JPH0575147A - 赤外線検出素子 - Google Patents
赤外線検出素子Info
- Publication number
- JPH0575147A JPH0575147A JP3259890A JP25989091A JPH0575147A JP H0575147 A JPH0575147 A JP H0575147A JP 3259890 A JP3259890 A JP 3259890A JP 25989091 A JP25989091 A JP 25989091A JP H0575147 A JPH0575147 A JP H0575147A
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- Japan
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- film
- light receiving
- tio
- metal electrode
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 反射防止特性はそのままに反射防止膜の付着
力を強くする。 【構成】 赤外線基板１４と、電極１３とがあり、受光
部１１に赤外線をとり入れるようになっている。受光部
１１の回りの電極１３上にＴｉＯ２膜１２を形成する。 【効果】 ＴｉＯ２膜は、高真空蒸着法で形成して、洗
浄などによってはがれることのない反射防止膜となる。
力を強くする。 【構成】 赤外線基板１４と、電極１３とがあり、受光
部１１に赤外線をとり入れるようになっている。受光部
１１の回りの電極１３上にＴｉＯ２膜１２を形成する。 【効果】 ＴｉＯ２膜は、高真空蒸着法で形成して、洗
浄などによってはがれることのない反射防止膜となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は赤外線検出素子に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】赤外線検出器の動作について図３を用い
て説明する。デュワ３８の真空部３０に取り付けられて
いる赤外線検出素子３１は、デュワの液体窒素３９によ
って冷却される。デュワ窓３７を通過した入射光３６
は、赤外線検出素子３１で光電変換され、その電気信号
をデュワ３８内部の配線によって外部に取り出してい
る。
て説明する。デュワ３８の真空部３０に取り付けられて
いる赤外線検出素子３１は、デュワの液体窒素３９によ
って冷却される。デュワ窓３７を通過した入射光３６
は、赤外線検出素子３１で光電変換され、その電気信号
をデュワ３８内部の配線によって外部に取り出してい
る。
【０００３】このときの赤外線の光路の一例を図４に示
す。赤外線基板４４上に形成した受光部４１とＡｕなど
の導電性の金属からなる電極４３をもつ赤外線検出素子
を赤外線カメラに組み込み使用する場合、入射光４６の
一部は、金属電極４３とデュワ窓４７の間で反射し、多
重反射光４９となり、受光部４１に入射するため、強い
光を入射したときに画像の画素にじみが生じ、また赤外
線検出素子の空間分解能を低下させることがあった。
す。赤外線基板４４上に形成した受光部４１とＡｕなど
の導電性の金属からなる電極４３をもつ赤外線検出素子
を赤外線カメラに組み込み使用する場合、入射光４６の
一部は、金属電極４３とデュワ窓４７の間で反射し、多
重反射光４９となり、受光部４１に入射するため、強い
光を入射したときに画像の画素にじみが生じ、また赤外
線検出素子の空間分解能を低下させることがあった。
【０００４】多重反射を防止する方法として、金属黒体
膜を反射防止膜として利用する例がある。図５は、従来
の反射防止膜である金属黒体膜の模式図である。赤外線
センサの受光部５１の周囲の電極５３の上に０．０１〜
１０［ｔｏｒｒ］の低真空で金属蒸着を行った金属黒体
膜５９を形成し、反射防止膜として使用する構造が提案
されている。金属黒体は、例えば「蒸着による金属黒体
の形成真空」第１６巻第５号（１９３７）に紹介されて
いるように、金属を１０-5［ｔｏｒｒ］以上の高真空状
態で蒸着させると、いわゆる金属光沢と呼ばれる反射率
の高い金属膜となるのに対し、１０-2〜数１０［ｔｏｒ
ｒ］の真空度で蒸着させると、金属黒体と呼ばれる密度
の低い多孔質状の膜となり、光の吸収体となる性質を利
用するものである。
膜を反射防止膜として利用する例がある。図５は、従来
の反射防止膜である金属黒体膜の模式図である。赤外線
センサの受光部５１の周囲の電極５３の上に０．０１〜
１０［ｔｏｒｒ］の低真空で金属蒸着を行った金属黒体
膜５９を形成し、反射防止膜として使用する構造が提案
