JPH0592693U - Ｘ線透視検査装置用マニピュレータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ＩＣなどの試料をＸ線透視検査する際、その試
料の水平状態及び傾斜状態での回転を小形，軽量な構成
にて達成する。 【構成】試料回転用モータ１の軸と試料１３のクランパ
４との間にユニバーサルジョイント２を設け、このユニ
バーサルジョイント２のジョイント軸心に試料傾斜用モ
ータ５の回転軸心が直交する方向から合致する位置にそ
の試料傾斜用モータ５を配置し、また、一端がこの傾斜
用モータ５の回転軸にその回転を伝達可能に連結され、
他端がユニバーサルジョイント２からクランパ４までの
間の所定部分にその部分を回転自在に保持する軸受板７
を設けることで、試料１３の水平状態及び傾斜状態での
回転を可能とした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、試料、特にＩＣのような小形電子部品などの試料の微細な欠陥をＸ 線透視検査装置によって所望の方向，角度から観察，検査する場合に、前記試料 を水平状態及び傾斜状態で回転させるのに好適なマニピュレータに関するもので ある。

【０００２】

【従来の技術】

従来の一般的なマニピュレータは、回転用モータにより回転させながら傾斜用 モータで傾斜させることにより、回転用モータの回転軸先端に取り付けられたク ランパにクランプされた試料の各部を所望の方向，角度から観察，検査可能とし た点は同様であるが、回転機構部全体を傾斜機構部の軸で支持することにより、 試料を傾斜させる構成となっていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記のように従来技術では、回転機構部全体を傾斜機構部の軸で支持すること により試料を傾斜させる構成であるので、構造的に大形，大重量になるという問 題点があった。 試料がＩＣのような小形電子部品の場合、Ｘ線透視検査装置としてマイクロフ ォーカスＸ線透視検査装置が用いられ、透視像の拡大表示可能としている。その 際、撮像系をテーブルの上下方向に配置し、またマニピュレータを前記テーブル 上に設置し、テーブルを上下動することにより、ＴＶモニタに写し出される透視 像の拡大率を変えている。このように、マニピュレータをテーブル上に設置する 場合には、その形状，重量は小さいことが望ましいが、上記従来技術では構造的 に大形，大重量になってしまい、従来、特にＩＣのような小形電子部品を試料と するマニピュレータについて、この点についての改善が要望されていた。

【０００４】 本考案の目的は、小形，軽量にて、試料の水平状態及び傾斜状態での回転を達 成させることができ、特にＩＣのような小形電子部品を試料とする場合に有効な Ｘ線透視検査装置用マニピュレータを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的は、回転用モータで回転させながら傾斜用モータで傾斜させることに より、回転用モータの回転軸先端に取り付けられたクランパにクランプされた試 料の各部を所望の方向，角度から観察，検査可能としたＸ線透視検査装置用マニ ピュレータにおいて、前記回転用モータ軸及びクランパ相互間にユニバーサルジ ョイントを介在させ、このユニバーサルジョイントのジョイント軸心に前記傾斜 用モータの回転軸心が直交する方向から合致する位置に前記傾斜用モータが配置 され、一端がこの傾斜用モータの回転軸に当該回転軸の回転を伝達可能に連結さ れ、他端が前記ユニバーサルジョイントからクランパまでの間の所定部分に当該 部分を回転自在に保持した軸受板を設けることにより達成される。

【０００６】

【作用】

ユニバーサルジョイントが回転用モータ軸及びクランパ相互間に介在すること により、クランパにクランプされた試料を水平状態のみならず傾斜状態でも回転 可能になる。傾斜用モータは、ユニバーサルジョイントのジョイント軸心にその 回転軸心が直交する方向から合致する位置に配置されている。軸受板は、一端が 傾斜用モータの回転軸に当該回転軸の回転を伝達可能に連結され、他端がユニバ ーサルジョイントからクランパまでの間の所定部分に当該部分を回転自在に保持 している。 すなわち、ユニバーサルジョイント及び軸受板の存在のみで試料の水平状態及 び傾斜状態での回転が可能となり、したがって、小形，軽量化が図れ、特にＩＣ のような小形電子部品を試料とする場合に有効となる。

