CN117620981A - 工件固定装置和包括工件固定装置的检测装置 - Google Patents

Abstract

工件固定装置(33)，包括一个工件支撑面(80)和一个吹吸单元(90)。工件支撑面(80)包括在其中形成的吸附孔(82)。放置在工件支撑面(80)上的工件通过吸附孔(82)被吸附住。吹吸单元(90)包括一个离子发生器(93)，用于离子化气体(例如空气)；一个喷射口(100)，将气体喷射向工件；以及一个吸入口(101)。吹向工件并被工件反射的气体通过吸入口(101)被吸入。在向工件吹送离子化气体的同时，吹吸单元(90)相对于工件的长度方向移动。

Description

工件固定装置和包括工件固定装置的检测装置

技术领域

本发明涉及一种用于固定工件的工件固定装置，例如，用于固定磁盘驱动器悬架或类似装置的工件，并且还涉及包括该工件固定装置的检测装置。

背景技术

磁盘驱动器用于信息处理设备，例如个人电脑。磁盘驱动器配备有围绕主轴旋转的磁盘和围绕枢轴旋转的滑块等。磁盘驱动器悬架安装在滑块的臂上。

磁盘驱动器悬架包括底板、负载梁和弯曲片。磁盘驱动器悬架的一个例子在JP2016-87611A(专利文献1)中有描述。专利文献1中描述的弯曲片包括由薄不锈钢板制成的金属基座和形成在金属基座上的布线部分。一滑块，放置在弯曲片末端附近形成的万向节部分上。滑块包括安装在其中的作为磁头的元件。弯曲片包括沿负载梁长度方向延伸的弯曲片尾部。

如上所述，磁盘驱动器悬架包括弯曲片和负载梁。为了检查磁盘驱动器悬架，可以使用检测装置。检测装置的一个例子包括工件固定装置、摄像机和传送机构。工件固定装置将磁盘驱动器悬架等工件固定在预定位置。摄像机拍摄由工件固定装置固定的工件的图像。传送机构将工件传送。

在处理如上所述的薄而细长的工件，例如磁盘驱动器悬架时，需要极度小心和注意。上述用于将这样的工件固定在预定位置的工件固定装置包括，例如吸附装置，吸附装置的在采用阶段通过负压吸附工件。JP 2016-74099A(专利文献2)中描述了吸附装置的一个例子。专利文献2中描述的吸附装置通过负压将放置在吸附台上的工件固定在安装表面上。

磁盘驱动器悬架的弯曲片包括金属基座、绝缘层和导体。金属基座由薄不锈钢板制成。绝缘层形成在金属基座上。导体由铜制成，并形成在绝缘层上。这样的工件(磁盘驱动器悬架)在制造过程或运输过程中等可能会充满静电。薄而细长的工件在厚度方向上容易变形，并且容易弯曲。

当工件放置在吸附台上时，它会被负压吸附到吸附台上。在此要注意，充有静电的工件的一部分可能会从吸附台上分离或弯曲。如果工件没有正确放置在吸附台上，无法正确拍摄工件的图像，这可能会影响检查。

本发明实施例的目的是提供一种工件固定装置，可以在检查磁盘驱动器悬架等板状工件时安全地固定工件，并提供包括该工件固定装置的检测装置。

发明内容

根据一种实施例，工件固定装置包括工件放置台、吸附孔、负压发生源、吹吸单元和移动机构。工件放置台包括用于放置工件的工件支撑面。吸附孔形成在工件支撑面上。吸附孔在与放置在工件支撑面上的工件相对应的位置处开口。负压发生源连接到吸附孔，并通过吸附孔吸入空气。吹吸单元包括喷射口和吸入口。喷射口从工件上方向放置在工件支撑面上的工件吹出气体(例如空气)。吸入口吸入吹到工件上并从工件上反射的气体。移动机构将放置在工件支撑面上的工件和吹吸单元相对于工件的长度方向移动。

