JPH0574917A - 板状物搬送装置 - Google Patents
板状物搬送装置Info
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- JPH0574917A JPH0574917A JP25963491A JP25963491A JPH0574917A JP H0574917 A JPH0574917 A JP H0574917A JP 25963491 A JP25963491 A JP 25963491A JP 25963491 A JP25963491 A JP 25963491A JP H0574917 A JPH0574917 A JP H0574917A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、複雑な機構を設けることな
く、オペレ−タの待ち時間が短い搬送装置を提供するこ
とにある。 【構成】 ウェ−ハや液晶基板等の板状物を取出し所定
の加工または検査位置へ移動すると共に、加工または検
査後の板状物を所定の収納位置にさらに移動する板状物
搬送装置において、所定の加工または検査位置の近傍に
板状物を一時的に保持するための一時保持手段と、該一
時保持手段に保持された板状物を前記所定の加工または
検査位置へ案内する手段と、該所定の加工または検査位
置へ案内される板状物と加工または検査後収納位置へ移
動する板状物とが互いに干渉しないよう制御する制御手
段を有することを特徴としている。
く、オペレ−タの待ち時間が短い搬送装置を提供するこ
とにある。 【構成】 ウェ−ハや液晶基板等の板状物を取出し所定
の加工または検査位置へ移動すると共に、加工または検
査後の板状物を所定の収納位置にさらに移動する板状物
搬送装置において、所定の加工または検査位置の近傍に
板状物を一時的に保持するための一時保持手段と、該一
時保持手段に保持された板状物を前記所定の加工または
検査位置へ案内する手段と、該所定の加工または検査位
置へ案内される板状物と加工または検査後収納位置へ移
動する板状物とが互いに干渉しないよう制御する制御手
段を有することを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウェ−ハや液晶基板等を
加工・検査する装置に係り、さらに詳しくはこれらの板
状物を加工・検査位置に移動し、加工・検査後板状物を
収納位置に収納する板状物の搬送装置に関するものであ
る。
加工・検査する装置に係り、さらに詳しくはこれらの板
状物を加工・検査位置に移動し、加工・検査後板状物を
収納位置に収納する板状物の搬送装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】ガラス基板上に電極パタ−ンを形成した
液晶基板は、所期する電極パタ−ンが正確に形成されて
いるか、欠陥が有るときはその原因が調べられる。この
装置の搬送機構は次のような構成となっている。液晶基
板が収納されたカセットから、マニュピレ−タにより液
晶基板を取出し、これをＸ−Ｙステ−ジ上の検査位置に
載置する。Ｘ−Ｙステ−ジを移動させながら、顕微鏡に
より液晶基板の全面を拡大して検査する。顕微鏡による
検査の間、マニュピレ−タは所定の位置に待機してお
り、検査完了後マニュピレ−タは検査済みの液晶基板を
所定の収納カセットに移動する。収納カセットに収納
後、マニュピレ−タは未検査の液晶基板を取出し、次な
る検査を行う。また、ウェ−ハの顕微鏡検査やいわゆる
マクロ検査の搬送装置もほぼ同様である。
液晶基板は、所期する電極パタ−ンが正確に形成されて
いるか、欠陥が有るときはその原因が調べられる。この
装置の搬送機構は次のような構成となっている。液晶基
板が収納されたカセットから、マニュピレ−タにより液
晶基板を取出し、これをＸ−Ｙステ−ジ上の検査位置に
載置する。Ｘ−Ｙステ−ジを移動させながら、顕微鏡に
より液晶基板の全面を拡大して検査する。顕微鏡による
検査の間、マニュピレ−タは所定の位置に待機してお
り、検査完了後マニュピレ−タは検査済みの液晶基板を