されている。金属黒体は、例えば「蒸着による金属黒体
の形成真空」第１６巻第５号（１９３７）に紹介されて
いるように、金属を１０-5［ｔｏｒｒ］以上の高真空状
態で蒸着させると、いわゆる金属光沢と呼ばれる反射率
の高い金属膜となるのに対し、１０-2〜数１０［ｔｏｒ
ｒ］の真空度で蒸着させると、金属黒体と呼ばれる密度
の低い多孔質状の膜となり、光の吸収体となる性質を利
用するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】反射防止膜は、赤外線
センサの受光部の近傍の電極領域に精度良く成膜しなく
てはならないため、フォトレジストを使用したパターン
形成工程が必要である。そうすると、反射防止膜を形成
した後にフォトレジストを洗浄する工程が必要であり、
その洗浄方法としては通常、有機溶剤中での超音波洗浄
が行われている。このとき、従来の反射防止膜である金
属黒体膜は、膜が多孔質構造であるため、付着力が弱く
洗浄によって膜がはがれてしまうという欠点があった。
センサの受光部の近傍の電極領域に精度良く成膜しなく
てはならないため、フォトレジストを使用したパターン
形成工程が必要である。そうすると、反射防止膜を形成
した後にフォトレジストを洗浄する工程が必要であり、
その洗浄方法としては通常、有機溶剤中での超音波洗浄
が行われている。このとき、従来の反射防止膜である金
属黒体膜は、膜が多孔質構造であるため、付着力が弱く
洗浄によって膜がはがれてしまうという欠点があった。
【０００６】本発明の目的は、前記課題を解決し、反射
防止膜形成工程後の洗浄でもはがれない反射防止膜を電
極上に有する赤外線検出素子を提供することにある。
防止膜形成工程後の洗浄でもはがれない反射防止膜を電
極上に有する赤外線検出素子を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による赤外線検出素子においては、受光部と
金属電球とを有する赤外線検出素子であって、受光部
は、入射赤外線を受光する部分であり、金属電極は、受
光部の周囲に形成されたものであり、金属電極上のボン
ディングパッドを除く領域には反射防止膜としてＴｉＯ
2 膜が形成され、ＴｉＯ2 膜は、高真空蒸着膜であるも
のである。
め、本発明による赤外線検出素子においては、受光部と
金属電球とを有する赤外線検出素子であって、受光部
は、入射赤外線を受光する部分であり、金属電極は、受
光部の周囲に形成されたものであり、金属電極上のボン
ディングパッドを除く領域には反射防止膜としてＴｉＯ
2 膜が形成され、ＴｉＯ2 膜は、高真空蒸着膜であるも
のである。
【０００８】
【作用】受光部の周囲の金属電極の上にＴｉＯ2 膜を形
成することにより、受光部の周囲に入射する赤外線を吸
収し、反射を防止することができる。またＴｉＯ2 膜は
高真空蒸着膜であるため、付着力が強く、洗浄工程によ
って膜がはがれることはない。
成することにより、受光部の周囲に入射する赤外線を吸
収し、反射を防止することができる。またＴｉＯ2 膜は
高真空蒸着膜であるため、付着力が強く、洗浄工程によ
って膜がはがれることはない。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の赤外線検出素子について図面
を用いて説明する。
を用いて説明する。
【００１０】図１は、本発明の反射防止膜の一実施例を
示した断面図である。図において、赤外線基板１４の上
に受光部１１と、その周囲に導電性のある金属電極１３
とが形成されており、金属電極１３上にはボンディング
パッドを除く領域にＴｉＯ2膜が１２が形成されてい
る。
示した断面図である。図において、赤外線基板１４の上
に受光部１１と、その周囲に導電性のある金属電極１３
とが形成されており、金属電極１３上にはボンディング
パッドを除く領域にＴｉＯ2膜が１２が形成されてい
る。
【００１１】以下に反射防止膜の形成方法を説明する。
まず金属電極１３を、通常行われている蒸着法によって
Ａｕなどの導電性の金属を用いて形成し、その上に同じ
く蒸着法によってＴｉまたはＴｉＯを形成する。次にＴ
ｉまたはＴｉＯを酸素が循環しているオーブンで酸化す
るか、酸素プラズマ中で強制酸化するなどの方法で酸化
工程を行うことによってＴｉＯ2 膜１２を形成する。
まず金属電極１３を、通常行われている蒸着法によって
Ａｕなどの導電性の金属を用いて形成し、その上に同じ
く蒸着法によってＴｉまたはＴｉＯを形成する。次にＴ
ｉまたはＴｉＯを酸素が循環しているオーブンで酸化す
るか、酸素プラズマ中で強制酸化するなどの方法で酸化
工程を行うことによってＴｉＯ2 膜１２を形成する。
