JPH0854423A - 電流印加電圧測定装置 - Google Patents
電流印加電圧測定装置Info
- Publication number
- JPH0854423A JPH0854423A JP6210507A JP21050794A JPH0854423A JP H0854423 A JPH0854423 A JP H0854423A JP 6210507 A JP6210507 A JP 6210507A JP 21050794 A JP21050794 A JP 21050794A JP H0854423 A JPH0854423 A JP H0854423A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- circuit
- logarithmic amplifier
- diodes
- terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レンジ切り替え回路を無くし、高速化、小型
化した電圧印加電流測定装置を実現する。 【構成】 被試験デバイスの端子に所定の電流を印加す
る演算増幅器を設ける。上記演算増幅器の出力端子と上
記被試験デバイスの端子の間に、電流検出用のダイオー
ド逆並列回路を設ける。上記ダイオード逆並列回路に発
生する電圧は、引き算回路により検出される。上記引き
算回路の後段には、上記逆並列回路を構成するダイオー
ドと同一の特性を持つ１組のダイオードが接続される。
上記１組のダイオードの他端は、それぞれ正極性の対数
増幅器及び負極性の対数増幅器に入力する。上記正極性
の対数増幅器及び負極性の対数増幅器の出力電圧は、演
算手段より出力される極性信号によって切り替えられ
る。被試験デバイスの測定端子の電圧はアナログバッフ
ァを通してＡＤ変換器により測定される。
化した電圧印加電流測定装置を実現する。 【構成】 被試験デバイスの端子に所定の電流を印加す
る演算増幅器を設ける。上記演算増幅器の出力端子と上
記被試験デバイスの端子の間に、電流検出用のダイオー
ド逆並列回路を設ける。上記ダイオード逆並列回路に発
生する電圧は、引き算回路により検出される。上記引き
算回路の後段には、上記逆並列回路を構成するダイオー
ドと同一の特性を持つ１組のダイオードが接続される。
上記１組のダイオードの他端は、それぞれ正極性の対数
増幅器及び負極性の対数増幅器に入力する。上記正極性
の対数増幅器及び負極性の対数増幅器の出力電圧は、演
算手段より出力される極性信号によって切り替えられ
る。被試験デバイスの測定端子の電圧はアナログバッフ
ァを通してＡＤ変換器により測定される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ等の被試験デバイ
スの直流特性を測定する電流印加電圧測定装置に関する
ものである。
スの直流特性を測定する電流印加電圧測定装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来の電流印加電圧測定機能を持
つ回路の構造を示す。図中１は演算増幅器、２は被試験
デバイス、２０はこの被試験デバイス２の端子２Ａに設
定した電流を印加させるＤＡ変換器、３は被試験デバイ
ス２に設定した電流が流れていることを検出する電流検
出用抵抗器、６は電流検出用抵抗器に並列に接続された
抵抗器を切り替える電流レンジ切替回路、５Ａは電流レ
ンジ切り替え回路の両端の電位差を入力とし出力を抵抗
を介して上記演算増幅器の入力に帰還させた引き算回
路、２１は端子２Ａの電圧を検出するＡＤ変換器をそれ
ぞれ示す。
つ回路の構造を示す。図中１は演算増幅器、２は被試験
デバイス、２０はこの被試験デバイス２の端子２Ａに設
定した電流を印加させるＤＡ変換器、３は被試験デバイ
ス２に設定した電流が流れていることを検出する電流検
出用抵抗器、６は電流検出用抵抗器に並列に接続された
抵抗器を切り替える電流レンジ切替回路、５Ａは電流レ
ンジ切り替え回路の両端の電位差を入力とし出力を抵抗
を介して上記演算増幅器の入力に帰還させた引き算回
路、２１は端子２Ａの電圧を検出するＡＤ変換器をそれ
ぞれ示す。
【０００３】従来の回路構造においては、ＤＡ変換器２
０にディジタルの電流設定値が入力しそれに対応した電
圧が出力される。演算増幅器１の入力側に接続された抵
抗値により引き算回路５Ａの出力電圧が決まり、電流検
出用抵抗器３の両端の電位差が決まり、結局、被試験デ
バイス２に入力する電流が決まる。電流レンジ切替回路