根据该实施例的工件固定装置，如磁盘驱动器悬架等薄而细长的工件可以安全地固定在工件支撑面上。

该实施例的工件固定装置最好包括一个离子发生器。离子发生器将供应到喷射口的气体进行离子化处理。请注意，如果工件上的静电充电未达到成问题的程度，可以不使用离子发生器。工件支撑面上可以提供定位销。定位销插入到工件中的孔中。

移动机构可以是一个移动单元，该移动单元将吹吸单元从工件的第一端部向第二端部移动。定位销可以位于靠近第一端部的位置。根据一种实施例，可以提供多个与所述吸附孔相同的吸附孔，并且这些吸附孔可以沿着工件的长度方向间隔形成。工件的一个例子是包括基板的磁盘装置悬架。基板上形成了一个凸台部分。定位销可以插入到该凸台部分的孔中。

根据另一实施例，一种检测装置包括一个工件固定装置、一个工件放置部分、一个检测部分和一个带有抽吸单元的传送机构。与所述工件每个都相同的多个工件被放置在工件放置部分上。检测部分位于与工件放置部分不同的位置。检测部分包括，例如用于检测工件的相机或类似设备。传送机构放置在工件放置部分上的将待检测的工件向检测部分移动。此外，传送机构将在检测部分检测过的工件向工件放置部分移动。

抽吸单元吸附待检测工件，该工件被放置在工件放置部分上。当待检测工件移动到工件支撑面上方时，抽吸单元释放待检测工件的吸附。此外，抽吸单元吸附放置在工件支撑面上的已检测工件。当已检测工件移动到工件放置部分上方时，抽吸单元释放已检测工件的吸附。

根据本实施例的检测装置，待检测工件可以在检测部分中保持适当的状态。

抽吸单元可以包括第一抽吸部分和第二抽吸部分。第一抽吸部分吸附放置在工件放置部分上的待检测工件。然后，第一抽吸部分保持待检测工件，直到待检测工件从工件放置部分移动到工件支撑面上方。第二抽吸部分吸附放置在工件支撑面上的已检测工件。然后，第二抽吸部分保持已检测工件，直到已检测工件从工件支撑面移动到工件放置部分上方。

本发明的附加目标和优势将在下文的描述中阐明，并且部分目标和优势将从描述中显而易见，或者可以通过本发明的实践来学习。本发明的目标和优势可以通过下面特别指出的手段和组合来实现和获得。

附图说明

附图，其并入本说明书，并且构成本说明书的一部分，用以说明本发明的实施例。结合上述的一般描述和下述实施例的详细描述，附图有助于解释本发明的原理。

图1是当抽吸单元、工件等位于第一位置时，根据一种实施例的检测装置的透视图。

图2是以工件为例的磁盘驱动器悬架的平面图。

图3是图1所示的检测装置的工件固定装置的部分透视图。

图4是图1所示的检测装置的工件固定装置的部分横截面图。

图5是透视图，用于说明图1所示的检测装置的抽吸单元、工件等移动到第二位置的状态。

图6是检测装置的透视图，显示了抽吸单元、工件等移动到第三位置的状态。

图7是检测装置的透视图，显示了第二运动部件、工件等移动到第四位置的状态。

图8是检测装置的透视图，显示了第二运动部件、工件等移动到第五位置的状态。

具体实施方式

现在将参考图1至图8，对一种实施例的检测装置10进行描述。

图1是透视图，显示了检测装置10的部分(例如抽吸单元60、工件等)位于第一位置时的检测装置10。检测装置10包括工件放置部分30。在工件放置部分30上，以预定间距沿水平方向平面放置了多个工件W。在本说明书和图纸中，为了方便说明，使用了多个参考符号(W、W1、W2、W3)来表示这些工件。但这仅仅是为了方便说明，这些工件W、W1、W2和W3是相同的。请注意，在某些实施例中，工件W、W1、W2和W3可能会有所不同。

