JPH0575836B2 - - Google Patents
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- JPH0575836B2 JPH0575836B2 JP63156366A JP15636688A JPH0575836B2 JP H0575836 B2 JPH0575836 B2 JP H0575836B2 JP 63156366 A JP63156366 A JP 63156366A JP 15636688 A JP15636688 A JP 15636688A JP H0575836 B2 JPH0575836 B2 JP H0575836B2
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
（産業上の利用分野）
本発明は情報記録媒体用金属原盤に関する。
（従来の技術）
情報記録用金属原盤は一般には以下に示す様に
作製される。 まず、ガラス等の基板の上にレジスト等の有機
物膜を形成し前記有機物膜にレーザービーム等を
照射することにより、トラツキング用グルーブ
や、情報信号を露光し、これを現像することによ
つてガラスマスターと呼ばれる情報記録媒体の母
型が作製される。さらにこれらの母型から金属原
盤を作製するために、ガラスマスター上にスパツ
ター等の方法を用いて導電膜を付与し、この導電
膜を介して電鋳により金属母材を積層させ、然る
後に、前記金属母材と共に前記導電膜を前記有機
物情報記録膜から離型させることにより金属原盤
が作製される。 また、この様な情報記録媒体用金属原盤をその
ままマスタースタンパーとして情報記録媒体作成
用に用いることもあるが、さらに前記情報記録媒
体用金属原盤を用いてスルフアミン酸ニツケル電
鋳を行ない信号の反転した複製の情報記録媒体用
金属原盤（マザー）を作製し、このマザーを用い
てさらにスルフアミン酸ニツケル電鋳を行ない前
記同様に複製を作製することでマスタースタンパ
ーと同じ信号面の複製（スタンパー）ができる。 上述のスルフアミン酸ニツケル電鋳を行なうに
際して電鋳液の液温は高温が良いとされている。
この理由は、電鋳液を高温にすると液抵抗を小さ
くすることができるので高い電流値が得られ、内
部応力も少なくできるためである。そのためスル
フアミン酸ニツケルの分解温度付近まで可能な限
り高温で電鋳をするのが良いとされている。又電
流値に関しては内部応力を下げるためには可能な
限り低い方が良いとされている。 第６図は従来の電鋳時における液温・電流値条
件を示すグラフであり、縦軸に液温及び、電流
値、横軸に積算電流量を示し、実線１は液温を示
し、点線２は電流値を示している。 従来、前記情報記録媒体用金属原盤を作製する
に際して、第６図に示した条件、即ち、電鋳液の
液温を始点から終点まで一定に保つと共に、電流
値を０から所定の上昇勾配で増加させ、一定の電
流値に達成したらそのまま一定時間保ち終点を迎
えるという条件が一般に良く使われている。 （発明が解決しようとする課題） 上述の様な電鋳方法（スルフアミン酸ニツケル
電鋳等）は、従来各種のデイスク（コンパクトデ
イスク、ビデオデイスク等）の情報記録媒体用金
属原盤を作製する際に一般に用いられているが、
上述の様に一定温度で電鋳を行なう場合、初期段
階でいきなり常温のガラスマスターを高温の電鋳
槽に入れ電鋳を行なうと熱膨張係数の差により、
全体に寸法的歪が生じやすい。又、電鋳により金
属母材を積層したガラスマスターを電鋳終点時に
おいて電鋳槽から外に出した時、室温と前記ガラ
スマスターとの間に大きい温度差があると、ガラ
スマスター上のレジストとガラスと、その上に積
層した金属母材の間の熱膨張係数の差により金属
母材に剥れが生じるという欠点があつた。又、終
点における電流値が高いままの状態では内部応力
が大きくなるという欠点があつた。金属原盤から
電鋳を行ない複製の金属原盤を作製する場合にお
