしておき、以下、同様
にして搬送方向が転換される。この場合にも、基
板は、第１の搬送手段の搬送方向に向かつての左
右方向中央に位置決めされて停止する。

ストツパは、各搬送手段の搬送方向ごとに設け
てあるので、いずれの搬送手段からいずれの搬送
手段へ基板を移載して搬送方向を転換する場合で
も、基板は、搬送方向転換後の搬送手段の搬送方
向に向かつての左右方向中央に、正確に位置決め
される。

なお、以下、補足として説明しておくと、第１
の搬送手段と第２の搬送手段との交差部は、搬送
方向が直角に交差しているものであれば、十字状
交差に限らず、Ｔ字状交差であつてもよい。

また、第１の搬送手段、第２の搬送手段の１例
である搬送ベルトは、断面が円形のものを複数本
平行に張設するか、あるいは幅広帯状の１本のも
のでもよい。

検知手段は、反射型または透過型の光センサを
使用するのが、基板の傷発生や検知動作の安定等
から望ましいが、マイクロスイツチやその他のセ
ンサを使用してもよい。

検知手段の個数および位置は、第１と第２の搬
送手段の基板が搬送されてくる側に、それぞれ設
置するか、あるいは交差部の中央に１個だけ設け
てもよい。ただし、交差部の中央に１個だけ設置
する場合には、センサが基板を感知して、すぐに
搬送手段を停止すると、基板は、交差部中央の手
前で停止してしまうから、搬送手段に慣性力を持
たせるべく、駆動軸等にフライホイールを付設す
るか、あるいは、センサが感知してから、搬送手
段の駆動を停止するまでに、タイムラグを設定し
ておけばよい。

また、搬送手段の駆動を停止させるのと、基板
がストツパに当接するときのタイミングは、駆動
を止めて、基板が、慣性力により少しの距離では
あるが、緩やかに進行しているときに、ストツパ
に当接するように調整するのが理想的であるが、
基板がストツパに当接してから、駆動を停止する
ようにしてもよい。

ストツパは、基板が、たとえば半導体ウエハで
ある場合には、樹脂製のピンを、各搬送方向につ
いて２〜４本程度立設させればよく、また、回路
パターン焼付け等に用いるガラスマスク板である
場合には、シリコン系樹脂のブロツク片を使用し
てもよく、その材質、形状、寸法には、特に限定
はない。

このストツパの基板への当接部を、各搬送手段
の搬送面より上昇あるいは降下させるストツパ昇
降手段としては、たとえばエアシリンダや電磁ア
クチユエータ等の適当な昇降手段を使用して、そ
の作動部に取付ければよい。あるいは、ストツパ
を偏心して軸支し、その回路軸を所要角度回転す
ることによつて、搬送面から退避するようにして
もよい。

第２の搬送手段を昇降するには、たとえばエア
シリンダや電磁アクチユエータ等を使用すればよ
く、第２の搬送手段全体を昇降させても、また
は、第１の搬送手段との交差部のみを昇降させる
ようにしてもよい。

ストツパを降下させるときと、第２の搬送手段
を昇降させるときとのタイミングは、どちらが先
でも後でもよく、同時でもよい。ストツパに当接
して停止した基板には、ストツパに押着けるよう
な力はほとんど作用していないので、基板の周縁
がストツパによつて削られることはない。

（実施例）以下、図面を参照して、本発明の実施例につき
詳述する。

第１図及び第２図は、本発明の装置の一実施例
を示すもので、基台１には、左右１組でY₁−Y₂
方向に架設された搬送ベルト２，２と、左右１組
でX₁−X₂方向に架設された搬送ベルト３，３と
が、搬送方向に直角に交差するように設けられて
いる。

なお、搬送ベルト２，２は特許請求の範囲にい
う第１の搬送手段に相当し、搬送ベルト３，３は
特許請求の範囲にいう第２の搬送手段に相当す
る。また、本実施例では、後述する無端ベルト１
１も、搬送ベルト３とともに第２の搬送手段を構
成する。

Y₁−Y₂方向の搬送ベルト２は、プーリ４，５
間に張設され、駆動ベルト７を介して駆動手段６
で駆動され、搬送ベルト２上に載置された基板
が、Y₁方向、Y₂方向のいずれにも搬送されるよ
うになつている。

X₁−X₂方向の搬送ベルト３は、搬送ベルト２
の左右で、それぞれプーリ８，９間に張設され、
搬送ベルト２，２の下方に張設した駆動ベルト１
７，１８，２０，２１を介して連動させてあり、
モータ等の駆動手段１２によつて駆動ベルト１３
を介して駆動される。

プーリ８は、基台１上で左右一対の支柱８ａ，
８ａの上端に軸支され、搬送ベルト２側のプーリ
９は、基台１上でガイドバー１４に沿つて垂直駆
動手段２２にて上下する昇降板１５の支柱９ａの
上端に軸支され、プーリ１０，１６も昇降板１５
上の支柱に軸支されている。

