JPH0577075A - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機Info
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- JPH0577075A JPH0577075A JP3241724A JP24172491A JPH0577075A JP H0577075 A JPH0577075 A JP H0577075A JP 3241724 A JP3241724 A JP 3241724A JP 24172491 A JP24172491 A JP 24172491A JP H0577075 A JPH0577075 A JP H0577075A
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- Japan
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- laser processing
- processing head
- beam member
- laser beam
- laser
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 上記加工ヘッドが水平に移動する時に生じる
ビーム部材の撓みを補正することにより精密なレーザ加
工を行うことができるレーザ加工機を提供することを目
的とする。 【構成】 フレームに水平方向へ延伸して設けたビーム
部材に、レーザ光を照射するレーザ加工ヘッドを上記ビ
ーム部材に上記水平方向へ移動自在に設け、上記レーザ
加工ヘッドが上記水平方向へ移動するときにビーム部材
に生じる上下方向の撓みを補正する撓み補正装置を設け
たことを特徴とする。
ビーム部材の撓みを補正することにより精密なレーザ加
工を行うことができるレーザ加工機を提供することを目
的とする。 【構成】 フレームに水平方向へ延伸して設けたビーム
部材に、レーザ光を照射するレーザ加工ヘッドを上記ビ
ーム部材に上記水平方向へ移動自在に設け、上記レーザ
加工ヘッドが上記水平方向へ移動するときにビーム部材
に生じる上下方向の撓みを補正する撓み補正装置を設け
たことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ加工ヘッドの
重量によるビーム部材の撓み補正する撓み補正装置を具
備した光軸移動式のレーザ加工機に関する。
重量によるビーム部材の撓み補正する撓み補正装置を具
備した光軸移動式のレーザ加工機に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のレーザ加工機は、フレームに水平
方向へ延伸して設けたビーム部材と、このビーム部材に
レーザ光を照射すべく設けたレーザ加工ヘッド等を備え
ている。更に詳しくは、光軸を移動するためにレーザ加
工ヘッドが水平方向へ伸びたビーム部材に支持されて摺
動するようになっており、前記レーザ加工ヘッドから照
射されたレーザビームが、レーザ加工ヘッドの下方位置
にあるワークピースに照射されるものである。
方向へ延伸して設けたビーム部材と、このビーム部材に
レーザ光を照射すべく設けたレーザ加工ヘッド等を備え
ている。更に詳しくは、光軸を移動するためにレーザ加
工ヘッドが水平方向へ伸びたビーム部材に支持されて摺
動するようになっており、前記レーザ加工ヘッドから照
射されたレーザビームが、レーザ加工ヘッドの下方位置
にあるワークピースに照射されるものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の技術
で知られていた光軸移動式のレーザ加工機では、レーザ
加工ヘッドが水平方向に移動するに伴なって、レーザ加
工ヘッドの重量によるビーム部材の上下方向の撓みが生
じるから、レーザ加工ヘッドとワークピースまでの距離
も変化してしまう。従って、ワークピースに照射された
レーザービームの焦点が狂ってレーザ加工が精密に行わ
れなくなるという問題があった。
で知られていた光軸移動式のレーザ加工機では、レーザ
加工ヘッドが水平方向に移動するに伴なって、レーザ加
工ヘッドの重量によるビーム部材の上下方向の撓みが生
じるから、レーザ加工ヘッドとワークピースまでの距離
も変化してしまう。従って、ワークピースに照射された
レーザービームの焦点が狂ってレーザ加工が精密に行わ