图2是以工件W为例的磁盘驱动器悬架的平面图。图2所示的工件W包括基板20、负载梁21和弯曲片22。工件W具有薄而细长的形状(类似于板状)。弯曲片22包括金属基座和布线部分。金属基座由薄的不锈钢板制成。布线部分形成在金属基座上。弯曲片22沿着工件W的长度方向延伸。在图2中，双向箭头L1表示工件W的长度方向。基板20的凸台部分23上形成了一个圆形孔24。凸台部分23固定在硬盘驱动器的托架臂上。

检测装置10包括用于运输工件W的传送机构31，用于定位工件W的定位机构32，工件固定装置33，包括摄像头34和控制部分36的检测部分35。控制部分36具有判断摄像头34拍摄的工件W是否合格等功能。待检测的工件W被夹持在工件固定装置33中。图3是工件固定装置33的部分透视图，图4是工件固定装置33的部分横截面图。

传送机构31包括位于图1左手侧的第一运动单元41和位于图1右侧的第二运动单元42。第一运动单元41包括第一X方向导向件50、第一Y方向导向件51和第一滑架52。第一X方向导向件50沿X轴方向延伸(在图1中由双向箭头X表示)。第一Y方向导向件51沿Y轴方向延伸(在图1中由双向箭头Y表示)。第一滑架52安装在第一Y方向导向件51上。

第一Y方向导向件51通过驱动机构沿着第一X方向导向件50在X轴方向上移动，该驱动机构包括，例如伺服电机和滚珠丝杠。第一滑架52通过驱动机构沿着第一Y方向导向件51在Y轴方向上移动，该驱动机构包括，例如伺服电机和滚珠丝杠。也就是说，第一运动单元41作为一个XY移动台，将第一滑架52在XY轴方向上移动到所需的位置。

第一滑架52配备了一个可在上下方向移动的抽吸单元60。抽吸单元60包括第一抽吸部分61和第二抽吸部分62。第一抽吸部分61和第二抽吸部分62可以分别由升降驱动机构63和64在上下方向上独立移动。在这里，术语“上下方向”指的是沿着Z轴方向(在图1中用双向箭头Z表示)。抽吸部分61和62包括下端，在该下端处分别形成了用于吸入空气的吸入口。当这些吸入口产生负压时，工件W可以被吸附。当上述抽吸部分61和62的吸入口的负压关闭时，工件的抽吸被释放。

定位机构32位于检测设备10的预定位置。定位机构32包括一个上表面70，用于放置工件W，以及一个由致动器驱动的定位元件71。定位元件71沿着夹着工件W的方向移动，并将工件W在水平方向上定位。

第二运动单元42包括第二X方向导向件75、第二Y方向导向件76和第二滑架77。第二X方向导向件75沿X轴方向延伸。第二Y方向导向件76沿Y轴方向延伸。第二Y方向导向件76通过驱动机构在第二X方向导向件75上沿X轴方向移动，该驱动机构例如包括伺服电机和滚珠丝杠。

第二滑架77安装在第二Y方向导向件76上。第二滑架77通过驱动机构沿着第二Y方向导向件76在Y轴方向上移动，该驱动机构例如包括例如伺服电机和滚珠丝杠。也就是说，第二运动单元42作为一个XY移动台，将第二滑架77移动到XY轴方向上的所需位置。

如图1和图3等所示，工件放置台78位于第二滑架77的上方。在工件放置台78上，设有一个工件支撑面80。工件支撑面80在预定位置上支撑工件W。工件支撑面80基本水平延伸。工件支撑面80上设有一个定位销81。定位销81从工件支撑面80向上突出。在工件W放置在工件支撑面80上的状态下，定位销81插入到凸台部分23的孔24中。