【００１２】このとき、金属電極１３としてＴｉを用い
てそのままＴｉ表面のみ酸化させてＴｉＯ2 膜１２を形
成してもよい。
てそのままＴｉ表面のみ酸化させてＴｉＯ2 膜１２を形
成してもよい。
【００１３】図２に本発明の反射防止膜の反射、透過特
性を示す。図２から、ＴｉＯ2 膜１２は、波長５μｍ以
上の赤外線に対して吸収が大きく、反射防止の役割を果
たすことがわかる。また、この反射防止膜は、高真空蒸
着膜であるから付着力が強く洗浄工程によって膜がはが
れることはない。
性を示す。図２から、ＴｉＯ2 膜１２は、波長５μｍ以
上の赤外線に対して吸収が大きく、反射防止の役割を果
たすことがわかる。また、この反射防止膜は、高真空蒸
着膜であるから付着力が強く洗浄工程によって膜がはが
れることはない。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、受
光部と金属電極をもつ赤外線検出素子において、金属電
極のボンディングパッドを除く領域に、ＴｉＯ2 膜を形
成することによって、金属領域に入射した赤外線の反射
を防止することができ、かつＴｉＯ2 膜は、高真空蒸着
膜であるため、付着力が強く、洗浄によって膜がはがれ
ることはない。
光部と金属電極をもつ赤外線検出素子において、金属電
極のボンディングパッドを除く領域に、ＴｉＯ2 膜を形
成することによって、金属領域に入射した赤外線の反射
を防止することができ、かつＴｉＯ2 膜は、高真空蒸着
膜であるため、付着力が強く、洗浄によって膜がはがれ
ることはない。
【図１】本発明の電極領域の表面がＴｉＯ2 膜で形成さ
れている構造にした反射防止膜の一実施例の断面図であ
る。
れている構造にした反射防止膜の一実施例の断面図であ
る。
【図２】本発明の反射防止膜についての分光感度のグラ
フを示す図である。
フを示す図である。
【図３】従来の赤外線検出素子の一例である液体窒素冷
却型赤外線検出素子による検出器の断面図である。
却型赤外線検出素子による検出器の断面図である。
【図４】従来の赤外線検出素子の一例である液体窒素冷
却型赤外線検出素子による検出器において赤外線の光路
の一例を示す図である。
却型赤外線検出素子による検出器において赤外線の光路
の一例を示す図である。
【図５】従来の反射射防止膜の模式図である。
１１ 受光部 １２ ＴｉＯ2 膜 １３ 金属電極 １４ 赤外線基板 ３０ 真空部 ３５ 赤外線検出素子 ３６ 入射光 ３７ デュワ窓 ３８ デュワ ３９ 液体窒素
【手続補正書】
【提出日】平成３年１０月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による赤外線検出素子においては、受光部と
金属電極とを有する赤外線検出素子であって、受光部
は、入射赤外線を受光する部分であり、金属電極は、受
光部の周囲に形成されたものであり、金属電極上のボン
ディングパッドを除く領域には反射防止膜としてＴｉＯ
２膜が形成されたものであるものである。
め、本発明による赤外線検出素子においては、受光部と
金属電極とを有する赤外線検出素子であって、受光部
は、入射赤外線を受光する部分であり、金属電極は、受
光部の周囲に形成されたものであり、金属電極上のボン
ディングパッドを除く領域には反射防止膜としてＴｉＯ
２膜が形成されたものであるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【作用】受光部の周囲の金属電極の上にＴｉＯ２膜を形
成することにより、受光部の周囲に入射する赤外線を吸
収し、反射を防止することができる。またＴｉＯ２膜は
高真空蒸着法を用いて成膜することにより、付着力が強
く、洗浄工程によって膜がはがれることのない反射防止
膜が得られる。
成することにより、受光部の周囲に入射する赤外線を吸
収し、反射を防止することができる。またＴｉＯ２膜は
高真空蒸着法を用いて成膜することにより、付着力が強
く、洗浄工程によって膜がはがれることのない反射防止
膜が得られる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】図２に本発明の反射防止膜の反射、透過特
性を示す。図２から、ＴｉＯ２膜１２は、波長５μｍ以
上の赤外線に対して吸収が大きく、反射防止の役割を果
たすことがわかる。また、この反射防止膜は、高真空蒸
着法により成膜して付着力が強く洗浄工程によって膜が
はがれることはない。
性を示す。図２から、ＴｉＯ２膜１２は、波長５μｍ以
上の赤外線に対して吸収が大きく、反射防止の役割を果
たすことがわかる。また、この反射防止膜は、高真空蒸
着法により成膜して付着力が強く洗浄工程によって膜が