れなくなるという問題があった。
【０００４】この発明の目的は、上記の問題点に鑑み、
レーザ加工ヘッドの水平移動に伴なって生じるビーム部
材の上下方向の撓みを補正する装置を備えたレーザ加工
機を提供することにある。
レーザ加工ヘッドの水平移動に伴なって生じるビーム部
材の上下方向の撓みを補正する装置を備えたレーザ加工
機を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、フレームに水平方向へ延伸して設けた
ビーム部材に、レーザ光を照射するレーザ加工ヘッドを
上記ビーム部材に上記水平方向へ移動自在に設け、上記
レーザ加工ヘッドが上記水平方向へ移動するときにビー
ム部材に生じる上下方向の撓みを補正する撓み補正装置
を設けてなる構成とした。
に、この発明は、フレームに水平方向へ延伸して設けた
ビーム部材に、レーザ光を照射するレーザ加工ヘッドを
上記ビーム部材に上記水平方向へ移動自在に設け、上記
レーザ加工ヘッドが上記水平方向へ移動するときにビー
ム部材に生じる上下方向の撓みを補正する撓み補正装置
を設けてなる構成とした。
【０００６】上記撓み補正装置は、ビーム部材あるいは
フレームにナット部材を設け、このナット部材に螺合し
た螺子杆をフレームあるいはビーム部材に設け、上記ナ
ット部材あるいは螺子杆を回転させるモータを設けて構
成してもよい。
フレームにナット部材を設け、このナット部材に螺合し
た螺子杆をフレームあるいはビーム部材に設け、上記ナ
ット部材あるいは螺子杆を回転させるモータを設けて構
成してもよい。
【０００７】又、上記撓み補正装置は、上記フレームに
カム面を上記ビーム部材に対して上下に対向して設け、
このカム面および上記ビーム部材に移動自在に設けた可
動子を上記レーザ加工ヘッドに一体的に設け、上記レー
ザ加工ヘッドが水平方向へ移動するときにビーム部材の
撓み量に応じて可動子がビーム部材を上方向に持上げる
ように、前記カム面の形状を構成としてもよい。
カム面を上記ビーム部材に対して上下に対向して設け、
このカム面および上記ビーム部材に移動自在に設けた可
動子を上記レーザ加工ヘッドに一体的に設け、上記レー
ザ加工ヘッドが水平方向へ移動するときにビーム部材の
撓み量に応じて可動子がビーム部材を上方向に持上げる
ように、前記カム面の形状を構成としてもよい。
【０００８】又、上記撓み補正装置は、フレームに回転
体を偏心して設け、この回転体に巻回したひも状部材を
設け、このひも状部材の一端をレーザ加工ヘッドに連結
して設けると共に、前記ひも状部材の他端をバランス重
りに連結して設けた構成としてもよい。
体を偏心して設け、この回転体に巻回したひも状部材を
設け、このひも状部材の一端をレーザ加工ヘッドに連結
して設けると共に、前記ひも状部材の他端をバランス重
りに連結して設けた構成としてもよい。
【０００９】
【作用】前記第１の手段において、ビーム部材上におい
てレーザ加工ヘッドを水平方向へ適宜に移動させると共
に、レーザ加工ヘッドを適宜に操作することにより、レ
ーザ加工ヘッドの垂直下方位置に位置したワークピース
に対して所望のレーザ加工を行なうことができるもので
ある。
てレーザ加工ヘッドを水平方向へ適宜に移動させると共
に、レーザ加工ヘッドを適宜に操作することにより、レ
ーザ加工ヘッドの垂直下方位置に位置したワークピース
に対して所望のレーザ加工を行なうことができるもので
ある。
【００１０】上記作用のもとで、レーザ加工ヘッドがビ
ーム部材上を移動するときに生じる上下方向の撓みは、
たわみ補正装置により補正されるために、レーザ加工ヘ
ッドの水平方向の移動によってレーザ加工ヘッドの上下
の位置が変ったりすることを極力押えることができる。
ーム部材上を移動するときに生じる上下方向の撓みは、
たわみ補正装置により補正されるために、レーザ加工ヘ
ッドの水平方向の移動によってレーザ加工ヘッドの上下
の位置が変ったりすることを極力押えることができる。
【００１１】前記第２の手段において、レーザ加工ヘッ
ドの水平方向の位置に対応してモータを駆動させること
により、ナット部材（或いは螺子杆）を回転させること
ができ、螺子杆（或いはナット部材）が上下方向へ移動
し、レーザ加工ヘッドの水平方向の位置に対応したビー
ム部材の上下方向の撓みを補正することができる。
ドの水平方向の位置に対応してモータを駆動させること
により、ナット部材（或いは螺子杆）を回転させること