所定の収納カセットに移動する。収納カセットに収納
後、マニュピレ−タは未検査の液晶基板を取出し、次な
る検査を行う。また、ウェ−ハの顕微鏡検査やいわゆる
マクロ検査の搬送装置もほぼ同様である。
【０００３】
【発明が解決すべき課題】このような従来の搬送装置
は、顕微鏡による検査の間マニュピレ−タは所定の位置
に待機しており、カセットからの取出しからカセットへ
の収納というサイクルが時系列で連続している。したが
って、検査から次の検査までのオペレ−タの待ち時間が
長く、装置の稼働効率が悪いという問題がある。上記従
来装置の欠点に鑑み、本発明の目的は、複雑な機構を設
けることなく、オペレ−タの待ち時間が短い搬送装置を
提供することにある。
は、顕微鏡による検査の間マニュピレ−タは所定の位置
に待機しており、カセットからの取出しからカセットへ
の収納というサイクルが時系列で連続している。したが
って、検査から次の検査までのオペレ−タの待ち時間が
長く、装置の稼働効率が悪いという問題がある。上記従
来装置の欠点に鑑み、本発明の目的は、複雑な機構を設
けることなく、オペレ−タの待ち時間が短い搬送装置を
提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の板状物搬送装置は以下の構成を有すること
を特徴とする。すなわち、 （１） ウェ−ハや液晶基板等の板状物を取出し所定の
加工または検査位置へ移動すると共に、加工または検査
後の板状物を所定の収納位置にさらに移動する板状物搬
送装置において、所定の加工または検査位置の近傍に板
状物を一時的に保持するための一時保持手段と、該一時
保持手段に保持された板状物を前記所定の加工または検
査位置へ案内する手段と、該所定の加工または検査位置
へ案内される板状物と加工または検査後収納位置へ移動
する板状物とが互いに干渉しないよう制御する制御手段
を有することを特徴としている。
に、本発明の板状物搬送装置は以下の構成を有すること
を特徴とする。すなわち、 （１） ウェ−ハや液晶基板等の板状物を取出し所定の
加工または検査位置へ移動すると共に、加工または検査
後の板状物を所定の収納位置にさらに移動する板状物搬
送装置において、所定の加工または検査位置の近傍に板
状物を一時的に保持するための一時保持手段と、該一時
保持手段に保持された板状物を前記所定の加工または検
査位置へ案内する手段と、該所定の加工または検査位置
へ案内される板状物と加工または検査後収納位置へ移動
する板状物とが互いに干渉しないよう制御する制御手段
を有することを特徴としている。
【０００５】（２） （１）の板状物搬送装置におい
て、板状物が一時保持手段に保持されているか否かを検
出する検出手段を設け、該検出手段の信号に基づいて一
時保持手段への板状物の移動を制御することを特徴とし
ている。
て、板状物が一時保持手段に保持されているか否かを検
出する検出手段を設け、該検出手段の信号に基づいて一
時保持手段への板状物の移動を制御することを特徴とし
ている。
【０００６】（３） （１）の制御手段は加工または検
査後の板状物の位置信号に基づいて一時保持手段への板
状物の移動を制御することを特徴としている。
査後の板状物の位置信号に基づいて一時保持手段への板
状物の移動を制御することを特徴としている。
【０００７】（４） ウェ−ハや液晶基板等の板状物を
取出し所定の加工または検査位置へ搬送すると共に、加
工または検査後の板状物を所定の収納位置にさらに収納
する板状物搬送装置において、加工または検査後の板状
物を一時的に保持するための一時保持手段を設け、該一
時保持手段された板状物を前記所定の収納位置に収納す
ることを特徴としている。
取出し所定の加工または検査位置へ搬送すると共に、加
工または検査後の板状物を所定の収納位置にさらに収納
する板状物搬送装置において、加工または検査後の板状
物を一時的に保持するための一時保持手段を設け、該一
時保持手段された板状物を前記所定の収納位置に収納す
ることを特徴としている。
【０００８】（５） （４）の板状物搬送装置におい
て、板状物が一時保持手段に保持されているか否かを検
