JPH0576005A - 画像入力装置 - Google Patents
画像入力装置Info
- Publication number
- JPH0576005A JPH0576005A JP26282091A JP26282091A JPH0576005A JP H0576005 A JPH0576005 A JP H0576005A JP 26282091 A JP26282091 A JP 26282091A JP 26282091 A JP26282091 A JP 26282091A JP H0576005 A JPH0576005 A JP H0576005A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- ccd sensor
- stage
- tdi
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 照明光量の変動およびステージの移動速度の
変動の影響を除去した精密な画像入力装置を実現する。 【構成】 ステージ上に載置された被検査物を照明する
光源と、前記被検査物の画像を撮像するＴＤＩ（タイム
・ディレイ・インテグレーション）ＣＣＤセンサと、前
記光源の出力光量に対応した出力を生成する光検出手段
と、該光検出手段の出力をＴＤＩＣＣＤセンサの走査時
間に対応して積分する手段と、該積分手段の出力をＴＤ
ＩＣＣＤセンサの画素列数に対応する期間加算する累積
手段と、該累積手段の出力に基づきＴＤＩＣＣＤセンサ
の出力を補正する手段とを備えた画像入力装置。
変動の影響を除去した精密な画像入力装置を実現する。 【構成】 ステージ上に載置された被検査物を照明する
光源と、前記被検査物の画像を撮像するＴＤＩ（タイム
・ディレイ・インテグレーション）ＣＣＤセンサと、前
記光源の出力光量に対応した出力を生成する光検出手段
と、該光検出手段の出力をＴＤＩＣＣＤセンサの走査時
間に対応して積分する手段と、該積分手段の出力をＴＤ
ＩＣＣＤセンサの画素列数に対応する期間加算する累積
手段と、該累積手段の出力に基づきＴＤＩＣＣＤセンサ
の出力を補正する手段とを備えた画像入力装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、画像入力装置に関し、
特に半導体製造に用いるフォトマスクやウェーハの外観
検査装置などにおいて、照明用光源の光量変動およびＸ
−Ｙステージの速度変動による画像信号出力のレベル変
動を精密に補償できるようにする技術に関する。
特に半導体製造に用いるフォトマスクやウェーハの外観
検査装置などにおいて、照明用光源の光量変動およびＸ
−Ｙステージの速度変動による画像信号出力のレベル変
動を精密に補償できるようにする技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は、従来の画像入力装置の一例を概
略的に示す。同図の装置においては、Ｘ−Ｙステージ５
に載置されたフォトマスクなどの被検査物４を照明ユニ
ット１１からの光によりハーフミラー１０、コンデンサ
レンズ９を介して透過照明する。そして、このように透
過照明された被検査物４の画像を対物レンズ３およびリ
レーレンズ２を介してＣＣＤラインセンサ３５によって
撮像し画像出力を得る。この画像出力はバッファアンプ
１２を介して割り算回路３６の一方の入力に印加され
る。
略的に示す。同図の装置においては、Ｘ−Ｙステージ５
に載置されたフォトマスクなどの被検査物４を照明ユニ
ット１１からの光によりハーフミラー１０、コンデンサ
レンズ９を介して透過照明する。そして、このように透
過照明された被検査物４の画像を対物レンズ３およびリ
レーレンズ２を介してＣＣＤラインセンサ３５によって
撮像し画像出力を得る。この画像出力はバッファアンプ
１２を介して割り算回路３６の一方の入力に印加され
る。
【０００３】また、照明ユニット１１から出射する照明
光の１部をハーフミラー１０を介してシリコンフォトダ
イオード（ＳＰＤ）２４で受光し、光電変換された出力
をバッファアンプ２５を介して積分回路２６に入力す
る。積分回路２６は、Ｘ−Ｙステージ５の移動量に応じ
てモータ制御部８からのエンコードパルスを受信し、こ
のエンコードパルスに基づきＳＰＤ２４の出力を積分す
る。従って、積分回路２６の出力は照明ユニット１１に
よる照明光の光量をＸ−Ｙステージ５の移動速度に応じ
て積分した値となる。
光の１部をハーフミラー１０を介してシリコンフォトダ
イオード（ＳＰＤ）２４で受光し、光電変換された出力
をバッファアンプ２５を介して積分回路２６に入力す
る。積分回路２６は、Ｘ−Ｙステージ５の移動量に応じ
てモータ制御部８からのエンコードパルスを受信し、こ
のエンコードパルスに基づきＳＰＤ２４の出力を積分す
る。従って、積分回路２６の出力は照明ユニット１１に
よる照明光の光量をＸ−Ｙステージ５の移動速度に応じ
て積分した値となる。
【０００４】このような積分回路２６の出力をＡ／Ｄコ
ンバータ２７によってデジタル信号に変換した後割り算
回路３６の他の入力に印加する。割り算回路３６は前述
のＣＣＤラインセンサ３５の出力をこの積分値によって
除算し、正規化された画像出力を発生する。この画像出
力はＡ／Ｄコンバータ１４によりデジタル信号に変換さ
れ所定の画像処理を行なうため画像処理部１５に供給さ
れる。
ンバータ２７によってデジタル信号に変換した後割り算
回路３６の他の入力に印加する。割り算回路３６は前述
のＣＣＤラインセンサ３５の出力をこの積分値によって
除算し、正規化された画像出力を発生する。この画像出
力はＡ／Ｄコンバータ１４によりデジタル信号に変換さ
れ所定の画像処理を行なうため画像処理部１５に供給さ
れる。
【０００５】なお、割算回路３６としては、例えば図５
に示すようなサンプル・アンド・ホールド回路１３、マ
ルチプライングＤＡＣ３７およびＯＰアンプ３８を用い
たものが使用される。
に示すようなサンプル・アンド・ホールド回路１３、マ
ルチプライングＤＡＣ３７およびＯＰアンプ３８を用い
たものが使用される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の画像
入力装置においては、Ｘ−Ｙステージ５の移動速度が早
い場合のように、ＣＣＤラインセンサ３５の受光量が小
さい場合には、ＳＰＤ２４の受光量も小さくなり、割り
算回路３５の分母入力、すなわちＡ／Ｄコンバータ２７
の出力、は小さくなり、割り算回路３６の増幅率が高く
なる。これにより、割り算回路３６の周波数特性が悪化
するため、ＣＣＤラインセンサ３５の出力のデータレー
トが高い場合には正規化動作が正確に行なわれないとい
う問題点があった。
入力装置においては、Ｘ−Ｙステージ５の移動速度が早
い場合のように、ＣＣＤラインセンサ３５の受光量が小
さい場合には、ＳＰＤ２４の受光量も小さくなり、割り
算回路３５の分母入力、すなわちＡ／Ｄコンバータ２７
の出力、は小さくなり、割り算回路３６の増幅率が高く
なる。これにより、割り算回路３６の周波数特性が悪化
するため、ＣＣＤラインセンサ３５の出力のデータレー
トが高い場合には正規化動作が正確に行なわれないとい
う問題点があった。
【０００７】特に図５のような割算回路では、マルチプ
ライングＤＡＣ３７およびＯＰアンプ３８の周波数特性
に限界があるため、正規化出力の波形の立上がりにリン
ギングを生ずる場合があり、この状態は積分回路出力の
デジタル値の入力状態によっても大きく変化する。
ライングＤＡＣ３７およびＯＰアンプ３８の周波数特性
に限界があるため、正規化出力の波形の立上がりにリン
ギングを生ずる場合があり、この状態は積分回路出力の
デジタル値の入力状態によっても大きく変化する。
【０００８】また、撮像光学系が高倍率の場合は、ＣＣ
Ｄラインセンサ３５の受光量が最低照度以下になること
を防止するため受光時間を長くする必要がある。このた
めに、Ｘ−Ｙステージ５の移動速度を遅くすると、Ｘ−