ができ、螺子杆（或いはナット部材）が上下方向へ移動
し、レーザ加工ヘッドの水平方向の位置に対応したビー
ム部材の上下方向の撓みを補正することができる。
【００１２】前記第３の手段において、レーザ加工ヘッ
ドがビーム部材上を水平方向へ移動するときに、可動子
がカム面とビーム部材の間において移動し、可動子がビ
ーム部材の上下方向の撓み量に応じてビーム部材を持上
げる。これによって、ビーム部材の上下方向の撓み量を
補正することができる。
ドがビーム部材上を水平方向へ移動するときに、可動子
がカム面とビーム部材の間において移動し、可動子がビ
ーム部材の上下方向の撓み量に応じてビーム部材を持上
げる。これによって、ビーム部材の上下方向の撓み量を
補正することができる。
【００１３】前記第４の手段において、レーザ加工ヘッ
ドがビーム部材上を水平方向へ移動することにより、回
転体はひも状部材を介して回転すると共に、バランス重
りは上下方向へ移動する。このとき、回転体がフレーム
に偏心して設けてあるために、レーザ加工ヘッドの水平
方向の位置に対応してビーム部材の上下方向の撓みを補
正することができる。
ドがビーム部材上を水平方向へ移動することにより、回
転体はひも状部材を介して回転すると共に、バランス重
りは上下方向へ移動する。このとき、回転体がフレーム
に偏心して設けてあるために、レーザ加工ヘッドの水平
方向の位置に対応してビーム部材の上下方向の撓みを補
正することができる。
【００１４】
【実施例】まづ図１によってこの発明に係る第１実施例
にて説明する。
にて説明する。
【００１５】レーザ加工機１は、床面３にワークピース
Ｗを水平に支承すべく設けたワークテーブル５と、レー
ザ加工ヘッド７をｘ軸方向（換言すれば左右方向）、ｙ
軸方向（換言すれば前後方向）に水平に移動するＸ−Ｙ
軸移動装置９を支持すべく、床面３におけるワークテー
ブル５の近傍に設けたベース１１等を備えている。この
ベース１１はｘ軸方向（紙面に向って表裏方向）に延伸
している。
Ｗを水平に支承すべく設けたワークテーブル５と、レー
ザ加工ヘッド７をｘ軸方向（換言すれば左右方向）、ｙ
軸方向（換言すれば前後方向）に水平に移動するＸ−Ｙ
軸移動装置９を支持すべく、床面３におけるワークテー
ブル５の近傍に設けたベース１１等を備えている。この
ベース１１はｘ軸方向（紙面に向って表裏方向）に延伸
している。
【００１６】このベース１１にはＸ軸方向（図１におい
て紙面に向って表裏方向）に延伸したガイドレール１
３，１５が装着されていて、ガイドレール１３，１５に
は案内子１７，１９を介してＸ軸キャリッジ２１がＸ軸
方向に摺動自在に設けられている。このＸ軸キャリッジ
２１の下面にはボールナット２３が取付けられている。
さらに、このボールナット２３に螺合するＸ軸ボールね
じ２５の一端は、ベース１１の適宜位置に設けたＸ軸サ
ーボモータ２７に連動連結してあると共に、このＸ軸ボ
ールねじ２５の他端はベース１１の適宜位置に設けた軸
受２９に回転自在に支承されている。したがって、Ｘ軸
キャリッジ２１はＸ軸サーボモータ２７を駆動制御する
ことによってＸ軸方向に移動制御することができる。
て紙面に向って表裏方向）に延伸したガイドレール１
３，１５が装着されていて、ガイドレール１３，１５に
は案内子１７，１９を介してＸ軸キャリッジ２１がＸ軸
方向に摺動自在に設けられている。このＸ軸キャリッジ
２１の下面にはボールナット２３が取付けられている。
さらに、このボールナット２３に螺合するＸ軸ボールね
じ２５の一端は、ベース１１の適宜位置に設けたＸ軸サ
ーボモータ２７に連動連結してあると共に、このＸ軸ボ
ールねじ２５の他端はベース１１の適宜位置に設けた軸
受２９に回転自在に支承されている。したがって、Ｘ軸
キャリッジ２１はＸ軸サーボモータ２７を駆動制御する
ことによってＸ軸方向に移動制御することができる。
【００１７】次に、前記Ｘ軸キャリッジ２１の前部（図
１において右部）には一対の支持部２１ａが左右（図１
において紙面に向って裏表）に対向して一体的に設けて
あり、一対の支持部２１ａにはＹ軸方向へ延伸したビー
ム部材３１がピン３３を介して上下方向へ揺動自在に設
けてある。ビーム部材３１におけるピン３３より前側の
部分３１ａの右側面にはｙ軸方向に延伸されたＬ字状の
ガイドレール３５が上下に２本設けられている。そして
レーザ加工ヘッド７は案内子３７を介してガイドレール
３５に案内されてＹ軸方向に摺動自在に支承されてい