出する検出手段を設け、該検出手段の信号に基づいて加
工または検査後の板状物を一時保持手段へ移動すること
を特徴としている。
て、板状物が一時保持手段に保持されているか否かを検
出する検出手段を設け、該検出手段の信号に基づいて加
工または検査後の板状物を一時保持手段へ移動すること
を特徴としている。
【０００９】（６） （４）の板状物搬送装置におい
て、板状物が加工または検査位置にあるか否かを検出す
る検出手段を設け、該検出手段の信号に基づいて板状物
の加工または検査位置への移動を制御することを特徴と
している。
て、板状物が加工または検査位置にあるか否かを検出す
る検出手段を設け、該検出手段の信号に基づいて板状物
の加工または検査位置への移動を制御することを特徴と
している。
【００１０】
【実施例１】以下、本発明の１実施例である液晶基板検
査装置を図面に基づいて説明する。図１は本実施例の外
観斜視図である。１は液晶基板を収納するカセットであ
り、カセット１には各基板を１枚１枚個別に収納するた
めの仕切り板が設けられている。２は液晶基板を移動す
るためのマニピュレ−タ機構であり、被検物である液晶
基板３を載置する載置部４と載置板を長軸方向に案内す
るめの案内台５とを有し、載置部４と案内台５はθ方向
に回転すると共に、Ｚ軸方向にも移動する。６は顕微鏡
鏡筒であり、７は設定デ−タを表示するモニタである。
８は液晶基板３をマニピュレ−タから受けとり、検査面
に移動するまで一時的に保持するストック機構である
（図３参照）。９は液晶基板３を二次元的に移動させる
Ｘ−Ｙステ−ジ機構である。１０は装置の操作パネルで
ある。
査装置を図面に基づいて説明する。図１は本実施例の外
観斜視図である。１は液晶基板を収納するカセットであ
り、カセット１には各基板を１枚１枚個別に収納するた
めの仕切り板が設けられている。２は液晶基板を移動す
るためのマニピュレ−タ機構であり、被検物である液晶
基板３を載置する載置部４と載置板を長軸方向に案内す
るめの案内台５とを有し、載置部４と案内台５はθ方向
に回転すると共に、Ｚ軸方向にも移動する。６は顕微鏡
鏡筒であり、７は設定デ−タを表示するモニタである。
８は液晶基板３をマニピュレ−タから受けとり、検査面
に移動するまで一時的に保持するストック機構である
（図３参照）。９は液晶基板３を二次元的に移動させる
Ｘ−Ｙステ−ジ機構である。１０は装置の操作パネルで
ある。
【００１１】図２は本装置の電気系ブロック図である。
１１はマイクロコンピュ−タからなるコントロ−ラであ
る。１２は顕微鏡の照明光の強度を調整する照明調光
部、１３は対物レンズを切替えるためのレボルバ駆動
部、１４は顕微鏡の焦点面を検査面に一致させるための
フォ−カス駆動部である。１５はマニピュレ−タ機構を
駆動するためのマニピュレ−タ駆動部である。マニピュ
レ−タ機構２は、操作パネル１０のキ−で設定した抜き
取り方法で、収納カセット１から液晶基板３を抜き取
る。載置部４には液晶基板３を真空吸着する吸着機構が
備えられている。１６はストック機構８にある液晶基板
を保持するための３本の爪３０（図４参照）を駆動する
ためのモ−タであり、爪３０ａと爪３０ｂとの間隔の広
狭により液晶基板を保持したり、保持を解除する。爪３
０ｂには静電容量センサ１７が設けられており、液晶基
板の有無を検出する。尚、静電容量センサは光学式セン
サ等の他のセンサに変えることができる。また、爪３０
ａと爪３０ｂは、モ−タ１８によりＺ軸方向に移動す
る。１９はＸ−Ｙステ−ジ駆動部であり、液晶基板を載
置しこれをＸ−Ｙ軸方向に移動する周知の機構のもので
ある。Ｘ−Ｙステ−ジ機構９には液晶基板の有無を検出
する静電容量型センサ２０が配置されている。
１１はマイクロコンピュ−タからなるコントロ−ラであ
る。１２は顕微鏡の照明光の強度を調整する照明調光
部、１３は対物レンズを切替えるためのレボルバ駆動
部、１４は顕微鏡の焦点面を検査面に一致させるための
フォ−カス駆動部である。１５はマニピュレ−タ機構を
駆動するためのマニピュレ−タ駆動部である。マニピュ
レ−タ機構２は、操作パネル１０のキ−で設定した抜き