６の両端の電位差が固定された状態で並列に設けられた
抵抗を接続することで被試験デバイス２に入力する電流
値を切り替えることができる。なお、端子２Ａの電圧
は、アナログバッファを通してＡＤ変換器２１により測
定される。
０にディジタルの電流設定値が入力しそれに対応した電
圧が出力される。演算増幅器１の入力側に接続された抵
抗値により引き算回路５Ａの出力電圧が決まり、電流検
出用抵抗器３の両端の電位差が決まり、結局、被試験デ
バイス２に入力する電流が決まる。電流レンジ切替回路
６の両端の電位差が固定された状態で並列に設けられた
抵抗を接続することで被試験デバイス２に入力する電流
値を切り替えることができる。なお、端子２Ａの電圧
は、アナログバッファを通してＡＤ変換器２１により測
定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の回
路構造においては、設定電流範囲を広くするため電流レ
ンジ切替回路が必要である。このため、印加電流ＩL と
して必要な大まかな電流値が予測できない場合、あるレ
ンジで測定後、最適レンジを選択し、再度測定しなけれ
ばならない。その結果、測定時間が長くなるという問題
点があった。また、レンジ切り替えにはリレーを使用す
る事が多く、小型化の障害となっていた。本発明は、レ
ンジ切り替え回路を無くし、高速化、小型化した電流印
加電圧測定装置を実現することを目的とする。
路構造においては、設定電流範囲を広くするため電流レ
ンジ切替回路が必要である。このため、印加電流ＩL と
して必要な大まかな電流値が予測できない場合、あるレ
ンジで測定後、最適レンジを選択し、再度測定しなけれ
ばならない。その結果、測定時間が長くなるという問題
点があった。また、レンジ切り替えにはリレーを使用す
る事が多く、小型化の障害となっていた。本発明は、レ
ンジ切り替え回路を無くし、高速化、小型化した電流印
加電圧測定装置を実現することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、被試験デバイスの端子に所定の
電流を印加する演算増幅器を設けている。上記演算増幅
器の出力端子と上記被試験デバイスの端子の間に、電流
検出用のダイオード逆並列回路を設ける。上記ダイオー
ド逆並列回路に発生する電圧は、引き算回路により検出
される。上記引き算回路の後段には、上記逆並列回路を
構成するダイオードと同一の特性を持つ１組のダイオー
ドが接続される。上記１組のダイオードの他端は、それ
ぞれ正極性の対数増幅器及び負極性の対数増幅器に入力
する。上記正極性の対数増幅器及び負極性の対数増幅器
の出力電圧は、演算手段より出力される極性信号によっ
て切り替えられる。被試験デバイスの測定端子の電圧は
アナログバッファを通してＡＤ変換器により測定され
る。なお、上記ダイオード逆並列回路に並列に抵抗器を
接続し、同時に１組のダイオードの各ダイオードに並列
に上記抵抗器と同一の抵抗器をそれぞれ接続してもよ
い。
に、本発明においては、被試験デバイスの端子に所定の
電流を印加する演算増幅器を設けている。上記演算増幅
器の出力端子と上記被試験デバイスの端子の間に、電流
検出用のダイオード逆並列回路を設ける。上記ダイオー
ド逆並列回路に発生する電圧は、引き算回路により検出
される。上記引き算回路の後段には、上記逆並列回路を
構成するダイオードと同一の特性を持つ１組のダイオー
ドが接続される。上記１組のダイオードの他端は、それ
ぞれ正極性の対数増幅器及び負極性の対数増幅器に入力
する。上記正極性の対数増幅器及び負極性の対数増幅器
の出力電圧は、演算手段より出力される極性信号によっ
て切り替えられる。被試験デバイスの測定端子の電圧は
アナログバッファを通してＡＤ変換器により測定され
る。なお、上記ダイオード逆並列回路に並列に抵抗器を
接続し、同時に１組のダイオードの各ダイオードに並列
に上記抵抗器と同一の抵抗器をそれぞれ接続してもよ
い。
【０００６】
【作用】上記のように構成された電流印加電圧測定装置
においては、従来のようなレンジ切り替え回路が無く、
１回の測定で必要とする電流値を発生でき、レンジ切り
替えのためのリレーが使用されないため、高速で、小型
化した電流印加電圧測定装置を実現できる。
においては、従来のようなレンジ切り替え回路が無く、
１回の測定で必要とする電流値を発生でき、レンジ切り
替えのためのリレーが使用されないため、高速で、小型
化した電流印加電圧測定装置を実現できる。