工件支撑面80上形成了多个吸附孔82。如图3中的双点虚线所示，工件W被放置在工件支撑面80的预定位置上。多个吸附孔82在与工件W相对应的位置处开放。这些吸附孔82被形成为沿着放置在工件支撑面80上的工件W的长度方向相互间隔。

如图4所示，吸附孔82各自通过吸管83与负压发生源85(例如排气泵等)相连。负压发生源85产生的负压通过吸附孔82吸入空气。当空气通过吸附孔82被吸入时，放置在工件支撑面80上的工件W会被吸附并保持在工件支撑面80上。

如图1、图4等所示，工件固定装置33包括一个吹吸单元90。吹吸单元90包括外筒91、内筒92、离子发生器93(静电去除器)、过滤器94、气体供应源95等。供应源95通过离子发生器93向内筒92供应压缩气体。压缩气体可以是空气或惰性气体。离子发生器93的一个例子包括放电针。对这个放电针施加高电压以释放离子，离子化的气体(例如空气)被供应到供应管道96。需要注意的是，当工件上的静电荷达不到会引起问题的程度时，可以不使用离子发生器93。

内筒92的下端开设了一个喷射口100。喷射口100通过供应管道96和离子发生器93与供应源95相连。从供应源95供应的气体(例如空气)被离子发生器93离子化。离子化的气体从喷射口100，从工件W的上方朝向工件W喷射。如图4中箭头A所示，从喷射口100喷射出的气体(例如空气)吹击并反射到工件W和工件支撑面80上。

在外筒91的下端和内筒92之间开设了一个吸入口101。在外筒91和内筒92之间形成了一个吸入腔室102。吸入口101与吸入腔室102相连。吸入腔室102通过吸管103与负压发生源85相连。从吸入口101吸入的气体(例如空气)进入吸入腔室102，并通过过滤器104排出到负压发生源85。

吹吸单元90安装在升降部件110上。升降部件110可以在上下方向(Z轴方向)移动。升降部件110由驱动单元111在上下方向上移动。当对工件W吹气时，吹吸单元90的喷射口100被降低到直接位于工件W正上方的近距离位置。离子化的空气从喷射口100向工件W喷射。在这种情况下，第二滑架77在Y轴方向上移动(如图4中箭头Y1所示的方向)。此时，通过吸附孔82吸入的空气将工件W吸附在工件支撑面80上。

也就是说，在工件W被吸附在工件支撑面80上的同时，离子化的空气从喷射口100向工件W喷射。同时，工件放置台78相对于吹吸单元90移动。移动方向是沿着工件W的长度方向(如图4中箭头Y1所示的方向)。此时，工件W被吸附在工件支撑面80上。通过这种配置，离子化的空气沿着工件W的长度方向从工件W的第一端部E1连续吹向第二端部E2。第一端部E1位于靠近基板20的位置。

由于离子化的空气被吹到工件W上，可能在工件W上带的静电被去除。通过这种方式，可以防止工件W的纵向部分(薄且易弯曲)从工件支撑面80上脱落和弯曲。因此，工件W的几乎整个表面都沿着工件支撑面80被紧密吸附上。

在这个实施例中，放置的工件W的工件放置台78沿着图4中箭头Y1所示的方向移动。第二运动单元42是一种移动机构的示例。该移动机构将放置工件W的工件支撑面80相对于吹吸单元90沿着工件W的长度方向(即图4中箭头Y1所示的方向)移动。但在其他实施例中，吹吸单元90可以相对于工件放置台78沿着图4中箭头Y2所示的方向移动。

如图1等所示，检测部分35包括一个拍摄工件W图像的相机34和一个将照明光照射到工件W上的光源112(例如环形光源)。携带待检工件W的第二滑架77在相机34下移动。相机34拍摄的工件W图像被发送到控制部分36，以进行图像处理。