取り方法で、収納カセット１から液晶基板３を抜き取
る。載置部４には液晶基板３を真空吸着する吸着機構が
備えられている。１６はストック機構８にある液晶基板
を保持するための３本の爪３０（図４参照）を駆動する
ためのモ−タであり、爪３０ａと爪３０ｂとの間隔の広
狭により液晶基板を保持したり、保持を解除する。爪３
０ｂには静電容量センサ１７が設けられており、液晶基
板の有無を検出する。尚、静電容量センサは光学式セン
サ等の他のセンサに変えることができる。また、爪３０
ａと爪３０ｂは、モ−タ１８によりＺ軸方向に移動す
る。１９はＸ−Ｙステ−ジ駆動部であり、液晶基板を載
置しこれをＸ−Ｙ軸方向に移動する周知の機構のもので
ある。Ｘ−Ｙステ−ジ機構９には液晶基板の有無を検出
する静電容量型センサ２０が配置されている。
【００１２】以上の構成の実施例において、以下その動
作を説明する。まず、操作パネル１０のキ−を操作して
顕微鏡の倍率、Ｘ−Ｙステ−ジ機構９の移動ステップや
抜き取り方法等検査の条件を設定し、始動キ−を押す。
静電容量センサ１７により液晶基板がないことを確認す
ると、コントロ−ラ部１１はストック機構８に抜き取る
べき液晶基板の位置デ−タに基づいてマニピュレ−タ駆
動部１５に駆動デ−タを与える。この駆動デ−タに基づ
いてマニピュレ−タ駆動部１５は載置部４にθ方向の回
転、Ｚ軸方向の移動及び案内台５の軸方向への移動を行
う。載置部４の先端部がカセット１の所定の位置に移動
すると、載置部４は真空吸着により液晶基板を吸着す
る。
作を説明する。まず、操作パネル１０のキ−を操作して
顕微鏡の倍率、Ｘ−Ｙステ−ジ機構９の移動ステップや
抜き取り方法等検査の条件を設定し、始動キ−を押す。
静電容量センサ１７により液晶基板がないことを確認す
ると、コントロ−ラ部１１はストック機構８に抜き取る
べき液晶基板の位置デ−タに基づいてマニピュレ−タ駆
動部１５に駆動デ−タを与える。この駆動デ−タに基づ
いてマニピュレ−タ駆動部１５は載置部４にθ方向の回
転、Ｚ軸方向の移動及び案内台５の軸方向への移動を行
う。載置部４の先端部がカセット１の所定の位置に移動
すると、載置部４は真空吸着により液晶基板を吸着す
る。
【００１３】コントロ−ラ部１１の駆動デ−タにより載
置部４は液晶基板をストック機構８まで移動する。静電
容量センサ１７が液晶基板の存在を検出すると、モ−タ
１６が回転し、ストック機構８の爪３０ａ，ｂの間隔が
狭まり、ストック機構に液晶基板が保持される。液晶基
板が保持されると、載置部４の真空吸着は解除され、初
期位置まで戻る。静電容量型センサ２０がＸ−Ｙステ−
ジ機構９上に液晶基板がないことを検知すると、モ−タ
１８が駆動し、ストック機構８の爪３０ａ，ｂは液晶基
板をＸ−Ｙステ−ジ機構９の載置面に置くよう下降す
る。静電容量センサ１７により液晶基板が検知される
と、爪３０ａ，ｂの間隔を広げると共に、Ｘ−Ｙステ−
ジ機構は液晶基板を真空吸着し、爪３０ａ，ｂは下降前
の位置まで上昇する。Ｘ−Ｙステ−ジ機構により検査面
を移動させながら検査を行い、検査が終了した時はＸ−
Ｙステ−ジは初期位置に移動する。
置部４は液晶基板をストック機構８まで移動する。静電
容量センサ１７が液晶基板の存在を検出すると、モ−タ
１６が回転し、ストック機構８の爪３０ａ，ｂの間隔が
狭まり、ストック機構に液晶基板が保持される。液晶基
板が保持されると、載置部４の真空吸着は解除され、初
期位置まで戻る。静電容量型センサ２０がＸ−Ｙステ−
ジ機構９上に液晶基板がないことを検知すると、モ−タ
１８が駆動し、ストック機構８の爪３０ａ，ｂは液晶基
板をＸ−Ｙステ−ジ機構９の載置面に置くよう下降す
る。静電容量センサ１７により液晶基板が検知される
と、爪３０ａ，ｂの間隔を広げると共に、Ｘ−Ｙステ−
ジ機構は液晶基板を真空吸着し、爪３０ａ，ｂは下降前
の位置まで上昇する。Ｘ−Ｙステ−ジ機構により検査面
を移動させながら検査を行い、検査が終了した時はＸ−
Ｙステ−ジは初期位置に移動する。
【００１４】爪３０ａ，ｂは下降前の位置まで上昇す
る。ストック機構に液晶基板が無いときは、マニピュレ