プーリ１０には、搬送用の無端ベルト１１が巻
回されており、プーリ９と同じ高さにて、第１の
搬送ベルト２，２の２本の間に位置するように、
昇降板１５の中央に立設した支柱１０ａの上端に
軸支してある。これらのプーリ１０とプーリ９と
の間には、搬送ベルト２に接触することなく、駆
動ベルト１７，１８，２０，２１を連動させるよ
うに、搬送ベルト２の下方に、プーリ１６，１６
が配置されている。

昇降板１５は、垂直駆動手段２２によつて上下
方向に駆動され、搬送ベルト３及び無端ベルト１
１の搬送面の高さを、搬送ベルト２の搬送面の高
さに対して、所定高さｈだけ低位の状態（第２図
に実線で示す状態）と、所定高さｈだけ高位の状
態とに、切り替えて設定できるようになつてい
る。すなわち、昇降板１５及び垂直駆動手段２２
は、特許請求の範囲にいう搬送面昇降手段に相当
する。

搬送ベルト２と搬送ベルト３との交差部には、
それぞれ、X₁X₂Y₁Y₂の各方向からの基板の搬送
を検出するための反射型の光センサ２３が付設さ
れ、これらの光センサ２３により、搬送ベルト
２，３や昇降板１５の駆動を操作するようになつ
ている。この反射型の光センサ２３は、特許請求
の範囲にいう検知手段に相当する。

搬送ベルト２と搬送ベルト３との交差部には、
各搬送ベルトの搬送面よりも高い位置まで突出
し、あるいは各搬送ベルトの搬送面よりも低い位
置まで降下するように、それぞれ独立に作動する
ことができる昇降手段（図示せず）に取付けた４
本のストツパピン２６，２７，２８，２９が配置
されている。なお、ここにいう昇降手段が、特許
請求の範囲にいうストツパ昇降手段に相当し、こ
の昇降手段は、基台１に載置されている。また、
特許請求の範囲の記載における、各搬送手段の搬
送方向ごとに設けられたストツパは、４本のスト
ツパピン２６，２７，２８，２９のうち、たとえ
ばY₁からY₂方向についてはストツパピン２７，
２８が、X₁からX₂方向についてはストツパピン
２６，２７が、それぞれ対応する。

次に、上述の構成よりなる本発明の装置の動作
を説明する。

まず、基板２５を、Y₁方向から、交差部を経
て、X₁方向に搬送する場合、駆動手段６により、
搬送ベルト２上に載置された基板２５が、Y₁方
向から交差部に搬入される。

交差部に達した基板２５は、光センサ２３で検
知され、光センサ２３からの信号によつて、駆動
手段６の駆動が停止させられ、わずかの距離であ
るが、慣性力によつてゆるやかに進むうちに、あ
らかじめ搬送面から突出させてあるY₂方向側、
すなわち交差部へ搬入される基板の進行方向側の
１対のストツパピン２７，２８に当接する。この
当接により、基板２５は、搬送方向転換前の搬送
方向であるY₁−Y₂方向から見て前後方向の位置
が正確に位置決めされる。すなわち、この当接に
より、基板２５は、搬送方向転換後の搬送方向で
あるX₁−X₂方向から見て左右方向の位置が正確
に位置決めされることになる。

つづいて、受入側、すなわちX₁方向から、基
板２５の搬送開始の信号を受けて、昇降板１５の
エアシリンダ等の駆動手段２２が作動し、プーリ
９，１０，１６を第２図に実線で示すあらかじめ
下降させた状態から、所定高さｈの２倍だけ上昇
させ、搬送ベルト３と無端ベルト１１の搬送面
を、搬送ベルト２の搬送面よりも所定高さｈだけ
高く持ち上げる。これによつて、搬送ベルト２に
支持されていた基板２５は、搬送ベルト３及び無
端ベルト１１に支持されるようになる。

最後に、交差部への基板搬入時に上昇させたス
トツパピン２７，２８を搬送面より下方に下降さ
せてから、駆動手段１２を駆動して、基板２５を
搬送ベルト３により交差部から搬出し、X₁方向
に搬送する。

なお、このときには、少なくとも搬出される基
板２５の進行方向側にあるストツパピン２８，２
９が下降した状態であればよく、必ずしもストツ
パピン２７を下降させる必要はない。