る。更にビーム部材３１の右側面にはＹ軸方向へ延伸し
たＹ軸ボールねじ３９が軸受４１を介して回転自在に支
持されており、このＹ軸ボールねじ３９の一端がビーム
部材３１の適宜位置に設けたＹ軸サーボモータ４３に連
動連結してある。上記ｙ軸ボールねじ３９に螺合したボ
ールナット４５がレーザ加工ヘッド７に取付けられてい
る。
１において右部）には一対の支持部２１ａが左右（図１
において紙面に向って裏表）に対向して一体的に設けて
あり、一対の支持部２１ａにはＹ軸方向へ延伸したビー
ム部材３１がピン３３を介して上下方向へ揺動自在に設
けてある。ビーム部材３１におけるピン３３より前側の
部分３１ａの右側面にはｙ軸方向に延伸されたＬ字状の
ガイドレール３５が上下に２本設けられている。そして
レーザ加工ヘッド７は案内子３７を介してガイドレール
３５に案内されてＹ軸方向に摺動自在に支承されてい
る。更にビーム部材３１の右側面にはＹ軸方向へ延伸し
たＹ軸ボールねじ３９が軸受４１を介して回転自在に支
持されており、このＹ軸ボールねじ３９の一端がビーム
部材３１の適宜位置に設けたＹ軸サーボモータ４３に連
動連結してある。上記ｙ軸ボールねじ３９に螺合したボ
ールナット４５がレーザ加工ヘッド７に取付けられてい
る。
【００１８】従って、レーザ加工ヘッド７はＹ軸サーボ
モータ４３を駆動制御することによりｙ軸方向に移動制
御される。従って前述の説明を加味すると、レーザ加工
ヘッド７はＸ軸サーボモータ２７とＹ軸サーボモータ４
３によってＸ軸，Ｙ軸方向へ水平に移動制御されること
になって、ボールねじ２５，３９、サーボモータ２７，
４３等はＸ−Ｙ軸移動装置９としての機能を果す。
モータ４３を駆動制御することによりｙ軸方向に移動制
御される。従って前述の説明を加味すると、レーザ加工
ヘッド７はＸ軸サーボモータ２７とＹ軸サーボモータ４
３によってＸ軸，Ｙ軸方向へ水平に移動制御されること
になって、ボールねじ２５，３９、サーボモータ２７，
４３等はＸ−Ｙ軸移動装置９としての機能を果す。
【００１９】ところで、レーザ加工ヘッド７におけるノ
ズル４７は図１のＡ点から前方へ距離Ｌだけ移動する
と、ビーム部材３１はレーザ加工ヘッド７の重量で下方
へδだけ撓むため、レーザ加工ヘッド７は水平に移動し
ないで、ノズル４７の先端はＢ点のようにδだけ下方位
置に位置する。そのためノズル４７からワークピースＷ
に照射されたレーザビームは焦点が狂ってレーザ加工の
精度が落ちてしまう。
ズル４７は図１のＡ点から前方へ距離Ｌだけ移動する
と、ビーム部材３１はレーザ加工ヘッド７の重量で下方
へδだけ撓むため、レーザ加工ヘッド７は水平に移動し
ないで、ノズル４７の先端はＢ点のようにδだけ下方位
置に位置する。そのためノズル４７からワークピースＷ
に照射されたレーザビームは焦点が狂ってレーザ加工の
精度が落ちてしまう。
【００２０】そこで、このレーザ加工機１はビーム部材
３１の上下方向の撓みを補正する撓み補正装置４９を備
えている。即ち、ビーム部材３１におけるピン３３より
も後側の部分３１ｂの右端にクレビス溝３１ｃが切られ
ていて、このクレビス溝３１ｃの内部にはピン５１によ
り上下方向へ揺動自在に支承されたナット部材５３が設
けられると共に、Ｘ軸キャリッジ２１における前記クレ
ビス溝３１ｃに上下に対向する位置に設けた円筒穴２１
ｂ内には、例えばサーボモータやパルスモータのごとき
制御モータ５５がピン５７によって上下方向に揺動自在
に支承されている。更にこの制御モータ５５に連動連結
されたボールねじのごとき螺子杆５９が上記ナット部材
５３に螺合している。
３１の上下方向の撓みを補正する撓み補正装置４９を備
えている。即ち、ビーム部材３１におけるピン３３より
も後側の部分３１ｂの右端にクレビス溝３１ｃが切られ
ていて、このクレビス溝３１ｃの内部にはピン５１によ
り上下方向へ揺動自在に支承されたナット部材５３が設
けられると共に、Ｘ軸キャリッジ２１における前記クレ
ビス溝３１ｃに上下に対向する位置に設けた円筒穴２１
ｂ内には、例えばサーボモータやパルスモータのごとき
制御モータ５５がピン５７によって上下方向に揺動自在
に支承されている。更にこの制御モータ５５に連動連結
されたボールねじのごとき螺子杆５９が上記ナット部材
５３に螺合している。
【００２１】したがって、Ｙ軸モータ４３を駆動させて
レーザ加工ヘッド７をＹ軸方向へ移動させると共に、レ
ーザ加工ヘッド７のＹ軸方向の位置に対応させて制御モ
