JPH0572266A - 測定用電圧印加回路 - Google Patents
測定用電圧印加回路Info
- Publication number
- JPH0572266A JPH0572266A JP3259825A JP25982591A JPH0572266A JP H0572266 A JPH0572266 A JP H0572266A JP 3259825 A JP3259825 A JP 3259825A JP 25982591 A JP25982591 A JP 25982591A JP H0572266 A JPH0572266 A JP H0572266A
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- relay
- dut
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＤＵＴ１０を測定する場合、電圧印加状態で
ＤＵＴ１０に急激な電流変化を与えることなく、電圧Ｖ
１から電圧Ｖ２に連続的に変えるようにする。 【構成】 センス増幅器８の出力にサンプルホールド回
路９を接続し、サンプルホールド回路９の出力にスイッ
チ３Ｂを接続し、制御部１でＤ／Ａ変換器２と、スイッ
チ３Ａ・３Ｂと、リレー６Ａ〜６Ｃと、サンプルホール
ド回路９とを制御し、ＤＵＴ１０に対して急激な電流変
化を与えることなく、電圧を連続的に加える。
ＤＵＴ１０に急激な電流変化を与えることなく、電圧Ｖ
１から電圧Ｖ２に連続的に変えるようにする。 【構成】 センス増幅器８の出力にサンプルホールド回
路９を接続し、サンプルホールド回路９の出力にスイッ
チ３Ｂを接続し、制御部１でＤ／Ａ変換器２と、スイッ
チ３Ａ・３Ｂと、リレー６Ａ〜６Ｃと、サンプルホール
ド回路９とを制御し、ＤＵＴ１０に対して急激な電流変
化を与えることなく、電圧を連続的に加える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣテストシステム
のＤＣパラメータ測定回路に使用される測定用電圧印加
回路についてのものである。
のＤＣパラメータ測定回路に使用される測定用電圧印加
回路についてのものである。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術によるＤＣパラメータ測
定回路の構成を図４により説明する。図４の１は制御
部、２はＤ／Ａ変換器、３はスイッチ、４は主増幅器、
６Ａ〜６Ｃはリレー、８はセンス増幅器、１０は被測定
デバイス（以下、ＤＵＴという。）である。制御部１は
スイッチ３とリレー６Ａ〜６Ｃを制御する。
定回路の構成を図４により説明する。図４の１は制御
部、２はＤ／Ａ変換器、３はスイッチ、４は主増幅器、
６Ａ〜６Ｃはリレー、８はセンス増幅器、１０は被測定
デバイス（以下、ＤＵＴという。）である。制御部１は
スイッチ３とリレー６Ａ〜６Ｃを制御する。
【０００３】次に、図４の各部の動作を図５のタイムチ
ャートにより説明する。測定開始前は、リレー６Ａ・６
Ｂをオフにし、リレー６Ｃをオンにする。Ｄ／Ａ変換器
２の出力電圧は０Ｖ、ＤＵＴ１０の端子は電圧Ｖ１を発
生する。電圧Ｖ１は、測定開始前なので、ＤＵＴ１０の
内部電圧がそのまま端子に現れる。
ャートにより説明する。測定開始前は、リレー６Ａ・６
Ｂをオフにし、リレー６Ｃをオンにする。Ｄ／Ａ変換器
２の出力電圧は０Ｖ、ＤＵＴ１０の端子は電圧Ｖ１を発
生する。電圧Ｖ１は、測定開始前なので、ＤＵＴ１０の
内部電圧がそのまま端子に現れる。
【０００４】リレー６Ａ・６Ｂをオンにし、リレー６Ｃ
をオフにして測定を開始する。ＤＵＴ１０の端子には、
Ｄ／Ａ変換器２の出力電圧０Ｖが加えられる。この状態
が図５のａである。次に、Ｄ／Ａ変換器２から測定用電
圧Ｖ２が出力され、ＤＵＴ１０に加えられる。この状態
が図５のｂである。ＤＵＴ１０の出力波形は、電圧Ｖ１
から一時的に０Ｖになり、電圧Ｖ２になる。このよう
に、ＤＵＴ１０の端子を電圧Ｖ１から電圧Ｖ２に円滑に
変化させることができない。
をオフにして測定を開始する。ＤＵＴ１０の端子には、
Ｄ／Ａ変換器２の出力電圧０Ｖが加えられる。この状態
が図５のａである。次に、Ｄ／Ａ変換器２から測定用電