いても同様問題点があつた。 （課題を解決するための手段） 本発明は上記課題を解決するためになされたも
のであり、基板上に形成した有機物情報記録膜に
導電性薄膜を付与しこの導電性薄膜を介して電鋳
により金属母材を積層させ情報記録媒体用金属原
盤（マスター、マザー、スタンパー）を作製する
工程と、前記情報記録媒体用金属原盤を用いて電
鋳により前記情報記録媒体用金属原盤の複製を作
製する工程とからなる情報記録媒体用金属原盤の
製造方法において、前記両工程における電鋳につ
いて、電鋳液が所定の低温の状態で開始し電流値
を所定の上昇勾配で上昇させると共に前記電鋳液
の温度を所定の上昇勾配で所定の最高温度、所定
の最高電流値に至らしめ、且つ所望の積算電流量
を確保し得る電鋳終了手前より、前記電鋳液温お
よび、電流値（又は電圧値）の二つの条件を共に
所定の下降勾配で、所定の低温、所定の低電流
（所定の低電圧）にまで降下させた後に電鋳を終
了させることを特徴とする情報記録媒体用金属原
盤の製造方法を提供しようとするものである。 （実施例） 本発明の実施例を説明する前に、これに先だつ
て行なつた実験について説明する。 第１図〜第５図は電鋳時における液温・電流値
条件を示すグラフであり、縦軸に液温及び、電流
値、横軸に積算電流量を示し、実線１は液温を示
し、点線２は電流値を示す。これら実験に使用し
たスルフアミン酸ニツケル電鋳液の組成と実験条
件は以下に示した通りである。 電鋳液組成 スルフアミン酸ニツケル ……100ｇ／ ホウ酸 ……30ｇ／ 界面活性剤 ……1.5ml／ 実験条件 PH ……3.7〜3.9 最低温度 ……30℃ 最高温度 ……50℃ 最高電流値 ……15A 始点・終点における温度上昇勾配および温度下降
勾配（50℃〜30℃） ……４℃／AH 始点・終点における電流値上昇勾配および電流値
下降勾配 ……3A／AH 被電鋳物 200φのガラスマスター上にニツケル
を1000Å〜1500Åスパツターしたもの 実験１ 第１図に示した実験条件は、第６図に示した従
来の電鋳条件において、液温・電流値条件のパタ
ーンを同一にしたものであり、電線１は液温を示
し、点線２は電流値を示す。電鋳始点において液
温については上昇勾配なしの50℃の状態で、電流
値については上昇勾配３ありの状態（3A／AH）
で電鋳を開始し、最高電流値15Aに達した後、終
点付近においては液温・電流値共に下降勾配なし
のまま電鋳を終了させる方法である。 実験２ 第２図に示した実験条件は、電鋳始点において
液温については上昇勾配４ありの状態（４℃／
AH）で、電流値については上昇勾配３ありの状
態（3A／AH）で電鋳を開始し、最高温度50℃、
最高電流値15Aに達した後、実験１と同様に終点
付近においては液温・電流値共に下降勾配なしの
まま電鋳を終了させる方法である。 実験３ 第３図に示した実験条件は、電鋳始点において
液温については上昇勾配４ありの状態（４℃／
AH）で、電流値については上昇勾配３ありの状
態（3A／AH）で電鋳を開始し、最高温度50℃、
最高電流値15Aに達した後、終点付近においては
液温は下降勾配なしのまま、電流値については一
定時間最高電流値（15A）を保つた後電流下降勾
配５（3A／AH）で降下させ電鋳を終了させる
方法である。 実験４ 第４図に示した実験条件は、電鋳始点において
液温については上昇勾配４ありの状態（４℃／
AH）で、電流値については上昇勾配３ありの状
態（3A／AH）で電鋳を開始し、最高温度50℃、
最高電流値15Aに達した後、終点付近においては
電流値は下降勾配なしのまま、液温については一
定時間最高温度（50℃）を保つた後、液温下降勾
配６（４℃／AH）で降下させ電鋳を終了させる
方法である。 実験５ 第５図に示した実験条件は、電鋳始点において
液温については上昇勾配４ありの状態（４℃／
AH）で、電流値については上昇勾配３ありの状
態（3A／AH）で電鋳を開始し、最高温度50℃、
最高電流値15Aに達した後、一定時間経過後、終
点付近においては電流値は下降勾配５（3A／