ータ５５を駆動制御すれば、ビーム部材３１の前側部３
１ａは撓み量に対応してピン３３を介して上方向へ揺動
されるので、レーザ加工ヘッド７は撓み量に対応した量
だけ上方向へ揺動する。よって前記の撓みδは補正され
てノズル４７の先端はＢ点ではなくＣ点に保持される。
即ち撓み補正装置４９はビーム部材３１の上下方向の撓
みを補正する機能を果し、レーザ加工ヘッド７のＹ軸方
向の移動によってレーザ加工ヘッド７の上下方向の位置
が変わることがなく、精密なレーザ加工を行なうことが
できる。
レーザ加工ヘッド７をＹ軸方向へ移動させると共に、レ
ーザ加工ヘッド７のＹ軸方向の位置に対応させて制御モ
ータ５５を駆動制御すれば、ビーム部材３１の前側部３
１ａは撓み量に対応してピン３３を介して上方向へ揺動
されるので、レーザ加工ヘッド７は撓み量に対応した量
だけ上方向へ揺動する。よって前記の撓みδは補正され
てノズル４７の先端はＢ点ではなくＣ点に保持される。
即ち撓み補正装置４９はビーム部材３１の上下方向の撓
みを補正する機能を果し、レーザ加工ヘッド７のＹ軸方
向の移動によってレーザ加工ヘッド７の上下方向の位置
が変わることがなく、精密なレーザ加工を行なうことが
できる。
【００２２】なお、レーザ加工機１は、レーザビームを
誘導する光伝導装置や、レーザービームを発振するレー
ザ発振器等を備えているが、公知であるのと、説明が繁
雑になってかえって分りにくくなるので説明を省略す
る。
誘導する光伝導装置や、レーザービームを発振するレー
ザ発振器等を備えているが、公知であるのと、説明が繁
雑になってかえって分りにくくなるので説明を省略す
る。
【００２３】次に、この発明に係る第２実施例について
図２に基づいて説明する。
図２に基づいて説明する。
【００２４】レーザ加工機６１を第１実施例のレーザ加
工機１と比較すると、大きく相異する点は撓み補正装置
４９，６３である。よってレーザ加工機６１の構成要素
におけるレーザ加工機１に対応する構成要素とほぼ同一
のものについては、図中に同一番号を付して説明を省略
する。ただし、レーザ加工機６１の構成要素におけるレ
ーザ加工機１の構成要素と異なるものについては図中に
他の番号を付する。即ち別の符号を付する構成要素は撓
み補正要素６３の他に、レーザ加工ヘッド６５、Ｘ−Ｙ
軸移動装置６７、Ｘ軸キャリッジ６９、ビーム部材７１
等である。
工機１と比較すると、大きく相異する点は撓み補正装置
４９，６３である。よってレーザ加工機６１の構成要素
におけるレーザ加工機１に対応する構成要素とほぼ同一
のものについては、図中に同一番号を付して説明を省略
する。ただし、レーザ加工機６１の構成要素におけるレ
ーザ加工機１の構成要素と異なるものについては図中に
他の番号を付する。即ち別の符号を付する構成要素は撓
み補正要素６３の他に、レーザ加工ヘッド６５、Ｘ−Ｙ
軸移動装置６７、Ｘ軸キャリッジ６９、ビーム部材７１
等である。
【００２５】さて、撓み補正装置６３について説明する
と、レーザ加工ヘッド６５にはブラケット７３を介して
Ｙ軸方向に延伸した連結杆７５が設けてあり、この連結
杆７５の後端７７には例えばカムフロアのごとき複数の
可動子７９が回転自在に設けられている。一方Ｘ軸キャ
リッジ６９は、ビーム部材７１を支持する支持部６９ａ
と、垂直部６９ｂに一体的に設けたアーム部６９ｃを備
えている。なお、アーム部６９ｃは前方（図２において
左方）に突出し、かつビーム部材７１に上下に対向して
ある。このアーム部６９ｃの下面はカム面６９ｄになっ
ており、このカム面６９ｄ及びビーム部材７１の上面に
前記可動子７９が移動自在に支持されている。ここで、
上記カム面６９ｄの形状は、レーザ加工ヘッド６５がＹ
軸方向へ移動するときに、可動子７９が連結杆７５を介
してビーム部材７１を上下方向の撓み量に対応して持上
げるように構成してある。
と、レーザ加工ヘッド６５にはブラケット７３を介して
Ｙ軸方向に延伸した連結杆７５が設けてあり、この連結
杆７５の後端７７には例えばカムフロアのごとき複数の
可動子７９が回転自在に設けられている。一方Ｘ軸キャ
リッジ６９は、ビーム部材７１を支持する支持部６９ａ
と、垂直部６９ｂに一体的に設けたアーム部６９ｃを備
えている。なお、アーム部６９ｃは前方（図２において
左方）に突出し、かつビーム部材７１に上下に対向して
ある。このアーム部６９ｃの下面はカム面６９ｄになっ
ており、このカム面６９ｄ及びビーム部材７１の上面に
前記可動子７９が移動自在に支持されている。ここで、