はがれることはない。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、受
光部と金属電極をもつ赤外線検出素子において、金属電
極のボンディングパッドを除く領域に、ＴｉＯ２膜を形
成することによって、金属領域に入射した赤外線の反射
を防止することができ、かつＴｉＯ２膜の成膜に、高真
空蒸着法を用いて、付着力が強く、洗浄によってはがれ
ることのない反射防止膜が得られる。
光部と金属電極をもつ赤外線検出素子において、金属電
極のボンディングパッドを除く領域に、ＴｉＯ２膜を形
成することによって、金属領域に入射した赤外線の反射
を防止することができ、かつＴｉＯ２膜の成膜に、高真
空蒸着法を用いて、付着力が強く、洗浄によってはがれ
ることのない反射防止膜が得られる。
Claims (1)
- 【請求項１】 受光部と金属電球とを有する赤外線検出
素子であって、 受光部は、入射赤外線を受光する部分であり、 金属電極は、受光部の周囲に形成されたものであり、 金属電極上のボンディングパッドを除く領域には反射防
止膜としてＴｉＯ2 膜が形成され、 ＴｉＯ2 膜は、高真空蒸着膜であることを特徴とする赤
外線検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3259890A JPH0575147A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 赤外線検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3259890A JPH0575147A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 赤外線検出素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0575147A true JPH0575147A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=17340362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3259890A Pending JPH0575147A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 赤外線検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0575147A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020009247A1 (ja) * | 2018-07-06 | 2020-01-09 | 大日本印刷株式会社 | 発熱板、導電体付きフィルム、合わせ板、デフロスタ、移動体及び発熱板の製造方法 |
| JP2020011890A (ja) * | 2018-07-06 | 2020-01-23 | 大日本印刷株式会社 | 合わせ板、デフロスタ、移動体 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62269367A (ja) * | 1986-05-19 | 1987-11-21 | Fujitsu Ltd | 赤外線検知素子 |
| JPH036868A (ja) * | 1989-06-05 | 1991-01-14 | Toshiba Corp | 光電変換装置 |
-
1991
- 1991-09-11 JP JP3259890A patent/JPH0575147A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62269367A (ja) * | 1986-05-19 | 1987-11-21 | Fujitsu Ltd | 赤外線検知素子 |
| JPH036868A (ja) * | 1989-06-05 | 1991-01-14 | Toshiba Corp | 光電変換装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020009247A1 (ja) * | 2018-07-06 | 2020-01-09 | 大日本印刷株式会社 | 発熱板、導電体付きフィルム、合わせ板、デフロスタ、移動体及び発熱板の製造方法 |
| JP2020011890A (ja) * | 2018-07-06 | 2020-01-23 | 大日本印刷株式会社 | 合わせ板、デフロスタ、移動体 |
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