【０００７】

【実施例】

以下、図面を参照して本考案の実施例を説明する。 まず、本考案マニピュレータが用いられるＸ線透視検査装置の一例について図 ３を参照して説明する。

【０００８】 図示するように、Ｘ線防護箱１５内には、位置決め移動体としてのＸ，Ｙ，Ｚ 方向に動くテーブル１６と、Ｘ線管装置１７と、Ｘ線透過像を光学像に変換する イメージインテンシファイア１８と、イメージインテンシファイア１８の出力像 を撮像するＴＶカメラ１９とが設けられており、本考案のマニピュレータ１４は 上記テーブル１５上に設置されている。 上記テーブル１６のＸ，Ｙ，Ｚ軸に、マニピュレータ１４の回転軸と傾斜軸を 加え、装置全体として５軸制御マニピュレータと同等の機構として機能する。 そして、マニピュレータ１４に保持された試料１３に向ってＸ線管装置１７か らＸ線を照射すると、試料１３のＸ線透過像が光学像としてＴＶカメラ１９で撮 像されるようになっている。ＴＶカメラ１９によって撮像された光学像（透視像 ）は、制御箱２０内のカメラ制御器２１を通じてＴＶモニタ２２に写し出される もので、写し出された像により、試料１３の欠陥が観察，検査される。

【０００９】 制御装置２４は、操作盤２５のスイッチ類にて上記テーブル１６のＸ，Ｙ，Ｚ 方向の動きと、マニピュレータ１４の回転及び傾斜角を制御しているもので、こ れにより、試料１３は所望の方向，角度から観察，検査される。 テーブル１６は、上記のように操作盤２５のスイッチにより上下動（Ｚ方向移 動）されるが、これによりＴＶモニタ２２に写し出される像を数倍から１５０倍 までその拡大率を変えることができ、試料１３の微細な欠陥が観察，検査される 。 なおＸ線管装置１７は、Ｘ線制御器２３による高電圧発生の制御により制御 されている。

【００１０】 前記本考案マニピュレータ１４の構成例を図１及び図２を参照して説明する。 図１は平面図、図２は図１のII−II線断面図で、両図において、１０はベース板 である。 このベース板１０には回転用モータ１が取り付けられ、その回転軸端にユニバ ーサルジョイント２が接続されている。そして、ユニバーサルジョイント２の先 端部に、中間回転軸３が軸受板７の他端軸受部によって回転自在に支持されてい る。また中間回転軸３の先端部には、試料１３をクランプするためのクランパ４ が取り付けられている。

【００１１】 前記ベース板１０には、傾斜用モータ５も取り付けられている。この傾斜用モ ータ５は、その回転軸心がユニバーサルジョイントのジョイント軸心に直交する 方向から合致する位置に配置されている。 また、傾斜用モータ５の回転軸端には、スイッチカム板６が取り付けられると 共に、このスイッチカム板６を介して前記軸受板７の一端部が、傾斜用モータ５ の回転軸の回転を軸受板７の他端軸受部に伝達可能に連結されている。

【００１２】 スイッチカム板６の上下には、回転用モータ１の軸心を基準に、上限角度３０ 度の位置に上限用マイクロスイッチ８が、下限角度３０度の位置に下限用マイク ロスイッチ９が、各々取り付けられており、傾斜用モータ５の回転角、すなわち 試料１３の傾斜角の上限及び下限を設定している。マイクロスイッチ８，９は、 接続ケーブル１２によって前記制御箱２０の制御装置２４（図３参照）に接続さ れている。

【００１３】 テーブル１６は、操作盤２５のスイッチにより上下動（Ｚ方向移動）されるも ので、これによりＴＶモニタ２２に写し出される像を数倍から１５０倍まで、そ の拡大率を変えることができ、試料１３の微細な欠陥が観察，検査される。