上記カム面６９ｄの形状は、レーザ加工ヘッド６５がＹ
軸方向へ移動するときに、可動子７９が連結杆７５を介
してビーム部材７１を上下方向の撓み量に対応して持上
げるように構成してある。
【００２６】レーザ加工ヘッド６５がＹ軸方向に移動す
ると、可動子７９がブラケット７３、連結棒７５を介し
て一体的にＹ軸方向に移動するので、カム面６９ｄの形
状によりビーム部材７１がヒンジピン３３を介して上下
方向の撓み量に対応して持上げられる。よって、ビーム
部材７１の撓みδを補正するから撓み補正装置６３はそ
の機能を果すことが出来る。
ると、可動子７９がブラケット７３、連結棒７５を介し
て一体的にＹ軸方向に移動するので、カム面６９ｄの形
状によりビーム部材７１がヒンジピン３３を介して上下
方向の撓み量に対応して持上げられる。よって、ビーム
部材７１の撓みδを補正するから撓み補正装置６３はそ
の機能を果すことが出来る。
【００２７】上記の動作からレーザ加工ヘッド６５のｙ
軸方向（前後方向）の位置に関係なく精密なレーザ加工
が行われる。
軸方向（前後方向）の位置に関係なく精密なレーザ加工
が行われる。
【００２８】次に、この発明に係る第３実施例について
図３に基づいて説明する。
図３に基づいて説明する。
【００２９】レーザ加工機８１は第１実施例のレーザ加
工機１と比較すると、大きく相異する点は撓み補正装置
４９，８３とビーム部材３１，８５である。レーザ加工
機８１の構成要素におけるレーザ加工機１に対応する構
成要素とほぼ同一のものについては、図中に同一番号を
付して説明を省略する。ただし、レーザ加工機８１の構
成要素におけるレーザ加工機１の構成要素と異なるもの
については図中に他の番号を付する。即ち別の符号を付
する構成要素は上記撓み補正装置８３の他に、レーザ加
工ヘッド８７、Ｘ−Ｙ軸移動装置８９等である。
工機１と比較すると、大きく相異する点は撓み補正装置
４９，８３とビーム部材３１，８５である。レーザ加工
機８１の構成要素におけるレーザ加工機１に対応する構
成要素とほぼ同一のものについては、図中に同一番号を
付して説明を省略する。ただし、レーザ加工機８１の構
成要素におけるレーザ加工機１の構成要素と異なるもの
については図中に他の番号を付する。即ち別の符号を付
する構成要素は上記撓み補正装置８３の他に、レーザ加
工ヘッド８７、Ｘ−Ｙ軸移動装置８９等である。
【００３０】さて、ビーム部材８５は、Ｘ軸キャレッジ
を用いることなくベース１１にガイドレール１３，１５
を介してＸ軸方向へ移動自在に設けてある。
を用いることなくベース１１にガイドレール１３，１５
を介してＸ軸方向へ移動自在に設けてある。
【００３１】次に、撓み補正装置８３であるが、ビーム
部材８５の後側（図３において右側）上部には支持ブラ
ケット９１が設けてあり、更に支持ブラケット９１の上
端にはスプロケットのごとき回転体９３が偏心軸９５に
より偏心して設けられている。一方、ビーム部材８５の
上側には２本の逆Ｌ字断面のガイドレール９７が設けら
れていて、ガイドレール９７にＹ軸方向へ移動自在に設
けたローラ９９がレーザ加工ヘッド８７に設けられてい
る。上記回転体９３には例えばチェンのごときひも状部
材１０１が巻回してある。そして、このひも状部材１０
１の一端はレーザ加工ヘッド８７に支持ブラケット１０
２を介して連結されると共に、ひも状部材１０１の他端
はバランス重り１０３に連結されている。なお、スプロ
ケットのごとき回転体９３、チェンのごときひも状部材
１０１を設ける代わりに、プリーのごとき回転体、タイ
ミングベルトのごときひも状部材を設けても差し支えな
いものである。
部材８５の後側（図３において右側）上部には支持ブラ
ケット９１が設けてあり、更に支持ブラケット９１の上
端にはスプロケットのごとき回転体９３が偏心軸９５に
より偏心して設けられている。一方、ビーム部材８５の
上側には２本の逆Ｌ字断面のガイドレール９７が設けら
れていて、ガイドレール９７にＹ軸方向へ移動自在に設
けたローラ９９がレーザ加工ヘッド８７に設けられてい
る。上記回転体９３には例えばチェンのごときひも状部
材１０１が巻回してある。そして、このひも状部材１０
１の一端はレーザ加工ヘッド８７に支持ブラケット１０
２を介して連結されると共に、ひも状部材１０１の他端
はバランス重り１０３に連結されている。なお、スプロ
ケットのごとき回転体９３、チェンのごときひも状部材
１０１を設ける代わりに、プリーのごとき回転体、タイ