【０００７】
【実施例】図１に本発明の実施例を示す。図中１は演算
増幅器、２は被試験デバイス、２０はこの被試験デバイ
ス２の端子２Ａに設定した電流を印加させるＤＡ変換
器、２２は被試験デバイス２に流す電流値の設定と、流
れる方向である極性を示す極性信号１１を発生する演算
手段、７は被試験デバイス２に設定した電流が流れてい
ることを検出するダイオード逆並列回路、５Ａはダイオ
ード逆並列回路７の電位差を入力し、ダイオード逆並列
回路７に流れる電流を出力する引き算回路、６Ｅは上記
引き算回路の出力電流を正方向、負方向に流す１組のダ
イオード、８は正極性で動作する対数増幅器と負極性で
動作する対数増幅器で構成された対数増幅器、１１は上
記対数増幅器の正極性または負極性のどちらを使用する
かを指定してスイッチを制御する演算手段２２から出力
する極性信号をそれぞれ示す。
増幅器、２は被試験デバイス、２０はこの被試験デバイ
ス２の端子２Ａに設定した電流を印加させるＤＡ変換
器、２２は被試験デバイス２に流す電流値の設定と、流
れる方向である極性を示す極性信号１１を発生する演算
手段、７は被試験デバイス２に設定した電流が流れてい
ることを検出するダイオード逆並列回路、５Ａはダイオ
ード逆並列回路７の電位差を入力し、ダイオード逆並列
回路７に流れる電流を出力する引き算回路、６Ｅは上記
引き算回路の出力電流を正方向、負方向に流す１組のダ
イオード、８は正極性で動作する対数増幅器と負極性で
動作する対数増幅器で構成された対数増幅器、１１は上
記対数増幅器の正極性または負極性のどちらを使用する
かを指定してスイッチを制御する演算手段２２から出力
する極性信号をそれぞれ示す。
【０００８】本実施例においては引き算回路５Ａの出力
に接続された１組のダイオードの他端を、それぞれ正極
性の対数増幅器及び負極性の対数増幅器の入力に接続
し、各対数増幅器の出力を演算手段２２から出力した極
性信号１１で切り替え、抵抗器を通して演算増幅器１に
帰還させている構造を特徴とする。本実施例の対数増幅
器８は、ＶO ＝ＫｌｏｇＩL′ ／Ｉ2 の特性を示す。こ
こでＫはスケールファクタであり、出力側につけられた
抵抗により決まる。図２に基準電流Ｉ2 を１μＡとし、
Ｋを１、３、５とした時のＩL′ −ＶO 特性を示す。つ
まり、入力電流ＩL′ は出力電圧ＶO に対し対数特性を
示す。この結果、引き算回路５Ａに与える電流レンジ切
替回路６のレンジを切り替えることもなく、被試験デバ
イス２に与える電流が小さい時には高分解能に、与える
電流が大きい時には比較的低い分解能で被試験デバイス
２に電流を供給できる。対数増幅器８は、電流設定値が
正か負かによって、演算手段２２の出力の１つである極
性信号１１が出力され、正電流用及び負電流用の対数増
幅器の出力がスイッチにより選択され、演算増幅器１に
抵抗器を通して帰還される。
に接続された１組のダイオードの他端を、それぞれ正極
性の対数増幅器及び負極性の対数増幅器の入力に接続
し、各対数増幅器の出力を演算手段２２から出力した極
性信号１１で切り替え、抵抗器を通して演算増幅器１に
帰還させている構造を特徴とする。本実施例の対数増幅
器８は、ＶO ＝ＫｌｏｇＩL′ ／Ｉ2 の特性を示す。こ
こでＫはスケールファクタであり、出力側につけられた
抵抗により決まる。図２に基準電流Ｉ2 を１μＡとし、
Ｋを１、３、５とした時のＩL′ −ＶO 特性を示す。つ
まり、入力電流ＩL′ は出力電圧ＶO に対し対数特性を
示す。この結果、引き算回路５Ａに与える電流レンジ切
替回路６のレンジを切り替えることもなく、被試験デバ
イス２に与える電流が小さい時には高分解能に、与える
電流が大きい時には比較的低い分解能で被試験デバイス
２に電流を供給できる。対数増幅器８は、電流設定値が
正か負かによって、演算手段２２の出力の１つである極
性信号１１が出力され、正電流用及び負電流用の対数増
幅器の出力がスイッチにより選択され、演算増幅器１に
抵抗器を通して帰還される。
【０００９】なお、ダイオード逆並列回路７に流れる電
流が小さい時、逆並列にしたダイオードが両者共ＯＦＦ
になり回路が不安定になる。このため、微小電流検出用
の抵抗器を、これらダイオードと並列に接続してもよ
い。この場合、引き算回路５Ａの出力に接続した２つの
ダイオードにも、それぞれ同一の抵抗器を並列に接続す
る必要がある。
流が小さい時、逆並列にしたダイオードが両者共ＯＦＦ
になり回路が不安定になる。このため、微小電流検出用
の抵抗器を、これらダイオードと並列に接続してもよ