Ｙステージ５の速度変動が大きくなり、受光時間の誤差
をある一定範囲内に収める制御が困難となる場合が生ず
る。
Ｄラインセンサ３５の受光量が最低照度以下になること
を防止するため受光時間を長くする必要がある。このた
めに、Ｘ−Ｙステージ５の移動速度を遅くすると、Ｘ−
Ｙステージ５の速度変動が大きくなり、受光時間の誤差
をある一定範囲内に収める制御が困難となる場合が生ず
る。
【０００９】本発明の目的は、このような従来例におけ
る問題点に鑑み、画像入力装置において、画像センサへ
の受光量が小さい場合でも、Ｘ−Ｙステージの移動速度
を低下させる必要がなく、かつ画像信号の周波数特性を
悪化させることもなしに適切な正規化が行なわれるよう
にすることにある。
る問題点に鑑み、画像入力装置において、画像センサへ
の受光量が小さい場合でも、Ｘ−Ｙステージの移動速度
を低下させる必要がなく、かつ画像信号の周波数特性を
悪化させることもなしに適切な正規化が行なわれるよう
にすることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係わる画像入力装置は、被検査物を載置し
て移動可能なステージ手段と、該ステージ手段に載置さ
れた被検査物を照明する光源手段と、前記被検査物の画
像を撮像し、前記ステージ手段の移動に対応して各走査
行の蓄積電荷を複数行分列方向に累積するＴＤＩ（タイ
ム・ディレイ・インテグレーション）ＣＣＤセンサと、
前記光源手段の出力光量に対応した出力を生成する光検
出手段と、該光検出手段の出力を前記ＴＤＩＣＣＤセン
サの各走査行に対応する期間ごとに積分する積分手段
と、該積分手段の出力を前記ＴＤＩＣＣＤセンサの画素
列数に対応する期間前記ステージ手段の移動に応じて加
算する累積手段と、該累積手段の出力に基づき前記ＴＤ
ＩＣＣＤセンサの出力を補正する出力補正手段とを具備
することを特徴とする。
め、本発明に係わる画像入力装置は、被検査物を載置し
て移動可能なステージ手段と、該ステージ手段に載置さ
れた被検査物を照明する光源手段と、前記被検査物の画
像を撮像し、前記ステージ手段の移動に対応して各走査
行の蓄積電荷を複数行分列方向に累積するＴＤＩ（タイ
ム・ディレイ・インテグレーション）ＣＣＤセンサと、
前記光源手段の出力光量に対応した出力を生成する光検
出手段と、該光検出手段の出力を前記ＴＤＩＣＣＤセン
サの各走査行に対応する期間ごとに積分する積分手段
と、該積分手段の出力を前記ＴＤＩＣＣＤセンサの画素
列数に対応する期間前記ステージ手段の移動に応じて加
算する累積手段と、該累積手段の出力に基づき前記ＴＤ
ＩＣＣＤセンサの出力を補正する出力補正手段とを具備
することを特徴とする。
【００１１】前記出力補正手段は、前記ＴＤＩＣＣＤセ
ンサの出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器の基
準電圧を前記累積手段の出力に基づき調節することによ
って前記ＴＤＩＣＣＤセンサの出力を補正するよう構成
すると好都合である。
ンサの出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器の基
準電圧を前記累積手段の出力に基づき調節することによ
って前記ＴＤＩＣＣＤセンサの出力を補正するよう構成
すると好都合である。
【００１２】
【作用】上記構成においては、被検査物の画像を撮像す
るためにＴＤＩＣＣＤセンサを用いるため、被検査物の
同一領域を複数列で走査することになり一般的なＣＣＤ
ラインセンサに比較してより高感度の撮像が可能にな
る。例えば、６４ライン分、同一位置を走査できるＴＤ
ＩＣＣＤセンサを用いれば、一般的なＣＣＤラインセン
サの６４倍の光量を受光したことと等価になる。従っ
て、ＣＣＤラインセンサの６４分の１の光量であって
も、ＴＤＩＣＣＤセンサを用いた場合は、ＣＣＤライン
センサを用いた場合のＸ−Ｙステージの移動速度と同等
にすることができる。すなわち、同一光量条件下では、
ＴＤＩＣＣＤセンサを用いた場合にはより高速にＸ−Ｙ
ステージを移動させることができるから、速度ムラの少
ないより安定したＸ−Ｙステージの制御が可能となる。
るためにＴＤＩＣＣＤセンサを用いるため、被検査物の
同一領域を複数列で走査することになり一般的なＣＣＤ
ラインセンサに比較してより高感度の撮像が可能にな
る。例えば、６４ライン分、同一位置を走査できるＴＤ
ＩＣＣＤセンサを用いれば、一般的なＣＣＤラインセン
サの６４倍の光量を受光したことと等価になる。従っ
て、ＣＣＤラインセンサの６４分の１の光量であって
も、ＴＤＩＣＣＤセンサを用いた場合は、ＣＣＤライン
センサを用いた場合のＸ−Ｙステージの移動速度と同等
にすることができる。すなわち、同一光量条件下では、
ＴＤＩＣＣＤセンサを用いた場合にはより高速にＸ−Ｙ
ステージを移動させることができるから、速度ムラの少
ないより安定したＸ−Ｙステージの制御が可能となる。
【００１３】また、ＴＤＩＣＣＤセンサの各々の行の走
査タイミングごとに前記光検出手段によって前記光源手
段の出力光量を前記積分手段により積分するから、この
積分値はＴＤＩＣＣＤセンサの各走査行の期間における
前記光源手段の光量の変動およびＸ−Ｙステージの移動
速度の変動を含む値となる。従って、ＴＤＩＣＣＤセン
サの各々の行の受光時間は、このセンサの列方向に沿っ
て一画素相当の距離をＸ−Ｙステージが移動する時間に
等しい。そして、前記累積手段によりＸ−Ｙステージが
ＴＤＩＣＣＤセンサの画素列数に相当する画素分だけ移
動する期間前記積分手段の出力を加算することにより、
等価的にＴＤＩＣＣＤセンサの全画素列数に対応する期
間における補正信号が得られ、この補正信号に基づき前
記ＴＤＩＣＣＤセンサの出力を補正することにより、照
明系の光量変動とＸ−Ｙステージの速度変動を補正した
画像信号が得られる。
査タイミングごとに前記光検出手段によって前記光源手
段の出力光量を前記積分手段により積分するから、この
積分値はＴＤＩＣＣＤセンサの各走査行の期間における
前記光源手段の光量の変動およびＸ−Ｙステージの移動
速度の変動を含む値となる。従って、ＴＤＩＣＣＤセン
サの各々の行の受光時間は、このセンサの列方向に沿っ
て一画素相当の距離をＸ−Ｙステージが移動する時間に
等しい。そして、前記累積手段によりＸ−Ｙステージが
ＴＤＩＣＣＤセンサの画素列数に相当する画素分だけ移
動する期間前記積分手段の出力を加算することにより、
等価的にＴＤＩＣＣＤセンサの全画素列数に対応する期
間における補正信号が得られ、この補正信号に基づき前
記ＴＤＩＣＣＤセンサの出力を補正することにより、照
明系の光量変動とＸ−Ｙステージの速度変動を補正した
画像信号が得られる。
【００１４】さらに、前述のようにして得られた補正信
号を用いてＴＤＩＣＣＤセンサの出力補正を行なう場合
に、該ＴＤＩＣＣＤセンサの出力をデジタル信号に変換
するＡ／Ｄ変換器の基準電圧を前記補正信号により調節
することによって行なうことができる。Ａ／Ｄ変換器の
基準電圧は該Ａ／Ｄ変換器に入力されるアナログ信号の
ダイナミックレンジを決定するものであり、この基準電
圧を変更することによりデジタル信号化されたＴＤＩＣ
ＣＤセンサの出力を調節して正規化することができる。
このような方法でＴＤＩＣＣＤセンサの出力を補正した
場合には、ＴＤＩＣＣＤセンサの出力信号をアナログ信
号の状態で増幅する回路が介在しなくなるので、周波数
特性や位相補償についての問題が生じない。
号を用いてＴＤＩＣＣＤセンサの出力補正を行なう場合
に、該ＴＤＩＣＣＤセンサの出力をデジタル信号に変換
するＡ／Ｄ変換器の基準電圧を前記補正信号により調節
することによって行なうことができる。Ａ／Ｄ変換器の
基準電圧は該Ａ／Ｄ変換器に入力されるアナログ信号の
ダイナミックレンジを決定するものであり、この基準電
圧を変更することによりデジタル信号化されたＴＤＩＣ
ＣＤセンサの出力を調節して正規化することができる。
このような方法でＴＤＩＣＣＤセンサの出力を補正した