ミングベルトのごときひも状部材を設けても差し支えな
いものである。
【００３２】上述のような構成によりレーザ加工ヘッド
８７が前方向（先端方向）に移動するに伴ってローラ９
９も一体的な動きをする。よってひも状部材１０１を介
して偏心軸９５を中心に回転体９３が回転されてバラン
ス重り１０３と偏心軸９５の間隔が図３に示すｌ2 から
ｌ1 のように変化する。従ってレーザ加工ヘッド８７が
上記先端方向へ移動するにしたがって、ビーム部材８５
を持上げようとする力が大きくなり、レーザ加工ヘッド
８７がビーム部材８５を移動するときの上下の撓みを補
正することができる。
８７が前方向（先端方向）に移動するに伴ってローラ９
９も一体的な動きをする。よってひも状部材１０１を介
して偏心軸９５を中心に回転体９３が回転されてバラン
ス重り１０３と偏心軸９５の間隔が図３に示すｌ2 から
ｌ1 のように変化する。従ってレーザ加工ヘッド８７が
上記先端方向へ移動するにしたがって、ビーム部材８５
を持上げようとする力が大きくなり、レーザ加工ヘッド
８７がビーム部材８５を移動するときの上下の撓みを補
正することができる。
【００３３】従って、レーザ加工ヘッド８７の前後方向
（Ｙ軸方向）の位置に関係なく精密なレーザ加工が行わ
れる。
（Ｙ軸方向）の位置に関係なく精密なレーザ加工が行わ
れる。
【００３４】なお、この発明は、前述の実施例に限定さ
れるものではなく、適宜な変更を行うことにより、それ
以外の態様でも実施し得るものである。
れるものではなく、適宜な変更を行うことにより、それ
以外の態様でも実施し得るものである。
【００３５】
【発明の効果】以上の如き実施例の説明により理解され
るように、この発明によれば、レーザ加工ヘッドがビー
ム部材に水平方向へ移動するときに、ビーム部材に生じ
る上下方向の撓みを補正するから、レーザ加工ヘッドの
水平移動によりレーザ加工ヘッドの上下方向の位置が変
ったりすることがなく、精密なレーザ加工を行うことが
できる。
るように、この発明によれば、レーザ加工ヘッドがビー
ム部材に水平方向へ移動するときに、ビーム部材に生じ
る上下方向の撓みを補正するから、レーザ加工ヘッドの
水平移動によりレーザ加工ヘッドの上下方向の位置が変
ったりすることがなく、精密なレーザ加工を行うことが
できる。
【図１】第１実施例のレーザ加工機の側面図である。
【図２】第２実施例におけるレーザ加工機の側面図であ
る。
る。
【図３】第３実施例におけるレーザ加工機の側面図であ
る。
る。
１ レーザ加工機 ７ 加工ヘッド ３１ ビーム部材 ４９ 撓み補正装置 ５３ ナット部材 ５９ 螺子杆 ６５ レーザ加工ヘッド ６９ｄ カム面 ７１ ビーム部材 ７７ 可動子 ８５ ビーム部材 ８７ レーザ加工ヘッド ９３ 回転体 １０１ ひも状部材 １０３ バランス重り
Claims (4)
- 【請求項１】 フレームに水平方向へ延伸して設けたビ
ーム部材に、レーザ光を照射するレーザ加工ヘッドを上
記ビーム部材に上記水平方向へ移動自在に設け、上記レ
ーザ加工ヘッドが上記水平方向へ移動するときにビーム
部材に生じる上下方向の撓みを補正する撓み補正装置を
設けたことを特徴とするレーザ加工機。 - 【請求項２】 上記撓み補正装置はビーム部材あるいは
フレームにナット部材を設け、このナット部材に螺合し
た螺子杆をフレームあるいはビーム部材に設け、上記ナ
ット部材あるいは螺子杆を回転させるモータを設けたこ
とを特徴とする請求項１記載のレーザ加工機。 - 【請求項３】 上記撓み補正装置は、上記フレームにカ
ム面を上記ビーム部材に対して上下に対向して設け、こ
のカム面およびビーム部材に移動自在に設けた可動子を
上記レーザ加工ヘッドに一体的に設け、レーザ加工ヘッ
ドが水平方向へ移動するときにビーム部材の撓み量に応
じて前記可動子がビーム部材を持上げるように前記カム
面の形状を構成したことを特徴とする請求項１記載のレ
ーザ加工機。 - 【請求項４】 フレームに回転体を偏心して設け、この
回転体にひも状部材を巻回して設け、このひも状部材の
一端をレーザ加工ヘッドに連結して設けると共にひも状
部材の他端をバランス重りに連結して設けたことを特徴
