JPH0579493A - 真空脱ガス装置 - Google Patents
真空脱ガス装置Info
- Publication number
- JPH0579493A JPH0579493A JP23952191A JP23952191A JPH0579493A JP H0579493 A JPH0579493 A JP H0579493A JP 23952191 A JP23952191 A JP 23952191A JP 23952191 A JP23952191 A JP 23952191A JP H0579493 A JPH0579493 A JP H0579493A
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- JP
- Japan
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- valve
- vacuum
- molecular pump
- pump
- turbo molecular
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 バルブの誤動作によるターボ分子ポンプへの
大気導入によるターボ分子ポンプの故障を防止でき、信
頼性が向上する真空脱ガス装置を得る。 【構成】 真空容器１とターボ分子ポンプ２との間に接
続された配管３に第１のバルブ２１が取り付けられてい
る。この第１のバルブ２１の弁座２２はターボ分子ポン
プ２側に位置しており、真空容器１からの大気がターボ
分子ポンプ２に向けて侵入しようとしたときには、その
大気圧で弁体１４は弁座２２に押圧され、その大気の侵
入は阻止される。
大気導入によるターボ分子ポンプの故障を防止でき、信
頼性が向上する真空脱ガス装置を得る。 【構成】 真空容器１とターボ分子ポンプ２との間に接
続された配管３に第１のバルブ２１が取り付けられてい
る。この第１のバルブ２１の弁座２２はターボ分子ポン
プ２側に位置しており、真空容器１からの大気がターボ
分子ポンプ２に向けて侵入しようとしたときには、その
大気圧で弁体１４は弁座２２に押圧され、その大気の侵
入は阻止される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばイオン注入装
置に用いられる半導体フィラメント中に含有したガスを
強制的に放出するために用いられる真空脱ガス装置に関
するものである。
置に用いられる半導体フィラメント中に含有したガスを
強制的に放出するために用いられる真空脱ガス装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の真空脱ガス装置を一例を示
す工程図であり、図において、１は真空容器、２は第１
の配管３、第２の配管４を介して真空容器１に接続され
た真空ポンプであるターボ分子ポンプ、５は第３の配管
６を介してターボ分子ポンプ２に接続された粗引用の真
空ポンプである油回転ポンプ、７は真空容器１に取り付
けられた電離真空計、８は第３の配管６に取り付けられ
た熱伝導真空計、９は第１の配管３に取り付けられた第
１のバルブ、１０は第３の配管６のターボ分子ポンプ２
側に取り付けられた第２のバルブ、１１は第３の配管６
の油回転ポンプ５側に取り付けられた第３のバルブ、１
２は真空容器１と油回転ポンプ５とを接続する第４の配
管１３に取り付けられた第４のバルブである。
す工程図であり、図において、１は真空容器、２は第１
の配管３、第２の配管４を介して真空容器１に接続され
た真空ポンプであるターボ分子ポンプ、５は第３の配管
６を介してターボ分子ポンプ２に接続された粗引用の真
空ポンプである油回転ポンプ、７は真空容器１に取り付
けられた電離真空計、８は第３の配管６に取り付けられ
た熱伝導真空計、９は第１の配管３に取り付けられた第
１のバルブ、１０は第３の配管６のターボ分子ポンプ２
側に取り付けられた第２のバルブ、１１は第３の配管６
の油回転ポンプ５側に取り付けられた第３のバルブ、１
２は真空容器１と油回転ポンプ５とを接続する第４の配
管１３に取り付けられた第４のバルブである。
【０００３】図３（ａ）は第１のバルブ９の構成図であ
り、１４は弁体、１５は弁体１４のシール、１６はシー
ル１５が圧接されるとともに真空容器１側に開口した弁
座、１７は弁体１４を弁座１６側に付勢するスプリング
である。
り、１４は弁体、１５は弁体１４のシール、１６はシー
ル１５が圧接されるとともに真空容器１側に開口した弁
座、１７は弁体１４を弁座１６側に付勢するスプリング
である。
【０００４】次に、上記構成の真空脱ガス装置の動作に
ついて説明する。まず、半導体フィラメント（図示せ
ず）を真空容器１内に収納し、その後、第４のバルブ１
２を「開」、第１のバルブ９、第２のバルブ１０、第３
のバルブ１１を「閉」にして油回転ポンプ５を荒引き用
として運転する。運転中に真空容器１の電離真空計７の
