JPH0577417A

JPH0577417A - インクジエツトプリンタヘツド

Info

Publication number: JPH0577417A
Application number: JP23793291A
Authority: JP
Inventors: Minoru Ogawa; 実小川; Masashi Shimozato; 正志下里; Takashi Harakawa; 崇原川; Osamu Tsutsumida; 治堤田
Original assignee: Tokyo Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba TEC Corp
Priority date: 1991-09-18
Filing date: 1991-09-18
Publication date: 1993-03-30

Abstract

(57)【要約】【目的】オリフィスの外周部の装置表面をインクに対
する撥液性が高いように形成し、この装置表面の耐久性
を向上させる。【構成】フッ素を構成成分として含有する粒子を含む
金属４１で少なくともオリフィスの外周部の装置表面４
０を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】現在、静粛で高密度印刷が可能なインク
ジェットプリンタヘッドとして、オリフィスからインク
滴を吐出させて印刷用紙に定着させるインクジェットプ
リンタヘッドなどが実用化されている。

【０００３】例えば、オンデマンド方式のインクジェッ
トプリンタヘッドでは、アレイ状に連設されたオリフィ
スの各々に連通した圧力室内に電歪素子や発熱素子から
なる圧力発生手段を設けた構造などとなっている。そし
て、このようなインクジェットプリンタヘッドでは、印
刷画像に対応した駆動電力を圧力発生手段に印加して圧
力室内のインクを加圧し、オリフィスからインク滴を吐
出させて画像を形成するようになっている。

【０００４】ここで、このようなインクジェットプリン
タヘッドでインク滴の吐出特性を良好にするためには、
インクを保持する圧力室やオリフィスの内面はインクと
の親液性を高くする必要があり、かつ、インク滴が形成
されるオリフィスの外周部に位置する表面はインクとの
撥液性が高い必要がある。そこで、このような課題を解
決する各種の手段が提案されているが、オリフィスの外
周部の撥液性を向上させるためにフッ素を利用するよう
にしたインクジェットプリンタヘッドが、特開平2-4895
3号公報、特公昭52-24821号公報、特開昭58-175666号公
報等に開示されている。そこで、これらの公報に開示さ
れた装置をインクジェットプリンタヘッドの従来例とし
て以下に説明する。

【０００５】まず、特開平2-48953号公報に開示された
インクジェットプリンタヘッドを第一の従来例として図
１０ないし図１２に基づいて説明する。このインクジェ
ットプリンタヘッド１は一般的にバブルジェット方式と
呼称されるものであり、図１０及び図１１に例示するよ
うに、ここでは基板２上に所定パターンの隔壁３を介し
て基板４を装着した構造となっている。そして、このイ
ンクジェットプリンタヘッド１では、前記隔壁３に形成
された空隙で圧力室とインク供給路とを兼用したオリフ
ィス５やインク槽６が形成されており、前記基板２上に
は前記オリフィス５内の位置に圧力発生手段である発熱
素子７が形成されている。また、このインクジェットプ
リンタヘッド１では、前記基板２，４や隔壁３は、各々
インクに対する親液性が良好なセラミックや感光性樹脂
などで形成されており、前記基板２，４と隔壁３とで形
成された装置表面８には、インクに対する撥液性が良好
なフッ素ゴム等からなる表面処理層９が形成されてい
る。

【０００６】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１では、インク槽６内に供給された
インク(図示せず)が親液性が良好なオリフィス５内に保
持されるので、この状態で発熱素子７が発熱駆動される
とインク内に急成長するインクの圧力でオリフィス５か
らインク滴が吐出されることになる。この時、もしもオ
リフィス５の外周部に位置する装置表面８の撥液性が良
好でないと、ここにインクが付着するなどしてインク滴
の吐出が阻害されるので、このインクジェットプリンタ
ヘッド１では、インクとの撥液性が良好なフッ素ゴム等
で表面処理層９を装置表面８に形成している。