場合には、ＴＤＩＣＣＤセンサの出力信号をアナログ信
号の状態で増幅する回路が介在しなくなるので、周波数
特性や位相補償についての問題が生じない。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につき
説明する。図１は、本発明の１実施例に係わる画像入力
装置の構成を概略的に示す。同図の装置は前記図４の装
置と同様に、フォトマスク等の被検査物４を載置するＸ
−Ｙステージ５と、該Ｘ−Ｙステージ５を駆動するモー
タ６と、該モータ６に連結されたロータリ・エンコーダ
７と、モータ制御回路８と、被検査物４を照明するため
の照明ユニット１１と、ハーフミラー１０と、コンデン
サレンズ９とを有する。
説明する。図１は、本発明の１実施例に係わる画像入力
装置の構成を概略的に示す。同図の装置は前記図４の装
置と同様に、フォトマスク等の被検査物４を載置するＸ
−Ｙステージ５と、該Ｘ−Ｙステージ５を駆動するモー
タ６と、該モータ６に連結されたロータリ・エンコーダ
７と、モータ制御回路８と、被検査物４を照明するため
の照明ユニット１１と、ハーフミラー１０と、コンデン
サレンズ９とを有する。
【００１６】また、図１の装置は、被検査物４の画像を
撮像するために、対物レンズ３およびリレーレンズ２を
介してＴＤＩ（タイム・ディレイ・インテグレーショ
ン）ＣＣＤセンサ１を具備する。また、ＴＤＩＣＣＤセ
ンサ１の出力はバッファアンプ１２およびサンプル・ア
ンド・ホールド回路１３を介してＡ／Ｄコンバータ１４
に入力され、Ａ／Ｄコンバータ１４の出力はデジタル画
像信号バス２１を介して画像処理回路１５に入力されて
いる。
撮像するために、対物レンズ３およびリレーレンズ２を
介してＴＤＩ（タイム・ディレイ・インテグレーショ
ン）ＣＣＤセンサ１を具備する。また、ＴＤＩＣＣＤセ
ンサ１の出力はバッファアンプ１２およびサンプル・ア
ンド・ホールド回路１３を介してＡ／Ｄコンバータ１４
に入力され、Ａ／Ｄコンバータ１４の出力はデジタル画
像信号バス２１を介して画像処理回路１５に入力されて
いる。
【００１７】また、照明ユニット１１からの照明光の一
部がハーフミラー１０を介してＳＰＤ（シリコン・フォ
ト・ダイオード）２４に入力されるよう構成されてお
り、照明ユニット１１からの発光量がモニタされてい
る。ＳＰＤ２４の出力はバッファアンプ２５を介して積
分回路２６に入力される。積分回路２６の出力はＡ／Ｄ
コンバータ２７によってデジタル信号に変換された後加
算回路２８に入力される。Ａ／Ｄコンバータ２７の出力
はまたシフトレジスタ３１にも入力され、該シフトレジ
スタ３１の出力は減算回路３２に入力され、加算回路２
８の出力との差分を生成し加算回路２８の他の入力に印
加する。このような積分回路２６、Ａ／Ｄコンバータ２
７、加算回路２８、シフトレジスタ３１、減算回路３２
は後に詳細に説明するように、被検査物４の照明光量お
よびＸ−Ｙステージの移動速度の変動に対し前記ＴＤＩ
ＣＣＤセンサ１の出力を補正するための補正信号を作成
する回路を構成する。
部がハーフミラー１０を介してＳＰＤ（シリコン・フォ
ト・ダイオード）２４に入力されるよう構成されてお
り、照明ユニット１１からの発光量がモニタされてい
る。ＳＰＤ２４の出力はバッファアンプ２５を介して積
分回路２６に入力される。積分回路２６の出力はＡ／Ｄ
コンバータ２７によってデジタル信号に変換された後加
算回路２８に入力される。Ａ／Ｄコンバータ２７の出力
はまたシフトレジスタ３１にも入力され、該シフトレジ
スタ３１の出力は減算回路３２に入力され、加算回路２
８の出力との差分を生成し加算回路２８の他の入力に印
加する。このような積分回路２６、Ａ／Ｄコンバータ２
７、加算回路２８、シフトレジスタ３１、減算回路３２
は後に詳細に説明するように、被検査物４の照明光量お
よびＸ−Ｙステージの移動速度の変動に対し前記ＴＤＩ
ＣＣＤセンサ１の出力を補正するための補正信号を作成
する回路を構成する。
【００１８】さらに、加算回路２８から出力されるこの
ような補正信号は、Ｄ／Ａコンバータ２３によってアナ
ログ信号に変換され、抵抗１８を介してＯＰアンプ２０
の反転入力端子に印加される。該反転入力端子には抵抗
１７を介して基準電源１６が接続されている。このよう
なＯＰアンプ２０と抵抗１７，１８，１９とは補正電圧
のためのゲイン補正回路を構成する。ＯＰアンプ２０の
出力はＡ／Ｄコンバータ１４の基準電圧端子に印加され
る。
ような補正信号は、Ｄ／Ａコンバータ２３によってアナ
ログ信号に変換され、抵抗１８を介してＯＰアンプ２０
の反転入力端子に印加される。該反転入力端子には抵抗
１７を介して基準電源１６が接続されている。このよう
なＯＰアンプ２０と抵抗１７，１８，１９とは補正電圧
のためのゲイン補正回路を構成する。ＯＰアンプ２０の
出力はＡ／Ｄコンバータ１４の基準電圧端子に印加され
る。
【００１９】図２は、ＴＤＩＣＣＤセンサ１の概略の構
成を示す。図２のＴＤＩＣＣＤセンサ１は、行方向にそ
れぞれフォトダイオード４３で構成されたＮ個の画素が
存在し、列方向にＭ個の画素が配列されている。従っ
て、全画素数は、Ｎ×Ｍ個となる。各画素４３は、同時
にある一定時間、受光時にその受光量に応じた電荷を蓄
積し、蓄積された電荷を各画素４３の右隣の垂直シフト
レジスタ４２へ転送する。
成を示す。図２のＴＤＩＣＣＤセンサ１は、行方向にそ
れぞれフォトダイオード４３で構成されたＮ個の画素が
存在し、列方向にＭ個の画素が配列されている。従っ
て、全画素数は、Ｎ×Ｍ個となる。各画素４３は、同時
にある一定時間、受光時にその受光量に応じた電荷を蓄
積し、蓄積された電荷を各画素４３の右隣の垂直シフト
レジスタ４２へ転送する。
【００２０】各垂直シフトレジスタ４２は、各画素４２
の電荷の蓄積からリセットに至るサイクルと同じ周期
で、各画素４３から転送された電荷をシフトさせる。即
ち、垂直シフトレジスタ４２は、Ｍ列のデータをＭ−１
列へ、Ｍ−１列のデータをＭ−２列へ、以下同様に２列
のデータを１列に、それぞれシフトする。そして、第１
列のデータは水平シフトレジスタ４１に転送される。こ
のような電荷のシフト動作は第１行から第Ｎ行までの垂
直シフトレジスタ４２につき同時に行なわれる。このよ
うな電荷のシフト動作により、本センサの特徴である画
素間の積分が行なわれるのである。
の電荷の蓄積からリセットに至るサイクルと同じ周期
で、各画素４３から転送された電荷をシフトさせる。即
ち、垂直シフトレジスタ４２は、Ｍ列のデータをＭ−１
列へ、Ｍ−１列のデータをＭ−２列へ、以下同様に２列
のデータを１列に、それぞれシフトする。そして、第１
列のデータは水平シフトレジスタ４１に転送される。こ
のような電荷のシフト動作は第１行から第Ｎ行までの垂
直シフトレジスタ４２につき同時に行なわれる。このよ
うな電荷のシフト動作により、本センサの特徴である画
素間の積分が行なわれるのである。
【００２１】一例として、Ｍ列とＭ−１列との間での積
分につき説明する。時刻ｔ０で、１行目Ｍ列の画素から
出力されたデータは、１行目の垂直シフトレジスタ４２
へ転送される（図中Ａ）。この後、再び新たな電荷蓄積
が各画素に対して行なわれる。時刻ｔ１で、１行目のＭ
−１列の画素から垂直シフトレジスタ４２に転送された
データは、同じ時刻ｔ１までに垂直シフトレジスタ４２
の前記Ａの位置にあった電荷と加算され、垂直シフトレ
ジスタ４２のＢの位置に入力される。このようにして、
時刻ｔ０からｔＭ−１（Ｍ＝１，２，３，…）になるま
での間に、１行目Ｍ列の画素のデータは、１行目Ｍ−１
列、１行目Ｍ−２列、…１行目１列の画素のデータのよ
うに、同じ行の各列の画素出力と積分されながら、垂直
シフトレジスタ４２内を転送され、時刻ｔＭにおいて水
平シフトレジスタ４１へ入力される。このような動作
が、各行で同じタイミングで行なわれる。従って、時刻
ｔＫからｔＫ＋１までの時間の周期で、水平シフトレジ
スタ４１には逐次垂直方向の画素出力の積分値が入力さ
れることになる。なお、水平シフトレジスタ４１は、時