在整个工件W的图像可以一次拍摄的情况下，工件W直接移动到相机34下拍摄工件W的图像。需要注意的是，根据工件W的长度和相机34的规格，可能无法一次覆盖整个工件W。在这种情况下，在工件W安装在第二滑架77上，第二滑架77沿Y轴方向间断性地向前移动时，多次拍摄工件W的图像。

接下来，将参考图1和图5至图8来解释本实施例中检测装置10的操作。待检工件W的一个示例是磁盘驱动器悬架。需要注意的是，待检项目(工件)可能不仅限于磁盘驱动器悬架。此外，除了相机34之外，还可以使用其他设备来检查工件W。

图1以示意性的示出了工件W和抽吸单元60等处于第一位置的情况。在工件放置部分30中以预定间距放置了多个工件W。在本说明书中，将描述一个典型情况，即在工件放置部分30上放置的多个工件W中，从右边数起的第四个为工件W1。在图1中，已经经过检查的前一个工件W2放置在位于检测部分35的工件放置台78上。

如图1等所示，抽吸单元60的第一抽吸部分61位于工件W1正上方。在这种状态下，第一抽吸部分61向工件W1下降。然后，第一抽吸部分61吸附住工件W1。之后，第一抽吸部分61和工件W1一起上升。因此，由第一抽吸部分61持有的工件W1通过第一运动单元41向定位机构32运输。

图5展示了抽吸单元60、工件等已经移动到第二位置(定位阶段ST1)的情况。在第二位置，持有待检工件W1的第一抽吸部分61移动到定位机构32的上方。然后，工件W1由定位元件71进行定位。此时，工件放置台78已经移动到靠近定位阶段ST1的位置。在工件放置台78上，放置着已经完成检查的前一个工件W2。

图6展示了抽吸单元60、工件放置台78等已经移动到第三位置(传送阶段ST2)的情况。在这里，经过检查的工件W2位于工件放置台78上。如图6所示，第二抽吸部分62移动到经过检查的工件W2正上方并下降。然后，第二抽吸部分62吸附住经过检查的工件W2并上升。因此，经过检查的工件W2与工件支撑面80分离。

紧接着，待检工件W1由第一抽吸部分61保持，移动到工件支撑面80正上方并下降。然后，当第一抽吸部分61的负压关闭时，工件W1被第一抽吸部分61吸附的吸力被释放。因此，待检工件W1被放置在工件支撑面80上。

图7展示了第二运动单元42、待检工件W1等已经移动到第四位置(吹气阶段ST3)的情况。在这里，待检工件W1位于吹吸单元90的下方。从喷射口100(如图4所示)向该工件W1上吹送电离空气。在空气被吹送的同时，第二滑架77由第二运动单元42沿Y轴方向(即图4中箭头Y1所示的方向)移动。因此，电离空气沿工件W1的长度方向从工件W1的第一端部E1(靠近基板20)持续吹送到工件W1的第二端部E2。第二运动单元42作为一个移动机构，用于相对于工件W的长度方向移动吹吸单元90。

如图4所示，电离空气从内筒92的喷射口100喷向工件W1。喷射的空气吹向工件W1和工件支撑面80并从工件W1和工件支撑面80上反射。反射的空气从外筒91的下端的吸入口101被吸入吸入腔室102中。需要注意的是，吹向工件W1和工件支撑面80并从在工件W1和工件支撑面80上反射的空气可能含有细小颗粒等。含有这些颗粒的空气可能会导致洁净室的污染。检测装置10安装在洁净室中。本实施例中的吹吸单元90将吹向工件W1的空气吸入吸入腔室102，并通过过滤器104等进行排放。通过这种方式，可以防止含有颗粒的空气释放到洁净室中。

本实施例的检测装置10将离子化空气吹向待检测的工件W1。这样，可能在工件W1上带的静电可以被去除。在空气被吹向工件W1的同时，通过吸附孔82吸入其中的空气将工件W1吸附在工件支撑面80上。通过这种方式，细长且容易弯曲的工件W1的纵向部分可以被阻止与工件支撑面80分离或弯曲。因此，在检查之前，工件W1可以安全地吸附在工件支撑面80的预定位置上。