【０００７】ここで、上記公報に開示されている表面処
理層９の製作方法の具体例の一つを図１２に基づいて説
明する。まず、予め用意したシリコンゴム等の弾性材か
らなる支持体１０をフッ素ゴム等の溶液に浸漬して膨潤
させ、同図(ａ)に例示したように、これを大気中に放置
して溶媒を揮発させることで表面に薄膜層１１が析出し
た転写台１２を得る。そこで、同図(ｂ)に例示するよう
に、これとは別に上述のような構造のインクジェットプ
リンタヘッド１を転写台１２上に圧接することで、同図
(ｃ)に例示するように、このインクジェットプリンタヘ
ッド１の装置表面８に薄膜層１１が転写されて表面処理
層９が形成されるので、この表面処理層９を乾燥させる
ことでインク滴の吐出特性が良好なインクジェットプリ
ンタヘッド１が完成することになる。

【０００８】なお、上記公報には、表面処理層９を溶液
の塗布で形成することや、装置表面８に予め微細な凹凸
を形成して表面処理層９の耐久性を向上させることなど
も開示されている。

【０００９】つぎに、特公昭52-24821号公報に開示され
たインクジェットプリンタヘッドを第二の従来例として
図１３に基づいて説明する。このインクジェットプリン
タヘッド１３では、装置本体１４がオリフィス１５を中
心とした円錐状に形成されており、このオリフィス１５
の外周部に位置する装置表面１６上には、窒化タンタル
等の高抵抗体層１７とフッ素樹脂等の高分子材料層１８
とを順次積層した表面処理層１９が形成されている。

【００１０】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１３は、インクとの撥液性が良好な
高分子材料層１８でインクの付着を防止すると共に、高
抵抗体層１７の発熱駆動で付着したインクを蒸発させる
ようになっている。なお、このインクジェットプリンタ
ヘッド１３では、上述のような高抵抗体層１７と高分子
材料層１８とを各々スパッタリング法で形成することが
例示されている。

【００１１】さらに、特開昭58-175666号公報に開示さ
れたインクジェットプリンタヘッドを第三の従来例とし
て図１４に基づいて説明する。このインクジェットプリ
ンタヘッド２０は一般的にピエゾ方式と呼称されるもの
であり、ここでは装置本体２１とオリフィス板２２とを
一体に接合した構造となっている。ここで、前記装置本
体２１には、ピエゾ素子２３が内蔵される圧力室２４と
流路２５とがアレイ状に形成されており、これらの流路
２５と各々連通するオリフィス２６が前記オリフィス板
２２にアレイ状に形成されている。そして、このような
オリフィス板２２の装置表面２７には、インクに対する
撥液性が良好なフッ素化合物からなる表面処理層(図示
せず)が形成されている。

【００１２】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド２０では、圧力室２４やオリフィス
２６内にインクが保持された状態でピエゾ素子２３が駆
動されて振動すると、この振動の圧力伝播でオリフィス
５からインク滴が吐出されることになる。なお、このイ
ンクジェットプリンタヘッド２０では、オリフィス板２
２の装置表面２７の表面処理層を、フッ素化合物のガス
でプラズマ処理して形成するようになっている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上記公報に開示された
インクジェットプリンタヘッド１，１３，２０では、何
れもオリフィス５，１５，２６の外周部に位置する装置
表面８，１６，２７にフッ素を構成成分とする表面処理
層９，１９を形成することでインク滴の吐出特性を向上
させている。

【００１４】ここで、このようなインクジェットプリン
タヘッド１，１３，２０では、実際には紙粉等でオリフ
ィス５，１５，２６に目詰りが発生することがあり、こ
れを防止するためにゴムブレード等で装置表面８，１
６，２７を擦過するワイピングを周期的に行なう装置が
ある。そこで、このようなワイピングを繰返して表面処
理層９，１９上のインク液接触角の変化を測定すること
で、インクジェットプリンタヘッド１，１３，２０の耐
久性を検査することができる。