刻ｔＫからｔＫ＋１になる間にすべてのデータを直列に
出力する必要があるから、ｔＫ＋１−ｔ１の時間にＮ個
のデータを出力できる速さのクロックでデータを転送出
力している。
分につき説明する。時刻ｔ０で、１行目Ｍ列の画素から
出力されたデータは、１行目の垂直シフトレジスタ４２
へ転送される（図中Ａ）。この後、再び新たな電荷蓄積
が各画素に対して行なわれる。時刻ｔ１で、１行目のＭ
−１列の画素から垂直シフトレジスタ４２に転送された
データは、同じ時刻ｔ１までに垂直シフトレジスタ４２
の前記Ａの位置にあった電荷と加算され、垂直シフトレ
ジスタ４２のＢの位置に入力される。このようにして、
時刻ｔ０からｔＭ−１（Ｍ＝１，２，３，…）になるま
での間に、１行目Ｍ列の画素のデータは、１行目Ｍ−１
列、１行目Ｍ−２列、…１行目１列の画素のデータのよ
うに、同じ行の各列の画素出力と積分されながら、垂直
シフトレジスタ４２内を転送され、時刻ｔＭにおいて水
平シフトレジスタ４１へ入力される。このような動作
が、各行で同じタイミングで行なわれる。従って、時刻
ｔＫからｔＫ＋１までの時間の周期で、水平シフトレジ
スタ４１には逐次垂直方向の画素出力の積分値が入力さ
れることになる。なお、水平シフトレジスタ４１は、時
刻ｔＫからｔＫ＋１になる間にすべてのデータを直列に
出力する必要があるから、ｔＫ＋１−ｔ１の時間にＮ個
のデータを出力できる速さのクロックでデータを転送出
力している。
【００２２】以上のような構成を有する画像入力装置に
おいては、Ｘ−Ｙステージ５上に載置された被検査物４
が照明ユニット１１からの光によりハーフミラー１０、
コンデンサレンズ９を介して透過照明される。そして、
このように透過照明された被検査物４の画像を対物レン
ズ３およびリレーレンズ２を介してＴＤＩＣＣＤライン
センサ１によって撮像し画像出力を得る。この場合、Ｔ
ＤＩＣＣＤセンサ１は上述のような動作により水平シフ
トレジスタ４１から出力されるが、水平シフトレジスタ
４１において垂直方向の画素出力の積分値が入力される
周期に等しい時間ｔＫ＋１−ｔＫは、Ｘ−Ｙステージ５
が図２に示されるステージ・スキャン方向と同方向の画
素間距離ＬＰＩＸを移動する時間と等しい。この時間
は、ＴＤＩＣＣＤセンサ１の各画素を構成するフォトダ
イオード４３での受光時間、即ち電荷の蓄積時間とほぼ
等しい。この時間ｔＫ＋１−ｔＫは、Ｘ−Ｙステージ５
が距離ＬＰＩＸを移動するごとにモータ制御回路８から
発生されるタイミングパルスＴＣＫによって決定され
る。このタイミングパルスＴＣＫの間隔は、対物レンズ
３の倍率によっても異なる。それは、距離ＬＰＩＸがあ
くまでもＴＤＩＣＣＤセンサ１上ではなく、被検査物即
ち試料面上換算で求められるからである。なお、対物レ
ンズ３の倍率が変わるごとにより、ＴＤＩＣＣＤセンサ
１に入る光量は各倍率間の比率の２乗に反比例するか
ら、必ずしもＴＤＩＣＣＤセンサ面上での光量は一定で
はない。また、Ｘ−Ｙステージ５の速度もＴＤＩＣＣＤ
センサ１の面上での光量との関係で、どのような倍率の
場合でも同じ速度であるとは限らない。
おいては、Ｘ−Ｙステージ５上に載置された被検査物４
が照明ユニット１１からの光によりハーフミラー１０、
コンデンサレンズ９を介して透過照明される。そして、
このように透過照明された被検査物４の画像を対物レン
ズ３およびリレーレンズ２を介してＴＤＩＣＣＤライン
センサ１によって撮像し画像出力を得る。この場合、Ｔ
ＤＩＣＣＤセンサ１は上述のような動作により水平シフ
トレジスタ４１から出力されるが、水平シフトレジスタ
４１において垂直方向の画素出力の積分値が入力される
周期に等しい時間ｔＫ＋１−ｔＫは、Ｘ−Ｙステージ５
が図２に示されるステージ・スキャン方向と同方向の画
素間距離ＬＰＩＸを移動する時間と等しい。この時間
は、ＴＤＩＣＣＤセンサ１の各画素を構成するフォトダ
イオード４３での受光時間、即ち電荷の蓄積時間とほぼ
等しい。この時間ｔＫ＋１−ｔＫは、Ｘ−Ｙステージ５
が距離ＬＰＩＸを移動するごとにモータ制御回路８から
発生されるタイミングパルスＴＣＫによって決定され
る。このタイミングパルスＴＣＫの間隔は、対物レンズ
３の倍率によっても異なる。それは、距離ＬＰＩＸがあ
くまでもＴＤＩＣＣＤセンサ１上ではなく、被検査物即
ち試料面上換算で求められるからである。なお、対物レ
ンズ３の倍率が変わるごとにより、ＴＤＩＣＣＤセンサ
１に入る光量は各倍率間の比率の２乗に反比例するか
ら、必ずしもＴＤＩＣＣＤセンサ面上での光量は一定で
はない。また、Ｘ−Ｙステージ５の速度もＴＤＩＣＣＤ
センサ１の面上での光量との関係で、どのような倍率の
場合でも同じ速度であるとは限らない。
【００２３】以上のように、ＴＤＩＣＣＤセンサ１の受
光面上での受光量はＸ−Ｙステージ５の移動速度、即ち
距離ＬＰＩＸの移動時間と、その移動時間の間の照明ユ
ニット１１の発光量に応じて変化する。このような変化
を検出してＴＤＩＣＣＤセンサ１の出力を補正するため
に、ＳＰＤ２４で照明ユニット１１からの光をハーフミ
ラー１０を介し分割受光し光電変換を行なう。そして、
ＳＰＤ２４の出力は、バッファ２５を介し積分回路２６
に入力される。積分回路２６はモータ制御回路８から発
生される前記タイミングパルスＴＣＫのパルス間で積分
を行なう。
光面上での受光量はＸ−Ｙステージ５の移動速度、即ち
距離ＬＰＩＸの移動時間と、その移動時間の間の照明ユ
ニット１１の発光量に応じて変化する。このような変化
を検出してＴＤＩＣＣＤセンサ１の出力を補正するため
に、ＳＰＤ２４で照明ユニット１１からの光をハーフミ
ラー１０を介し分割受光し光電変換を行なう。そして、
ＳＰＤ２４の出力は、バッファ２５を介し積分回路２６
に入力される。積分回路２６はモータ制御回路８から発
生される前記タイミングパルスＴＣＫのパルス間で積分
を行なう。
【００２４】この結果、得られた積分値は時間ｔＫ＋１
−ｔＫにおけるＴＤＩＣＣＤセンサ１が受光した光量
（被検査物４による変動分を除く）と比例関係にある。
−ｔＫにおけるＴＤＩＣＣＤセンサ１が受光した光量
（被検査物４による変動分を除く）と比例関係にある。
【００２５】このような積分回路２６による積分値はＡ
／Ｄ変換器２７によってデジタル信号ＶＫに変換された
後加算回路２８の一方の入力に印加される。この出力Ｖ
Ｋはシフトレジスタ３１にも入力される。減算回路３２
の出力をΣＶＬとすると、加算回路２８の出力はＶＫ＋
ΣＶＬとなる。減算回路３２の一方の入力はこの加算回
路の出力ＶＫ＋ΣＶＬとなるが、他方の入力は時間ｔ
Ｋ＋１−Ｍ−ｔＫ−Ｍ（ただし、ｔＭはＴＣＫ換算でＭ
個分の時間を示す）での積分値のＡ／Ｄ変換後の出力を
シフトレジスタ３１でＭ個分だけ遅延させた値である。
従って、加算回路２８の出力はＴＣＫがＭ個分の間のＳ
ＰＤ２４の出力の積分値の和となり、この和の値がＤ／
Ａコンバータ２３に入力される。
／Ｄ変換器２７によってデジタル信号ＶＫに変換された
後加算回路２８の一方の入力に印加される。この出力Ｖ
Ｋはシフトレジスタ３１にも入力される。減算回路３２
の出力をΣＶＬとすると、加算回路２８の出力はＶＫ＋
ΣＶＬとなる。減算回路３２の一方の入力はこの加算回
路の出力ＶＫ＋ΣＶＬとなるが、他方の入力は時間ｔ
Ｋ＋１−Ｍ−ｔＫ−Ｍ（ただし、ｔＭはＴＣＫ換算でＭ
個分の時間を示す）での積分値のＡ／Ｄ変換後の出力を
シフトレジスタ３１でＭ個分だけ遅延させた値である。
従って、加算回路２８の出力はＴＣＫがＭ個分の間のＳ
ＰＤ２４の出力の積分値の和となり、この和の値がＤ／
Ａコンバータ２３に入力される。
【００２６】このような動作は、Ｘ−Ｙステージ５が走
査され、ＴＤＩＣＣＤセンサ１がＭ列走査され、列方向
に画像信号が積分される動作に合わせて各列ごとでの受
光量の積分値（これをＶＩとする）をＳＰＤ２４を介し
て求めていることになる。そして、この積分値はＴＤＩ
ＣＣＤセンサ１の出力信号レベルのピーク値に比例して
いる。従って、ＳＰＤ２４の積分値の和ＶＩをＴＤＩＣ