AH）で降下させ、液温については液温下降勾配
６（４℃／AH）で降下させ電鋳を終了させる方
法である。 これらの実験の結果、電鋳後のデイスクの内部
応力と反り量の測定した結果を第１表に示す。
作製される。 まず、ガラス等の基板の上にレジスト等の有機
物膜を形成し前記有機物膜にレーザービーム等を
照射することにより、トラツキング用グルーブ
や、情報信号を露光し、これを現像することによ
つてガラスマスターと呼ばれる情報記録媒体の母
型が作製される。さらにこれらの母型から金属原
盤を作製するために、ガラスマスター上にスパツ
ター等の方法を用いて導電膜を付与し、この導電
膜を介して電鋳により金属母材を積層させ、然る
後に、前記金属母材と共に前記導電膜を前記有機
物情報記録膜から離型させることにより金属原盤
が作製される。 また、この様な情報記録媒体用金属原盤をその
ままマスタースタンパーとして情報記録媒体作成
用に用いることもあるが、さらに前記情報記録媒
体用金属原盤を用いてスルフアミン酸ニツケル電
鋳を行ない信号の反転した複製の情報記録媒体用
金属原盤（マザー）を作製し、このマザーを用い
てさらにスルフアミン酸ニツケル電鋳を行ない前
記同様に複製を作製することでマスタースタンパ
ーと同じ信号面の複製（スタンパー）ができる。 上述のスルフアミン酸ニツケル電鋳を行なうに
際して電鋳液の液温は高温が良いとされている。
この理由は、電鋳液を高温にすると液抵抗を小さ
くすることができるので高い電流値が得られ、内
部応力も少なくできるためである。そのためスル
フアミン酸ニツケルの分解温度付近まで可能な限
り高温で電鋳をするのが良いとされている。又電
流値に関しては内部応力を下げるためには可能な
限り低い方が良いとされている。 第６図は従来の電鋳時における液温・電流値条
件を示すグラフであり、縦軸に液温及び、電流
値、横軸に積算電流量を示し、実線１は液温を示
し、点線２は電流値を示している。 従来、前記情報記録媒体用金属原盤を作製する
に際して、第６図に示した条件、即ち、電鋳液の
液温を始点から終点まで一定に保つと共に、電流
値を０から所定の上昇勾配で増加させ、一定の電
流値に達成したらそのまま一定時間保ち終点を迎
えるという条件が一般に良く使われている。 （発明が解決しようとする課題） 上述の様な電鋳方法（スルフアミン酸ニツケル
電鋳等）は、従来各種のデイスク（コンパクトデ
イスク、ビデオデイスク等）の情報記録媒体用金
属原盤を作製する際に一般に用いられているが、
上述の様に一定温度で電鋳を行なう場合、初期段
階でいきなり常温のガラスマスターを高温の電鋳
槽に入れ電鋳を行なうと熱膨張係数の差により、
全体に寸法的歪が生じやすい。又、電鋳により金
属母材を積層したガラスマスターを電鋳終点時に
おいて電鋳槽から外に出した時、室温と前記ガラ
スマスターとの間に大きい温度差があると、ガラ
スマスター上のレジストとガラスと、その上に積
層した金属母材の間の熱膨張係数の差により金属
母材に剥れが生じるという欠点があつた。又、終
点における電流値が高いままの状態では内部応力
が大きくなるという欠点があつた。金属原盤から
電鋳を行ない複製の金属原盤を作製する場合にお
いても同様問題点があつた。 （課題を解決するための手段） 本発明は上記課題を解決するためになされたも
のであり、基板上に形成した有機物情報記録膜に
導電性薄膜を付与しこの導電性薄膜を介して電鋳
により金属母材を積層させ情報記録媒体用金属原
盤（マスター、マザー、スタンパー）を作製する
工程と、前記情報記録媒体用金属原盤を用いて電
鋳により前記情報記録媒体用金属原盤の複製を作
製する工程とからなる情報記録媒体用金属原盤の
製造方法において、前記両工程における電鋳につ
いて、電鋳液が所定の低温の状態で開始し電流値
を所定の上昇勾配で上昇させると共に前記電鋳液
の温度を所定の上昇勾配で所定の最高温度、所定
の最高電流値に至らしめ、且つ所望の積算電流量
を確保し得る電鋳終了手前より、前記電鋳液温お