【００１５】例えば、特開平2-48953号公報に開示され
たインクジェットプリンタヘッド１では、表面処理層９
を転写や塗布で形成することが例示されているが、この
ような装置を本出願人が実際に試作したところ、このよ
うにして形成した表面処理層９は膜厚が不均一でワイピ
ング耐性等の耐久性も低いことが確認された。

【００１６】また、特公昭52-24821号公報や特開昭58-1
75666号公報に開示されたインクジェットプリンタヘッ
ド１３，２０では、表面処理層１９等を高分子材料など
の樹脂材で形成するので、やはりワイピング耐性などの
耐久性が低下しがちである。しかも、上記公報には表面
処理層１９等をスパッタリングやプラズマ処理で製作す
ることが開示されているが、このような製膜方法は位置
の選択性が低いため、オリフィス１５，２６の内面まで
表面処理層１９等が形成されてインク滴の吐出特性が低
下する懸念もある。

【００１７】本発明は、インクに対する撥液性が高い装
置表面の耐久性が良好なインクジェットプリンタヘッド
を得るものである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】オリフィスとインク供給
路とが連通した圧力室内に圧力発生手段を配置し、前記
インク供給路から前記圧力室内に流入したインクを前記
圧力発生手段で加圧して前記オリフィスから吐出させる
ようにしたインクジェットプリンタヘッドにおいて、フ
ッ素を構成成分として含有する粒子を含む金属で少なく
とも前記オリフィスの外周部の装置表面を形成した。

【００１９】

【作用】フッ素を構成成分として含有する粒子を含む金
属で少なくともオリフィスの外周部の装置表面を形成し
たことにより、インクに対する撥液性が高い装置表面の
耐久性が良好なインクジェットプリンタヘッドを得るこ
とができる。

【００２０】

【実施例】本発明の実施例を図１ないし図９に基づいて
説明する。まず、図１に例示するように、このインクジ
ェットプリンタヘッド２８は、基板２９と圧力室層３０
と供給路層３１及びオリフィス板３２が順次積層された
構造となっている。そして、このオリフィス板３２にア
レイ状に連続形成されたオリフィス３３と前記基板２９
の表面に形成された圧力発生手段である発熱抵抗体３４
とが各々同軸上に位置しており、この発熱抵抗体３４を
略中心とする矩形環状の隔壁３５が形成された前記圧力
室層３０により前記オリフィス３３の軸心に対して対称
形の圧力室３６が形成され、この圧力室３６と対向する
部分が開口した前記供給路層３１により前記オリフィス
３３の軸心に対して全周方向に開口したインク供給路３
７が形成されている。なお、このインクジェットプリン
タヘッド２８では、前記圧力室層３０の隔壁３５間にイ
ンク貯蔵室３８が形成されており、このインク貯蔵室３
８に連通したインク補給孔３９が前記基板２９に形成さ
れている。

【００２１】そして、このインクジェットプリンタヘッ
ド２８のオリフィス板３２は、図２に例示するように、
平板状に形成されて前記オリフィス３３が線形に配列さ
れており、その装置表面４０にはフッ素を構成成分とし
て含有する粒子を含む金属のメッキで表面処理層４１が
形成されている。

【００２２】そこで、このようなオリフィス板３２の製
作方法の第一の実施例を図３に基づいて説明する。ま
ず、同図(ａ)に例示するように、ステンレス等からなる
導電性が高い電鋳基板４２を用意し、同図(ｂ)に例示す
るように、この電鋳基板４２上にフォトレジスト等の非
導電性材料４３等をスピンコート等で一様に塗布する。
そして、同図(ｃ)に例示するように、この上に所定パタ
ーンのフォトマスク４４を配置して紫外線でフォトエッ
チングを行なうことで、同図(ｄ)に例示するように、非
導電性のレジストマスク４５が所定形状に形成された導
電性の電鋳基板４２を形成する。そこで、このような電
鋳基板４２をＮiやＣuの電鋳浴(図示せず)中に浸漬して
電鋳基板４２が陽極となるように通電を行なうと、同図
(ｅ)に例示するように、レジストマスク４５上の部分が
開口した電鋳品４６が電鋳基板４２上に製膜されること
になる。