指示値と熱伝導真空計８の指示値とを読み取り、それぞ
れが規定の圧力以下になると、第１のバルブ９、第２の
バルブ１０も「開」にしてターボ分子ポンプ２も併せて
運転し、真空運転を続行し半導体フィラメント中に含有
していたガスを強制的に放出させる。なお、油回転ポン
プ５が停止したときには、第２のバルブ１０が閉じると
ともに第３のバルブ１１が開き、第３の配管６内を大気
圧と同圧にして、油回転ポンプ５内の油が真空側である
ターボ分子ポンプ２側に逆流するのを防止している。
ついて説明する。まず、半導体フィラメント（図示せ
ず）を真空容器１内に収納し、その後、第４のバルブ１
２を「開」、第１のバルブ９、第２のバルブ１０、第３
のバルブ１１を「閉」にして油回転ポンプ５を荒引き用
として運転する。運転中に真空容器１の電離真空計７の
指示値と熱伝導真空計８の指示値とを読み取り、それぞ
れが規定の圧力以下になると、第１のバルブ９、第２の
バルブ１０も「開」にしてターボ分子ポンプ２も併せて
運転し、真空運転を続行し半導体フィラメント中に含有
していたガスを強制的に放出させる。なお、油回転ポン
プ５が停止したときには、第２のバルブ１０が閉じると
ともに第３のバルブ１１が開き、第３の配管６内を大気
圧と同圧にして、油回転ポンプ５内の油が真空側である
ターボ分子ポンプ２側に逆流するのを防止している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た真空脱ガス装置においては、第１のバルブ９が「開」
のときにはガスが図３（ａ）の矢印に示すように真空容
器１からターボ分子ポンプ２側に流れ、第１のバルブ９
が「閉」のときには図３（ｂ）に示すようにターボ分子
ポンプ２側が大気圧になっても弁体１４が弁座１６を押
し付け、真空容器１内を真空に保持するようになってい
る。
た真空脱ガス装置においては、第１のバルブ９が「開」
のときにはガスが図３（ａ）の矢印に示すように真空容
器１からターボ分子ポンプ２側に流れ、第１のバルブ９
が「閉」のときには図３（ｂ）に示すようにターボ分子
ポンプ２側が大気圧になっても弁体１４が弁座１６を押
し付け、真空容器１内を真空に保持するようになってい
る。
【０００６】しかしながら、真空容器１内が大気圧の状
態で誤って第１のバルブ９の駆動源が遮断された場合に
は、図３（ｃ）に示すように大気圧が弁体１４を押し上
げ、大気がターボ分子ポンプ２内に侵入し、ターボ分子
ポンプ２が過負荷状態になり、その回転部に異常振動や
変形を生じさせという課題があった。
態で誤って第１のバルブ９の駆動源が遮断された場合に
は、図３（ｃ）に示すように大気圧が弁体１４を押し上
げ、大気がターボ分子ポンプ２内に侵入し、ターボ分子
ポンプ２が過負荷状態になり、その回転部に異常振動や
変形を生じさせという課題があった。
【０００７】また、油回転ポンプ５が突然停止して真空
リークバルブである第３のバルブ１１が「開」となった
ときにも、第２のバルブ１０が遅れて閉じるため大気が
ターボ分子ポンプ２内に侵入し、ターボ分子ポンプ２が
過負荷状態になり、上記と同様の課題もあった。
リークバルブである第３のバルブ１１が「開」となった
ときにも、第２のバルブ１０が遅れて閉じるため大気が
ターボ分子ポンプ２内に侵入し、ターボ分子ポンプ２が
過負荷状態になり、上記と同様の課題もあった。
【０００８】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、バルブの誤動作および油回転ポ
ンプの緊急停止においてもターボ分子ポンプに大気が侵
入することなく、信頼性の高い真空脱ガス装置を得るこ
とを目的とする。
ためになされたもので、バルブの誤動作および油回転ポ
ンプの緊急停止においてもターボ分子ポンプに大気が侵
入することなく、信頼性の高い真空脱ガス装置を得るこ
とを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る真空脱ガス装置においては、真空容器とターボ分子ポ
ンプとを接続する配管に取り付けられたバルブは、ター
ボ分子ポンプ側に位置した弁座と、この弁座を押圧する
弁体とを備えたものである。
る真空脱ガス装置においては、真空容器とターボ分子ポ
ンプとを接続する配管に取り付けられたバルブは、ター
ボ分子ポンプ側に位置した弁座と、この弁座を押圧する
弁体とを備えたものである。
【００１０】この発明の請求項２に係る真空脱ガス装置
においては、油回転ポンプの油がターボ分子ポンプに逆
流するのを防止するために作動する真空リークバルブは
バルブが閉じた後に開く遅延リークバルブで構成された
ものである。
においては、油回転ポンプの油がターボ分子ポンプに逆
流するのを防止するために作動する真空リークバルブは
バルブが閉じた後に開く遅延リークバルブで構成された
ものである。
【００１１】
【作用】この発明の請求項１に係る真空脱ガス装置にお