ＣＤセンサ１のデジタル化のためのＡ／Ｄコンバータ１
４の基準電圧、即ち出力値が最大になる時の入力電圧の
ための基準電圧ＶＲＴに用いることによって、ＴＤＩＣ
ＣＤセンサ１の出力のピーク電圧は常にＡ／Ｄコンバー
タ１４の出力の最大値に変換される。ＯＰアンプ２０等
によって構成されるゲイン補正回路はＤ／Ａコンバータ
２３の出力ＶＩを一定の定数ＫおよびＳにより演算を加
え、ＶＲＴ＝Ｋ・ＶＩ＋Ｓという形で基準電圧ＶＲＴに
変換するものである。
査され、ＴＤＩＣＣＤセンサ１がＭ列走査され、列方向
に画像信号が積分される動作に合わせて各列ごとでの受
光量の積分値（これをＶＩとする）をＳＰＤ２４を介し
て求めていることになる。そして、この積分値はＴＤＩ
ＣＣＤセンサ１の出力信号レベルのピーク値に比例して
いる。従って、ＳＰＤ２４の積分値の和ＶＩをＴＤＩＣ
ＣＤセンサ１のデジタル化のためのＡ／Ｄコンバータ１
４の基準電圧、即ち出力値が最大になる時の入力電圧の
ための基準電圧ＶＲＴに用いることによって、ＴＤＩＣ
ＣＤセンサ１の出力のピーク電圧は常にＡ／Ｄコンバー
タ１４の出力の最大値に変換される。ＯＰアンプ２０等
によって構成されるゲイン補正回路はＤ／Ａコンバータ
２３の出力ＶＩを一定の定数ＫおよびＳにより演算を加
え、ＶＲＴ＝Ｋ・ＶＩ＋Ｓという形で基準電圧ＶＲＴに
変換するものである。
【００２７】ＴＤＩＣＣＤセンサ１の出力信号レベル
は、Ｘ−Ｙステージ５の移動速度に反比例し、照明光量
に比例する。この特性は、前述したＳＰＤ２４の出力の
積分値と同じである。図３の（ａ）は、照明光量の変動
がなく、Ｘ−Ｙステージ５の移動速度が設定速度より速
くなった場合のＴＤＩＣＣＤセンサ１の出力波形を示
す。また、（ｂ）は、照明光量の変動がなく、Ｘ−Ｙス
テージ５の移動速度が設定速度より遅くなった場合のＴ
ＤＩＣＣＤセンサ１の出力波形を、（ｃ）は照明光量の
変動もＸ−Ｙステージ５の速度変動もない場合のＴＤＩ
ＣＣＤセンサ１の出力波形を示す。
は、Ｘ−Ｙステージ５の移動速度に反比例し、照明光量
に比例する。この特性は、前述したＳＰＤ２４の出力の
積分値と同じである。図３の（ａ）は、照明光量の変動
がなく、Ｘ−Ｙステージ５の移動速度が設定速度より速
くなった場合のＴＤＩＣＣＤセンサ１の出力波形を示
す。また、（ｂ）は、照明光量の変動がなく、Ｘ−Ｙス
テージ５の移動速度が設定速度より遅くなった場合のＴ
ＤＩＣＣＤセンサ１の出力波形を、（ｃ）は照明光量の
変動もＸ−Ｙステージ５の速度変動もない場合のＴＤＩ
ＣＣＤセンサ１の出力波形を示す。
【００２８】図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）各々の出力
波形の振幅をそれぞれＶ０，Ｖ１，Ｖ２とすると、大小
関係は、Ｖ１＞Ｖ２＞Ｖ０となる。また、各々の波形が
出力された時のＳＰＤ２４の出力の積分値をそれぞれＩ
０，Ｉ１，Ｉ２とすると、これらの大小関係はＩ１＞Ｉ
２＞Ｉ０となる。また、Ｖ０＝ｋＩ０，Ｖ１＝ｋＩ１，
Ｖ２＝ｋＩ２が成立し、従ってｋ＝Ｖ０／Ｉ０，ｋ＝Ｖ
１／Ｉ１，ｋ＝Ｖ２／Ｉ２となり、ＴＤＩＣＣＤセンサ
１の出力をＳＰＤ２４の出力で割ることにより一定値が
得られ、即ち正規化を行なうことができる。しかしなが
ら、この正規化のために図４に示される従来の装置のよ
うに割算回路（図５）を用いると、ゲインおよび位相の
周波数特性等に問題が存在する。
波形の振幅をそれぞれＶ０，Ｖ１，Ｖ２とすると、大小
関係は、Ｖ１＞Ｖ２＞Ｖ０となる。また、各々の波形が
出力された時のＳＰＤ２４の出力の積分値をそれぞれＩ
０，Ｉ１，Ｉ２とすると、これらの大小関係はＩ１＞Ｉ
２＞Ｉ０となる。また、Ｖ０＝ｋＩ０，Ｖ１＝ｋＩ１，
Ｖ２＝ｋＩ２が成立し、従ってｋ＝Ｖ０／Ｉ０，ｋ＝Ｖ
１／Ｉ１，ｋ＝Ｖ２／Ｉ２となり、ＴＤＩＣＣＤセンサ
１の出力をＳＰＤ２４の出力で割ることにより一定値が
得られ、即ち正規化を行なうことができる。しかしなが
ら、この正規化のために図４に示される従来の装置のよ
うに割算回路（図５）を用いると、ゲインおよび位相の
周波数特性等に問題が存在する。
【００２９】このため、本発明では前述のようにＡ／Ｄ
コンバータ１４の基準電圧を調整することにより正規化
を行なう。Ａ／Ｄコンバータは一般に、ＶＲＴおよびＶ
ＲＢという２種類の基準電圧を外部から入力し、ＶＲＴ
−ＶＲＢの電圧範囲内を、例えば８ビットのＡ／Ｄコン
バータであれば２５５分割して、入力信号がこの分割さ
れたどの階調に入るかによって出力のデジタル値を決定
している。このため、図３の（ａ）〜（ｃ）における電
圧ＶＢをＶＲＢに等しくし、即ちＡ／Ｄコンバータのボ
トム基準電圧ＶＲＢ＝ＶＢとし、これは一般に０ボルト
に固定する。また、トップ基準電圧ＶＲＴは、一般にＡ
／Ｄコンバータの入力レンジと、入力に対するＡ／Ｄ変
換後の分解能を考慮して、入力信号の最大値がＶＲＴと
等しくなるよう、該ＶＲＴを設定する。従って、従来の
Ａ／Ｄコンバータの使用方法ではＶＲＴも一定値とする
のが普通である。
コンバータ１４の基準電圧を調整することにより正規化
を行なう。Ａ／Ｄコンバータは一般に、ＶＲＴおよびＶ
ＲＢという２種類の基準電圧を外部から入力し、ＶＲＴ
−ＶＲＢの電圧範囲内を、例えば８ビットのＡ／Ｄコン
バータであれば２５５分割して、入力信号がこの分割さ
れたどの階調に入るかによって出力のデジタル値を決定
している。このため、図３の（ａ）〜（ｃ）における電
圧ＶＢをＶＲＢに等しくし、即ちＡ／Ｄコンバータのボ
トム基準電圧ＶＲＢ＝ＶＢとし、これは一般に０ボルト
に固定する。また、トップ基準電圧ＶＲＴは、一般にＡ
／Ｄコンバータの入力レンジと、入力に対するＡ／Ｄ変
換後の分解能を考慮して、入力信号の最大値がＶＲＴと
等しくなるよう、該ＶＲＴを設定する。従って、従来の
Ａ／Ｄコンバータの使用方法ではＶＲＴも一定値とする
のが普通である。
【００３０】ところが本発明では、このＶＲＴを前述の
ようにＳＰＤ２４の出力の積分値に対応して変化させて
いる。この結果、仮にＡ／Ｄコンバータが８ビットであ
るとすると、Ｖ０が入力信号の振幅の時（ａ）、ＶＲＴ
＝Ｉ０×Ｇ（ＧはＶ０＝Ｇ・Ｉ０を満す）とすると、Ｖ
０はＡ／Ｄコンバータの出力として２５５となる。さら
に、図３の（ｂ）および（ｃ）におけるＶ１，Ｖ２の場
合でも同様であり、この結果、すべての入力Ｖ０〜Ｖ２
に対するＡ／Ｄコンバータ出力はすべてオール１、即ち
１１１１１１１１となる。このようにして、各条件の場
合においてＴＤＩＣＣＤセンサ１の出力信号が適切に正
規化される。
ようにＳＰＤ２４の出力の積分値に対応して変化させて
いる。この結果、仮にＡ／Ｄコンバータが８ビットであ
るとすると、Ｖ０が入力信号の振幅の時（ａ）、ＶＲＴ
＝Ｉ０×Ｇ（ＧはＶ０＝Ｇ・Ｉ０を満す）とすると、Ｖ
０はＡ／Ｄコンバータの出力として２５５となる。さら
に、図３の（ｂ）および（ｃ）におけるＶ１，Ｖ２の場
合でも同様であり、この結果、すべての入力Ｖ０〜Ｖ２
に対するＡ／Ｄコンバータ出力はすべてオール１、即ち
１１１１１１１１となる。このようにして、各条件の場
合においてＴＤＩＣＣＤセンサ１の出力信号が適切に正
規化される。
【００３１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ステー
ジ手段による被検査物の移動速度と、照明光量とを光検
出手段の出力値を積分することにより測定し、この２つ
の条件に基づきＴＤＩＣＣＤセンサ１からの出力レベル
の補正を行なうから、ＴＤＩＣＣＤセンサのもつ優れた
特性を活用して被検査物の画像を高精度かつ高感度で得
ることが可能になる。
ジ手段による被検査物の移動速度と、照明光量とを光検
出手段の出力値を積分することにより測定し、この２つ
の条件に基づきＴＤＩＣＣＤセンサ１からの出力レベル
の補正を行なうから、ＴＤＩＣＣＤセンサのもつ優れた
特性を活用して被検査物の画像を高精度かつ高感度で得
ることが可能になる。
【００３２】また、ステージ手段の等速移動制御時の速