【００２３】例えば、この状態で電鋳品４６を電鋳基板
４２から剥離させることでオリフィス３３がテーパ状の
オリフィス板３２を得ることができるが、このようにす
ると前述したようにオリフィス３３に充填材を圧入する
などしても表面処理層４０を良好に形成することができ
ない。

【００２４】そこで、本実施例の製作方法では、電鋳品
４６が形成された状態の電鋳基板４２を洗浄して乾燥さ
せ、これをスパッタリング等の薄膜製造装置(図示せず)
にセットしてＳiＯ₂等の絶縁性や半絶縁性を有する薄膜
層４７を電鋳品４６上にスパッタリング等で形成する。
すると、同図(ｆ)に例示するように、この電鋳品４６は
圧力室３６やオリフィス３３を形成する部分のみが薄膜
層４７で被われるので、この電鋳品４６を電鋳基板４２
から剥離させてから装置表面４０のレジストを除去して
洗浄し、このオリフィス板３２をフッ素系樹脂の粒子を
含有したＮiの電界や無電界のメッキ浴(図示せず)に浸
漬する。このようにすることで、同図(ｇ)に例示するよ
うに、このオリフィス板３２は、インク４８に対する撥
液性が良好な表面処理層４１がオリフィス３３の外周部
の装置表面４０に形成され、オリフィス３３や圧力室３
６を形成する部分にはインク４８に対する親液性が良好
な薄膜層４７が形成されるので、これはオリフィス３３
内のインク４８の保持とインク滴４８ａの生成とが共に
良好となる。

【００２５】なお、このような特性を確認するために本
出願人が実際に試作したオリフィス板３２は、膜厚30
(μm)で約20(mm)角のＮiの電鋳品で、最小直径30(μm)
のオリフィス３３を200(μm)のピッチで10個形成した。
そして、このようなオリフィス板３２は多数個取りが可
能であり、実際には一個の電鋳基板４２から25個を製作
することができた。また、ここではＮi電鋳の成長速度
が縦方向と横方向で略同一と仮定し、膜厚30(μm)の電
鋳品に直径30(μm)のオリフィス３３を形成するため、
レジストマスク４５の直径を90(μm)とした。

【００２６】さらに、上述のようにインクに対する親液
性が良好な薄膜層４７としては、前述したＳiＯ₂等の他
にＳi₃Ｎ₄やガラスなども利用可能である。また、この
ような薄膜層４７は、Ｎiからなる電鋳品４６との密着
性が比較的低いので、これをスパッタリングで製膜する
場合は、スパッタエッチング後に製膜を行なうことや、
バイアス電圧を印加しながら製膜を行なうことや、所定
材料の中間膜(図示せず)を介して製膜を行なうことなど
で密着性を向上させることが可能である。

【００２７】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド２８は、発熱抵抗体３４に駆動回路
(図示せず)が接続されてインク補給孔３９に連通管等で
インク槽(共に図示せず)が連結され、相対的に副走査移
動する印刷用紙４９に対向配置される。そこで、このイ
ンクジェットプリンタヘッド２８は、電力が印加された
発熱抵抗体３４が発熱すると、これに接触しているイン
ク４８が蒸発して気泡５０が発生する。この時、この気
泡５０の発生によるインク４８の圧力変化の伝播方向
は、圧力室３６に規制されてオリフィス３３に向かうこ
とになる。そこで、このオリフィス３３からインク４８
が吐出するタイミングに同期して電力供給が停止され、
発熱抵抗体３４の温度が低下して気泡５０が収縮する。
すると、この気泡５０の収縮によるインク４８の圧力変
化によってオリフィス３３から突出していたインク４８
の一部が切断され、これがインク滴４８ａとなって飛翔
する。そこで、発熱抵抗体３４を選択的に発熱駆動して
所定のオリフィス３３からインク滴４８ａを飛翔させる
ことで、相対的に副走査移動する印刷用紙４９の表面に
画像を形成することができる。なお、各圧力室３６に
は、インク補給孔３９から順次補給されるインク４８が
インク貯蔵室３８からインク供給路３７を経て供給され
ることになる。