圧Ｖ２が出力され、ＤＵＴ１０に加えられる。この状態
が図５のｂである。ＤＵＴ１０の出力波形は、電圧Ｖ１
から一時的に０Ｖになり、電圧Ｖ２になる。このよう
に、ＤＵＴ１０の端子を電圧Ｖ１から電圧Ｖ２に円滑に
変化させることができない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図４では、電圧を切り
換える際に、リレー６Ａ〜６Ｃの動作時間と、Ｄ／Ａ変
換器２の出力に電圧が発生するまでの時間により一時的
にＤＵＴ１０に対して０Ｖが加えられる。このため、内
部にフリップフロップ回路や、メモリ回路をもつＤＵＴ
１０を測定する場合、フリップフロップ回路の誤動作
や、メモリ内部の変化を起こし、正しい測定結果が得ら
れないことがある。
換える際に、リレー６Ａ〜６Ｃの動作時間と、Ｄ／Ａ変
換器２の出力に電圧が発生するまでの時間により一時的
にＤＵＴ１０に対して０Ｖが加えられる。このため、内
部にフリップフロップ回路や、メモリ回路をもつＤＵＴ
１０を測定する場合、フリップフロップ回路の誤動作
や、メモリ内部の変化を起こし、正しい測定結果が得ら
れないことがある。
【０００６】この発明は、ＤＵＴ１０を測定する場合、
電圧印加状態でＤＵＴ１０に急激な電流変化を与えるこ
となく、電圧Ｖ１から電圧Ｖ２に連続的に変えることが
できる測定用電圧印加回路の提供を目的とする。
電圧印加状態でＤＵＴ１０に急激な電流変化を与えるこ
となく、電圧Ｖ１から電圧Ｖ２に連続的に変えることが
できる測定用電圧印加回路の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明では、センス増幅器８の出力にサンプルホ
ールド回路９を接続し、サンプルホールド回路９の出力
にスイッチ３Ｂを接続し、ＤＵＴ１０に対して急激な電
流変化を与えることなく、電圧を連続的に加えることが
できるようにする。
め、この発明では、センス増幅器８の出力にサンプルホ
ールド回路９を接続し、サンプルホールド回路９の出力
にスイッチ３Ｂを接続し、ＤＵＴ１０に対して急激な電
流変化を与えることなく、電圧を連続的に加えることが
できるようにする。
【０００８】
【作用】次に、この発明による測定用電圧印加回路の構
成を図１により説明する。図１の１は制御部、３Ａと３
Ｂはスイッチ、５は電流印加ライン、７は電圧検出ライ
ン、９はサンプルホールド回路であり、その他は図４と
同じものである。
成を図１により説明する。図１の１は制御部、３Ａと３
Ｂはスイッチ、５は電流印加ライン、７は電圧検出ライ
ン、９はサンプルホールド回路であり、その他は図４と
同じものである。
【０００９】制御部１は、スイッチ３Ａ・３Ｂ、リレー
６Ａ〜６Ｃ、Ｄ／Ａ変換器２、サンプルホールド回路９
を制御する。リレー６Ａは電流印加ライン５をオン・オ
フし、リレー６Ｂは電圧検出ライン７をオン・オフす
る。リレー６Ｃは電流印加ライン５と電圧検出ライン７
の電圧値を同電位にするためのリレーである。
６Ａ〜６Ｃ、Ｄ／Ａ変換器２、サンプルホールド回路９
を制御する。リレー６Ａは電流印加ライン５をオン・オ
フし、リレー６Ｂは電圧検出ライン７をオン・オフす
る。リレー６Ｃは電流印加ライン５と電圧検出ライン７
の電圧値を同電位にするためのリレーである。
【００１０】サンプルホールド回路９は、ＤＵＴ１０の
電圧値を取り込み、ホールドする回路である。サンプル
ホールド回路９により、ＤＵＴ１０に加えられた電圧を
取り込んでおけば、次の測定でＤＵＴ１０に電圧を加え
るときに、急激な電流変化を与えることなく、電圧を連
続的に加えることができる。
電圧値を取り込み、ホールドする回路である。サンプル
ホールド回路９により、ＤＵＴ１０に加えられた電圧を
取り込んでおけば、次の測定でＤＵＴ１０に電圧を加え
るときに、急激な電流変化を与えることなく、電圧を連
続的に加えることができる。
【００１１】
【実施例】次に、図１の測定用電圧印加回路の実施例回
路を図２により説明する。図２のサンプルホールド回路
９は、オペアンプ９Ａ・９Ｅ、コンデンサ９Ｂ、抵抗９
Ｃ及びスイッチ９Ｄで構成される。
路を図２により説明する。図２のサンプルホールド回路