よび、電流値（又は電圧値）の二つの条件を共に
所定の下降勾配で、所定の低温、所定の低電流
（所定の低電圧）にまで降下させた後に電鋳を終
了させることを特徴とする情報記録媒体用金属原
盤の製造方法を提供しようとするものである。 （実施例） 本発明の実施例を説明する前に、これに先だつ
て行なつた実験について説明する。 第１図〜第５図は電鋳時における液温・電流値
条件を示すグラフであり、縦軸に液温及び、電流
値、横軸に積算電流量を示し、実線１は液温を示
し、点線２は電流値を示す。これら実験に使用し
たスルフアミン酸ニツケル電鋳液の組成と実験条
件は以下に示した通りである。 電鋳液組成 スルフアミン酸ニツケル ……100ｇ／ ホウ酸 ……30ｇ／ 界面活性剤 ……1.5ml／ 実験条件 PH ……3.7〜3.9 最低温度 ……30℃ 最高温度 ……50℃ 最高電流値 ……15A 始点・終点における温度上昇勾配および温度下降
勾配（50℃〜30℃） ……４℃／AH 始点・終点における電流値上昇勾配および電流値
下降勾配 ……3A／AH 被電鋳物 200φのガラスマスター上にニツケル
を1000Å〜1500Åスパツターしたもの 実験１ 第１図に示した実験条件は、第６図に示した従
来の電鋳条件において、液温・電流値条件のパタ
ーンを同一にしたものであり、電線１は液温を示
し、点線２は電流値を示す。電鋳始点において液
温については上昇勾配なしの50℃の状態で、電流
値については上昇勾配３ありの状態（3A／AH）
で電鋳を開始し、最高電流値15Aに達した後、終
点付近においては液温・電流値共に下降勾配なし
のまま電鋳を終了させる方法である。 実験２ 第２図に示した実験条件は、電鋳始点において
液温については上昇勾配４ありの状態（４℃／
AH）で、電流値については上昇勾配３ありの状
態（3A／AH）で電鋳を開始し、最高温度50℃、
最高電流値15Aに達した後、実験１と同様に終点
付近においては液温・電流値共に下降勾配なしの
まま電鋳を終了させる方法である。 実験３ 第３図に示した実験条件は、電鋳始点において
液温については上昇勾配４ありの状態（４℃／
AH）で、電流値については上昇勾配３ありの状
態（3A／AH）で電鋳を開始し、最高温度50℃、
最高電流値15Aに達した後、終点付近においては
液温は下降勾配なしのまま、電流値については一
定時間最高電流値（15A）を保つた後電流下降勾
配５（3A／AH）で降下させ電鋳を終了させる
方法である。 実験４ 第４図に示した実験条件は、電鋳始点において
液温については上昇勾配４ありの状態（４℃／
AH）で、電流値については上昇勾配３ありの状
態（3A／AH）で電鋳を開始し、最高温度50℃、
最高電流値15Aに達した後、終点付近においては
電流値は下降勾配なしのまま、液温については一
定時間最高温度（50℃）を保つた後、液温下降勾
配６（４℃／AH）で降下させ電鋳を終了させる
方法である。 実験５ 第５図に示した実験条件は、電鋳始点において
液温については上昇勾配４ありの状態（４℃／
AH）で、電流値については上昇勾配３ありの状
態（3A／AH）で電鋳を開始し、最高温度50℃、
最高電流値15Aに達した後、一定時間経過後、終
点付近においては電流値は下降勾配５（3A／
AH）で降下させ、液温については液温下降勾配
６（４℃／AH）で降下させ電鋳を終了させる方
法である。 これらの実験の結果、電鋳後のデイスクの内部
応力と反り量の測定した結果を第１表に示す。
【表】
なお、この時、内部応力の測定には磁化式応力
指示計を用いた。反り量の測定は、水平台の上に
200φの電鋳板を載せ外周部での反り量を圧縮応
力側では（＋）、引張り応力側では（−）として
表わした。 本実験により、実験２の条件、即ち、液温・電
流値共に所定の上昇勾配で上昇させ最高温度、最
高電流値で一定を保持することにより実験１に示
す従来の条件に比べ内部応力は2/3になり反り量
は1/3〜1/4と著しく減少することが確認された。
さらに、実験５の条件、即ち、液温・電流値共に