いては、真空容器側が大気圧の状態になり、かつ第１の
バルブの駆動源が遮断されても、その大気圧は弁体を弁
座に押し付け、大気がターボ分子ポンプ内に侵入するこ
とは防止される。
いては、真空容器側が大気圧の状態になり、かつ第１の
バルブの駆動源が遮断されても、その大気圧は弁体を弁
座に押し付け、大気がターボ分子ポンプ内に侵入するこ
とは防止される。
【００１２】この発明の請求項２に係る真空脱ガス装置
においては、油回転ポンプが突然停止して場合でも、バ
ルブが完全に「閉」となってから遅延リークバルブが
「開」となるため、遅延リークバルブからの大気がター
ボ分子ポンプ内に侵入しすることは防止される。
においては、油回転ポンプが突然停止して場合でも、バ
ルブが完全に「閉」となってから遅延リークバルブが
「開」となるため、遅延リークバルブからの大気がター
ボ分子ポンプ内に侵入しすることは防止される。
【００１３】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１はこの発明の一実施例を示すもので、図２お
よび図３と同一または相当部分は同一符号を付し、その
説明は省略する。図において、２１は真空容器１とター
ボ分子ポンプ２との間に位置した第１のバルブで、この
弁体１４はターボ分子ポンプ２側に開口した弁座２２に
シール１５を介してスプリング１７により圧接するよう
になっている。
する。図１はこの発明の一実施例を示すもので、図２お
よび図３と同一または相当部分は同一符号を付し、その
説明は省略する。図において、２１は真空容器１とター
ボ分子ポンプ２との間に位置した第１のバルブで、この
弁体１４はターボ分子ポンプ２側に開口した弁座２２に
シール１５を介してスプリング１７により圧接するよう
になっている。
【００１４】この真空脱ガス装置では、第１のバルブ２
１が「開」のときにはガスは図１（ａ）の矢印に示すよ
うに真空容器１からターボ分子ポンプ２側に流れる。図
１（ｂ）に示すように第１のバルブ２１が「閉」のとき
には、真空容器１側が大気圧の状態になり、かつ第１の
バルブ２１の駆動源が遮断されても、その大気圧は弁体
１４を弁座２２に押し付け（図１（ｃ）参照）、大気が
ターボ分子ポンプ２内に侵入することは防止される。
１が「開」のときにはガスは図１（ａ）の矢印に示すよ
うに真空容器１からターボ分子ポンプ２側に流れる。図
１（ｂ）に示すように第１のバルブ２１が「閉」のとき
には、真空容器１側が大気圧の状態になり、かつ第１の
バルブ２１の駆動源が遮断されても、その大気圧は弁体
１４を弁座２２に押し付け（図１（ｃ）参照）、大気が
ターボ分子ポンプ２内に侵入することは防止される。
【００１５】実施例２．また、第３の配管６に取り付け
られた第３のバルブを遅延リークバルブにすることによ
り、油回転ポンプ５が突然停止して場合でも、第２のバ
ルブ１０が完全に「閉」となってから遅延リークバルブ
が「開」となるため、遅延リークバルブからの大気がタ
ーボ分子ポンプ２内に侵入しすることは防止される。遅
延リークバルブの時間設定は、例えばタイマーにより油
回転ポンプ５の停止後１０秒後に開くようにすればよ
い。
られた第３のバルブを遅延リークバルブにすることによ
り、油回転ポンプ５が突然停止して場合でも、第２のバ
ルブ１０が完全に「閉」となってから遅延リークバルブ
が「開」となるため、遅延リークバルブからの大気がタ
ーボ分子ポンプ２内に侵入しすることは防止される。遅
延リークバルブの時間設定は、例えばタイマーにより油
回転ポンプ５の停止後１０秒後に開くようにすればよ
い。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の請求項
１に係る真空脱ガス装置によれば、真空容器側が大気圧
の状態で、かつバルブの駆動源が遮断されても、その大
気圧は弁体を弁座に押し付け、大気がターボ分子ポンプ
内に侵入することはないので、ターボ分子ポンプが過負
荷状態になり、その回転部が異常振動や変形を生じるよ
うなことはなく、信頼性が向上するという効果がある。
１に係る真空脱ガス装置によれば、真空容器側が大気圧
の状態で、かつバルブの駆動源が遮断されても、その大
気圧は弁体を弁座に押し付け、大気がターボ分子ポンプ
内に侵入することはないので、ターボ分子ポンプが過負
荷状態になり、その回転部が異常振動や変形を生じるよ
うなことはなく、信頼性が向上するという効果がある。
【００１７】また、この発明の請求項２に係る真空脱ガ
ス装置によれば、油回転ポンプが突然停止した場合で
も、バルブが完全に「閉」となってから遅延リークバル
ブが「開」となるため、遅延リークバルブからの大気が
ターボ分子ポンプ内に侵入することはなく、請求項１と
同様に信頼性が向上するという効果がある。
ス装置によれば、油回転ポンプが突然停止した場合で
も、バルブが完全に「閉」となってから遅延リークバル
ブが「開」となるため、遅延リークバルブからの大気が