−タ機構２は次に検査する液晶基板をカセット１から抜
き取り、これをストック機構８に移動する。検査が終了
し液晶基板が所定の位置にあるときは、マニピュレ−タ
機構２はＸ−Ｙステ−ジ機構９の液晶基板を受けとり、
これをカセット１の元の位置に移動する。すなわち、マ
ニピュレ−タ機構２はその載置部４を液晶基板の下側に
移動し、Ｘ−Ｙステ−ジ機構９の吸着機構を解除すると
共に、載置部４に真空吸着する。カセット１への収納位
置デ−タは記憶されたデ−タ（最後の１枚を除き１つ前
のカセット１の抜き取りデ−タ）により与えられる。
る。ストック機構に液晶基板が無いときは、マニピュレ
−タ機構２は次に検査する液晶基板をカセット１から抜
き取り、これをストック機構８に移動する。検査が終了
し液晶基板が所定の位置にあるときは、マニピュレ−タ
機構２はＸ−Ｙステ−ジ機構９の液晶基板を受けとり、
これをカセット１の元の位置に移動する。すなわち、マ
ニピュレ−タ機構２はその載置部４を液晶基板の下側に
移動し、Ｘ−Ｙステ−ジ機構９の吸着機構を解除すると
共に、載置部４に真空吸着する。カセット１への収納位
置デ−タは記憶されたデ−タ（最後の１枚を除き１つ前
のカセット１の抜き取りデ−タ）により与えられる。
【００１５】このように、マニピュレ−タ機構２は［カ
セット１の液晶基板をストック機構８に移動］−［Ｘ−
Ｙステ−ジ機構の液晶基板をカセット１に移動］という
動作を繰り返し、これらの動作を検査中に行うことがで
き、また後者の動作と［ストック機構８の液晶基板をＸ
−Ｙステ−ジに移動］という動作が同時平行的に行わう
ことができるので、検査者はある液晶基板の検査終了
後、短時間に次の液晶基板の検査に移ることができる。
セット１の液晶基板をストック機構８に移動］−［Ｘ−
Ｙステ−ジ機構の液晶基板をカセット１に移動］という
動作を繰り返し、これらの動作を検査中に行うことがで
き、また後者の動作と［ストック機構８の液晶基板をＸ
−Ｙステ−ジに移動］という動作が同時平行的に行わう
ことができるので、検査者はある液晶基板の検査終了
後、短時間に次の液晶基板の検査に移ることができる。
【００１６】
【実施例２】実施例１はストック機構８に検査前の液晶
基板を保持しているが、実施例１より待ち時間は長くな
るが、検査済みの液晶基板をストック機構８に保持し、
マニピュレ−タ機構２は液晶基板をＸ−Ｙステ−ジにダ
イレクトに供給するようにしても、オペレ−タの待ち時
間を短縮できる。この場合、マニピュレ−タ機構２は液
晶基板を保持した状態で、検査済みの液晶基板がストッ
ク機構８に保持されるのを待機すると良い。
基板を保持しているが、実施例１より待ち時間は長くな
るが、検査済みの液晶基板をストック機構８に保持し、
マニピュレ−タ機構２は液晶基板をＸ−Ｙステ−ジにダ
イレクトに供給するようにしても、オペレ−タの待ち時
間を短縮できる。この場合、マニピュレ−タ機構２は液
晶基板を保持した状態で、検査済みの液晶基板がストッ
ク機構８に保持されるのを待機すると良い。
【００１７】
【実施例３】実施例３は検査光束を斜めから投射し、そ
の欠陥を検出するいわゆる斜光検査装置に本発明を応用
したときの例である。斜光検査装置は本出願人による特
開昭６３−１８６０６３号に記載されたような構造の装
置であり、図５は本発明の要部を説明する図である。４
０は実施例１の２と同様なマニピュレ−タ機構であり、
カセットから液晶基板を抜き取り、また検査済み液晶基
板を収納する。４１は検査ステ−ジであり、Ｚ軸方向に
上下し、下降した位置でマニピュレ−タ機構２から液晶
基板４２を受け取り、これを真空吸着する。４３はステ
−ジ軸である。検査ステ−ジ４１には静電容量センサ
（図示せず）が設けられ、検査ステ−ジ上の液晶基板の
有無を検出し、この信号に基づいて検査ステ−ジ４１へ
の液晶基板の受け渡しが制御される。
の欠陥を検出するいわゆる斜光検査装置に本発明を応用
したときの例である。斜光検査装置は本出願人による特
開昭６３−１８６０６３号に記載されたような構造の装
置であり、図５は本発明の要部を説明する図である。４
０は実施例１の２と同様なマニピュレ−タ機構であり、