【００２８】そして、このインクジェットプリンタヘッ
ド２８では、オリフィス３３の内部などはインク４８と
の親液性が良好なので、このインク４８はオリフィス３
３内に良好に保持され、装置表面４０の表面処理層４１
はインク４８との撥液性が良好なので、インク滴４８ａ
は表面処理層４１に付着することなく良好に吐出され
る。しかも、このインクジェットプリンタヘッド２８で
は、オリフィス３３の外周部の装置表面４０に金属メッ
キで表面処理層４１を形成しているので、この表面処理
層４１はワイピング耐性等の耐久性が極めて良好であ
る。つまり、この表面処理層４１は、金属メッキで形成
されているので強固であり、しかも、含有したフッ素系
樹脂の粒子が表面に析出するので、この析出した粒子に
よってインク４８との撥液性が確保される。

【００２９】つぎに、オリフィス板３２の製作方法の第
二の実施例を図４に基づいて説明する。まず、同図(ａ)
に例示するように、図３に基づいて前述した製作方法と
同様にして電鋳基板４２上に電鋳品４６を形成し、これ
を洗浄後に乾燥させる。そこで、図４(ｂ)に例示するよ
うに、この電鋳品４６上に充填材５１を塗布や圧入で製
膜すると、この場合は電鋳品４６の装置表面４０が電鋳
基板４２と密着しているので充填材５１はオリフィス３
３内に正確に充填される。そこで、同図(ｃ)に例示する
ように、この電鋳品４６を電鋳基板４２から剥離させて
から装置表面４０のレジストを除去して洗浄し、このオ
リフィス板３２をフッ素系樹脂の粒子を含有したＮiの
メッキ浴(図示せず)に浸漬することで、同図(ｄ)に例示
するように、このオリフィス板３２は装置表面４０のみ
に表面処理層４１が形成されるので、同図(ｅ)に例示す
るように、充填材５１を除去することでオリフィス３３
内のインク４８の保持とインク滴４８ａの生成とが共に
良好なオリフィス板３２を得ることができる。

【００３０】なお、この製作方法では、上述のように電
鋳品４６が電鋳基板４２上に密着した状態で充填材５１
を形成するので、この充填材５１がオリフィス３３から
突出するようなことがなく、表面処理層４１を極めて正
確に形成することができる。また、この場合は電鋳品４
６からレジストを除去する際に充填材５１が侵食される
懸念がある。そこで、これを解消する手段として本出願
人は、充填材５１をワックスとしてサンドブラストでレ
ジストを除去することや、電鋳用のレジストをポジ型に
すると共に充填材５１をネガ型レジストとして選択的な
エッチングを行なうことなどを提案し、これを実際に実
験して良好な結果が得られることを確認した。

【００３１】さらに、オリフィス板３２の製作方法の第
三の実施例を図５に基づいて説明する。まず、同図(ａ)
に例示するように、図３に基づいて前述した製作方法と
同様にして電鋳基板４２上に電鋳品４６を形成し、これ
を洗浄後に乾燥させる。そこで、図５(ｂ)に例示するよ
うに、これをＡu等のメッキ浴(図示せず)に浸漬してイ
ンク４８に対する親液性や耐食性が良好なメッキ膜５２
を電鋳品４６上に形成し、以下は図４に基づいて前述し
た製作方法と同様にして表面処理層４１を形成すること
で、インク４８に対する親液性や耐食性が良好なメッキ
膜５２がオリフィス３３の内面等に形成されたオリフィ
ス板３２を得ることができる。