度変動や速度変更、および照明系の光量変動の影響によ
るＴＤＩＣＣＤセンサの出力レベルの変動を適格に補正
できるのみでなく、長期間の使用による照明光源の光量
低下の補正を行なうことも可能である。また、ＴＤＩＣ
ＣＤセンサの列の総数を可変にした場合においてもシフ
トレジスタ３１での遅延量を変更するのみで容易に対応
することが可能になり、種々の状況に合わせて被検査物
の画像を最適の状態で検出することが可能になる。
度変動や速度変更、および照明系の光量変動の影響によ
るＴＤＩＣＣＤセンサの出力レベルの変動を適格に補正
できるのみでなく、長期間の使用による照明光源の光量
低下の補正を行なうことも可能である。また、ＴＤＩＣ
ＣＤセンサの列の総数を可変にした場合においてもシフ
トレジスタ３１での遅延量を変更するのみで容易に対応
することが可能になり、種々の状況に合わせて被検査物
の画像を最適の状態で検出することが可能になる。
【００３３】さらに、前記光検出手段の出力値を積分し
て作成した補正信号によりＴＤＩＣＣＤセンサの出力を
デジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータの基準電圧の
調節を行なうから、出力補正を行なう場合における回路
の周波数特性および位相特性等の影響を無視することが
でき、極めて精密な補正が行なわれる。
て作成した補正信号によりＴＤＩＣＣＤセンサの出力を
デジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータの基準電圧の
調節を行なうから、出力補正を行なう場合における回路
の周波数特性および位相特性等の影響を無視することが
でき、極めて精密な補正が行なわれる。
【図１】本発明の１実施例に係わる画像入力装置の全体
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の画像入力装置に使用されるＴＤＩＣＣＤ
センサの詳細な構成を示す説明図である。
センサの詳細な構成を示す説明図である。
【図３】図１の装置におけるＴＤＩＣＣＤセンサの出力
波形の例を示す説明図である。
波形の例を示す説明図である。
【図４】従来の画像入力装置の概略の構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図５】図４の装置に用いられている割算回路の一例を
示すブロック回路図である。
示すブロック回路図である。
１ ＴＤＩＣＣＤセンサ ２ リレーレンズ ３ 対物レンズ ４ 試料または被検査物 ５ Ｘ−Ｙステージ ６ モータ ７ ロータリー・エンコーダ ８ モータ制御回路 ９ コンデンサレンズ １０ ハーフミラー １１ 照明ユニット １２，２５ バッファアンプ １３ サンプル・アンド・ホールド回路 １４ Ａ／Ｄコンバータ １５ 画像処理回路 １６ 基準電源 １７，１８，１９ 抵抗 ２０ ＯＰアンプ ２１ デジタル画像信号バス ２２ Ａ／Ｄコンバータ用基準電圧 ２３ Ａ／Ｄコンバータ ２４ ＳＰＤ ２６ 積分回路 ２７ Ａ／Ｄコンバータ ２８ 加算回路 ３１ シフトレジスタ回路 ３２ 減算回路 ３３ 加算データバス ３４ 補正データバス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０６Ｆ 15/62 ４０５ Ａ 9287−5Ｌ 15/64 ４００ Ａ 8840−5Ｌ Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｊ 7013−4Ｍ
Claims (2)
- 【請求項１】 被検査物を載置して移動可能なステージ
手段と、 該ステージ手段に載置された被検査物を照明する光源手
段と、 前記被検査物の画像を撮像し、前記ステージ手段の移動
に対応して各走査行の蓄積電荷を複数行分列方向に累積
するＴＤＩ（タイム・ディレイ・インテグレーション）
ＣＣＤセンサと、 前記光源手段の出力光量に対応した出力を生成する光検
出手段と、 該光検出手段の出力を前記ＴＤＩＣＣＤセンサの各走査
行に対応する期間ごとに積分する積分手段と、 該積分手段の出力を前記ＴＤＩＣＣＤセンサの画素列数
に対応する期間前記ステージ手段の移動に応じて加算す
る累積手段と、 該累積手段の出力に基づき前記ＴＤＩＣＣＤセンサの出
力を補正する出力補正手段と、 を具備することを特徴とする画像入力装置。 - 【請求項２】 前記出力補正手段は前記ＴＤＩＣＣＤセ
ンサの出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器の基
準電圧を前記累積手段の出力に基づき調節することによ
って前記ＴＤＩＣＣＤセンサの出力を補正することを特
徴とする請求項１に記載の画像入力装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26282091A JPH0576005A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 画像入力装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26282091A JPH0576005A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 画像入力装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0576005A true JPH0576005A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=17381072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26282091A Pending JPH0576005A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 画像入力装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0576005A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09136411A (ja) * | 1995-09-11 | 1997-05-27 | N O Ke G & G Opt Electron Kk | プリンタ装置 |
| JPH10325711A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-08 | Hitachi Ltd | 検査方法およびその装置並びに半導体基板の製造方法 |
| JP2000231634A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-08-22 | Nec Corp | パターン形状検査装置及びパターン形状検査方法 |
| US6426510B1 (en) | 1998-12-07 | 2002-07-30 | Nec Corporation | Device and method for inspecting pattern shapes |
| EP1564985A2 (de) * | 2004-02-13 | 2005-08-17 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Vorrichtung zur digitalen Abtastung von farbigen Bildvorlagen |
| JP2007093317A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査装置 |
| EP1868366A1 (en) * | 2006-06-16 | 2007-12-19 | THOMSON Licensing | Method for controlling a TDI-CCD image sensor |