カセットから液晶基板を抜き取り、また検査済み液晶基
板を収納する。４１は検査ステ−ジであり、Ｚ軸方向に
上下し、下降した位置でマニピュレ−タ機構２から液晶
基板４２を受け取り、これを真空吸着する。４３はステ
−ジ軸である。検査ステ−ジ４１には静電容量センサ
（図示せず）が設けられ、検査ステ−ジ上の液晶基板の
有無を検出し、この信号に基づいて検査ステ−ジ４１へ
の液晶基板の受け渡しが制御される。
【００１８】４４は斜光検査が終了した液晶基板を一時
保持するためのストック機構である。ストック機構４４
は液晶基板を保持するための３個の支持部を有している
が、支持部４４´は斜光検査時には検査に邪魔にならな
い位置、本実施例では検査ステ−ジ４１の下方位置に退
避している。斜光検査が終了後、検査ステ−ジ４１が液
晶基板の受け渡し位置まで下降すると、検査ステ−ジ４
１の真空吸着は解除されると共に、支持部４４´は上昇
し、液晶基板を上方まで持ち上げる。液晶基板４２を検
査ステ−ジ４１に渡したマニピュレ−タ機構４０は、支
持部４４´の静電容量センサ（図示せず）により検査済
みの液晶基板の保持信号が検出されるときは、支持部４
４´に保持されている液晶基板を受け取り、これをカセ
ットに収納する。液晶基板の受け渡しが終了すると、支
持部４４´は下降する。支持部４４´の下降信号により
検査ステ−ジ４１は、未検査の液晶基板を保持して検査
位置まで上昇し、斜光検査を行う。なお、制御系の基本
は実施例とほぼ同じであり、そのブロック図は省略す
る。
保持するためのストック機構である。ストック機構４４
は液晶基板を保持するための３個の支持部を有している
が、支持部４４´は斜光検査時には検査に邪魔にならな
い位置、本実施例では検査ステ−ジ４１の下方位置に退
避している。斜光検査が終了後、検査ステ−ジ４１が液
晶基板の受け渡し位置まで下降すると、検査ステ−ジ４
１の真空吸着は解除されると共に、支持部４４´は上昇
し、液晶基板を上方まで持ち上げる。液晶基板４２を検
査ステ−ジ４１に渡したマニピュレ−タ機構４０は、支
持部４４´の静電容量センサ（図示せず）により検査済
みの液晶基板の保持信号が検出されるときは、支持部４
４´に保持されている液晶基板を受け取り、これをカセ
ットに収納する。液晶基板の受け渡しが終了すると、支
持部４４´は下降する。支持部４４´の下降信号により
検査ステ−ジ４１は、未検査の液晶基板を保持して検査
位置まで上昇し、斜光検査を行う。なお、制御系の基本
は実施例とほぼ同じであり、そのブロック図は省略す
る。
【００１９】また、実施例３では、ストック機構４４の
支持部は検査ステ−ジ４１の下方位置に退避している
が、支持腕からなるストック機構を設け側方に退避させ
ることにより、マニピュレ−タ機構２がストック機構か
ら検査済み液晶基板の受け取りを待つことなく直ちに斜
光検査を実施できる。このように、本実施例は種々の変
容が可能であり、本発明の技術思想と同一で有る限り、
このような変容も本発明に含まれるものである。
支持部は検査ステ−ジ４１の下方位置に退避している
が、支持腕からなるストック機構を設け側方に退避させ
ることにより、マニピュレ−タ機構２がストック機構か
ら検査済み液晶基板の受け取りを待つことなく直ちに斜
光検査を実施できる。このように、本実施例は種々の変
容が可能であり、本発明の技術思想と同一で有る限り、
このような変容も本発明に含まれるものである。
【００２０】
【発明の効果】本発明の板状物搬送装置によれば、複雑
な機構を設けることなく、オペレ−タの待ち時間が短い
搬送装置を提供することができる。
な機構を設けることなく、オペレ−タの待ち時間が短い
搬送装置を提供することができる。
【図１】本実施例の外観斜視図である。
【図２】本装置の電気系ブロック図である。
【図３】ストック機構を示す平面図である。
【図４】マニピュレ−タ機構とストック機構の関係を示
す説明図である。
す説明図である。
【図５】実施例３のマニピュレ−タ機構とストック機構
の関係を示す説明図である。
の関係を示す説明図である。