逆に、基板２５をX₁方向からY₁方向へ搬送す
る場合には、交差部へ搬入される基板２５の進入
方向側のストツパピン２６，２７をあらかじめ上
昇させておき、上述と同様に、基板２５の交差部
への搬入を光センサ２３にて検出して駆動手段１
２の駆動を停止し、基板２５がストツパピン２
６，２７に当接してから、あらかじめ上昇させて
あつた搬送ベルト３，１１を下降させ、基板２５
を搬送ベルト２上に移して、Y₁方向に搬送すれ
ばよい。このように、ある方向から搬送されてき
た基板２５を、どの方向へも方向転換して搬送す
ることができる。

この実施例において、基板２５が交差部よりも
十分に大きければ、無端ベルト１１を駆動手段１
２と連結せず、アイドル状態としてあつても、方
向転換をするのに支障はない。

なお、ロツトごとに基板の寸法が異なる場合に
対応させるために、各ストツパピン２６，２７，
２８，２９の位置を調節可能としておくことが望
ましい。

また、本実施例では、搬送される基板２５が丸
型の場合について説明したので、交差部へ搬入さ
れてきた基板が２本のストツパピンに当接するこ
とにより、搬送方向転換前の搬送方向における前
後方向の位置、すなわち、搬送方向転換後の搬送
方向に向かつての左右方向の位置が、正確に位置
決めされるばかりでなく、搬送方向転換後の搬送
方向における前後方向の位置も正確に位置決めさ
れることになる。したがつて、搬送方向転換後の
搬送方向に向かつての前後左右両方向の位置が正
確に位置決めされることになるが、例えば長方形
の基板を搬送する場合においては、交差部へ向け
て搬送する基板の搬送方向の前後方向の位置、す
なわち、搬送方向転換後の搬送方向に向かつての
左右方向の位置が正確に位置決めされることにな
る。この場合、搬送方向転換前の搬送方向に向か
つての左右方向の位置、すなわち、搬送方向転換
後の搬送方向に向かつての前後方向の位置が多少
ずれていたとしても、その左右方向には位置決め
されているので、搬送方向転換後の基板の搬送を
行う搬送手段の駆動量を加減することにより、な
んら問題はなく、搬送方向転換後の搬送を行うこ
とができる。

第３図は、本発明の第２実施例の装置を示すも
ので、その構成は、Y₁−Y₂方向の搬送ベルト２
がX₁−X₂方向の搬送ベルト３と同様に、その交
差部で前後に分離して、別々のプーリ４，５間に
張設されている点で、前述の第１実施例の装置と
異なるものである。

すなわち、Y₁方向の搬送ベルト２の交差部側
のプーリ４には、その軸との間で、駆動ベルト３
６を介して駆動されるプーリ３７に、無端ベルト
３８が、搬送ベルト２の搬送面と同一高さで巻着
され、Y₂方向の搬送ベルト２の交差部側プーリ
４についても、同様に、駆動ベルト３６を介して
駆動されるプーリ３７に、無端ベルト３８が、搬
送ベルト２の搬送面と同一高さで巻着されてい
る。

これらのY₁−Y₂方向のプーリ４，３７は、基
台１上でその高さを固定してある。これに対し
て、X₁−X₂方向においては、X₁方向およびX₂方
向の搬送ベルト３の交差部側のプーリ９と駆動ベ
ルト３９を介して連動される無端ベルト３１が巻
着されたプーリ３０が、いずれも基台１上で、前
記昇降板１５と同様の手段（図示省略）により適
宜に昇降させられ、Y₁−Y₂方向の搬送面に対し
て、X₁−X₂方向の搬送面を異なる高さに設定で
きるようになつており、第２図示の実施例の装置
と同様に、どの方向へも、基板２５の搬送方向を
転換することができる。

なお、第３図において、X₁−X₂方向の搬送ベ
ルト３の、，X₁側とX₂側との間は、図示しない駆
動ベルトで連結するか、あるいは、駆動手段１２
をそれぞれ独立して設けるようにしてもよい。
Y₁−Y₂方向の搬送ベルト２についても、同様で
ある。

以上に詳述した本発明の装置は、たとえば、半
導体ウエハ等の基板を、自動化した連続処理工程
に供給する場合に、きわめて好都合である。

すなわち、半導体ウエハの処理工程、あるい
は、ガラスマスクの製造工程においては、基板を
収納したカセツトから処理工程へ供給するロー
ダ、待機させておくためのバツフア、洗浄、乾
燥、塗布等の種々の工程が組み合わされて成り立
つており、それぞれが、異なる処理時間を必要と
しているため、半導体ウエハあるいはガラスマス
クの搬送路は、その処理効率を最大とするため
に、きわめて複雑に交差しており、本発明の装置
は、そのような搬送路に適用して、被処理ウエハ
やガラスマスク等の基板を確実に搬送するもので
ある。

しかも、搬送手段として搬送ベルトを使用する
も場合に、ガイドにより基板の位置を修正する
と、ガイドからの反力によつて、搬送ベルトがプ
リーの溝からはずれてしまうことがあるが、本発
明では、ガイドを使用しないので、そのような不
都合を生じることがない。