如图7所示，待检查的工件W1被移动到吹气阶段ST3。相反，经过检查的工件W2在被第二抽吸部分62抓持的同时被转移到工件放置部分30。之后，第二抽吸部分62的吸附被释放。因此，经过检查的工件W2随后被放回到工件放置部分30的预定位置。

如图8所示，第二运动单元42、工件W1等已经移动到第五位置(检查阶段ST4)。如图8所示，放置在工件支撑面80上的工件W1被移动到相机34下方。然后，相机34拍摄工件W1的图像。工件W1的拍摄图像由控制部分36进行分析，以判断工件W的形状等是否可接受。检查结果存储在控制部分36的存储器中，并根据需要进行显示。经检查判断为不可接受的工件不会被当成产品使用。

如图8所示，下一个待检查的工件W3被放置在工件放置部分30中。当工件W1在检测部分35中进行检查时，下一个待检查的工件W3被第一抽吸部分61吸附。被抽吸部分61吸附的工件W3被移动到定位阶段ST1(图5)。在工件W3在定位阶段ST1中定位后，工件W3被移动到传送阶段ST2(图6)。

另一方面，如图8所示，在工件支撑面80上的经过检查的工件W1被移动到传送阶段ST2(图6)。然后，工件W1被第二抽吸部分62吸附。之后，工件W1由第一运动单元41送到工件放置部分30，并放回工件放置部分30的预定位置。

通过重复上述所述的处理步骤，将放置在工件放置部分30上的多个工件W、W1、W3依次转移到检测部分35，并将在检测部分35中检查的工件W2放回工件放置部分30。通过这种方式，完成了对放置在工件放置部分30中的所有工件的检查。

在本实施例的检测装置10中，抽吸单元60包括一对抽吸部分(第一抽吸部分61和第二抽吸部分62)。第一抽吸部分61用于将待检查的工件从工件放置部分30移动到工件支撑面80上。第二抽吸部分62用于将经过检查的工件从工件支撑面80放回工件放置部分30。也就是说，一个抽吸单元60可以同时保持预检工件和经过检查的工件。

因此，在图6所示的传送阶段ST2中，预检工件W1和经过检查的工件W2可以交替地方式放置在工件支撑面80上的同一位置。请注意，抽吸单元60可以只包括一个抽吸部分。在这种情况下，一个工件放置台78上提供了用于放置预检工件的第一工件支撑面和用于放置经过检查的工件的第二工件支撑面。然后，根据第一工件支撑面和第二工件支撑面的位置，工件放置台78由第二运动单元42进行移动。

本实施例的检测装置10在检测部分35中执行例如对工件吹气、使用相机34检测工件等对工件进行处理。此外，检测装置10将经过检查的工件放回工件放置部分30，并执行将下一个待检查的工件吸附到抽吸单元60上的过程。根据检测装置10，这些过程可以并行执行，因此可以高效地检查大量的工件。

在本说明书和图纸中，为了方便解释，使用了多个参考符号(W、W1、W2、W3)来表示多个工件。但这仅仅是为了方便解释。例如，所有这些工件可能是相同的，或者这些工件的形式可能彼此不同。

勿庸置疑，当实施本发明时，工件固定装置的组件，例如工件放置台、工件支撑面、抽吸单元、移动单元、吹吸单元等，可以以各种方式进行更改。此外，检测装置的组件，例如工件放置部分、检测部分、传送机构等，可以在不偏离本发明实质的范围内进行更改和实施。

对于熟悉该领域的技术人员来说，还会产生其他的优点和修改。因此，本发明在其更广泛的方面并不限于所示和描述的具体细节和代表性实施方式。因此，在不偏离附图权利要求书及其等效物所定义的一般创造性概念的精神或范围的情况下，可以进行各种修改。