所定の上昇勾配で上昇させ最高温度、最高電流値
で一定を保持し、液温・電流値共に所定の下降勾
配で降下させることで内部応力、反り量共に従来
の条件である、液温一定、電流値のみ始点におい
て０から所定の上昇勾配で上昇させ一定の電流値
に達成したらそのまま一定時間保ち終点を迎える
という方法に比べ、内部応力は1/3になり反り量
は1/17に減少し大幅な改良をすることができた。 本実施例においては、前記した情報記録媒体用
金属原盤を作製する工程において、上述した実験
事実に基づき、前記スルフアミン酸ニツケル電鋳
液を低温の状態で電鋳を開始し、電流値を所定の
上昇勾配、例えば3A／AHで最高電流値に上昇
させると共に液温も所定の上昇勾配、例えば４
℃／AHで最高温度に上昇させ、液温・電流値共
に一定値を保つて電鋳した後、所望の積算電流量
が確保される前に液温・電流値共に所定の下降勾
配、例えば４℃／AH、3A／AHで下降させる方
法を採用した。上述の様に本発明の実施例によれ
ば従来の方法に比べ内部応力を1/3に減少させ、
反り量は1/17にまで減少させることを可能とし
た。 上記実施例では、液温上昇及び、下降勾配を例
えば４℃／AHとし、電流値上昇及び、下降勾配
を例えば3A／AHとしたが、これらは必ずしも
固定した値ではなく、それぞれ２℃／AH〜６
℃／AH、0.5A／AH〜10A／AHの範囲であれば
よい。 （発明の効果） 上述の様に本発明の情報記録媒体用金属原盤の
製造方法によれば、電鋳後の情報記録媒体用金属
原盤の内部応力および反り量を著しく減少させる
ことができるので、より平坦化が望まれる高精度
情報記録媒体の金属原盤を提供することができ
る。
指示計を用いた。反り量の測定は、水平台の上に
200φの電鋳板を載せ外周部での反り量を圧縮応
力側では（＋）、引張り応力側では（−）として
表わした。 本実験により、実験２の条件、即ち、液温・電
流値共に所定の上昇勾配で上昇させ最高温度、最
高電流値で一定を保持することにより実験１に示
す従来の条件に比べ内部応力は2/3になり反り量
は1/3〜1/4と著しく減少することが確認された。
さらに、実験５の条件、即ち、液温・電流値共に
所定の上昇勾配で上昇させ最高温度、最高電流値
で一定を保持し、液温・電流値共に所定の下降勾
配で降下させることで内部応力、反り量共に従来
の条件である、液温一定、電流値のみ始点におい
て０から所定の上昇勾配で上昇させ一定の電流値
に達成したらそのまま一定時間保ち終点を迎える
という方法に比べ、内部応力は1/3になり反り量
は1/17に減少し大幅な改良をすることができた。 本実施例においては、前記した情報記録媒体用
金属原盤を作製する工程において、上述した実験
事実に基づき、前記スルフアミン酸ニツケル電鋳
液を低温の状態で電鋳を開始し、電流値を所定の
上昇勾配、例えば3A／AHで最高電流値に上昇
させると共に液温も所定の上昇勾配、例えば４
℃／AHで最高温度に上昇させ、液温・電流値共
に一定値を保つて電鋳した後、所望の積算電流量
が確保される前に液温・電流値共に所定の下降勾
配、例えば４℃／AH、3A／AHで下降させる方
法を採用した。上述の様に本発明の実施例によれ
ば従来の方法に比べ内部応力を1/3に減少させ、
反り量は1/17にまで減少させることを可能とし
た。 上記実施例では、液温上昇及び、下降勾配を例
えば４℃／AHとし、電流値上昇及び、下降勾配
を例えば3A／AHとしたが、これらは必ずしも
固定した値ではなく、それぞれ２℃／AH〜６
℃／AH、0.5A／AH〜10A／AHの範囲であれば
よい。 （発明の効果） 上述の様に本発明の情報記録媒体用金属原盤の
製造方法によれば、電鋳後の情報記録媒体用金属
原盤の内部応力および反り量を著しく減少させる
ことができるので、より平坦化が望まれる高精度
情報記録媒体の金属原盤を提供することができ
る。
第１図〜第５図は電鋳時における液温・電流値
条件を示すグラフであり、第６図は従来の電鋳時