１ カセット ２ マニピュレ−タ機構 ３ 液晶基板 ４ 載置部 ５ 案内台 ６ 顕微鏡鏡筒 ７ モニタ ８ ストック機構 ９ Ｘ−Ｙステ−ジ機構 １０ 操作パネル
Claims (6)
- 【請求項１】 ウェ−ハや液晶基板等の板状物を取出し
所定の加工または検査位置へ移動すると共に、加工また
は検査後の板状物を所定の収納位置にさらに移動する板
状物搬送装置において、所定の加工または検査位置の近
傍に板状物を一時的に保持するための一時保持手段と、
該一時保持手段に保持された板状物を前記所定の加工ま
たは検査位置へ案内する手段と、該所定の加工または検
査位置へ案内される板状物と加工または検査後収納位置
へ移動する板状物とが互いに干渉しないよう制御する制
御手段を有することを特徴とする板状物搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１の板状物搬送装置において、板
状物が一時保持手段に保持されているか否かを検出する
検出手段を設け、該検出手段の信号に基づいて一時保持
手段への板状物の移動を制御することを特徴とする板状
物搬送装置。 - 【請求項３】 請求項１の制御手段は加工または検査後
の板状物の位置信号に基づいて一時保持手段への板状物
の移動を制御することを特徴とする板状物搬送装置。 - 【請求項４】 ウェ−ハや液晶基板等の板状物を取出し
所定の加工または検査位置へ搬送すると共に、加工また
は検査後の板状物を所定の収納位置にさらに収納する板
状物搬送装置において、加工または検査後の板状物を一
時的に保持するための一時保持手段を設け、該一時保持
手段された板状物を前記所定の収納位置に収納すること
を特徴とする板状物搬送装置。 - 【請求項５】 請求項４の板状物搬送装置において、板
状物が一時保持手段に保持されているか否かを検出する
検出手段を設け、該検出手段の信号に基づいて加工また
は検査後の板状物を一時保持手段へ移動することを特徴
とする板状物搬送装置。 - 【請求項６】 請求項４の板状物搬送装置において、板
状物が加工または検査位置にあるか否かを検出する検出
手段を設け、該検出手段の信号に基づいて板状物の加工
または検査位置への移動を制御することを特徴とする板
状物搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25963491A JP3157212B2 (ja) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | 板状物搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25963491A JP3157212B2 (ja) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | 板状物搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0574917A true JPH0574917A (ja) | 1993-03-26 |
| JP3157212B2 JP3157212B2 (ja) | 2001-04-16 |
Family
ID=17336794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25963491A Expired - Fee Related JP3157212B2 (ja) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | 板状物搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3157212B2 (ja) |
-
1991
- 1991-09-10 JP JP25963491A patent/JP3157212B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3157212B2 (ja) | 2001-04-16 |
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