| US7826649B2 (en) | 2000-05-03 | 2010-11-02 | Aperio Technologies, Inc. | Data management in a linear-array-based microscope slide scanner |
| US7893988B2 (en) | 2000-05-03 | 2011-02-22 | Aperio Technologies, Inc. | Method for pre-focus of digital slides |
| USRE42220E1 (en) | 1999-04-21 | 2011-03-15 | Hamamatsu Photonics K.K. | Microscopy |
| US7973918B2 (en) * | 2008-09-11 | 2011-07-05 | Nuflare Technology, Inc. | Apparatus and method for pattern inspection |
| US8565480B2 (en) | 2004-05-27 | 2013-10-22 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Creating and viewing three dimensional virtual slides |
| US8582849B2 (en) | 2000-05-03 | 2013-11-12 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Viewing digital slides |
| CN103398701A (zh) * | 2013-07-31 | 2013-11-20 | 国家测绘地理信息局卫星测绘应用中心 | 一种基于物方投影面的星载非共线tdi ccd影像拼接方法 |
| US8743195B2 (en) | 2008-10-24 | 2014-06-03 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Whole slide fluorescence scanner |
| JP2015145922A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-13 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マスク検査装置及びマスク検査方法 |
| WO2023219824A1 (en) * | 2022-05-13 | 2023-11-16 | Illumina, Inc. | Apparatus and method of obtaining an image of a sample during non-uniform movements |
-
1991
- 1991-09-13 JP JP26282091A patent/JPH0576005A/ja active Pending
Cited By (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09136411A (ja) * | 1995-09-11 | 1997-05-27 | N O Ke G & G Opt Electron Kk | プリンタ装置 |
| JPH10325711A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-08 | Hitachi Ltd | 検査方法およびその装置並びに半導体基板の製造方法 |
| JP2000231634A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-08-22 | Nec Corp | パターン形状検査装置及びパターン形状検査方法 |
| US6426510B1 (en) | 1998-12-07 | 2002-07-30 | Nec Corporation | Device and method for inspecting pattern shapes |
| USRE42220E1 (en) | 1999-04-21 | 2011-03-15 | Hamamatsu Photonics K.K. | Microscopy |
| US8055042B2 (en) | 2000-05-03 | 2011-11-08 | Aperio Technologies, Inc. | Fully automatic rapid microscope slide scanner |
| US7978894B2 (en) | 2000-05-03 | 2011-07-12 | Aperio Technologies, Inc. | Fully automatic rapid microscope slide scanner |
| US8731260B2 (en) | 2000-05-03 | 2014-05-20 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Data management in a linear-array-based microscope slide scanner |
| US9851550B2 (en) | 2000-05-03 | 2017-12-26 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Fully automatic rapid microscope slide scanner |
| US7826649B2 (en) | 2000-05-03 | 2010-11-02 | Aperio Technologies, Inc. | Data management in a linear-array-based microscope slide scanner |
| US7893988B2 (en) | 2000-05-03 | 2011-02-22 | Aperio Technologies, Inc. | Method for pre-focus of digital slides |
| EP1317685B2 (en) † | 2000-05-03 | 2016-11-30 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Fully automatic rapid microscope slide scanner |
| US7949168B2 (en) | 2000-05-03 | 2011-05-24 | Aperio Technologies, Inc. | Data management in a linear-array-based microscope slide scanner |
| US9729749B2 (en) | 2000-05-03 | 2017-08-08 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Data management in a linear-array-based microscope slide scanner |
| US9521309B2 (en) | 2000-05-03 | 2016-12-13 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Data management in a linear-array-based microscope slide scanner |
| US9213177B2 (en) | 2000-05-03 | 2015-12-15 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Achieving focus in a digital pathology system |