【００１４】 以上のマニピュレータ構成部分の全体はカバー１１で覆われている。そして、 図３に示すようにテーブル１６上に設置されるもので、前述したように、操作盤 ２５のスイッチで操作してテーブル１６を上下（Ｚ）方向に移動することにより 、ＴＶモニタ２２に写し出される像が数倍から１５０倍まで拡大率を変えること ができる。また、操作盤２５のスイッチの操作により試料１３の回転（矢印イ参 照）、傾斜回転（矢印ロ参照）及び停止を制御して、試料１３の微細な欠陥が観 察，検査される。

【００１５】 試料１３が例えばＩＣの場合には、そのボンディングワイヤの接続状態や内部 の欠陥の有無が、ＴＶモニタ２２に写し出される透視像により観察，検査される 。この際、操作盤２５のスイッチの操作によりＩＣの回転、傾斜回転、停止が可 能であり、ＩＣ各部を所望の方向，角度から観察，検査可能である。 またここでは、回転用モータ１及び傾斜用モータ５として、それぞれ２ｒ．ｐ ．ｍのギヤードモータ（減速機内蔵モータ）を用いているので、回転させながら の観察，検査も可能である。

【００１６】 なお上述実施例では、傾斜用モータ５の回転角（試料１３の傾斜角）の上限及 び下限の設定手段としてマイクロスイッチ８，９を用いたが、これに代えてマイ クロフォトセンサを使用してもよい。

【００１７】 また本実施例では、試料１３の傾斜方向をテーブル１６面に対して上下（垂直 ）方向とした場合について述べたが、試料の検査目的によってテーブル１６面に 対して左右（水平）方向に傾斜させように構成してもよい。

【００１８】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、回転用モータで回転させながら傾斜用モ ータで傾斜させることにより、回転用モータの回転軸先端に取り付けられたクラ ンパにクランプされた試料の各部を所望の方向，角度から観察，検査可能とした Ｘ線透視検査装置用マニピュレータにおいて、回転用モータ軸及びクランパ相互 間にユニバーサルジョイントを介在させ、このユニバーサルジョイントのジョイ ント軸心に傾斜用モータの回転軸心が直交する方向から合致する位置に傾斜用モ ータを配置し、一端がこの傾斜用モータの回転軸に当該回転軸の回転を伝達可能 に連結され、他端がユニバーサルジョイントからクランパまでの間の所定部分に 当該部分を回転自在に保持した軸受板を設けて構成したので、小形，軽量にて、 試料の水平状態及び傾斜状態での回転を達成させることができ、特にＩＣのよう な小形電子部品を試料とする場合に有効なＸ線透視検査装置用マニピュレータを 提供できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案によるマニピュレータの一実施例を示す
平面図である。

【図２】図１のII−II線断面図である。

【図３】本考案マニピュレータが用いられるＸ線透視検
査装置の一例の概略構成図である。

【符号の説明】

１ 回転用モータ ２ ユニバーサルジョイント ３ 中間回転軸 ４ クランパ ５ 傾斜用モータ ６ スイッチカム板 ７ 軸受板 ８ 上限用マイクロスイッチ ９ 下限用マイクロスイッチ １０ ベース板 １１ カバー １２ 接続ケーブル １３ 試料（ＩＣ） １６ テーブル

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】回転用モータで回転させながら傾斜用モー
   タで傾斜させることにより、回転用モータの回転軸先端
   に取り付けられたクランパにクランプされた試料の各部
   を所望の方向，角度から観察，検査可能としたＸ線透視
   検査装置用マニピュレータにおいて、前記回転用モータ
   軸及びクランパ相互間にユニバーサルジョイントを介在
   させ、このユニバーサルジョイントのジョイント軸心に
   前記傾斜用モータの回転軸心が直交する方向から合致す
   る位置に前記傾斜用モータが配置され、一端がこの傾斜
   用モータの回転軸に当該回転軸の回転を伝達可能に連結
   され、他端が前記ユニバーサルジョイントからクランパ
   までの間の所定部分に当該部分を回転自在に保持した軸
   受板を具備すること特徴とするＸ線透視検査装置用マニ
   ピュレータ。