Claims (9)

1.一种工件固定装置(33)，其特征在于，包括：

工件放置台(78)，包括一个工件支撑面(80)，工件(W)(W1)(W2)(W3)被放置在工件支撑面(80)上；

吸附孔(82)，形成于工件支撑面(80)上，并在与放置在工件支撑面(80)上的工件(W)(W1)(W2)(W3)相对应的位置开口；

负压发生源(85)，连接到吸附孔(82)，并通过吸附附孔(82)吸附空气；

吹吸单元(90)，包括一个喷射口(100)，其从工件(W)(W1)(W2)(W3)上方向放置在工件支撑面(80)上的工件(W1)(W2)(W3)喷射气体，以及一个吸入口(101)，其吸附喷射到工件(W)(W1)(W2)(W3)上并从工件(W)(W1)(W2)(W3)上反射的气体；以及

移动机构，用于将放置在工件支撑面(80)上的工件(W)(W1)(W2)(W3)和吹吸单元(90)相对于工件(W)(W1)(W2)(W3)的长度方向移动。

2.根据权利要求1所述的工件固定装置(33)，其特征在于，还包括：离子发生器(93)，用于对供给到喷射口(100)的气体进行离子化处理。

3.根据权利要求1所述的工件固定装置(33)，其特征在于，还包括：工件支撑面(80)上的定位销(81)，该定位销插入到工件(W)(W1)(W2)(W3)的孔中。

4.根据权利要求3所述的工件固定装置(33)，其特征在于，移动机构是一个移动单元(42)，用于将吹吸单元(90)相对于工件(W)(W1)(W2)(W3)的第一端部(E1)向第二端部(E2)移动。

5.根据权利要求4所述的工件固定装置(33)，其特征在于，定位销(81)位于靠近第一端部(E1)的位置。

6.根据权利要求1所述的工件固定装置(33)，其特征在于，包括：多个吸附孔(82)，其中每个吸附孔与所述吸孔相同，并沿着工件(W)(W1)(W2)(W3)的长度方向间隔排列。

7.根据权利要求3所述的工件固定装置(33)，其特征在于，

工件(W)(W1)(W2)(W3)是磁盘驱动器悬架，以及

所述定位销(81)插入到磁盘驱动器悬架的底板(20)上形成的凸台部分(23)的孔(24)中。

8.一种检测装置，其特征在于，包括：

如权利要求1所述的工件固定装置(33)；

工件放置部分(30)，用于放置多个工件(W)(W1)(W2)(W3)；

检测部分(35)，位于与工件放置部分(30)不同的位置，用于检测工件(W)(W1)(W2)(W3)；

传送机构(31)，用于将放置在工件放置部分(30)中待检测的工件(W)(W1)(W3)移动到检测部分(35)，并将在检测部分(35)中检测过的工件(W2)移动到工件放置部分(30)；

其中，传送机构(31)包括一个抽吸单元(60)，该抽吸单元吸附放置在工件放置部分(30)上待检测的工件(W)(W1)(W3)，当工件(W)(W1)(W3)定位在工件支撑面(80)上时，释放对待检测工件(W)(W1)(W3)的吸附，吸附放置在工件支撑面(80)上的已检测工件(W2)，当已检测工件(W2)定位在工件放置部分(30)上方时，释放对已检测工件(W2)的吸附。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，抽吸单元(60)包括：

第一抽吸部分(61)，用于吸附放置在工件放置部分(30)上待检测的工件(W)(W1)(W3)，并保持待检测的工件(W)(W1)(W3)直到工件(W)(W1)(W3)从工件放置部分(30)移动到工件支撑面(80)上方；以及

第二抽吸部分(62)，用于吸附放置在工件支撑面(80)上的已检测工件(W2)，并保持已检测工件(W2)直到已检测工件(W2)从工件支撑面(80)移动到工件放置部分(30)上方。