（発明の効果）本発明によれば、搬送方向が直角に交差する２
つの搬送手段の交差部で、ストツパによつて基板
を搬送方向転換後の搬送方向に向かつての左右方
向の中央に位置決めして、一旦停止させることが
できるため、搬送方向転換後の基板を、常に、搬
送手段の搬送方向に向かつての左右方向の中央に
支持して、安定よく基板を搬送できる。このこと
は、縦と横の寸法差の大きい長方形基板を、基板
短辺方向が、搬送方向と垂直になるように方向転
換して搬送する場合に、特に有利である。

また、本発明は、上述の如く、搬送方向転換後
の基板を、常に搬送手段の搬送方向に向かつての
左右方向中央に支持できるから、ガイドを使用し
て位置を修正する必要がない。したがつて、基板
の周縁がガイドに摺接することにより、基板周縁
やガイド側面が削られ、微細な塵埃となつて基板
表面に付着することがなく、歩溜りを向上させる
ことができる。

なお、本発明では、搬送手段による交差部への
基板の搬入を検知して搬送手段の駆動を停止する
ようにしたので、ストツパに基板が当接して位置
決めされる際にも、ほとんど力がかからないか
ら、ガイドを用いた場合のように、所定位置に基
板が位置するまで、基板周縁に連続して力が加え
られる摺接状態がなく、削られるようなことはな
く、基板表面への微細な塵埃の付着を防止するこ
とができる。

さらに、本発明では、基板を一方の搬送手段か
ら他方の搬送手段へ乗せ替える作業を、基板を静
止させた状態で、搬送手段を昇降させる動作で行
うものであつて、たとえば前記した従来技術にあ
るように、交差した搬送ベルトの高い方へ基板を
乗り上げさせるような動作をさせるものではない
から、無理がなく、その作動がきわめて円滑で安
定しており、不都合な位置へ基板を乗せ替えるこ
とがない。

以上のように、本発明の装置によれば、多量の
基板を、多種類数の処理装置間を搬送するに際
し、基板をどの方向からでも交差部へ進入させる
ことができ、しかも、どの方向へも搬送すること
ができるから、搬送経路を自由なレイアウトで設
定するのに便利であり、生産性の向上に寄与する
ことができる。

また、搬送方向転換後の搬送方向に向かつての
左右方向中央に基板を位置決めでき、かつ、その
動作も安定しており、基板周縁が削られて微細な
塵埃を生じることがないので、歩留りの向上にも
寄与し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の装置の第１実施例を示す平
面図、第２図は、第１図の−線に沿つて示す
縦断面図、第３図は、本発明の装置の第２実施例
を示す平面図である。１……基台、２……第１の搬送手段としての搬
送ベルト、３……第２の搬送手段としての搬送ベ
ルト、４，５，８，９，１０……プーリ、６，１
２，２２……駆動手段、１１……無端ベルト、１
５……昇降板、２３……光センサ、２５……基
板、２６，２７，２８，２９……ストツパピン。

Claims

【特許請求の範囲】１搬送方向が直角に交差しており、それぞれが
正逆両方向へ搬送可能な第１の搬送手段及び第２
の搬送手段と、いずれか一方の搬送手段によつて基板が前記両
搬送手段の交差部へ搬送されてきたことを検出し
て、基板を搬入した搬送手段の駆動を停止させる
検知手段と、前記両搬送手段による前記交差部への基板搬入
時の基板の各進行方向にそれぞれ対応して、前記
交差部の当該進行方向前方側の位置に搬入側搬送
手段の搬送面に出没可能に設けられ、前記いずれ
か一方の搬送手段によつて前記交差部に搬入され
た基板の前縁部に当接することにより、当該基板
を他方の搬送手段の搬送方向に向かつて左右方向
中央に停止させる複数個のストツパと、前記いずれか一方の搬送手段による前記交差部
への基板搬入時には、搬入される基板の進行方向
側のストツパのみを当該一方の搬送手段の搬送面
よりも上昇させ、他方の搬送手段による基板搬出
時には、搬出される基板の進行方向側のストツパ
を当該他方の搬送手段の搬送面よりも下降させる
ストツパ昇降手段と、前記第１の搬送手段の搬送面と前記第２の搬送
手段の搬送面とを、前記交差部への基板搬入時に
は、搬入側搬送手段の搬送面を搬出側搬送手段の
搬送面よりも高くし、前記交差部からの基板搬出
時には、搬出側搬送手段の搬送面を搬入側搬送手
段の搬送面よりも高くするように、相対的に昇降
させる搬送面昇降手段とを備えて、基板を、第１の搬送手段と第２の搬送手段との
いずれからいずれへでも、かつ、可逆的に搬送し
得るようにしたことを特徴とする基板の搬送方向
転換装置。