とする請求項１記載のレーザ加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3241724A JPH0577075A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3241724A JPH0577075A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | レーザ加工機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0577075A true JPH0577075A (ja) | 1993-03-30 |
Family
ID=17078597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3241724A Pending JPH0577075A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | レーザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0577075A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4434504A1 (de) * | 1993-09-27 | 1995-03-30 | Mitsubishi Electric Corp | Laserschneidemaschine |
| US6016917A (en) * | 1997-04-24 | 2000-01-25 | Peak International, Inc. | Component carrier having a pocket including a pedestal |
| JP2011140083A (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-21 | Okuma Corp | 構造体のたわみ抑制方法 |
| KR20190100036A (ko) * | 2018-02-19 | 2019-08-28 | 파스포드 테크놀로지 주식회사 | 실장 장치, 및 반도체 장치의 제조 방법 |
-
1991
- 1991-09-20 JP JP3241724A patent/JPH0577075A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4434504A1 (de) * | 1993-09-27 | 1995-03-30 | Mitsubishi Electric Corp | Laserschneidemaschine |
| US5637243A (en) * | 1993-09-27 | 1997-06-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser cutting machine |
| US5756961A (en) * | 1993-09-27 | 1998-05-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser cutting machine |
| DE4434504C2 (de) * | 1993-09-27 | 1998-07-16 | Mitsubishi Electric Corp | Laserschneidemaschine |
| US6016917A (en) * | 1997-04-24 | 2000-01-25 | Peak International, Inc. | Component carrier having a pocket including a pedestal |
| US6168026B1 (en) | 1997-04-24 | 2001-01-02 | Paek International, Inc. | Component carrier having high strength pocket |
| JP2011140083A (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-21 | Okuma Corp | 構造体のたわみ抑制方法 |
| KR20190100036A (ko) * | 2018-02-19 | 2019-08-28 | 파스포드 테크놀로지 주식회사 | 실장 장치, 및 반도체 장치의 제조 방법 |
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