【００３２】このようにすることで、オリフィス板３２
を形成するＮiの電鋳品４６はインク４８に対する親液
性や耐食性が十分でないが、これはメッキ膜５２を形成
することで解消することができる。なお、上述した製作
方法ではメッキ膜５２の形成後に充填材５１を設けてい
るが、これは表面処理層４１がメッキ膜５２上にも形成
されることを防止するためである。

【００３３】ここで、上述した製作方法では、何れもオ
リフィス板３２を形成する電鋳品４６の装置表面４０に
インク４８との撥液性が良好な表面処理層４１を金属メ
ッキで形成することを例示したが、本発明は上記形式に
限定されるものではなく、フッ素を構成成分として含有
する粒子を含む金属でオリフィスの外周部の装置表面が
形成されていれば良い。

【００３４】そこで、このようなオリフィス板５３の製
作方法の第四の実施例を図６に基づいて説明する。ま
ず、同図(ａ)に例示するように、ステンレス等からなる
導電性が高い電鋳基板４２を用意し、同図(ｂ)に例示す
るように、この電鋳基板４２上にフォトレジスト等の非
導電性材料４３等をスピンコート等で一様に塗布する。
そして、同図(ｃ)に例示するように、この上に所定パタ
ーンのフォトマスク４４を配置して紫外線でフォトエッ
チングを行なうことで、同図(ｄ)に例示するように、非
導電性のレジストマスク４５が所定形状に形成された導
電性の電鋳基板４２を形成する。そこで、このような電
鋳基板４２を、フッ素系樹脂の粒子を含有したＮiのメ
ッキ浴(図示せず)中に浸漬して電鋳基板４２が陽極とな
るように通電を行なうと、同図(ｅ)に例示するように、
レジストマスク４５上の部分が開口した電鋳品５４が電
鋳基板４２上に製膜されることになる。そこで、この状
態でメッキ浴内のフッ素系樹脂の粒子の懸濁量を減少さ
せてゆくと、同図(ｆ)に例示するように、電鋳品５４の
最上層にはフッ素系樹脂の粒子を略含有しないＮi層５
５が形成されることになる。そこで、このような電鋳品
５４を電鋳基板４２から剥離させてから装置表面５６の
レジストを除去して洗浄することで、同図(ｇ)に例示す
るように、装置表面５６はインク４８に対する撥液性が
良好でオリフィス３３内はインク４８に対する親液性が
良好なオリフィス板５３を形成することができる。この
場合、このオリフィス板５３では、特別なコーティング
等を要することなく電鋳品５４の装置表面５６の撥液性
が良好なので、この装置表面５６はワイピング耐性など
の耐久性が極めて良好である。

【００３５】なお、実際には一個のメッキ浴内の粒子含
有率を低下させることは困難であるので、本出願人が実
際に試作した場合では、フッ素粒子の含有率の比が10
0，80，50，20，0となるメッキ浴を個別に用意してお
き、これらのメッキ浴に電鋳基板４２を順次浸漬するよ
うにした。このようにすることで、フッ素系樹脂の粒子
を多量に含有した電鋳品５４で装置表面５６が形成さ
れ、フッ素系樹脂の粒子を略完全に含有しないＮi層５
５でオリフィス３３等の内面等が形成されたオリフィス
板５３を得ることができた。

【００３６】なお、本実施例の製作方法では、フッ素系
樹脂の粒子を多量に含有したＮiの電鋳品５４でオリフ
ィス板５３を形成し、インク４８を保持するオリフィス
３３の内面などの部分はフッ素系樹脂の粒子を含有しな
いＮi層５５を形成するものとしたが、このようにイン
ク４８との親液性が要求される部分を金メッキやガラス
薄膜等でコーティングすることも実施可能である。