い。この場合、引き算回路５Ａの出力に接続した２つの
ダイオードにも、それぞれ同一の抵抗器を並列に接続す
る必要がある。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、レンジ切り替え回路が無く、従来に比べて
高速に、１度の電圧測定で電圧値を測定できる。また、
レンジ切り替え用のリレーが無いため小型化できる。
ているので、レンジ切り替え回路が無く、従来に比べて
高速に、１度の電圧測定で電圧値を測定できる。また、
レンジ切り替え用のリレーが無いため小型化できる。
【図１】本発明の電流印加電圧測定装置の回路ブロック
図である。
図である。
【図２】対数増幅器の入出力特性図である。
【図３】従来の電流印加電圧測定装置の回路ブロック図
である。
である。
１ 演算増幅器 ２ 被試験デバイス ２Ａ 端子 ３ 電流検出用抵抗器 ５Ａ 引き算回路 ６ 電流レンジ切替回路 ６Ｅ １組のダイオード ７ ダイオード逆並列回路 ８ 対数増幅器 １１ 極性信号 ２０ ＤＡ変換器 ２１ ＡＤ変換器 ２２ 演算手段
Claims (2)
- 【請求項１】 被試験デバイス（２）の端子に所定の電
流を印加する演算増幅器（１）と、 上記演算増幅器（１）の出力端子と上記被試験デバイス
（２）の端子の間に接続した電流検出用のダイオード逆
並列回路（７）と、 上記ダイオード逆並列回路（７）に発生する電圧を取り
出す引き算回路（５Ａ）と、 上記引き算回路（５Ａ）の後段に接続され、上記ダイオ
ード逆並列回路（７）を構成するダイオードと同一の特
性を持つ１組のダイオード（６Ｅ）と、 上記１組のダイオード（６Ｅ）の他端を入力とし、出力
を抵抗器を介して上記演算増幅器（１）の入力に帰還す
る、正極性の対数増幅器及び負極性の対数増幅器で構成
される対数増幅器（８）と、 上記正極性の対数増幅器及び負極性の対数増幅器の出力
電圧を切り替える極性信号（１１）を発生する演算手段
（２２）と、 以上を具備することを特徴とする電流印加電圧測定装
置。 - 【請求項２】 ダイオード逆並列回路（７）に並列に抵
抗器を接続し、１組のダイオード（６Ｅ）の各ダイオー
ドに並列に、上記抵抗器と同一の抵抗器をそれぞれ接続
した請求項１記載の電流印加電圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6210507A JPH0854423A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | 電流印加電圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6210507A JPH0854423A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | 電流印加電圧測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0854423A true JPH0854423A (ja) | 1996-02-27 |
Family
ID=16590519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6210507A Pending JPH0854423A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | 電流印加電圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0854423A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019180018A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | 株式会社 シーディエヌ | 電圧電流変換回路 |
-
1994
- 1994-08-10 JP JP6210507A patent/JPH0854423A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019180018A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | 株式会社 シーディエヌ | 電圧電流変換回路 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030218 |