９は、オペアンプ９Ａ・９Ｅ、コンデンサ９Ｂ、抵抗９
Ｃ及びスイッチ９Ｄで構成される。
【００１２】次に、制御部１の制御状況を図３により説
明する。図３はリレー６Ａ〜６Ｃ、スイッチ３Ａ・３
Ｂ、スイッチ９Ｄのオンオフ状態と、主増幅器４、Ｄ／
Ａ変換器２、ＤＵＴ１０の出力波形図を示す。
明する。図３はリレー６Ａ〜６Ｃ、スイッチ３Ａ・３
Ｂ、スイッチ９Ｄのオンオフ状態と、主増幅器４、Ｄ／
Ａ変換器２、ＤＵＴ１０の出力波形図を示す。
【００１３】測定開始前は、リレー６Ａ・６Ｂはオフ、
リレー６Ｃはオンにする。これにより、Ｄ／Ａ変換器２
の出力電圧は０Ｖ、ＤＵＴ１０の端子には電圧Ｖ１が発
生する。電圧Ｖ１は測定が始まっていないので、ＤＵＴ
１０の内部電圧Ｖ１がそのまま端子に現れる。
リレー６Ｃはオンにする。これにより、Ｄ／Ａ変換器２
の出力電圧は０Ｖ、ＤＵＴ１０の端子には電圧Ｖ１が発
生する。電圧Ｖ１は測定が始まっていないので、ＤＵＴ
１０の内部電圧Ｖ１がそのまま端子に現れる。
【００１４】測定を開始するには、ａ点でリレー６Ｃを
オフにし、ｂ点でリレー６Ｂをオンにし、ｃ点でＤＵＴ
１０の電圧Ｖ１をサンプルホールド回路９でサンプル後
に、スイッチ９Ｄをオンからオフにすることにより、電
圧Ｖ１をホールドする。
オフにし、ｂ点でリレー６Ｂをオンにし、ｃ点でＤＵＴ
１０の電圧Ｖ１をサンプルホールド回路９でサンプル後
に、スイッチ９Ｄをオンからオフにすることにより、電
圧Ｖ１をホールドする。
【００１５】次に、ｄ点でリレー６Ｂをオフにし、ｅ点
でリレー６Ｃをオンにし、ｆ点でスイッチ３Ｂをオンに
すると、ｇ点で主増幅器４の出力、すなわち電流印加ラ
イン５に電圧Ｖ１が現れる。
でリレー６Ｃをオンにし、ｆ点でスイッチ３Ｂをオンに
すると、ｇ点で主増幅器４の出力、すなわち電流印加ラ
イン５に電圧Ｖ１が現れる。
【００１６】この状態からｈ点でリレー６Ａ・６Ｂをオ
ンにし、ｉ点でリレー６Ｃをオフする。これにより、ｊ
点でＤ／Ａ変換器２から電圧Ｖ２が出力され、ｋ点でス
イッチ３Ｂをオフすると同時にスイッチ３Ａをオンする
ことにより、ｍ点でＤＵＴ１０の出力に加えられる電圧
が電圧Ｖ１から電圧Ｖ２に変化する。
ンにし、ｉ点でリレー６Ｃをオフする。これにより、ｊ
点でＤ／Ａ変換器２から電圧Ｖ２が出力され、ｋ点でス
イッチ３Ｂをオフすると同時にスイッチ３Ａをオンする
ことにより、ｍ点でＤＵＴ１０の出力に加えられる電圧
が電圧Ｖ１から電圧Ｖ２に変化する。
【００１７】この動作により、ＤＵＴ１０に加えられる
電圧波形は、図３のように変化し、図５で示したように
一時的に０Ｖとなることなく、電圧を連続的に加えるこ
とができる。
電圧波形は、図３のように変化し、図５で示したように
一時的に０Ｖとなることなく、電圧を連続的に加えるこ
とができる。
【００１８】
【発明の効果】この発明によれば、ＩＣデバイス測定時
において、動作状態のＤＵＴに対して、異なる電圧を加
えて測定しようとした場合に、ＤＵＴの状態を変えるこ
となく、連続的に電圧を変えることができる。
において、動作状態のＤＵＴに対して、異なる電圧を加
えて測定しようとした場合に、ＤＵＴの状態を変えるこ
となく、連続的に電圧を変えることができる。
【図１】この発明による測定用電圧印加回路の構成図で
ある。
ある。
【図２】図１の測定用電圧印加回路の実施例回路図であ
る。
る。
【図３】図２の各部の信号波形図である。
【図４】従来技術による測定用電圧印加回路の構成図で
ある。
ある。
【図５】図４の各部の信号波形図である。 １ 制御部 ２ Ｄ／Ａ変換器 ３Ａ スイッチ ３Ｂ スイッチ ４ 主増幅器 ５ 電流印加ライン ６Ａ リレー ６Ｂ リレー ６Ｃ リレー ７ 電圧検出ライン ８ センス増幅器 ９ サンプルホールド回路 １０ ＤＵＴ（被測定デバイス）
Claims (1)
- 【請求項１】 制御部(1) により制御されるＤ／Ａ変換
器(2) と、 制御部(1) により制御され、Ｄ／Ａ変換器(2) の出力を
入力とする第１のスイッチ(3A)と、 第１のスイッチ(3A)の出力を入力とする主増幅器(4)
と、 主増幅器(4) の出力に接続される電流印加ライン(5)
と、 制御部(1) により制御され、電流印加ライン(5) の出力