における液温・電流値条件を示すグラフである。 １……液温、２……電流値、３……電流値上昇
勾配、４……液温上昇勾配、５……電流値下降勾
配、６……液温下降勾配。
条件を示すグラフであり、第６図は従来の電鋳時
における液温・電流値条件を示すグラフである。 １……液温、２……電流値、３……電流値上昇
勾配、４……液温上昇勾配、５……電流値下降勾
配、６……液温下降勾配。
Claims (1)
- １ 基板上に形成した有機物情報記録膜に導電性
薄膜を付与しこの導電性薄膜を介して電鋳により
金属母材を積層させ情報記録媒体用金属原盤（マ
スター、マザー、スタンパー）を作製する工程
と、前記情報記録媒体用金属原盤を用いて電鋳に
より前記情報記録媒体用金属原盤の複製を作製す
る工程とからなる情報記録媒体用金属原盤の製造
方法において、前記両工程における電鋳につい
て、電鋳液が所定の低温の状態で開始し電流値を
所定の上昇勾配で上昇させると共に前記電鋳液の
温度を所定の上昇勾配で所定の最高温度、所定の
最高電流値に至らしめ、且つ所望の積算電流量を
確保し得る電鋳終了手前より、前記電鋳液温およ
び、電流値（又は電圧値）の二つの条件を共に所
定の下降勾配で、所定の低温、所定の低電流（所
定の低電圧）にまで降下させた後に電鋳を終了さ
せることを特徴とする情報記録媒体用金属原盤の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15636688A JPH028393A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 情報記録媒体用金属原盤の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15636688A JPH028393A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 情報記録媒体用金属原盤の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH028393A JPH028393A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH0575836B2 true JPH0575836B2 (ja) | 1993-10-21 |
Family
ID=15626181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15636688A Granted JPH028393A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 情報記録媒体用金属原盤の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH028393A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364649A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-23 | Seiko Epson Corp | スタンパの製造方法 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP15636688A patent/JPH028393A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364649A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-23 | Seiko Epson Corp | スタンパの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH028393A (ja) | 1990-01-11 |
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