| US8385619B2 (en) | 2000-05-03 | 2013-02-26 | Aperio Technologies, Inc. | Fully automatic rapid microscope slide scanner |
| US8456522B2 (en) | 2000-05-03 | 2013-06-04 | Aperio Technologies, Inc. | Achieving focus in a digital pathology system |
| US8582849B2 (en) | 2000-05-03 | 2013-11-12 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Viewing digital slides |
| EP1564985A3 (de) * | 2004-02-13 | 2007-05-23 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Vorrichtung zur digitalen Abtastung von farbigen Bildvorlagen |
| EP1564985A2 (de) * | 2004-02-13 | 2005-08-17 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Vorrichtung zur digitalen Abtastung von farbigen Bildvorlagen |
| US8565480B2 (en) | 2004-05-27 | 2013-10-22 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Creating and viewing three dimensional virtual slides |
| JP2007093317A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査装置 |
| EP1868366A1 (en) * | 2006-06-16 | 2007-12-19 | THOMSON Licensing | Method for controlling a TDI-CCD image sensor |
| US8698890B2 (en) | 2006-06-16 | 2014-04-15 | Gvbb Holdings S.A.R.L. | Method for controlling a TDI-CCD image sensor |
| WO2007144304A1 (en) * | 2006-06-16 | 2007-12-21 | Thomson Licensing | Method for controlling a tdi-ccd image sensor |
| US7973918B2 (en) * | 2008-09-11 | 2011-07-05 | Nuflare Technology, Inc. | Apparatus and method for pattern inspection |
| US8743195B2 (en) | 2008-10-24 | 2014-06-03 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Whole slide fluorescence scanner |
| CN103398701A (zh) * | 2013-07-31 | 2013-11-20 | 国家测绘地理信息局卫星测绘应用中心 | 一种基于物方投影面的星载非共线tdi ccd影像拼接方法 |
| JP2015145922A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-13 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マスク検査装置及びマスク検査方法 |
| WO2023219824A1 (en) * | 2022-05-13 | 2023-11-16 | Illumina, Inc. | Apparatus and method of obtaining an image of a sample during non-uniform movements |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0576005A (ja) | 画像入力装置 | |
| US4523229A (en) | Shading correction device | |
| KR101354127B1 (ko) | 물리량 분포 검출 장치 및 촬상 장치 | |
| US9154718B2 (en) | Solid state imaging device | |
| US4740681A (en) | Star sensor for attitude detection of a spinning satellite | |
| JPH04220239A (ja) | 光検出器のアレイから画像データを読み出す方法及び画像検出器システム | |
| JPH02285772A (ja) | 画像読取装置 | |
| US20050275906A1 (en) | Automatic speed optimization | |
| CN103369260A (zh) | 光电转换装置和图像拾取系统 | |
| JP2000101927A (ja) | 光統合方法からデジタル信号を発生させる画像センサ― | |
| EP0695081A2 (en) | Method and apparatus for dynamically determining and setting the charge transfer and the exposure times for a color CCD sensor | |
| US4920429A (en) | Exposure compensation for a line scan camera | |
| US4775799A (en) | Input scanner having digital and analog mode selection | |
| US10560653B2 (en) | Image sensing apparatus and control method for performing analog-to-digital conversion | |
| US6445413B1 (en) | System for determining a video offset from dark photosensors in an image sensor array | |
| US5955725A (en) | Digitizing CCD array system | |
| JPH05176233A (ja) | 画像入力方法及び装置 | |
| EP1737218A2 (en) | System for adjusting a reference voltage in a photosensor chip | |
| US20100073539A1 (en) | Solid-state imaging device | |
| JPH05183143A (ja) | 多素子光センサ装置 | |
| JPH05107038A (ja) | 撮像装置 | |
| JPH05259909A (ja) | 自動オフセット電圧補正方法 | |
| RU87854U1 (ru) | Устройство формирования изображения | |
| JPH0570134B2 (ja) | ||
| JPH06224762A (ja) | 画像入力装置 |