を入力とし、出力を被測定デバイス(10)の測定ピンと接
続する第１のリレー(6A)と、 制御部(1) により制御され、被測定デバイス(10)の測定
ピンに接続される第２のリレー(6B)と、 制御部(1) により制御され、電流印加ライン(5) の出力
と第２のリレー(6B)の出力間を接続する第３のリレー(6
C)と、 第２のリレー(6B)の出力に接続される電圧検出ライン
(7) と、 電圧検出ライン(7) の出力を入力とし、出力を主増幅器
(4) の入力に接続するセンス増幅器(8) と、 制御部(1) により制御され、センス増幅器(8) の出力を
入力とするサンプルホールド回路(9) と、 制御部(1) により制御され、サンプルホールド回路(9)
の出力を入力とし、出力を主増幅器(4) の入力に接続す
る第２のスイッチ(3B)とを備えることを特徴とする測定
用電圧印加回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3259825A JP3006219B2 (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 測定用電圧印加回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3259825A JP3006219B2 (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 測定用電圧印加回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572266A true JPH0572266A (ja) | 1993-03-23 |
| JP3006219B2 JP3006219B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=17339520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3259825A Expired - Lifetime JP3006219B2 (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 測定用電圧印加回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3006219B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009270942A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Hioki Ee Corp | インピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法 |
| JP2010127820A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Yokogawa Electric Corp | 直流試験装置及び半導体試験装置 |
-
1991
- 1991-09-11 JP JP3259825A patent/JP3006219B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009270942A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Hioki Ee Corp | インピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法 |
| JP2010127820A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Yokogawa Electric Corp | 直流試験装置及び半導体試験装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3006219B2 (ja) | 2000-02-07 |
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