ターボ分子ポンプ内に侵入することはなく、請求項１と
同様に信頼性が向上するという効果がある。
【図１】この発明の請求項１に係る第１のバルブの構成
図である。
図である。
【図２】従来の真空脱ガス装置の一例を示す工程図であ
る。
る。
【図３】図２の第１のバルブの構成図である。
１ 真空容器 ２ ターボ分子ポンプ ３ 第１の配管 ４ 第２の配管 ５ 油回転ポンプ ６ 第３の配管 １４ 弁体 ２１ 第１のバルブ ２２ 弁座
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中川 晃成 福岡市西区今宿東一丁目１番１号 福菱セ ミコンエンジニアリング株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 真空容器と、この真空容器内を真空にす
るためのターボ分子ポンプと、このターボ分子ポンプと
真空容器とを接続する配管に取り付けられ、その配管の
通路を遮断するバルブとを有する真空脱ガス装置におい
て、前記バルブは、前記ターボ分子ポンプ側に位置した
弁座と、この弁座を押圧する弁体とを備えたことを特徴
とする真空脱ガス装置。 - 【請求項２】 真空容器と、この真空容器内を真空にす
るためのターボ分子ポンプと、このターボ分子ポンプに
配管を介して接続されているとともに前記真空容器とも
接続された真空粗引用の油回転ポンプと、前記配管の前
記ターボ分子ポンプ側に取り付けられたバルブと、前記
配管の前記油回転ポンプ側に取り付けられ前記油回転ポ
ンプの停止に伴う油回転ポンプの油が前記ターボ分子ポ
ンプに逆流するのを防止するために配管中に大気を導入
する真空リークバルブとを備えた真空脱ガス装置におい
て、前記真空リークバルブは前記バルブが閉じた後に開
く遅延リークバルブで構成されたことを特徴とする真空
脱ガス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23952191A JPH0579493A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 真空脱ガス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23952191A JPH0579493A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 真空脱ガス装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0579493A true JPH0579493A (ja) | 1993-03-30 |
Family
ID=17046040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23952191A Pending JPH0579493A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 真空脱ガス装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0579493A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6757220B1 (en) | 1998-09-22 | 2004-06-29 | Seiko Epson Corporation | Electronically controlled timepiece, and power supply control method and time correction method therefor |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP23952191A patent/JPH0579493A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6757220B1 (en) | 1998-09-22 | 2004-06-29 | Seiko Epson Corporation | Electronically controlled timepiece, and power supply control method and time correction method therefor |
| US6956794B2 (en) | 1998-09-22 | 2005-10-18 | Seiko Epson Corporation | Electronically controlled timepiece, and power supply control method and time correction method therefore |
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