【００３７】また、図７及び図８に例示するように、上
述した製作方法で形成したオリフィス板５３では、オリ
フィス３３の外周部の装置表面５６の一部にインク４８
との親液性が良好なＮi層５５が形成されることにな
る。従って、この場合はＮi層５５によってインク滴４
８ａの生成が阻害される懸念があるので、このような製
作方法は機器の仕様や要求性能などに従って採用される
ことになる。

【００３８】なお、本出願人が実際に試作したオリフィ
ス板３２では、フッ素系樹脂の粒子を含有した金属材と
して、ＰＴＦＥ(Ｐoly-Ｔetrafluoru-Ｅthylene)を含有
した無電界や有電界のＮi複合メッキ液を利用した。

【００３９】そこで、このような無電界のＮi複合メッ
キ液を利用して本出願人が実際にオリフィス板３２を試
作したところ、その表面処理層４１はＰＴＦＥの含有率
が約23(％)で水の接触角は約100度であった。そこで、
このようなオリフィス板３２のワイピング耐性の試験を
行なったところ、図９に例示するように、ワイピング回
数が100回を超過しても接触角に変化は見られず、従来
の塗布形成した樹脂膜に比して100倍以上の耐久性が確
認された。これは、このオリフィス板３２の表面処理層
４１が金属メッキで形成されているので、その耐摩耗性
が良好であると共に膜厚も均一であることに起因してい
ると考えられる。

【００４０】なお、上述した実施例では、オリフィス板
３２，５３の各部を電鋳で形成することで生産性を向上
させることを例示したが、本発明は上記形式に限定され
るものではなく、例えば、ＳＵＳ基板にエッチングやプ
レス等で形成したオリフィスに充填材を充填し、その装
置表面をフッ素を構成成分として含有する粒子を含む金
属で外装したオリフィス板なども実施可能である。

【００４１】

【発明の効果】本発明は上述のように、オリフィスとイ
ンク供給路とが連通した圧力室内に圧力発生手段を配置
し、インク供給路から圧力室内に流入したインクを圧力
発生手段で加圧してオリフィスから吐出させるようにし
たインクジェットプリンタヘッドにおいて、フッ素を構
成成分として含有する粒子を含む金属で少なくともオリ
フィスの外周部の装置表面を形成したことにより、イン
クに対する撥液性が高い装置表面の耐久性が良好なイン
クジェットプリンタヘッドを得ることができる等の効果
を有するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す作動状態の縦断側面図で
ある。

【図２】オリフィス板の斜視図である。

【図３】製作方法の第一の実施例を示す工程図である。

【図４】製作方法の第二の実施例を示す工程図である。

【図５】製作方法の第三の実施例を示す工程図である。

【図６】製作方法の第四の実施例を示す工程図である。

【図７】要部を拡大した縦断側面図である。

【図８】底面図である。

【図９】ワイピング回数と親液性との関係を示す特性図
である。

【図１０】第一の従来例を示す分解斜視図である。

【図１１】斜視図である。

【図１２】製作方法を示す工程図である。

【図１３】第二の従来例を示す縦断正面図である。

【図１４】第三の従来例を示す横断平面図である。

【符号の説明】

２８インクジェットプリンタヘ
ッド３３オリフィス３４圧力発生手段３６圧力室３７インク供給路４０，５６装置表面４８インク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者堤田治静岡県三島市南町６番78号東京電気株式会社技術研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】オリフィスとインク供給路とが連通した
圧力室内に圧力発生手段を配置し、前記インク供給路か
ら前記圧力室内に流入したインクを前記圧力発生手段で
加圧して前記オリフィスから吐出させるようにしたイン
クジェットプリンタヘッドにおいて、フッ素を構成成分
として含有する粒子を含む金属で少なくとも前記オリフ
ィスの外周部の装置表面を形成したことを特徴とするイ
ンクジェットプリンタヘッド。